DE2247703A1 - Foerdereinrichtung zur aufnahme und abgabe von teilen - Google Patents

Foerdereinrichtung zur aufnahme und abgabe von teilen

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DE2247703A1
DE2247703A1 DE19722247703 DE2247703A DE2247703A1 DE 2247703 A1 DE2247703 A1 DE 2247703A1 DE 19722247703 DE19722247703 DE 19722247703 DE 2247703 A DE2247703 A DE 2247703A DE 2247703 A1 DE2247703 A1 DE 2247703A1
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track rail
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air
conveyor device
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Carl Yakubowski
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International Business Machines Corp
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    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
    • B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
    • B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/137—Associated with semiconductor wafer handling including means for charging or discharging wafer cassette

Description

Böblingen, 12. September 1972 heb-wk
Anmelderin: International Business Machines
Corporation, Armonk, N.Y. 1050*1
Amtl. Aktenzeichen: Neuanmeldung
Aktenzeichen der Anmelderin: PI 970 049
Fördereinrichtung zur Aufnahme und Abgabe von Teilen
Die Erfindung betrifft allgemein eine Fördereinrichtung mit einem längs einer SpurscHiene schrittweise bewegbaren Träger zur Aufnahme und Abgabe von Teilen und insbesondere eine Fördereinrichtung für Halbleiterplättchen mit einer Schrittschaltsteuerung für das Beladen und Entladen des Trägers mit Halbleiterplättchen.
In einem solchen Träger enthaltene Plättchen müssen während eines Herstellungsvorgangs vielfach entnommen und wieder eingesetzt werden. Bei automatischen Fertigungsanlagen mit hoher ■Verarbeitungsgeschwindigkeit ist unbedingt eine automatische Behandlung solcher Plättchen erforderlich,, Eine genau arbeitende Schrittschaltsteuerung des Trägers ist notwendigs damit das ankommende Plättchen auf den Träger gelangen kann. Es ist daher notwendig, daß der Träger mit genau gesteuerter Geschwindigkeit herangeführt wird und nicht zu schnell läuft, so daß die Plättchen nicht zwischen die Plättchenfördereinrichtung und dem Träger gelangen und beschädigt werden können. Prüfvorrichtungen mit normaler Zahnstangen-Zahnrad-Schrittschaltung des Trägers nutzen im allgemeinen die Schwerkraft beim freien Fall aus, woraus sich Probleme bei der Regulierung der Geschwindigkeit des sich schrittweise weiter bewegenden Trägers ergeben. Andere Schrittschalt-
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Steuerungen benutzen aufwendige logische Schaltungen oder Servo-Steuerungen mit geschlossener Schleife in einem hydraulischen Servo-Mechanismus mit Photoabfülleinrichtung zur Sehrittschalt-Steuerung. Die zum Stand der Technik bekannten Vorrichtungen zeigen jedenfalls keine zuverlässige und doch preiswerte, einfache mechanische Schrittschaltsteuerung für Plättchenträger.
Aufgabe der Erfindung ist es also, eine preiswerte und doch präzise arbeitende Schrittschaltsteuerung eines Trägers mit genau gesteuerter Vorschubgeschwindigkeit zu schaffen, wobei der Träger nicht zu schnell angehoben oder abgesenkt wird, so daß das auf den Träger aufzubringende oder von ihm abzunehmende Plättchen nicht zwischen Plättchenfördereinrichtung und Träger eingeklemmt wird. Dadurch wird die Handhabung von dünnen, zerbrechlichen Werkstücken, wie dies Halbleiterplättchen nun einmal sind, wesentlich verbessert.
Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß die Spurschiene zwei miteinander abwechselnd gegeneinander versetzt angeordnete Reihen von Zähnen aufweist, und daß ein Gleitbügel mit einer Klinkenvorrichtung in einer quer zur Spurschiene verlaufenden hin- und hergehenden Bewegung antreibbar ist, deren jede Bewegung gegen die den Träger bewegende Kraft einen Schrittvorschub um jeweils einen Schritt liefert.
Vorteilhafterweise ist die Anordnung dabei so aufgebaut, daß die Zähne der Spurschiene sich gegenseitig überlappend und untereinander abwechselnd angeordnet sind.
Insbesondere ist diese neue Fördereinrichtung dadurch für die Aufnahme und Abgabe von Halbleiterplättchen geeignet, daß der Träger auf einer Trägerplattform einsetzbar ist, die auf der Spurschiene für einen schrittweisen Vorschub angebracht ist, daß für den Transport der Halbleiterplättchen von oder nach einer Bearbeitungsstation je eine Luftgleitbabn vorgesehen ist, und daß
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die einzelnen Vorschubpositionen des Trägers mit den Luftgleitbahnen ausrichtbar sind.
Dabei wird der Plattchenträger mit schrittweisen Vorschub bewegt, der auf einer Trägerplattform liegt, und der in Abwärtsrichtung durch die Schwerkraft zusammen mit einem ständig laufenden Motor und einer überlaufkupplung in seiner Vorschubgeschwindigkeit exakt gesteuert ist. In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird ein vollgefüllter Träger auf die Trägerplattform gebracht, wenn diese in ihrer obersten Stellung liegt. Der Träger wird durch öffnen oder Schließen eines elektromagnetisch betätigten Luftventils schrittweise weiterbewegt3 das als einfach wirkender Luftzylinder arbeitet, und einen Gleitbügel schiebt oder zieht. Die Schub- oder Zugbewegung steuert den schrittweisen Vorschub in seiner Geschwindigkeit. Eine Zahnstange ist an dem Schrittsehaltmechanismus befestigt, so daß der Träger dadurch schrittweise bewegt wird, daß ein Stift sich über die einzelnen Zähne der Spurstange bewegt. Der Stift wirkt dabei als mechanischer Schrittschaltanschlag auf der Zahnschiene, solange der Stift in Eingriff mit den Zähnen der Zahnstange ist. Liegt der Stift nicht an einem der Zähne der Zahnstange an, dann kann die Zahnstange unter dem Einfluß der Schwerkraft frei nach unten fallen. Sie wird jedoch nicht mit ständig zunehmender Geschwindigkeit fallen, da sie über eine Überlaufkupplung mit dem kontinuierlich laufenden Motor gekuppelt ist. Die Geschwindigkeit des Motors steuert und kontrolliert dabei die zulässige Fallgeschwindigkeit des Trägers.
Die Erfindung wird nunmehr anhand eines Ausführungsbeispieles in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen näher beschrieben. Dabei zeigt:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer bevorzugten
Ausführungsform einer erfindungsgemäß aufgebauten Vorrichtung,
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Fig. 2 eine Draufsicht auf die beiden Luftgleitbahnen
und die Schrittschaltsteuerung in Pig. I,
Fig. 3 eine Seitenansicht der beiden Luftgleitbahnen
und der Schrittschaltsteuerung in Fig. I1
Fig. 4 eine Einzelansicht beider Luftgleitbahnen mit
der Schrittschaltsteuerung,
Fig. 5 eine Schnittansicht längs der Linie 5/5 in Fig.
k, zur Darstellung der Spurvorrichtung,
Pigt 6 eine Schnittansicht längs der Linie 6/6 in Fig.
4, zur Darstellung des Zahnstangenantriebs,
Fig. 7 eine vergrößerte Schnittansicht längs der Linie
7/7 in Fig. 5, zur Darstellung der Spurvorrichtung und der Zahnstange in Detail,
Fig. θ eine vergrößerte Ansicht der Motorkupplung zum
Antrieb des Schrittschaltwerks,
Fig. 9 eine Schnittansicht längs der Linie 9/9 in
Fig. 8 und
Fig. 10 eine weitere Ausführungsform der Erfindung in
der Halbleiterplättchen von einem Träger nach einer Bearbeitungsstation transportiert werden.
In den Fign. 1, 2 und 3 ist in mehr oder weniger schematischer Form eine erfindungsgemäß aufgebaute Maschine für einen Träger dargestellt, der Halbleiterplättchen zwischen Träger oder einem Magazin und zwei Luftgleitbahnen durch einen Plattchenauswerfer-Aüfnahmemechanismus befördert. Das Bezugszeichen 10 bezeichnet eine Luftgleitanlage auf einer Grundplatte 12, die die
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Plättchen zwischen einer (nicht gezeigten) Bearbeitungsstation und einem schrittweise vorgeschobenen Träger oder Magazin 30 hin und her befördert. Die Luftgleitanlage 10 besteht aus einer Luftgleitbahn 14, die die Plättchen von dem Träger 30 nach einer Bearbeitungsstation fördert und einer darunter liegenden zweiten Luftgleitbahn 16, die die Plättchen von der Bearbeitungsstation nach dem Magazin oder Träger zurückführt. Verschiedene Lichtabschirmungen sind vorgesehen um jeden Lichtstrahl, der die Plättchen beschädigen könnte, fern zu halten. Die Lichtabschirmungen sollen außerdem verhindern, daß Plättchen herunterfallen. An der doppelten Luftgleitanlage 10 sind in geeigneter Weise eine obere Lichtabschirmung 40 und.eine untere Lichtabschirmung 42 angebracht. Eine dritte Lichtabschirmung 46 ist außerdem mit der Luftgleitanlage an einem Bügel 48 mit einer Schraube 50 befestigt. Außerdem ist der Bügel 48 mit einer Schraube 52 an der Luftgleitanlage befestigt. Die Lichtabschirmung 46 erstreckt sich in Längsrichtung parallel zum Magazin 30. Eine Photozelle 34 ist mit Hilfe einer Mutter 36 an dem.Bügel 48 befestigt. Die Photozelle 34 stellt dabei die Bewegung eines Plättchens zum Magazin 30 und von diesem weg fest. Der Träger oder das Magazin 30 ist auf einer Trägerplattform 44 angebracht, die ein Teil der Schritt-"schaltsteuerung 32 ist. Diese bewirkt eine schrittweise Bewegung der Trägerplattform 44 und damit des Magazins sowohl in Aufwärtsais auch in der Abwärtsrichtung, um aufeinanderfolgende Positionen zum Speichern von Plättchen im Magazin 30 mit dem Auswerferoder Aufnehmerarm 26 auszurichten. Der Auswerfer/ Aufnehmerarm 26 enthält auf jeder Seite des Armes Luftdüsen 29. Auf der Oberseite sind die Luftdüsen in Auswerfrichtung gerichtet, um ein Plättchen aus dem Träger auf die obere Luftgleitbahn auszustoßen, während an der unteren Seite die Luftdüsen in die Aufnahmeposition gerichtet sind, um die Plättchen von der unteren Luftgleitbahn 16 in das Magazin oder den Träger 30 hineinzuführen. Der Arm 26, der als Auswerfer oder Aufnehmer dient, kann entweder fest mit der Schrittschaltsteuerung verbunden sein oder, wie in der bevorzugten Ausführungsform von Pig. I gezeigt, kann dieser Auswerfer/Aufnehmerarm 26 schwenkbar gelagert sein, so daß er
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für das Beschicken und Entleeren des Magazins hin und her schwingbar ist.
Wie in den Pign· 1 und 2 gezeigt, ist der Auswerfer/Aufnehmerarm 26 für die Plättchen um einen Schwenkpunkt 25 verschwenkbar und mit einer abgewinkelten Lasche 24 am Gestellrahmen 18 der Luftgleitanlage befestigt. Ein Druckluftschlauch 28 liefert Druckluft an den Auswerfer/Aufnahmerann 26. Die Druckluftschläuche 28 sind ebenfalls mit den verschiedenen Teilen der Luftgleitanlage verbunden.
Die Fign. H bis 7 zeigen eine etwas mehr ins einzelne gehende Ansicht der Schrittschaltsteuerung 32. Das Magazin oder der Träger 30 wird in Längsrichtung schrittweise bewegt und ist auf der Trägerplattform 4l| angebracht» die wiederum fest mit der Plattformstütze 70 verbunden ist. Die Plattformstütze 70 wird durch Gleitschienen 78 geführt, wenn sie in Längsrichtung schrittweise weitergeschaltet wird. Die Gleitschienen oder Gleitstangen 78 sind ihrerseits an der Schrittschaltsteuerung an der Oberseite in einem Block 80 und an der unteren Seite in einer Stütze 82 angebracht, beispielsweise eingeschraubt. Ein Lager 130 stellt die Verbindung zwischen den Gleitschienen 78 und der Plattformstütze 70 her.
Die Mittel für die Vorspannung der Bewegung der Plattformstütze 70 längs der Gleitschienen oder Gleitstangen 78 und damit die Vorspannung der Bewegung des Magazins oder Trägers längs seiner Bahn ist am besten aus den Pign. 4 und 5 zu ersehen. In der hier gezeigten bevorzugten Ausfuhrungsform wird eine Steuerung der bei gleichmäßiger Geschwindigkeit erfolgenden schrittweisen Bewegung des Magazins durch die Schwerkraft in Verbindung mit einem kontinuierlich laufenden Motor und einer überlaufkopplung erreicht. Wenn sich die Plattformstütze 70 unter Einfluß der Schwerkraft nach unten bewegt, dann kann die Kupplung sich nicht schneller bewegen als der kontinuierlich laufende Motor» so daß sich auch der Träger 30 nach unten nicht mit einer höheren Ge-
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schwindigkeit bewegen kann als der kontinuierlich laufende Motor zuläßt. Das ermöglicht eine schrittweise Bewegung mit gleichförmiger Geschwindigkeit. Der Motor und der Kupplungsmechanismus sind im einzelnen in den Fign» 8 und 9 dargestellt. Der kontinuierlich laufende Motor 118 in Fig. 8 treibt die Antriebswelle 132, die in einem Stützlager 133 gelagert ist. Die Kupplung 134 wirkt mit dem Motorantrieb und dem Zahnkettengehäuse 136 zusammen und verhindert, daß die Kette 74 durch das Zahnkettengehäuse I36 angetrieben wird. Die Kette 74 ist am Boden der SchrittschaltSteuerung an einem Kettenzahnrad 124 befestigt, daß an der Stütze 82 mittels einer Achse 122 angebracht ist. Das andere Ende der Achse 122 läuft in einem Zapfenlager 120. Ein anderer Teil der Kette 74, mit dem Bezugszeichen 76 bezeichnet, ist an einer Lasche 72 befestigt, die an der Rückseite der Plattformstütze 70 angebracht ist. Damit bewirkt jede Bewegung der Kette 74 eine Längsbewegung der Plattform 70 und damit auch des Magazins 30. Durch den kontinuierlich laufenden Motor, die Kupplung und die Wirkung der Schwerkraft läßt sich also eine gleichförmige schrittweise Bewegung des Magazins 30 erreichen.
Die Plattformstütze wird abwechselnd freigegeben und angehalten, wodurch der Motor und die überlaufkupplung bewirken, daß die Plattformstütze und damit das Magazin in Längsrichtung, d.h. sich schrittweise nach oben und nach unten bewegt. Während in der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung der Schrittvorschub in Abwärtsrichtung im wesentlichen unter dem Einfluß der Schwerkraft erzielt wird, ist es dem Fachmann ohne weiteres klar, daß sich die Erfindung auch dahingehend abändern läßt, daß man eine starke Feder benutzt und damit einen Schrittvorschub in Aufwärtsrichtung erzielt. Die Mittel, die eine Bewegung der Plattformstütze 70 von der Halteposition aus ermöglichen, sind am besten aus den Fign. 5, 6 und 7 zu ersehen. Im wesentlichen dienen dazu eine Spurschiene auf der Seite der Plattform 70, die einzelne Schritte für den Schrittvorschub darstellt, sowie eine Spurvorrichtung, die eine genau gesteuerte schrittweise Bewegung der Plattformstütze gestattet. .
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Die Spurschiene 84 ist an der Seite der Plattformstütze 70 befestigt. Diese Spurschiene weist Spurzähne oder Rippen 86 und 87 auf, die gegeneinander versetzt in zwei verschiedenen Spuren längs der Schiene 84 angebracht sind, wie aus Fig. 6 zu ersehen ist. Jede dieser aus einzelnen Rippen oder Zähnen bestehende Spur wechselt mit der anderen Spur ab. Der Längsabstand zwischen einer Rippe 86 und einer Rippe 87 wird als Schritt bezeichnet. Dieser Schritt ist der Abstand von einem Plättchen zum andern im Träger 30. Der Schrittvorschub erfolgt an der Schiene 84 durch die Bewegung der Spurvorrichtung über die Rippen oder Zähne 86 und
Wie im Detail aus Fig. 7 zu ersehen ist, bewegt sich eine Klinke 90 in der Spurvorrichtung über die Rippen 86 und 87 unter Einfluß des ständig laufenden Motors und der Überlaufkupplung längs der Spurschiene 81I. Die Klinke hält im Ruhezustand die Plattformstütze. Die Klinke 90 ist am Block 88 an einem Zapfen beweglich gelagert und durch eine Feder 92 vorgespannt, die durch einen Niet 93 am Block 88 befestigt ist.
Die Mittel für die Bewegung der Spurvorrichtung über die Spurstange sind am besten aus Fign. 5 und 7 zu erkennen. Einer Luftdüse 96, die am Block 97 angebracht ist, wird Druckluft zugeführt. Im Block 97 ist ein Magnetventil vorgesehen, das durch Druckluft geöffnet und geschlossen wird und auf einen einfach wirkenden Druckluftzylinder einwirkt, der die Klinke 90 und den Gleitbügel 94 anzieht oder abstößt. Der Luftdruckzylinder 97 ist an dem Gehäuse an der rechten Seitenplatte 101 mit Hilfe eines Haltebügels 106 befestigt. Ein Winkelbügel 108 ist an der Kolbenstange des Luftdruckzylinders 97 befestigt und bewegt sich damit zusammen mit dem Kolben. Der Winkelbügel 108 ist mit seinem anderen Ende an dem Gleitbügel 94 befestigt, so daß die Bewegung des Luftdruckzylinders an den Gleitbügel übertragen werden kann und damit auch auf die Klinke 90. Der Gleitbügel 94 kann sich auf Kugeln in einer Richtung quer zur Spurschiene 84 in einer Richtung unter Einfluß von Druckluft und in der Gegenrichtung unter Einwirkung der Feder
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100 bewegen. Die Feder 100 ist an dem Gleitbügel durch eine Federhalterung 104 befestigt und mit ihrem anderen Ende am Block 102, der an der rechten Seitenplatte 101 des Gehäuses befestigt ist und als Halterung für die Feder 100 und als Anschlag für die Bewegung des Gleitbügels 94 dient. Ein weiterer Block 110 ist an der Frontplatte 105 des Gehäuses befestigt und entählt einen Puffer zur Begrenzung der Bewegung des Gleitbügels - 94 an der anderen Seite. Damit wird also die Wirkung des DruckluftZylinders über eine Reihe von Verbindungsstücken oder Laschen an den Gleitbügel übertragen und von dort auf das Klinkengehäuse, das letzlich die Bewegung der Klinke über die Zähne der Schiene bewirkt.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung ist in Fig. 10 gezeigt. Diese Vorrichtung dient nur zum Entnehmen von Halbleiterplättchen aus einem Magazin und zur Abgabe an eine Bearbeitungsstation. Der einzige Unterschied zwischen dieser reinen Ausgabestation und der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung besteht darin, daß der Auswerfer/Aufnehmerarm 26 nur auf einer Seite gerichtete Luftlöcher aufweist, die das Plättchen aus dem Träger herausdrücken. In diesem Fall ist der Auswerfer/Aufnehmerarm l40 an einem Druckluftrohr 142, das mit dem Block 144 verbunden ist, angeschlossen. Druckluft wird über eine Düse 146 im Block 144 zugeführt. In diesem Fall ist der Auswerferarm nicht schwenkbar angeordnet.
Der Betrieb der erfindungsgemäßen Ausführungsform wird nunmehr in Verbindung mit dem Vorgang des Beladens von Plättchen in den Träger beschrieben. Es leuchtet ein, daß eine andere Ausführungs7 form der Erfindung in der Weise arbeitet, daß Plättchen von einem beladenen Plattchenträger heraus gefördert werden. Ein Plättchen 4 gelangt von der Rücklauf-Luftgleitbahn in den Träger 30 mit Hilfe von gerichteten Luftstrahlen aus den an der Unterseite liegenden Luftdüsen des Auswerfer/Aufnehmerarms 26. Wenn das Plättchen 4 in den Träger 30 eintritt, wird der nach der Photozelle 34 gerichtete Lichtstrahl unterbrochen und betätigt über eine Steue-
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rung den Druckluftzylinder und den Druckluftblock 97, der sich von links nach rechts bewegt und damit die Klinke 90 quer über eine Rippe 86 der Spurschiene 84 führt. Somit bewegen sich der Träger unter der Einwirkung der Schwerkraft und dem konstanten Antrieb des Motors und der Überlaufkupplung um einen Schritt nach unten. Der Schrittvorschub wird durch die nächste Rippe mechanisch angehalten. Die nächste Bewegung der Schiene wird durch ein vor der Luftgleitbahn entnommenes Halbleiterplättchen bewirkt, wodurch die Klinke 90 sich von rechts nach links über die Rippe 87 bewegt, bis der Schrittvorschub erfolgt und die nächste Rippe 86 als Anschlag wirkt. Diese Operation wird so lange durchgeführt bis der Träger voll ist. Grenzschalter 112 und 114 sind an den oberen und unteren Enden der Spurschiene 84 angeordnet und geben ein Signal» daß der Träger voll beladen oder leer ist. Die Grenzschalter können außerdem dazu benutzt werden, Schaltkreise zu betätigen, die automatisch den Träger in eine Position für den Arbeitsbeginn bringen. Zu diesem Zeitpunkt wird der Auswerfer/ Aufnehmerarm 26 aus dem Träger 30 heraus geschwenkt, so daß der Träger von der Plattform abgenommen werden kann, ohne daß dadurch Plättchen beschädigt werden.
Selbstverständlich gibt es viele verschiedene Wege wie die Einrichtung zum Behandeln und Transportieren von Plättchen eingesetzt werden kann, je nachdem, was für eine Arbeit gerade mit den Plättchen durchgeführt werden muß. Diese neue Einrichtung eignet sich für eine ganze Anzahl von verschiedenen Operationen. In der in Fig. 1 gezeigten bevorzugten Ausfuhrungsform der Erfindung können Plättchen auch intermittierend oder abwechselnd in den Träger eingebracht oder aus diesem entnommen werden, statt den Träger vollständig zu beladen oder vollständig zu entladen. Somit kann zunächst ein erstes Plättchen dem Träger entnommen und dazu ein weiteres Plättchen dem Träger entnommen werden, während das erste Plättchen wieder dem Träger zugeführt wird, bevor anschließend weitere Plättchen entnommen werden. Diese Betriebsart kann entweder von Hand oder aber durch geeignete Steuer-
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schaltungen gesteuert werden. Die bevorzugte Ausführungsform der Erfindung würde diese Betriebsart dadurch erreichen, daß dem Träger entnommene und in den Träger eingebrachte Plättchen eine Photozelle betätigen, die den weiteren Schrittvorschub des Trägers nach einem bestimmten Zeitablauf, nach dem ein Plättchen aus dem Photozellenbereich entnommen ist, steuert.
Obgleich die bevorzugte Ausfuhrungsform der Erfindung einen kontinuierlich laufenden Motor in Verbindung mit einer Überlaufkupplung zur Erzielung einer gleichförmigen Bewegung benutzt, können andere mechanische Mittel, die dasselbe Ergebnis liefern, stattdessen verwendet werden. Eine mögliche andere Lösung eine gleichförmige Bewegung zu erzielen, wäre beispielsweise, daß man eine Geschwindigkeitssteuerschaltung und Federn mit konstanter Federkraft zur Vorspannung der Bewegung des Trägers in Richtung nach oben benutzt. In einer anderen Ausführungsform der Erfindung könnte die Vorrichtung speziell für die Entnahme für Plättchen aus dem Träger aufgebaut sein. In dieser Ausführungsform würde der Träger in der obersten Stellung auf einer Trägerplattform angebracht. Der Träger würde dann schrittweise nach unten befördert, bis ein Grenzschalter anspricht, der anzeigt, daß der Träger vollständig gefüllt ist. In einer solchen Ausführungsform läßt sich eine gleichförmige Bewegung des Trägers in Längsrichtung erzielen. In der hier gezeigten bevorzugten Ausführungsform der Fig. 1 wird der Träger dadurch wieder nach oben befördert, daß die Drehrichtung des Motors 118 umgekehrt wird, der die freilaufende Kupplung einschaltet und damit den nötigen Antrieb zum Heben des Trägers gegen die Vorspannung der Rastklinke 90 liefert.
In der Ausführungsform, in der der Träger schrittweise nach oben befördert wird, kann man Federn mit konstanter Federkraft verwenden, die die nötige Federvorspannung nach oben liefern, in Verbindung mit einer Umkehr der Spurvorspannung der Rastklinke 90.
Man kann außerdem auch eine Freilaufkupplung für den Rücklauf des Trägers oder eine Umkehr des Kupplungsantriebs verwenden oder man
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kann außerdem den Träger selbst von Hand gegen die Vorspannung der Rastklinke 90 in seine obere Endstellung bringen.
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Claims (7)

  1. - 13 PATENTANSPRÜCHE
    Fördereinrichtung mit einem längs einer Spurschiene schrittweise bewegbaren Träger zur Aufnahme und Abgabe von Teilen, dadurch gekennzeichnet, daß die Spurschiene (84) zwei miteinander abwechselnd gegeneinander versetzt angeordnete Reihen von Zähnen (86, 87) aufweist, und daß ein Gleitbügel (9-4) mit einer Klinkenvorrichtung in einer quer zur Spurschiene verlaufenden hin- und hergehenden Bewegung antreibbar ist, deren jede Bewegung gegen die den Träger (30) bewegende Kraft einen Schrittvorschub um jeweils einen Schritt bewirkt.
  2. 2. Fördereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zähne (86, 87) der Spurschiene sich gegenseitig überlappend und untereinander abwechselnd angeordnet sind.
  3. 3. Fördereinrichtung nach Anspruch 1 und 2 für die Aufnahme und Abgabe von Halbleiterplättchen von oder nach einer Bearbeitungsstation, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (30) auf einer Trägerplattform (41I) einsetzbar ist, die auf der Spurschiene (84) für einen schrittweisen Vorschub angebracht ist, und daß für den Transport der Halbleiterplättchen von oder nach einer Bearbeitungsstation je eine Luftgleitbahn (14, 16) vorgesehen ist, und daß die einzelnen Vorschubpositionen des Trägers (30) mit den Luftgleitbahnen (14, 16) ausrichtbar sind.
  4. 4. Fördereinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein Auswerfer/Aufnehmerarm (26) vorgesehen ist, der auf seiner Oberseite und auf seiner Unterseite Druckluftdüsen (29) enthält, die die Bewegung der Plättchen von dem Träger (30) auf eine Luftgleitbahn (l4) oder von einer Luftgleitbahn (16) auf den Träger bewirken.
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  5. 5. Fördereinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Auswerfer/Äufnehmerarm schwenkbar gelagert ist.
  6. 6. Fördereinrichtung nach Anspruch 1 bis 5» dadurch gekennzeichnet, daß die auf der Spurschiene (84) laufende Trägerplattform in einer Richtung durch die Schwerkraft in Verbindung mit einem kontinuierlich laufenden Motor (118), einer überlaufkupplung C136) und über eine mit der Trägerplatte verbundene Zahnkette (74) und in Gegenrichtung über Motor, überlaufkupplung und Zahnkette angetrieben ist,
  7. 7. Fördereinrichtung nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die hin- und hergehende Bewegung des Gleitbügels (94) mit Klinke (90) in einer Richtung durch Druckluft (96, 97) gegen die Vorspannung einer Feder (100) und in Gegenrichtung durch die Wirkung der Feder erfolgt.
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GB (1) GB1396550A (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0134621A1 (de) * 1983-05-20 1985-03-20 Proconics International Inc. Vorrichtung zum automatischen, präzisen Transportieren von Gegenständen, beispielsweise von Halbleiterscheiben

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3822025A (en) * 1973-03-16 1974-07-02 Gerber Scientific Instr Co Pressurized gas selector mechanism
US3948564A (en) * 1974-01-17 1976-04-06 Gca Corporation Fluid bearing apparatus and method utilizing selective turntable diverter structure
US3923342A (en) * 1974-06-10 1975-12-02 Motorola Inc Apparatus and method for handling frangible objects
US4034869A (en) * 1975-12-08 1977-07-12 Xerox Corporation Fluid means to load and unload a vertically movable document storage rack
US4027246A (en) * 1976-03-26 1977-05-31 International Business Machines Corporation Automated integrated circuit manufacturing system
JPS606096B2 (ja) * 1976-09-29 1985-02-15 三洋電機株式会社 薄板分離供給装置
US4178113A (en) * 1977-12-05 1979-12-11 Macronetics, Inc. Buffer storage apparatus for semiconductor wafer processing
US4348139A (en) * 1980-04-30 1982-09-07 International Business Machines Corp. Gas film wafer transportation system
US4449885A (en) * 1982-05-24 1984-05-22 Varian Associates, Inc. Wafer transfer system
WO1984003196A1 (en) * 1983-02-14 1984-08-16 Brooks Ass Articulated arm transfer device
US4666366A (en) * 1983-02-14 1987-05-19 Canon Kabushiki Kaisha Articulated arm transfer device
US4944636A (en) * 1988-09-07 1990-07-31 Oerlikon Motch Corporation Method and device for the transferring and accumulating of packing elements by air conveying
FR2642047B1 (fr) * 1989-01-26 1991-04-19 Sepaic Dispositif de contention sur un support standard d'articles de faible epaisseur
US5180276A (en) * 1991-04-18 1993-01-19 Brooks Automation, Inc. Articulated arm transfer device
US5431529A (en) * 1992-12-28 1995-07-11 Brooks Automation, Inc. Articulated arm transfer device
US5387067A (en) * 1993-01-14 1995-02-07 Applied Materials, Inc. Direct load/unload semiconductor wafer cassette apparatus and transfer system
KR100303018B1 (ko) * 1993-04-16 2001-11-22 스탠리 디. 피에코스 관절형아암이송장치
US6481956B1 (en) 1995-10-27 2002-11-19 Brooks Automation Inc. Method of transferring substrates with two different substrate holding end effectors
US5647724A (en) * 1995-10-27 1997-07-15 Brooks Automation Inc. Substrate transport apparatus with dual substrate holders
US6231297B1 (en) 1995-10-27 2001-05-15 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus with angled arms
US6299404B1 (en) 1995-10-27 2001-10-09 Brooks Automation Inc. Substrate transport apparatus with double substrate holders
KR100430885B1 (ko) * 1995-12-15 2004-06-16 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 관절아암을 구비한 물체이송장치
US5765983A (en) * 1996-05-30 1998-06-16 Brooks Automation, Inc. Robot handling apparatus
US6062798A (en) 1996-06-13 2000-05-16 Brooks Automation, Inc. Multi-level substrate processing apparatus
US5970807A (en) * 1996-08-26 1999-10-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Tweezer position checker
DE10261819B4 (de) * 2002-12-22 2005-04-21 Winau, Dominik, Dr. Verfahren und Vorrichtung zum Sortieren, Zählen und/oder Prüfen von Gegenständen
JP4449319B2 (ja) * 2003-03-25 2010-04-14 株式会社デンソー 製造管理方法
JP4215677B2 (ja) * 2003-08-25 2009-01-28 日立ビアメカニクス株式会社 レーザ加工機及びレーザ加工方法
US7097714B2 (en) * 2003-09-17 2006-08-29 Intersil Americas Inc. Particulate removal from an electrostatic chuck
JP4751460B2 (ja) * 2009-02-18 2011-08-17 東京エレクトロン株式会社 基板搬送装置及び基板処理システム

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3004262A (en) * 1959-07-14 1961-10-17 Western Electric Co Apparatus for attaching electrical components to wiring boards
US3645581A (en) * 1968-11-26 1972-02-29 Ind Modular Systems Corp Apparatus and method for handling and treating articles

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0134621A1 (de) * 1983-05-20 1985-03-20 Proconics International Inc. Vorrichtung zum automatischen, präzisen Transportieren von Gegenständen, beispielsweise von Halbleiterscheiben

Also Published As

Publication number Publication date
FR2161967A1 (de) 1973-07-13
GB1396550A (en) 1975-06-04
US3730595A (en) 1973-05-01
JPS5529580B2 (de) 1980-08-05
FR2161967B1 (de) 1974-08-19
JPS4864883A (de) 1973-09-07

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