DE20205819U1 - Vorrichtung zur Bereitstellung von hochreinen Prozesschemikalien - Google Patents

Vorrichtung zur Bereitstellung von hochreinen Prozesschemikalien

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Claims (19)

1. Vorrichtung zur Bereitstellung von hochreinen Prozesschemikalien, insbesondere für die Halbleiterindustrie, mit
diversen Komponenten, die zusammengeschaltet sind, um eine oder mehrere bestimmte gewünschte Funktionen für die Bereitstellung und Verarbeitung der Prozesschemikalien auszuführen,
Verbindungsleitungen (42 bis 44) zwischen den Komponenten,
Steuerungselemente zur Steuerung der Komponenten und mit
mindestens einem Gehäuse (11 bis 14), vorzugsweise einem Schrankelement, in dem die Komponenten, Verbindungsleitungen und Steuerungselemente enthalten sind,
gekennzeichnet durch
mindestens ein Funktionsmodul (200), das hinsichtlich der gewünschten Funktion(en) aus zur Verfügung stehenden, definierten Funktionsmodulen (200) ausgewählt ist, zu denen bestimmte Komponenten zusammengefasst sind, und
mindestens ein Steuerungsmodul (400), in dem die Steuerungselemente zusammengefasst sind, sowie
ferner dadurch gekennzeichnet, dass
das mindestens ein Gehäuse (11 bis 14) in mehrere definierte Abteile unterteilt ist, von denen mindestens ein erstes Abteil (21, 22) das mindestens eine Funktionsmodul (200), mindestens ein zweites Abteil (4) das Steuerungsmodul (400) und mindestens ein drittes Abteil Verbindungsleitungen (42 bis 44) enthält.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass außerdem mindestens ein Schnittstellenmodul (300) zur Anbindung des mindestens einen Funktionsmoduls (200) und in dem mindestens einen Gehäuse (11 bis 14) mindestens ein viertes Abteil (3), dass das mindestens eine Schnittstellenmodul (300) enthält, vorgesehen sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Schnittstellenmodul (300) in dem mindestens einen vierten Abteil (3) des mindestens einen Gehäuses (11 bis 14) herausnehmbar angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine vierte Abteil (3) des mindestens einen Gehäuses als Einschubfach ausgebildet ist.
5. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Funktionsmodul (200) in dem mindestens einen ersten Abteil (21, 22) und/oder das Steuerungsmodul (400) in dem mindestens einen zweiten Abteil (4) des mindestens einen Gehäuses (11 bis 14) herausnehmbar angeordnet ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine erste und/oder zweite Abteil des mindestens einen Gehäuses als Einschubfach ausgebildet ist.
7. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, bei welcher die Verbindungsleitungen (42, 43, 44) hydraulische Zuleitungen und hydraulische Ableitungen umfassen, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine dritte Abteil des mindestens einen Gehäuses die Zuleitungen enthält und in dem mindestens einen Gehäuse mindestens ein fünftes Abteil vorgesehen ist, das die Ableitungen enthält.
8. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, bei welcher die Verbindungsleitungen hydraulische Hilfsleitungen (43) umfassen, dadurch gekennzeichnet, dass in dem mindestens einen Gehäuse mindestens ein sechstes Abteil vorgesehen ist, das die Hilfsleitungen (43) enthält.
9. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, bei welcher die Verbindungsleitungen elektrische Verbindungsleitungen umfassen, dadurch gekennzeichnet, dass in dem mindestens einen Gehäuse (11 bis 14) mindestens ein siebentes Abteil (52) vorgesehen ist, das die elektrischen Verbindungsleitungen enthält.
10. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, mit Be- und Entlüftungskanälen (54, 56), dadurch gekennzeichnet, dass in dem mindestens einen Gehäuse mindestens ein achtes Abteil (54, 56) vorgesehen ist, das die Be- und Entlüftungskanäle (54, 56) aufweist.
11. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in dem mindestens einen Gehäuse (11 bis 14) jedes Abteil (21, 22, 3, 4) an einem definierten Ort angeordnet ist.
12. Vorrichtung nach den Ansprüchen 9 und 11, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine siebente Abteil (52) im Oberteil des mindestens einen Gehäuses (11 bis 14) angeordnet ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine zweite Abteil (4) im Oberteil des mindestens einen Gehäuses (11 bis 14) angeordnet ist.
14. Vorrichtung nach Anspruch 10 sowie nach mindestens einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine achte Abteil im Oberteil des mindestens einen Gehäuses angeordnet ist.
15. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 14, gekennzeichnet durch mehrere, vorzugsweise nebeneinander angeordnete und/oder miteinander verbundene Gehäuse (11).
16. Vorrichtung nach Anspruch 15 sowie nach mindestens einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass in jedem Gehäuse (11) das Abteil (21, 22, 3, 4) der gleichen Art an dem gleichen definierten Ort angeordnet ist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 10 sowie nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass die achten Abteile in den Gehäusen so angeordnet sind, dass sie bei miteinander verbundenen Gehäusen im wesentlichen direkt miteinander gekoppelt sind.
18. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, mit einer elektronischen Steuerungseinrichtung, gekennzeichnet durch ein von dem mindestens einen Gehäuse im wesentlichen abgetrenntes Zusatzgehäuse (16), in dem die elektronische Steuerungseinrichtung enthalten ist.
19. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswahl der zur Verfügung stehenden, definierten Funktionsmodule (200) ein Wartungs- und Musterziehungsmodul, das insbesondere Spülschaltungen enthält, ein Analysemodul z. B. für die Messung der Leitfähigkeit, Titration und Partikel, ein Befeuchtermodul, insbesondere um Prozessstickstoff zu sättigen, ein Tankmodul, das insbesondere als Tagestank- und/oder Anliefertankmodul verwendet wird, ein DI-Modul zum Abspülen von z. B. ausgelaufenen Chemikalien, ein Mischmodul, das insbesondere Ventile oder Ventilgruppen enthält, ein Mischtankmodul, das vorzugsweise eine Sensorik zur Ermittlung des Mischungsverhältnisses aufweist, ein Sensormodul, insbesondere zur Ermittlung des Durchflusses, des pH- Wertes und/oder der Dichte der betreffenden Prozesschemikalie(n), ein Einzelpumpenmodul, ein Doppelpumpenmodul, Einzelfiltermodul und ein Doppelfiltermodul umfasst.
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