DE2257358B2 - Verfahren zur herstellung eines elektret-mikrophons - Google Patents

Description

den gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen, damit das Mikrophon weitgehend temperaturunempfindlich ist.

Im Rahmen der Erfindung sind bei der beschriebenen bevorzugten Ausführungsform natürlich gewisse Abänderungen möglich. Beispielsweise können zusätzlich zu der Elektret-Folie zwischen der ortsfesten Elektrode 1 und der ?>ewegbaren Elektrode 2 zusätzlich eine oder mehrere Kunststoffolien angeordnet werden, die Membranen des Elektret-Mikrophons bilden und die mechanische Verformung auf einen feststehenden Wert herabsetzen.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

geworden (DT-AS 1437486), dessen Membran aus Patentansprüche: verschiedenen Schichten besteht, die eine permanente elektrostatische Ladung erhalten, also polarisiert

1. Verfahren zur Herstellung eines Elektret- werden. Die inneren Schichten werden vorher an Mikrophons mit einer ortsfesten Elektrode und 5 ihren gegenüberliegenden Oberflächen mit einem leimii einer bewegbaren Elektrode aus einer Kunst- tenden Material überzogen.

stoffolie, bei dem die bewegbare Elektrode in Aufgabe der Erfindung ist daher, «in Verfahren einem ersten Herstellungsschritt einseitig metalli- zur Herstellung eines Elektret-Mikrophons anzusiert und einem zweiten Herstellungsschritt pola- geben, bei dem die Gefahr einer Beschädigung des risiert wird, und schließlich mit der ortsfesten io Dielektrikums bei der Polarisation durch die aufElektrode im Elektret-Mikrophon zusammenge- getragene Metallschicht vermieden wird,
setzt wird, dadurch gekennzeichnet, Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß bei den beiden Herstellungsschritten an Stelle daß bei den genannten beiden Herstellungsschritten der einzelnen Kunststoffolie zwei gesonderte an Stelle der einzelnen Kunststoffolie zwei gesonderte Kunststoffolien verwendet werden und daß die 15 Kunststoffolien verwendet werden und daß die eine eine Kunstoffolie metallisiert wird, während die Kunststoffolie metallisiert wird, während die andere andere Kunststoffolie polarisiert wird, und dann Kunststoffolie polarisiert wird, und dann beide Kunstbeide Kunststoffolien vereinigt eingesetzt werden. stoffolien vereinigt eingesetzt werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- Nach einer bevorzugten Ausführungsform wird für kennzeichnet, daß für die eine Kunststoffolie ein ao die eine Kunststoffolie ein Material gewählt, das im Material gewählt wird, das im wesentlichen den wesentlichen den gleichen Wärmeausdehnungskoefgleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten wie die fizienten wie die ortsfeste Elektrode aufweist, wähortsfeste Elektrode aufweist, während für die an- rend die für die andere Kunststoffolie ein Material dere Kunststoffolie ein Material gewählt wird, gewählt wird, das einen hohen elektrischen Widerdas einen hohen elektrischen Widerstandswert »5 standsweri aufweist.

aufweist. Durch die Erfindung wird erreicht, daß die metallisierte Kunststoffolie, die der Erfindung gemäß nicht

polarisiert wird, eine Polyesterfolie seic kann, deren

niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient bedingt, daß

30 die Temperaturabhängigkeit der Mikrophonempfindlichkeit reduziert wird.

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstel- Die Erfindung wird nunmehr ausführlich beschrielung eines Elektret-Mikrophons mit einer ortsfesten ben. Die Zeichnung zeigt einen Schnitt durch das Elektrode und mit einer bewegbaren Elekrode aus erfindungsgemäße Mikrophon, das eine ortsfeste einer Kunststoffolie, bei dem die bewegbare Elek- 35 Elektrode in Form einer metallischen Basisplatte 1 trode in einem ersten Herstellungsschritt einseitig und eine bewegbare Elektrode aufweist, die aus metallisiert und in einem zweiten Herstellungsschritt einer ersten Membran 2 und aus einer zweiten polarisiert wird, und schließlich mit der ortsfesten Membran 3 besteht, die von einer zwischen den beiElektrode im Elektret-Mikrophon zusammengesetzt den Elektroden angeordneten Elektret-Folie gebildet wird. 40 wird. Die Membranen 2 und 3 sind so angeordnet,

In der US-Paientschrift 34 36 492 ist ein Elektret- daß sie kaskadenartig bei einer Schwingbewegung der Mikrophon der genannten Art beschrieben, das eine Membran wirken, die von akustischen Wellen verortsfeste Elektrode in Form eines feldgesteuerten ursacht wird, welche beiden Membranen aus einer Halbleiterelementes aufweist, über deren Steuerfläche metallisierten Polyesterfolie bzw. aus einer elektroeine Elektret-Folie angeordnet ist, die als Membran 45 statisch polarisierten Teflonfolie bestehen. Wegen wirkt. Die dem Halbleiterelement abgewandte Seite des niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten der der Elektret-Folie ist mit einer dünnen Metallschicht Polyesterfolie von ungefähr 27 · 10~^e/° C ist die Empbelegt, die die bewegbare Elektrode des Mikrophons findlichkeit des Mikrophons von der Temperatur verbildet. Zwischen der Elektret-Folie und dem Halb- hältnismäßig unabhängig, während der sehr hohe leiterelement befindet sich ein mikroskopisch kleiner so Widerstandswert des Teflons von 2 ■ 10^1β Ohm/Meter Spalt, der eine Folge von Unregelmäßigkeiten an den zur Folge hat, daß die Polarisationsladungen mit der einander zugewandten Seiten der Bauteile ist. Bei Zeit nur sehr langsam schwinden, so daß das Mikrodieser Grundausführung des Elektret-Mikrophons phon eine lange Lebensdauer aufweist,
besteht eine große Kapazität zwischen der ortsfesten Das erfindungsgemäße Elektret-Mikrophon weist und der bewegbaren Elektrode, so daß dieses Mikro- 55 die herkömmliche Kapsel 4 mit den Schallöchern 5 phon den Vorzug einer hohen Empfindlichkeit auf- auf. Die ortsfeste Elektret-Elektrode 1 ist in an sich weist. bekannter Weise mit Luftkanälen 6 versehen. Die

Zur Herstellung dieses bekannten Mikrophons Schallwellen dringen durch die Öffnungen 5 in das sind zwei Verfahrensschritte erforderlich, und zwar Mikrophon ein und betätigen die kaskadenartig wirmuß die Elektret-Folie erstens metallisiert und zwei- 60 kenden gesonderten Membranen 2 und 3, wobei zwitens elektrostatisch polarisiert werden. Die Reihen- sehen einem mit der ortsfesten Elektrode 1 verbunfolge dieser beiden Fertigungsschritte kann nicht um- denen elektrischen Leiter 7 und einem mit der begekehrt werden, da die Metallisierung die Polarisa- wegbaren Elektrode 2 verbundenen elektrischen tionsladungen neutralisieren würde. Es hat sich je- Leiter 8 eine Signalspannung erzeugt wird. Ein Teil doch gezeigt, daß die aufgetragene Metallschicht zu 65 des Leiters 7 ist als Feder ausgestaltet, die an der der großen Gefahr einer Beschädigung des Dielektri- ortsfesten Elektrode 1 anliegt.
kums bei der Polarisation führt. Für die beiden Elektroden 1 und 2 werden vor-

Femer ist ein elektrostatischer Wandler bekannt- zugsweise Werkstoffe gewählt, die im wesentlichen