DE2549627C3 - Schaltungsanordnung zur Messung von Abständen - Google Patents

Schaltungsanordnung zur Messung von Abständen

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DE2549627C3 DE2549627A DE2549627A DE2549627C3 DE 2549627 C3 DE2549627 C3 DE 2549627C3 DE 2549627 A DE2549627 A DE 2549627A DE 2549627 A DE2549627 A DE 2549627A DE 2549627 C3 DE2549627 C3 DE 2549627C3
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    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/023Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Schaltungsanordnung zur Messung des Abstandes zwischen einer M eßspule und einem gegenüber der Meßspule angeordneten Metallkörper, mit einem Bezugsoszillator und einem damit verbundenen Rückkopplungsverstärker, wobei die Ausgangsspannung des Verstärkers den Abstand zwischen der Meßspule und dem Metallkörper angibt.
Der Stand der Technik wird nun an Hand der F i g. 1 bis 3 erläutert.
■i Es ist bereits bekannt, einen Metallkörper unter Verwendung der elektromagnetischen Induktion zu vermessen, beispielsweise die Krümmung, Lage usw. einer Stahltafel während ihres Waizvorganges, und zwar mit hoher Genauigkeit ohne Berührung des
in Metallkörpers, wie es schematisch in Fig. 1 dargestellt ist. Gemäß dieser Anordnung ist ein Metallkörper 1 zu vermessen. Ein Bezugsoszillator 2, der Wechselstromsignale einer gegebenen Frequenz erzeugt, ist an die Eingangsanschlüsse einer Wechselstrom-Brückenschal-■-. tung 3 angeschlossen, die aus bekannten Impedanzen Z,, Zj und Zt und einer variablen Impedanz Z2 besteht. Die Impedanz Z> ist in der Figur durch eine Meßspule 4 verwirklicht. An die Ausgangsklemmen der Brückenschaltung 3 ist ein Differenzverstärker 5 angeschlossen.
>o Wenn der Abstand zwischen der Meßspule 4 und dem Metallkörper 1 im wesentlichen unendlich groß ist und die Wechscisii'ümSigriäic des Bczugsusziiiaiors 2 an die Brückenschaltung 3 mit der Meßspule angelegt werden, ist die Brückenschaltung dann abgeglichen, wenn der
:; Zustand Z\ ■ Zt, = Z2 ■ Zj herrscht. In diesem abgeglichenen Zustand ist der Ausgang der Brückenschaltung 3 gleich 0 und der Differenzverstärker 5 erzeugt kein Ausgangssignal. Wird der Abstand zwischen der Meßspule 4 und dem Metallkörper 1 gegenüber
so unendlich verringert, so ändert sich die Impedanz Z2 der Meßspule 4 mit dem Abstand aufgrund der Änderung der Selbstinduktion, welche durch die elektromagnetische Induktion im Metallkörper verursacht wird. Bekanntlich ändert sich die Impedanz Z2 nicht linear mit
ΙΊ dem Abstand. Infolgedessen ist auch die Änderung des Ausgangssignals der Brückenschaltung 3 nicht linear. Dieses Ausgangssignal wird vom Differenzverstärker 5 auf einen gegebenen Wert verstärkt und dann einem anzeigenden oder registrierenden Meßgerät zugeführt,
ίο so daß also der Abstand ohwc Berührung des Metallkörpers 1 gemessen wird. F i g. 2 zeigt ein Beispiel der gegenseitigen Beziehung zwischen dem Abstand zum Metallkörper 1 und der Ausgangsspannung des Differenzverstärkers 5.
4) Wie man aus F i g. 2 ersieht, ist die Ausgangscharakteristik hinsichtlich des Abstandes bei der bekannten Meßvorrichtung nicht linear. Mit einer Erhöhung des Abstandes nimmt die Änderung des Ausgangssignals ab, so daß keine genaue Meßgenauigkeit erreicht werden
ίο kann. Für den praktischen Gebrauch ist es deshalb notwendig, die Charakteristik durch Verwendung geeigneter Hilfsmittel wie einer äußeren Schaltung linear zu machen. Da die Änderung der Impedanz Z2 der Meßspule 4 bezüglich der Änderung des Abstandes
)i zwischen der Meßspule 4 und dem Metallkörper 1 gering ist, ist es darüberhinaus notwendig, zur Erzielung einer ausreichenden Empfindlichkeit die Brückenschaltung 3 zu verwenden. Die Meßgenauigkeit wird in starkem Maß durch die Genauigkeit und die Charakteri-
W) stiken der festen Impedanzen Zi, Z^ und Z^ bestimmt, die die Brückenschaltung bilden, so daß viel Geschicklichkeit zur Einstellung der Brückenschaltung erforderlich ist.
Zur Verminderung dieser Nachteile sind von den
h-i Erfindern bereits ein Verfahren und eine Vorrichtung vorgeschlagen worden, die in Fig. 3 veranschaulicht sind. In dieser Figur bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche Teile mit gleicher Wirkung wie in Fig. I.
Demnach ist mit dem Bezugsoszillator 2 ein Rückkopplungsversiärker 6 über einen Reihenwiderstand Rs verbunden. Parallel zum Verstärker 6 ist ein Rückkopplungswiderstand Rp geschaltet Der Meßspule 4 ist zur Bildung eines Parallelresonanzkreises zusammen mit der Impedanz der Meßspule 4 ein Kondensator C parallelgeschaltet. Die eine festgelegte Amplitude und Frequenz aufweisenden Wechselstromsignale vom Bezugsoszillator 2 werden über den Reihenwiderstand Rs an den ParJielresonanzkreis angelegt und die über den Parallelresonanzkxeis herrschende Spannung wird an die Eingangsklemme des Rückkopplungsverstärkers 6 angelegt, der diese Eingangsspannung zu einer Ausgangsspannung eines gewünschten Wertes verstärkt, die dann über den Rückkopplungswiderstand R9 positiv auf die Eingangsseite des Verstärkers 6 rückgekoppelt wird, wodurch ein Q-Vervieifacher gebildet wird.
Es wird nun der Abstand zwischen der Meßspule 4 und dem Metallkörper I auf im wesentlichen unendlich eingestellt und die Kapazität des Kondensators C so justiert, daß die Resonanzfrequenz des Paraiieire.sonanzkreises gleich der Resonanzfrequenz des Oszillators 2 wird. Nimmt unter diesen Bedingungen der Abstand zwischen der Meßspule 4 und der Metallkörper 1 ab, so wird das von der Meßspule 4 erzeugte Wechselmagnetfeld mit dem Metallkörper 1 verkettet und die Impedanz der Meßspule 4 geändert Als Ergebnis wird eine dem Anstand zwischen dem Metallkörper 1 und der Meßspule 4 entsprechende Eingangsspannung an den Rückkopplungsverstärker 6 angelegt und zu einer Ausgangsspannung an der Ausgangsklcmmc des Verstärkers 6 verstärkt Durch Messung dieser Ausgangsspannung wird der Abstand zwischen dem Metallkörper 1 und der Meßspule 4 mit hoher Genauigkeit bestimmt
Die Vorrichtung nach F i g. 3 löst die Linearitäts- und Genauigkeitsprobleme, jedoch können sich mit dieser Vorrichtung andere Schwierigkeiten und Probleme einstellen:
(1) Da die Meßgenauigkeit von den Änderungen der Schwingungsfrequeiiz des Bezugsoszillators 2 abhängt, wird für den praktischen Gebrauch ein Oszillator hoher Stabilität wie etwa ein Kristalloszillator benötigt;
(2) die Impedanz der Anzeigespule 4 ändert sich mit ihrer Temperatur, so daß die Resonanzfrequenz des Parallelresonanzkreises sich ändert, was zu einer verminderten Meßgenauigkeit führt;
(3) die Schwingungsfrsquenz des Bezugsoszillators und die Schwingungsfrequenz des Parallelresonanzkreises müssen einander angeglichen werden, jedoch ist die Einstellung für die Angleichung nicht einfach; und
(4) wegen der Verwendung des Resonanzkreises ist die Frequenzcharakteristik aufgrund der Bandcharakteristik nicht gut.
Demgegenüber soll durch die Erfindung eine Schaltungsanordnung der eingangs genannten Art so weiter ausgebildet werden, daß eine Linearisierung des Ausgangssignals einer induktiv wirkenden Abstandsmeßeinrichtung bewirkt wird.
Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen im Anspruch 1 gelöst.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen angegeben.
Die Erfindung ermöglicht, den durch Frequenzschwankungen des Bezugsoszillators bedingten Einfluß auf die Abstandsmessung möglichst gering zu hallen und Temperatureinflüsse weitgehend auszuschalten. Schließlich ist nach der Erfindung der Rückkopplung:: grad hinsichtlich der Linearisierung der gegenseitigen Beziehung zwischen der Ausgangsspannung und dem Abstand zum Metallkörper leicht justierbar.
Da nach der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung die Messung durch Feststellung der Impedanzänderung der Meßspule aufgrund der Abstandsänderung zwischen der Meßspule und dem zu vermessenden Metallkörper durchgeführt wird, wird der Meßwert durch die Zusammensetzung des zu vermessenden Metallkörpers beeinflußt, die das Impedanzänderungsmaß der Meßspule beeinflußt Ein derartiges Meßverfahren wird jedoch im allgemeinen für eine im wesentlichen festgestellte Zusammensetzung für eine lange Zeitspanne kontinuierlich durchgeführt, beispielsweise bei der Bearbeitung von Stahl und dem Walzen von Stahltafeln, so daß nach einmaligem Eichen für ein zu verwendendes Metall eine genaue Messung des Abstandes zum Metallkörper oder <j den Metallkörpern durchgeführt warden kann. Bei A -.wendung aul Metallkörper wechselnder Zusammensetzung genügt eine Neueichung für die jeweiligen Metallkörper. Beispielsweise können bei der Messung verschiedener Stahlso ten von wechselnder Zusammensetzung wegen der geringen Änderung der magnetischen Charakteristik aufgrund der Stahlsorten die Meßfehler dann vernachlässigbar sein, wenn die Messung mit einer Eichung für ein und dieselbe Linie ues Bearbeitern verschiedener Stahlsorten in einem Beirieb allgemein angewandt wird.
Kurz und zusammengefaßt dargestellt, ist die Erfindung verwirklicht bei der Meshing des Abstandes zwischen einer Meßspule und einem zu vermessenden Metallkörper, wobei die Rückkopplungsschaltung eines Verstärkers eine Rückkopplungsimpedanz und die Impedanz der Meßspule zur Steuerung der Verstärkung des Verstärkers entsprechend dem Wert dur Impedanz der Meßspule enthält, wodurch die Impedanzänderungen der Meßspule aufgrund der Änderung des Ab.,tandes zwischen der Meßspule und dem zu vermessenden Metallkörper festgestellt werden. Dieser Abstand kann durch Messen der Ausgangsspannung des Verstärkers bestimmt werden. Die Verstärkungscharakteristik des Verstärkers ist so eingestellt, daß sie eine Nichtlinearität äquivalent und komplementär zur Nichtlinearität der Charakteristik zwischen dem Abstand und der Impedanzänderung der Meßspule aufweist, indem die Verstärkung des Verstärkers und/oder der Gr,?d der positiven Rückkopplung aufgrund des Werts der Rückkopplungsimpedan?, verändert wird, wodurch eine ergänzte gegenseitige LinerViLU zwischen dem Ausgangssignal des Verstärkers und dem Abstand zwischen der Meßspule und dem Metallkörper erhal.en wird.
Die Erfindung wird nun an Ausführungsbeispielen und an Hand der F i g. 4 bis 11 erläutert. Dabei stellen dar:
F i g. 4 einen Blockschaltplan einer Grund-Meßanordnung zur Verwendung im erfindungsgemäßen Verfah= ren,
Fig. 5 eine graphische Darstellung der Impedanzänderungscharakteristik der Meßspule in der Anordnung nach F i g. 4,
Fig. 6 im einzelnen die Rückkopplungsschaltung in der Anordnung nach F i g. 4,
Fi g. 7 eine andere Ausführungsform der Rückkopp-
IlltlgSScllilltllllg.
(· i g. H cine Aquivalctilschaltung der Schaltung nach I' i g. 7. "
F i g. 4 eine graphische Darstellung der Aiispanj'srharakteristiken der Anordnungen zur Durchführung der Erfindung, und
F-' ig. 10 und I t jeweils abgewandelte Ausführuiigsforincn der Anordnungen von Rückkopplungsimpedan/en.
Gemäß I i g. 4 wird eine Meßspule 4 gegenüber einem zu vermessenden Metallkörper I angeordnet, ein Me/ugsos/illator 2 mit einer E-üngiingsklcmmc eines Verstärkers 7 verbunden, dessen andere Fingangsklemiiic mit e'tiem linde der Meßspulc 4 verbunden ist. und wird eine Rückkopplungsimpedanz Z1 /wischen die Ausgangskiemme und die andere Fingangsklcmmc des Verstärkers 7 geschaltet. Wechselstromsignale gegebener Amplitude und gegebener F-Yequcnz vom Be/ugsos-/illator 2 werden an den Verstärker 7 angel.-Ht und vom Verstärker auf eine Ausgangsspannung eines gewünschten Wertes verstärkt, von der ein Teil über die Rückkopplungsimpedanz Z, als Wechsclstromrück· kopplungssignale an die Meßspule 4 angelegt wird. Die Impedanz Zider McBspulc 4 ändert sich in Übereinstimmung mit dem Abstand zwischen der Meßspule 4 und dem Metallkörper 1. Die Änderungscharakteristik der Impedanz Z, ist durch die elektromagnetische Schleife gegeben, die den Metallkörper 1 enthält, und ist in bezug zur Abstandsänderung zwischen der Meßspule und dem Metallkörper nicht linear. Γϊίη Beispiel hierfür ist in Γ i g. 5 dargestellt. Die Verstärkung A des Rückkopplupgsverstärkers ist durch die folgende Formel gegeben:
wobei
A = Ch(I- Gß)
β = /J(Z, + Z„). und
G = Verstärkung bei fehlender Rückkopplung.
Die Verstärkung des Rückkopplungsverstärkers wird also nur durch Zi bestimmt, wenn C und Zugegeben sind. Die Verstärkung A ist von nichtlinearer Charakteristik in bezug zur Änderung von Z-,, wie aus der angegebenen ι tu iiici ei Miiiiiicu lsi, Uhu Kann uuren r.insieiiung von O und Z. {ß) jeden gewünschten nichtlinearen Charakteristikverlauf erhalten. Da die Änderung der Impedanz Z0 der Meßspule 4 in bezug zur Abstandsänderung /wischen der Meßspule und dem Metallkörper nichtlinear ist, wie beschrieben wurde, und die Verstärkung A des Verstärkers 7 eine gegenüber der Änderung von Z0 komplementäre Charakteristik haben kann, ist aufgrund der Ergänzung der Charakteristiken der Impedanz Zn und der Verstärkung Ä eine angenähert lineare Charakteristik der Verstärkung in bezug zu den Abstandsänderungen zwischen der Meßspule und dem zu vermessenden Metallkörper zu erhalten. Der Abstand zwischen der Meßspule 4 und dem Metallkörper I kann also bei hoher Genauigkeit mit guter Linearität der Beziehung gemessen werden.
F i g. 6 zeigt ein Beispiel für den Aufbau der Rückkopplungsschaltung zur Justierung der Beziehung zwischen der Ausgangsspannung des Verstärkers 7 und dem zu messenden Abstand zum Metallkörper 1 in linearer Form. Gemäß der Figur ist eine Serienschaltung einer variablen Induktanz aufgrund einer Induktivität L) und eines variablen Widerstandes R\ über den Verstärker 7 geschaltet. Der !r.duktanzändcrungsbereich der variablen Induktivität L\ beträgt allgemein bis zu 10:1 und durch Anwendung des Komplementäreffekts, der durch justierung des Induktanzwertes
innerhalb dieses Herachs für den Verstärker er ziel wird, kann die Kingang/Ausgangscharakleristik de1 Meßsystcms linear gemacht werden.
Mit der beschriebenen variablen Induktanz ist freilief die Feineinstellung schwierig. Wird eine justierung νοι höherer Genauigkeit oder ein breiterer Indiiklanziinde rungsbereich gefordert, so kann dies durch Aufbau dei den Verstärker 7 überbrückenden Riickkopplungsschal tung 9 gemäß F'ig. 7 erreicht werden, also aus einei Serienschaltung Il aus einem veränderlichen Wi.lcr stand Ki zum Teilen der Ausgangsspanniing. einen Impedanzwandler 10 und einer festen Impedanz aufgrund einer Induktivität Li zusammen nut einen parallel zu dieser Sericnschaltung geschalteten veränderlichen Widerstand Ri. Die Blockschaltung nacl F i g. 7 zeigt den Bezugsoszillator 2, den Verstärker 7 die Meßspule 4 und die Rückkopplungsschaltung 9 /tiiv liinstellen der linearen Beziehung /wischen den Ausgangssignal des Verstärkers 7 und dem Abstaru zwischen der Meßspulc 4 und dem zu vermessender Metallkörper I.
In der Serienschallung 11 kann die beobachtete Induktanz zwischen Punkten a und b in der Schaltung durch Änderung der Höhe, also der Amplitude der ar die Induktivität Li angelegten Spannung veränderi werden.
F.s gilt
wobei k — konstant.
Die Gleichung (I) zeigt, daß das Multiplizieren dei Ausgangsspannung ca„, mit Ukäquivalent dem Multipii zieren der festen Induktanz von L2 mit k ist. wenn dei zwischen den Punkten a und b fließende StroiT betrachtet wird.
Die beobachtete Induktanz der Serienschaitung Il kann also durch Veränderung des Widerstandswertei des veränderlichen Widerstandes R2 geändert werden woduren sien die none der an die feste induktivität /.. angelegten Spannung ändert. Ist also k = R2IR'i, wöbe R2 der Widerstand zwischen Punkten eund c/über der variablen Widerstand R? ist, so kann die Spannung zwischen den Punkten eund deinen Wert haben, der da; l//f-fache der Ausgangsspannung e3u, aufweist. Wärt der veränderliche Widerstand R2 unmittelbar mit dei festen Induktivität L2 verbunden, so wäre ein paralle geschalteter Widerstand aus dem Widerstand R'_ unc einem Widerstand R"i zwischen den Punkten a und c in Reihe mit der festen Induktivität Li geschaltet und die Impedanz zwischen den Punkten a und b hätte eine Widerstandskomponente von R'/2/R>2 und könnte niehl als nur aus einer Reaktanzkomponente bestehend betrachtet werden.
Der Impedanzwandler 10, der aus einem Element wie einem Emitterfolger oder einem Spannungsfolger besteht, ist entsprechend zwischen die feste Induktivität Li und den veränderlichen Widerstand /?2 eingesetzt, um die Widerstandskomponente R'yR'2 zu minimalisieren so daß sie in bezug zur festen Induktanz von L2 vernachlässigbar wird. Als Ergebnis kann die Impedanz zwischen den Punkten a und b äquivalent als aus im
ΠϋΓ u£r
ucSichcFid
betrachtet werden. Infolgedessen kann die beobachtete Impedanz zwischen den Punkten a und b angenähert j ω Li ■ k gemacht werden, indem der variable Widerstand
R1 in der Serienschaltung 11 eingestellt wird, und folglich kann die tatsächlich feste Induktanz L2 durch Justierung des veränderlicnen Widerstands R2 wie eine variable Induktanz wirken. Die Kückkopplungsschaltung 9 kann also durch eine Äquivalentschaltung nach I" i g. 8 dargestellt werden. Die kombinierte Impedanz Zs in der Rücv,'.opplungsschaltung 9 beträgt:
Z1 ■=
-/., A ■ R1
R2, t (-.A/.,r
(A
Die Widerstandskomponente in der Rückkopplungsschaltung 9 kann also durch Veränderung des Werts von k, aisu uuicli Veiäiideiuiig des V/iueiMaiiuNwei ies R2 des veränderlichen Widerstandes R2, eingestellt werden und die Reaktanzkornponente kann durch Verändern des Widerstandswertes des variablen Widerstandes Ri eingestellt werden. Die veränderlichen Widerstände Ri und Rs können übliche veränderliche Widerstände sein.
Da also bei der Ausführung nach F i g. 7 die Induktanzkomponente mit Hilfe der veränderlichen Widerstände auf jeden gewünschten Wert ohne Änderung der tatsächlichen Induktanz, eingestellt werden kann, kann der Einstellbereich breiter sein und die Feinjustierung besser durchführbar sein im Vergieß zum im Zusammenhang mit F i g. 6 beschriebenen Verfahren. Dies führt zur Verwirklichung einer leichten und sehr genauen Abstandsmessung.
F i g. 9 zeigt graphisch zum Vergleich die Charakteristiken gemäß der Erfindung und gemäß der Anordnung nach F i g. 3. Hierbei ist die Ausgangsspannung fi, des Bezugsoszillators 2 fest und es wird nur seine Frequenz fn verändert. In der Figur geben durchgezogene Linien das Ergebnis bei erfindungsgemäßer Durchführung mit einem Frequenzänderungsverhältnis AfZfn = 4.3% und die gestrichelten Linien das Ergebnis mit der Anordnung nach F i g. 3 mit einem Frequenzänderungsverhältnis = 1% an. Aus der Figur ist ersichtlich, daß gemäß der Erfindung der Ausgangsfehler in bezug zur Frequenzänderung im Vergleich zur Anordnung nach Fi g. 3 sehr gering ist.
Allgemein ändert sich die Impedanz der Spule mit Temperaturänderungen, insbesondere steigt die Impedanz an. Ändert sich die Temperatur der Meßspulc 4. so ändert sich das Rückkopplungsverhältnis β und auch die Verstärkung Ä, was zu einem Meßfehler führt. Zum Beseitigen eines solchen Fehlers enthält die Rückkopplungsimpedanz Z, die Induktivität L\ oder L2 gemäß den Ausführungen nach den Fig. 0 und 7 und bind die Meßspule 4 und die Spule der Impedanz Z1 gemäß den Fig. 10 und 11 um einen zusammenhängenden Kern 8 gewickelt. Da die Impedanzänderungsverhältnisse in bezug zu Temperaturänderungen in den jeweiligen Spulen einander angenähert gleichen, wird das Rückkopplungsverhältnis auf einem konstanten Wert gehalten. Somit kann die berührungsfreie Abstandsmessung in hoher Güte unabhängig von Temperaturänderungen verwirklicht werden.
Die Rückkopplungsschaltung enthält also keine Resonanzschaltung und der Verstärker hält; wie Fig. 9 zeigt, unabhängig von Schwingungsfrequenzänderungen des Bezugsoszillators 2 eine gute Charakteristik aufrecht, so daß die Messung mit beliebiger gewünschter Schwingungsfrequenz durchgeführt werden kann, die Justierung leicht ist und somit die Messung mit guter Frequenzcharakteristik durchzuführen ist.
Hierzu 4 IJhut Zeichnungen

Claims (6)

Patentansprüche:
1. Schaltungsanordnung zur Messung des Abstandes zwischen einer Meßspule und einem gegenüber der Meßspule angeordneten Metallkörper, mit einem Bezugsoszillator und einem damit verbundenen Rückkopplungsverstärker, wobei die Ausgangsspannung des Verstärkers den Abstand zwischen der Meßspule und dem Metallkörper angibt, dadurch gekennzeichnet, daß der Rückkopplungsverstärker ein Differenzverstärker (7) ist, die vom Bezugsoszillator (2) erzeugten Wechselspannungssignale an den negativen Eingang des Differenzverstärkers gelegt sind, die Impedanz der Meßspule (4) mit der an den positiven Eingang des Differenzverstärkers angeschlossenen Rückkopplungsschaltung (9) verbunden ist, so daß die verstärkten Wechselspannungsausgangssignale über die Rückkopplungsschaltung (9) an die Meßspule (4) gelangen, und daß die rückführungsfreie Verstärkung und/oder der Rückkoppiungsgräd der Rückküppiungsschaliung im voraus so festgelegt ist, daß zumindest innerhalb eines gegebenen Meßbereichs die Ausgangscharakteristik des Differenzverstärkers in Bezug zu den Abstandsänderungen zwischen der Meßspule und dem Metallkörper (1) linearisim ist.
2. Schaltungsanordnung nach Anspruch !,dadurch gekennzeichnet, daß die Rückkopplungsschaltung (9) zur Herstellung einer linearen Beziehung zwischen der Ausgangsspannung des Differenzverstärkers (7) und dem zu messenden Abstand ein Rückkopplungsimpedanzelep^nt mit einem Induktanzelement enthält.
3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das RückKopplungsimpedanzelement eine Serienschaltung einer veränderlichen Induktivität (L\) und eines veränderlichen Widerstands (R{) enthält.
4. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückkopplungsschaltung (9) eine Parallelschaltung einer Serienschaltung (11) aus einem variablen Widerstand (R2) zum Teilen der Ausgangsspannung, einem Impedanzwandler (10) und einer festen Induktanz (L2) mit einem variablen Widerstand (R3), der zu dieser Serienschaltung (11) parallelgeschaltet ist, enthält.
5. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßspule (4) zur automatischen Kompensation eines von Temperaturänderungen abhängigen Meßfehlers der Meßspule elektromagnetisch mit der Induktanz (L2) der Rückkopplungsschaltung (9) gekoppelt ist.
6. Schaltungsanordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßspule (4) und die Induktanzspule um einen gemeinsamen Kern (8) gewickelt sind, der einen gemeinsamen magnetischen Pfad bildet.
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