DE19952195A1 - Plant for processing wafers - Google Patents

Plant for processing wafers

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DE19952195A1
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Infineon Technologies AG
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Abstract

The invention relates to a machine for processing wafers, comprising several production units (2) and measuring units (3) and a transport system for transporting the wafers. A transport control unit (9) is arranged in the transport system, which comprises a means of storing the processing sequence of the wafers. Control commands are generated in the transport control unit (9), as a function of these parameters, and may be issued to the transport system for controlling the execution of the transport of the wafers.

Description

Die Erfindung betrifft eine Anlage zur Bearbeitung von Wafern gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention relates to a system for processing wafers according to the preamble of claim 1.

Derartige Anlagen umfassen eine Vielzahl von Fertigungsein­ heiten, mit welchen unterschiedliche Fertigungsprozesse durchgeführt werden. Bei diesen Fertigungsprozessen handelt es sich insbesondere um Ätzprozesse, Nasschemieverfahren, Diffusionsprozesse sowie diverse Reinigungsverfahren wie zum Beispiel CMP-Verfahren (Chemical Mechanical Polishing). Für jeden dieser Prozesse sind eine oder mehrere Fertigungsein­ heiten vorgesehen, in welchen verschiedene Fertigungsschritte eines Fertigungsprozesses durchgeführt werden.Such systems include a variety of manufacturing with which different manufacturing processes be performed. Acting in these manufacturing processes etching processes, wet chemical processes, Diffusion processes and various cleaning processes such as Example CMP process (Chemical Mechanical Polishing). For each of these processes are one or more manufacturing processes units provided in which different manufacturing steps of a manufacturing process.

Zudem umfassen derartige Anlagen eine Vielzahl von Messein­ heiten. In den Messeinheiten wird die Bearbeitungsqualität von einem oder mehreren Fertigungsschritten eines Fertigungs­ prozesses überprüft.Such systems also include a large number of trade fairs units. The processing quality is in the measuring units of one or more manufacturing steps of a manufacturing process checked.

Der gesamte Fertigungsprozess unterliegt strengen Reinheits­ anforderungen, so dass die Fertigungseinheiten und Messein­ heiten in einem Reinraum oder in einem System von Reinräumen angeordnet sind.The entire manufacturing process is subject to strict purity requirements so that the manufacturing units and measurement units in a clean room or in a system of clean rooms are arranged.

Die Wafer werden in als Kassetten ausgebildeten Behältern in vorbestimmten Losgrößen über ein Transportsystem den einzel­ nen Fertigungseinheiten zugeführt. Auch der Abtransport der Kassetten nach Bearbeitung dieser Wafer erfolgt über das Transportsystem.The wafers are placed in containers designed as cassettes predetermined lot sizes via a transport system the individual NEN production units supplied. The removal of the Cassettes after processing these wafers is done through the Transport system.

Das Transportsystem weist typischerweise ein Fördersystem mit einer Vielzahl von Förderern auf, welche beispielsweise in Form von Rollenförderern ausgebildet sind. Die Kassetten mit den Wafern werden dabei auf den Rollenförderern aufliegend transportiert. Alternativ kann das Fördersystem auch aus Ste­ tigförderern, Hängeförderern oder dergleichen bestehen.The transport system typically has a conveyor system a variety of sponsors, for example in Form of roller conveyors are formed. The tapes with the wafers are placed on the roller conveyors  transported. Alternatively, the conveyor system can also be made from Ste tig conveyors, overhead conveyors or the like exist.

Zur Steuerung derartiger Anlagen ist üblicherweise ein Mate­ rialdispositionssystem vorgesehen. Mittels dieses Material­ dispositionssystems werden Wafer in bestimmter Anzahl aus ei­ nem Lager oder dergleichen ausgelagert und in Losen zusammen­ gefasst. Für die einzelnen Lose werden Arbeitspläne erstellt, die die einzelnen Bearbeitungsschritte enthalten, welche mit den Wafern beim Durchlauf durch die Anlage in den einzelnen Fertigungseinheiten und Messeinheiten durchgeführt werden. Zudem erfolgt über das Materialdispositionssystem eine Verga­ be von Prioritäten für die einzelnen Wafer. Anhand dieser Priorisierung ergibt sich eine bestimmte Bearbeitungsreihen­ folge für die Wafer der unterschiedlichen Lose.A mate is usually used to control such systems rialdisposition system provided. By means of this material In the dispensing system, wafers are made from a certain number outsourced a warehouse or the like and together in lots composed. Work plans are created for the individual lots, which contain the individual processing steps, which with the wafers as they pass through the system in the individual Manufacturing units and measuring units are carried out. In addition, a Verga takes place via the material planning system be priorities for each wafer. Based on this Prioritization results in a certain processing series for the wafers follow the different lots.

Schließlich werden die Wafer über das Materialdispositions­ system dem Transportsystem zugeführt, über welches die Zufuhr der Behälter mit den Wafern zu den einzelnen Fertigungsein­ heiten und Messeinheiten erfolgt. Dabei werden die Behälter im Transportsystem mit vorgegebenen losbezogenen Transport­ aufträgen eingelastet. Die Transportaufträge enthalten insbe­ sondere die Zielorte für die einzelnen Behälter, wobei die Zielorte von Fertigungseinheiten und Messeinheiten gebildet sind.Finally, the wafers are about material disposition system supplied to the transport system via which the supply the container with the wafers for the individual manufacturing units and units of measurement. The containers in the transport system with predetermined lot-related transport orders posted. The transport orders contain in particular in particular the destinations for the individual containers, the Destinations formed by manufacturing units and measuring units are.

Anhand dieser Transportaufträge werden die Behälter den ein­ zelnen Zielorten zugeführt. Nachteilig hierbei ist, dass da­ bei das Transportsystem häufig ungleichmäßig ausgelastet ist. Insbesondere tritt häufig der Fall auf, dass eine beträchtli­ che Anzahl von Förderern überlastet ist, so dass für die dar­ auf befindlichen Behälter unerwünschte Wartezeiten auftreten. Derartige Wartezeiten vergrößern die Durchlaufzeiten der Wa­ fer durch die Anlage beträchtlich, was insbesondere auch zu einer unerwünschten Erhöhung der Herstellkosten der Wafer führt. Based on these transport orders, the containers are the one supplied to individual destinations. The disadvantage here is that the transport system is often unevenly utilized. In particular, there is often the case that a considerable che number of sponsors is overloaded, so that for the undesirable waiting times occur on the container. Such waiting times increase the throughput times of the wa fer through the plant considerably, which in particular also an undesirable increase in the manufacturing costs of the wafers leads.  

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anlage der eingangs genannten Art so auszubilden, dass die Durchlaufzei­ ten der Wafer bei deren Bearbeitung in der Anlage möglichst gering sind.The invention has for its object a system of trained in such a way that the throughput time If possible, the wafers should be processed in the system are low.

Zur Lösung dieser Aufgabe sind die Merkmale des Anspruchs 1 vorgesehen. Vorteilhafte Ausführungsformen und zweckmäßige Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen be­ schrieben.To achieve this object, the features of claim 1 intended. Advantageous embodiments and expedient Developments of the invention are in the dependent claims wrote.

Erfindungsgemäß ist dem Transportsystem eine Transportsteuer­ einheit zugeordnet, welche Mittel zur Erfassung des Auslas­ tungszustands der Anlage und Mittel zur Speicherung der Bear­ beitungsreihenfolgen der Wafer aufweist.According to the invention, the transportation system is a transportation tax unit assigned which means of recording the outlet Condition of the system and means for storing the machining processing order of the wafers.

In Abhängigkeit des Auslastungszustands der Anlage und der Bearbeitungsreihenfolge der Wafer werden in der Trans­ portsteuereinheit Steuerbefehle generiert und sind an das Transportsystem zur Steuerung des Ablaufs des Transports der Wafer ausgebbar.Depending on the utilization state of the plant and the Processing order of the wafers are in the Trans Port control unit generates control commands and are sent to the Transport system for controlling the process of transporting the Wafers dispensable.

Der Grundgedanke der Erfindung liegt darin, dass über die Transportsteuereinheit der Transport der Wafer über das Transportsystem schnell und flexibel an den Auslastungszu­ stand der Anlage angepasst werden kann. Insbesondere sind Mittel zur Erfassung der Auslastungszustände der einzelnen Komponenten des Transportsystems vorgesehen, die beispiels­ weise von Sensoren gebildet sind.The basic idea of the invention is that about the Transport control unit the transport of the wafers over the Transport system quickly and flexibly at the workload status of the system can be adjusted. In particular are Means for recording the occupancy of the individual Components of the transport system provided, for example are formed by sensors.

Anhand dessen wird in der Transportsteuereinheit erfasst, welche Transportwege aktuell überlastet und welche noch freie Transportkapazitäten aufweisen. Zudem wird auch erfasst, wie stark die momentane Auslastung der einzelnen Fertigungsein­ heiten und Messeinheiten ist.Based on this, it is recorded in the transport control unit that which transport routes are currently overloaded and which are still free Have transport capacities. It also records how strongly the current utilization of the individual production units and units of measurement.

Anhand dieser Informationen werden in der Transportsteuerein­ heit Steuerbefehle generiert, anhand derer die Wafer unter optimaler Ausnutzung der Transport- und Bearbeitungskapazitä­ ten der Anlage den einzelnen Zielorten zugeführt werden.Based on this information, the transport tax generated control commands, based on which the wafer under  optimal use of transport and processing capacity ten of the plant to the individual destinations.

Insbesondere können die Steuerbefehle derart ausgebildet wer­ den, dass an die aktuellen Transport- und Bearbeitungskapazi­ täten angepasste Transportaufträge generiert werden.In particular, the control commands can be designed in this way that to the current transport and processing capacities customized transport orders are generated.

Dabei werden vorteilhaft auch Transportaufträge für einzelne Behälter mit Wafern in Teiltransportaufträge gegliedert. Die Bindung der Wafer an einen bestimmten Behälter während des Durchlaufs durch die Anlage wird damit aufgegeben. Vielmehr werden über die Transportsteuereinheit die Wafer so grup­ piert, dass diese angepasst an den aktuellen Bearbeitungszu­ stand möglichst direkt und ohne Wartezeiten der jeweils ge­ eigneten Fertigungseinheit oder Messeinheit zugeführt werden.Transport orders for individuals are also advantageous Containers with wafers divided into partial transport orders. The Binding of the wafers to a specific container during the Passing through the plant is thus abandoned. Much more the wafers are so grouped via the transport control unit piert that this adapted to the current machining stood as directly as possible and without waiting for the respective own production unit or measuring unit.

Zudem erfolgt in der Transportsteuereinheit für diese Wafer jeweils eine geeignete Auswahl des Transportwegs, wobei ins­ besondere überlastete Teilstrecken des Transportsystems um­ fahren werden.In addition, this wafer is carried out in the transport control unit in each case a suitable selection of the transport route, ins special overloaded sections of the transport system will drive.

Auf diese Weise können die Durchlaufzeiten der Wafer durch die Anlage sehr gering gehalten werden.In this way, the throughput times of the wafers the system can be kept very low.

Die Erfindung wird im nachstehenden anhand der Zeichnungen erläutert. Es zeigen:The invention is described below with reference to the drawings explained. Show it:

Fig. 1: Schematische Darstellung einer Anlage zur Fertigung von Halbleiterprodukten mit einer Anordnung von Be­ arbeitungsstationen. Fig. 1: Schematic representation of a system for the production of semiconductor products with an arrangement of Be processing stations.

Fig. 2: Blockschaltbild von Komponenten zur Ablaufsteuerung der Anlage gemäß Fig. 1. Fig. 2: Block diagram of components for flow control of the system of FIG. 1.

In Fig. 1 ist schematisch eine Anlage zur Bearbeitung von Wafern dargestellt. Die Anlage weist eine Vielzahl von Bear­ beitungsstationen 1 auf, wobei in einer Bearbeitungsstation 1 eine oder mehrere Fertigungseinheiten 2 oder Messeinheiten 3 vorgesehen sind.In Fig. 1 a plant is shown schematically for processing wafers. The plant comprises a plurality of Bear beitungsstationen 1 on, being provided in a processing station 1, one or several production units or measuring units 2. 3

Die Fertigungseinheiten 2 dienen zur Durchführung unter­ schiedlicher Fertigungsschritte bei den für die Bearbeitung der Wafer erforderlichen Fertigungsprozessen. Diese Ferti­ gungsprozesse umfassen insbesondere Ätzprozesse, Nasschemie­ verfahren, Diffusionsprozesse sowie Reinigungsverfahren. Für die einzelnen Fertigungsprozesse können entsprechend der An­ zahl der durchzuführenden Fertigungsschritte eine oder mehre­ re Fertigungseinheiten 2 vorgesehen sein.The manufacturing units 2 are used to carry out different manufacturing steps in the manufacturing processes required for processing the wafers. These manufacturing processes include in particular etching processes, wet chemical processes, diffusion processes and cleaning processes. One or more production units 2 can be provided for the individual production processes in accordance with the number of production steps to be carried out.

Die Messeinheiten 3 dienen zur Überprüfung der Bearbeitungs­ qualität der in den einzelnen Fertigungseinheiten 2 durchge­ führten Fertigungsschritte.The measuring units 3 serve to check the machining quality of the manufacturing steps carried out in the individual manufacturing units 2 .

Die Bearbeitungsstationen 1 mit den einzelnen Fertigungsein­ heiten 2 und Messeinheiten 3 sind in einem Reinraum 4 ange­ ordnet und über ein Transportsystem miteinander verbunden. Alternativ können die Bearbeitungsstationen 1 über ein System von Reinräumen 4 verteilt sein.The processing stations 1 with the individual manufacturing units 2 and measuring units 3 are arranged in a clean room 4 and connected to one another via a transport system. Alternatively, the processing stations 1 can be distributed over a system of clean rooms 4 .

Das Transportsystem weist ein Fördersystem 5 mit mehreren Förderern 5a auf, welches die Wafer den einzelnen Bearbei­ tungsstationen 1 zuführt. Für die Zufuhr und Abfuhr der Wafer weisen die Bearbeitungsstationen 1 nicht dargestellte Be- und Entladestationen auf. Die Wafer werden dabei in Behältern 6 transportiert, welche vorzugsweise als Kassetten ausgebildet sind. Die Förderer 5a können in Form von Rollenförderern, Stetigförderern oder dergleichen ausgebildet sein. Zwischen den Förderern 5a können Übergabestationen oder dergleichen zur Übergabe der Wafer vorgesehen sein. Das Transportsystem kann zudem ein nicht dargestelltes Speichersystem aufweisen, welches mehrere im Reinraum 4 verteilte Speicher umfasst. Diese Speicher können insbesondere als Stocker ausgebildet sein. In diesen Speichern werden Behälter 6 mit Wafern zwi­ schengelagert. Beispielsweise können dort Behälter 6 zwischengelagert werden, welche Wafer enthalten, die in den ein­ zelnen Fertigungseinheiten 2 fehlerhaft bearbeitet wurden. Zu geeigneten Zeitpunkten werden diese zur Nacharbeit aus den Speichern ausgelagert und bestimmten Fertigungseinheiten 2 zugeführt.The transport system has a conveyor system 5 with a plurality of conveyors 5 a, which feeds the wafers to the individual processing stations 1 . For the supply and removal of the wafers, the processing stations 1 have loading and unloading stations, not shown. The wafers are transported in containers 6 , which are preferably designed as cassettes. The conveyor 5 a can be designed in the form of roller conveyors, continuous conveyors or the like. Transfer stations or the like can be provided between the conveyors 5 a for transferring the wafers. The transport system can also have a storage system, not shown, which comprises a plurality of storage devices distributed in the clean room 4 . These stores can in particular be designed as stockers. Containers 6 with wafers are temporarily stored in these stores. For example, containers 6 can be stored there, which contain wafers that were incorrectly processed in the individual production units 2 . At suitable times, these are swapped out of the memories for reworking and fed to specific production units 2 .

Im vorliegenden Ausführungsbeispiel erfolgt der Transport der Wafer über das Transportsystem vollautomatisch und ohne jeg­ lichen Personaleinsatz. Alternativ kann der Transport der Wa­ fer auch teilweise manuell erfolgen.In the present embodiment, the Wafers via the transport system fully automatically and without any personnel deployment. Alternatively, the transport of the wa fer partially done manually.

Fig. 2 zeigt ein Blockschaltbild zur Ablaufsteuerung der An­ lage zur Bearbeitung von Wafern. Ein zentrales Produkti­ onsplanungs- und Steuerungssystem 7 ist an ein Produktions­ leitsystem 8 angeschlossen. An das Produktionsleitsystem 8 sind die einzelnen Bearbeitungsstationen 1 mit den Ferti­ gungseinheiten 2 und Messeinheiten 3 angeschlossen. An das Produktionsleitsystem 8 ist zudem eine Transportsteuereinheit 9 angeschlossen. An die Transportsteuereinheit 9 wiederum ist eine Fördertechniksteuerung 10 angeschlossen, welche mit dem Fördersystem 5 des Transportsystems verbunden ist. Fig. 2 shows a block diagram for sequence control of the system for processing wafers. A central production planning and control system 7 is connected to a production control system 8 . The individual processing stations 1 with the production units 2 and measuring units 3 are connected to the production control system 8 . A transport control unit 9 is also connected to the production control system 8 . In turn, a conveyor control 10 is connected to the transport control unit 9 , which is connected to the conveyor system 5 of the transport system.

Die vorgenannten Komponenten der Anlage weisen jeweils we­ nigstens eine Rechnereinheit auf. Die Anschlüsse zwischen den einzelnen Komponenten sind jeweils als bidirektionale Daten­ leitungen zwischen den einzelnen Rechnereinheiten dieser Kom­ ponenten ausgebildet.The aforementioned components of the system each have we at least one computer unit. The connections between the individual components are each as bidirectional data lines between the individual computer units of this com components trained.

Das Produktionsplanungs- und Steuerungssystem 7 dient zur Ka­ pazitätsermittlung und Bedarfsermittlung für die gesamte An­ lage. Die Kapazitäten und Bedarfe zur Bearbeitung der Wafer in den einzelnen Fertigungs- 2 und Messeinheiten 3 werden für Zeiträume in der Größenordnung von einigen Tagen bis Wochen vorausgeplant. Anhand dieser Planung erfolgt eine Zuordnung von bestimmten Bearbeitungsschritten für Fertigungseinheiten 2 und Messeinheiten 3, die hierfür besonders geeignet sind. Zudem werden in dem Produktionsplanungs- und Steuerungssystem 7 Fertigungsaufträge und Arbeitspläne für die Bearbeitung der Wafer generiert.The production planning and control system 7 is used to determine the capacity and the requirements for the entire system. The capacities and requirements for processing the wafers in the individual manufacturing 2 and measuring units 3 are planned in advance for periods of the order of a few days to weeks. On the basis of this planning, certain processing steps for production units 2 and measuring units 3 are assigned , which are particularly suitable for this. In addition, 7 production orders and work plans for processing the wafers are generated in the production planning and control system.

In dem Produktionsleitsystem 8 werden zu Beginn des Bearbei­ tungsprozesses mehrere Wafer zu Losen zusammengefasst, wobei die Wafer eines Loses anfänglich untergebracht werden. Hierzu werden die entsprechenden Wafer über das Produktionsleitsys­ tem 8 aus einem Lager ausgelagert und manuell oder maschinell in Behältern 6 untergebracht.In the production control system 8 , several wafers are combined into lots at the beginning of the processing process, the wafers of one lot initially being accommodated. For this purpose, the corresponding wafers are outsourced from a warehouse via the production control system 8 and accommodated manually or mechanically in containers 6 .

Von dem Produktionsplanungs- und Steuerungssystem 7 werden in das Produktionsleitsystem 8 die einzelnen Arbeitspläne und Fertigungsaufträge eingelesen, abgespeichert und verwaltet.The individual work plans and production orders are read, stored and managed by the production planning and control system 7 in the production control system 8 .

Anhand der Arbeitspläne und Fertigungsaufträge werden vom Produktionsleitsystem 8 die entsprechenden Vorgaben in die einzelnen Fertigungs- 2 und Messeinheiten 3 eingelesen. Von den einzelnen Fertigungs- 2 und Messeinheiten 3 werden je­ weils die aktuellen Zustände dieser Einheiten an das Produk­ tionsleitsystem 8 gemeldet. Insbesondere werden auch die ak­ tuellen Bearbeitungszustände der einzelnen Wafer in den ein­ zelnen Fertigungs- 2 und Messeinheiten 3 in das Produktions­ leitsystem 8 eingelesen.The production control system 8 uses the work plans and production orders to read the corresponding specifications into the individual production 2 and measurement units 3 . The current states of these units are each reported to the production control system 8 by the individual manufacturing 2 and measuring units 3 . In particular, the ak tual processing states of the individual wafers in an individual manufacturing 2 and measuring units 3 are read into the production control system. 8

Sämtliche dieser Informationen werden im Produktionsleitsys­ tem 8 fortlaufend registriert, wodurch die aktuellen Bearbei­ tungszustände der Wafer sowie die Auslastungszustände der Fertigungs- 2 und Messeinheiten 3 in dem Produktionsleitsys­ tem 8 verfügbar sind.All this information is continuously recorded tem 8 in Produktionsleitsys, making the current machining the wafer and the utilization states cases within the manufacturing 2 and measuring units 3 in the Produktionsleitsys tem 8 are available.

Anhand dieser Daten wird im Produktionsleitsystem 8 der Aus­ stoß der Anlage an Wafern erfasst und an das Produktionspla­ nungs- und Steuerungssystem 7 rückgemeldet.Based on this data, the shock from the system of wafers and detected nungs- to the Produktionspla and control system 7 confirmed the production control system. 8

Zudem erfolgt anhand der Daten im Produktionsleitsystem 8 ei­ ne Priorisierung für die Bearbeitung der einzelnen Wafer oder Lose, wobei diese Planung typischerweise innerhalb eines Zeithorizonts von einigen Minuten bis Stunden variiert. Die Priorisierung der Wafer ist dabei insbesondere abhängig von deren Bearbeitungszuständen.In addition, the data in the production control system 8 are used to prioritize the processing of the individual wafers or lots, this planning typically varying from a few minutes to hours within a time horizon. The prioritization of the wafers depends in particular on their processing states.

Die Transportsteuereinheit 9 dient zur Steuerung des gesamten Transportsystems. Hierzu werden in der Transportsteuereinheit 9 die Auslastungszustände der einzelnen Fertigungseinheiten 2, Messeinheiten 3 und insbesondere der Komponenten des Transportsystems fortlaufend erfasst. In Abhängigkeit dieser Parameter sowie der Bearbeitungszustände der Wafer werden in der Transportsteuereinheit 9 Steuerbefehle generiert, in Ab­ hängigkeit derer der Ablauf des Transports der Wafer erfolgt. Diese Steuerung erfolgt vorzugsweise nahezu ohne Verzöge­ rungszeiten oder mit Reaktionszeiten von maximal einigen Se­ kunden.The transport control unit 9 is used to control the entire transport system. For this purpose, the load states of the individual production units 2 , measuring units 3 and in particular the components of the transport system are continuously recorded in the transport control unit 9 . Depending on these parameters and the processing states of the wafers, 9 control commands are generated in the transport control unit, depending on which the transport of the wafers takes place. This control is preferably carried out almost without delay times or with response times of a maximum of a few seconds.

Die Bearbeitungszustände und Bearbeitungsreihenfolgen der Wa­ fer werden von dem Produktionsleitsystem 8 in die Trans­ portsteuereinheit 9 eingegeben. Die Bearbeitungsreihenfolgen der Wafer sind durch die Vergabe der Prioritäten in dem Pro­ duktionsleitsystem 8 vorgegeben. In Abhängigkeit hiervon wer­ den Transportaufträge für die Wafer in dem Produktionsleit­ system 8 generiert und in die Transportsteuereinheit 9 einge­ lesen. Diese Transportaufträge beziehen sich vorzugsweise je­ weils auf ein Los mit Wafern. Die Auslastungszustände der einzelnen Fertigungs- 2 und Messeinheiten 3 werden in dem Produktionsleitsystem 8 erfasst und ebenfalls in die Trans­ portsteuereinheit 9 eingelesen.The processing states and processing sequences of the wa fer are entered by the production control system 8 into the port control unit 9 . The processing sequences of the wafers are predetermined by the allocation of priorities in the production control system 8 . Depending on this, who generates the transport orders for the wafers in the production control system 8 and read them into the transport control unit 9 . These transport orders preferably each relate to a lot with wafers. The load states of the individual manufacturing 2 and measuring units 3 are recorded in the production control system 8 and also read into the port control unit 9 .

Zur Erfassung der Auslastungszustände der weiteren Komponen­ ten der Anlage, insbesondere des Transportsystems ist ein System von Sensoren vorgesehen, deren Ausgangssignale in die Transportsteuereinheit 9 eingelesen werden.A system of sensors is provided to detect the utilization states of the other components of the system, in particular the transport system, the output signals of which are read into the transport control unit 9 .

Dabei sind die Sensoren insbesondere von Barcodelesegeräten gebildet. Mit diesen Barcodelesegeräten werden Barcodes er­ fasst, die zum einen auf den einzelnen Behältern 6 und zum anderen direkt auf den Wafern angeordnet sind. Anhand dieser Barcodes sind die Behälter 6 und Wafer eindeutig identifi­ zierbar.The sensors are in particular formed by barcode readers. With these barcode readers, he detects barcodes that are arranged on the one hand on the individual containers 6 and on the other hand directly on the wafers. On the basis of these barcodes, the container 6 and wafer can be clearly identified.

Eine Identifikation der Wafer selbst ist insbesondere deshalb notwendig, da während der Bearbeitung der Wafer in den Ferti­ gungs- 2 und Messeinheiten 3 Wafer unterschiedlicher Lose in einen Behälter 6 gefüllt werden können. Dann reicht die Iden­ tifizierung eines Behälters 6 alleine nicht mehr aus, um die Wafer entsprechend ihrer Bearbeitungszustände beim Durchlauf durch die Anlage verfolgen zu können.An identification of the wafer itself is particularly necessary because during the processing of the wafers in the gungs- Ferti 2 and measuring units 3 wafers of different lots can be filled in a container. 6 Then the identification of a container 6 alone is no longer sufficient to be able to track the wafers according to their processing status as they pass through the system.

Die Barcodelesegeräte sind in ausreichender Anzahl an den einzelnen Förderern 5a des Transportsystems angeordnet. Zudem sind Barcodelesegeräte auch an den Übergabestationen zwischen den Förderern 5a angeordnet. Schließlich können zusätzlich zu den Barcodelesegeräten auch weitere Sensoren wie zum Beispiel Lichtschranken oder dergleichen vorgesehen sein, mit welchen jeweils der Durchgang von Behältern 6 durch eine Überwa­ chungsstrecke erfasst wird.The bar code readers are arranged in a sufficient number of the individual conveyors 5 a of the transport system. In addition, bar code readers are also arranged at the transfer stations between the conveyors 5 a. Finally, in addition to the barcode readers, other sensors such as light barriers or the like can also be provided, with each of which the passage of containers 6 through a monitoring path is detected.

Die an die Transportsteuereinheit 9 angeschlossene Förder­ techniksteuerung 10 weist im wesentlichen eine oder mehrere Rechnereinheiten zur Steuerung der Antriebselemente des Transportsystems auf. Die Antriebselemente sind insbesondere von Motoren und Gebern gebildet, mittels derer die Komponen­ ten des Transportsystems, insbesondere die einzelnen Förderer 5a angetrieben werden. Der Betrieb der Fördertechniksteuerung 10 ist über die Steuerbefehle gesteuert, welche von der Transportsteuereinheit 9 in die Fördertechniksteuerung 10 eingelesen werden. Umgekehrt werden Steuerparameter der För­ dertechniksteuerung 10, insbesondere die Betriebszustände der einzelnen Komponenten des Transportsystems und eventuelle Störmeldungen, von der Fördertechniksteuerung 10 in die Transportsteuereinheit 9 eingelesen. The conveyor control unit 10 connected to the transport control unit 9 essentially has one or more computer units for controlling the drive elements of the transport system. The drive elements are in particular formed by motors and sensors, by means of which the components of the transport system, in particular the individual conveyors 5 a, are driven. The operation of the conveyor control 10 is controlled by the control commands which are read into the conveyor control 10 by the transport control unit 9 . Conversely, control parameters of the conveyor technology control system 10 , in particular the operating states of the individual components of the transport system and any fault messages, are read into the transport control unit 9 by the conveyor technology control system 10 .

In der Transportsteuereinheit 9 werden die Ausgangssignale der Fördertechniksteuerung insbesondere dazu verwendet, um die Auslastung der einzelnen Komponenten des Transportsystems zu erfassen. Hierzu wird die Anzahl der auf den Komponenten des Transportsystems, insbesondere der auf den Förderern 5a befindlichen Behälter 6 mit Wafern erfasst.In the transport control unit 9 , the output signals of the conveyor control are used in particular to record the load on the individual components of the transport system. For this purpose, the number of containers 6 with wafers located on the components of the transport system, in particular on the conveyors 5 a, is recorded.

Daraus ergibt sich die Belegungsdichte der Förderer 5a mit Behältern 6. Insbesondere wird ermittelt, ob einzelne Förde­ rer 5a überlastet sind, wodurch Behälterstaus entstehen kön­ nen. Zudem wird die Verfügbarkeit der einzelnen Komponenten des Transportsystems erfasst, insbesondere, ob die einzelnen Förderer 5a funktionsfähig sind oder nicht.This results in the occupancy density of the conveyors 5 a with containers 6 . In particular, it is determined whether individual conveyors 5 a are overloaded, which can result in container jams. In addition, the availability of the individual components of the transport system is recorded, in particular whether the individual conveyors 5 a are functional or not.

Aus den mittels des Sensorsystems gewonnenen Informationen und den aus dem Produktionsleitsystem 8 eingelesenen Daten werden in der Transportsteuereinheit 9 die Steuerbefehle für die Fördertechniksteuerung 10 generiert. Zunächst wird in der Transportsteuereinheit 9 ausgewertet, ob sich in einem Behäl­ ter 6 Wafer nur eines Loses oder mehrerer Lose befinden. In letzterem Fall wird ein für einen Behälter 6 in dem Produkti­ onsleitsystem 8 generierter Transportauftrag in der Trans­ portsteuereinheit 9 nicht unverändert übernommen sondern in geeignete Teiltransportaufträge unterteilt. Die unterschied­ lichen Teiltransportaufträgen zugeordneten Wafer werden dann entsprechend in separaten Behältern 6 den jeweils geeigneten Fertigungs- 2 oder Messeinheiten 3 zugeführt. Hierzu werden die Wafer an geeigneten Stellen, insbesondere an den Überga­ bestationen oder speziellen Umladevorrichtungen in die geeig­ neten Behälter 6 umgeladen.The control commands for the conveyor technology control 10 are generated in the transport control unit 9 from the information obtained by means of the sensor system and the data read in from the production control system 8 . First, it is evaluated in the transport control unit 9 whether there are only one lot or more lots in a container 6 wafers. In the latter case, a transport order generated for a container 6 in the production control system 8 is not taken over unchanged in the transport control unit 9 , but is divided into suitable partial transport orders. The wafers assigned to different partial transport orders are then correspondingly supplied in separate containers 6 to the respectively suitable manufacturing 2 or measuring units 3 . For this purpose, the wafers are reloaded into the appropriate containers 6 , in particular at the transfer stations or special reloading devices.

Die Transportaufträge oder die Teiltransportaufträge bilden Teile der Steuerbefehle, die von der Transportsteuereinheit 9 an die Fördertechniksteuerung 10 ausgegeben werden.The transport orders or the partial transport orders form parts of the control commands which are issued by the transport control unit 9 to the conveyor control system 10 .

Des weiteren werden anhand der im Transportsteuereinheit 9 abgespeicherten Informationen geeignete Zielorte für die zu transportierenden Behälter 6 sowie geeignete Transportwege für die Behälter 6 ermittelt, welche ebenfalls Bestandteile der von der Transportsteuereinheit 9 ausgegebenen Steuerbe­ fehle sind.Furthermore, on the basis of the information stored in the transport control unit 9, suitable destinations for the containers 6 to be transported and suitable transport routes for the containers 6 are determined, which are likewise components of the control commands issued by the transport control unit 9 .

Die Auswahl der Zielorte erfolgt in Abhängigkeit der Bearbei­ tungszustände der Wafer. Je nach Bearbeitungszustand der Wa­ fer in einem Behälter 6 wird eine geeignete Fertigungs- 2 oder Messeinheit 3 als Zielort definiert, falls diese momen­ tan freie Bearbeitungskapazitäten aufweist. Ist die betref­ fende Fertigungs- 2 oder Messeinheit 3 momentan jedoch über­ lastet oder gar außer Betrieb, so wird ein Zielort definiert, der möglichst nahe an dieser Messeinheit 3 oder Fertigungs­ einheit 2 liegt, um zu gewährleisten, dass der Behälter 6 dieser Fertigungs- 2 oder Messeinheit 3 schnell zugeführt werden kann, sobald diese wieder verfügbar ist. Zweckmäßiger­ weise werden die Behälter 6 in einem Speicher zwischengela­ gert, der möglichst nahe an der jeweiligen Fertigungs- 2 und Messeinheit 3 liegt.The destination is selected depending on the processing status of the wafers. Depending on the processing state of the wa fer in a container 6 , a suitable manufacturing unit 2 or measuring unit 3 is defined as the destination if it currently has free processing capacities. If the relevant manufacturing unit 2 or measuring unit 3 is currently overloaded or even out of operation, a destination is defined that is as close as possible to this measuring unit 3 or manufacturing unit 2 in order to ensure that the container 6 of this manufacturing unit 2 or measuring unit 3 can be quickly supplied as soon as it is available again. The containers 6 are expediently stored in a memory which is as close as possible to the respective production 2 and measurement unit 3 .

Der jeweilige Transportweg wird in der Transportsteuereinheit 9 so bestimmt, dass das Anfahren des Zielorts nur über solche Komponenten des Transportsystems erfolgt, die freie Trans­ portkapazitäten aufweisen. Insbesondere erfolgt die Wahl des Transportwegs derart, dass überlastete oder außer Betrieb be­ findliche Förderer 5a umgangen werden. The respective transport route is determined in the transport control unit 9 in such a way that the destination is only reached via those components of the transport system that have free transport capacities. In particular, the choice of the transport route takes place in such a way that overloaded or out-of-operation conveyors 5 a are avoided.

BezugszeichenlisteReference list

11

Bearbeitungsstation
Processing station

22nd

Fertigungseinheit
Manufacturing unit

33rd

Messeinheit
Unit of measurement

44th

Reinraum
Clean room

55

Fördersystem
Conveyor system

55

a Förderer
a sponsor

66

Behälter
container

77

Produktionsplanungs- und Steuerungssystem
Production planning and control system

88th

Produktionsleitsystem
Production control system

99

Transportsteuereinheit
Transport control unit

1010th

Fördertechniksteuerung
Conveyor technology control

Claims (28)

1. Anlage zur Bearbeitung von Wafern mit mehreren Fertigungs­ einheiten und Messeinheiten sowie einem Transportsystem zum Transport der Wafer, dadurch gekennzeich­ net, dass dem Transportsystem eine Transportsteuereinheit (9) zugeordnet ist, welche Mittel zur Erfassung des Auslas­ tungszustands der Anlage und Mittel zur Speicherung der Bear­ beitungsreihenfolge der Wafer aufweist, und dass in Abhängig­ keit des Auslastungszustands der Anlage und der Bearbeitungs­ reihenfolge der Wafer in der Transportsteuereinheit (9) Steu­ erbefehle generiert werden und an das Transportsystem zur Steuerung des Ablaufs des Transports der Wafer ausgebbar sind.1. Plant for processing wafers with several manufacturing units and measuring units and a transport system for transporting the wafers, characterized in that a transport control unit ( 9 ) is assigned to the transport system, which means for detecting the utilization state of the system and means for storing the Processing order of the wafers, and that depending on the capacity of the system and the processing order of the wafers, control commands are generated in the transport control unit ( 9 ) and can be output to the transport system for controlling the sequence of the transport of the wafers. 2. Anlage nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass das Transportsystem ein Fördersystem (5) mit mehreren Förderern (5a) aufweist, auf welchen die Wa­ fer in Behälter (6) transportiert werden.2. Plant according to claim 1, characterized in that the transport system has a conveyor system ( 5 ) with a plurality of conveyors ( 5 a) on which the wa fer in containers ( 6 ) are transported. 3. Anlage nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Behälter (6) Wafer eines Loses oder mehrerer Lose enthalten.3. Plant according to claim 2, characterized in that the container ( 6 ) contain wafers of one lot or several lots. 4. Anlage nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Behälter (6) mit Bar­ codes gekennzeichnet sind.4. Plant according to one of claims 2 or 3, characterized in that the containers ( 6 ) are marked with bar codes. 5. Anlage nach einem der Ansprüche 2-4, dadurch gekennzeichnet, dass die Wafer mit Barcodes gekennzeichnet sind.5. Plant according to one of claims 2-4, characterized characterized that the wafers with barcodes Marked are. 6. Anlage nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Erfassung deren Auslastungszustands des Transportsystems von Sensoren gebildet sind. 6. Plant according to one of claims 1-5, characterized characterized that the means of detection their load status of the transport system of sensors are formed.   7. Anlage nach Anspruch 6, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Sensoren von Barcodelesegeräten gebildet sind, anhand derer die Identifikation von Behältern (6) und/oder einzelner Wafer erfolgt.7. System according to claim 6, characterized in that the sensors are formed by barcode readers, on the basis of which the identification of containers ( 6 ) and / or individual wafers takes place. 8. Anlage nach Anspruch 6, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Sensoren von Lichtschranken oder dergleichen gebildet sind.8. Plant according to claim 6, characterized records that the sensors of light barriers or the like are formed. 9. Anlage nach einem der Ansprüche 6-8, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren am Trans­ portsystem angeordnet sind.9. Plant according to one of claims 6-8, characterized marked that the sensors on the Trans port system are arranged. 10. Anlage nach einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportsteuerein­ heit (9) an ein Produktionsleitsystem (8) angeschlossen ist, in welchem fortlaufend der Bearbeitungszustand der Wafer ein­ zelner Lose registriert wird.10. Plant according to one of claims 1-9, characterized in that the transport control unit ( 9 ) is connected to a production control system ( 8 ), in which the processing state of the wafers continuously registers an individual lot. 11. Anlage nach Anspruch 10, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Auslastungszustände einzelner Fertigungseinheiten (2) und Messeinheiten (3) von dem Produk­ tionsleitsystem (8) in die Transportsteuereinheit (9) einge­ lesen und dort abgespeichert werden.11. Plant according to claim 10, characterized in that the utilization states of individual production units ( 2 ) and measuring units ( 3 ) from the production control system ( 8 ) in the transport control unit ( 9 ) read and stored there. 12. Anlage nach Anspruch 11, dadurch gekenn­ zeichnet, dass in dem Produktionsleitsystem (8) die Bearbeitungszustände der Wafer unterschiedlicher Lose regist­ riert werden und in Abhängigkeit hiervon Bearbeitungsreihen­ folgen der Wafer fortlaufend festgelegt werden.12. System according to claim 11, characterized in that the processing states of the wafers of different lots are registered in the production control system ( 8 ) and, depending on the processing series, the wafers are continuously determined. 13. Anlage nach Anspruch 12, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Bearbeitungszustände und Bearbei­ tungsreihenfolgen der Wafer von dem Produktionsleitsystem (8) in die Transportsteuereinheit (9) eingelesen werden. 13. System according to claim 12, characterized in that the processing states and processing sequences of the wafers from the production control system ( 8 ) are read into the transport control unit ( 9 ). 14. Anlage nach Anspruch 13, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Bearbeitungsreihenfolgen der Wa­ fer in Form von Transportaufträgen für einzelne Behälter (6) oder Lose in die Transportsteuereinheit (9) eingelesen wer­ den.14. Plant according to claim 13, characterized in that the processing orders of the wa fer in the form of transport orders for individual containers ( 6 ) or lots in the transport control unit ( 9 ) who read. 15. Anlage nach einem der Ansprüche 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass den Losen von Wafern von dem Produktionsleitsystem (8) Prioritäten zugeteilt sind.15. Plant according to one of claims 13 or 14, characterized in that the batches of wafers from the production control system ( 8 ) are assigned priorities. 16. Anlage nach einem der Ansprüche 1-15, dadurch gekennzeichnet, dass das Transportsystem eine Fördertechniksteuerung (10) aufweist, welche an die Trans­ portsteuereinheit (9) angeschlossen ist.16. Plant according to one of claims 1-15, characterized in that the transport system has a conveyor control ( 10 ) which is connected to the trans port control unit ( 9 ). 17. Anlage nach Anspruch 16, dadurch gekenn­ zeichnet, dass mit der Fördertechniksteuerung (10) Motoren und Geber zum Antrieb von Komponenten des Transport­ systems gesteuert werden.17. Plant according to claim 16, characterized in that with the conveyor control ( 10 ) motors and sensors for driving components of the transport system are controlled. 18. Anlage nach Anspruch 17, dadurch gekenn­ zeichnet, dass von der Fördertechniksteuerung (10) Störungsmeldungen einzelner Komponenten des Transportsystems in die Transportsteuereinheit (9) eingelesen werden.18. System according to claim 17, characterized in that the conveyor control ( 10 ) fault messages of individual components of the transport system are read into the transport control unit ( 9 ). 19. Anlage nach einem der Ansprüche 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass die in der Transportsteu­ ereinheit (9) generierten Steuerbefehle in die Fördertechnik­ steuerung (10) eingelesen werden.19. System according to one of claims 17 or 18, characterized in that the control commands generated in the transport control unit ( 9 ) are read into the conveyor control ( 10 ). 20. Anlage nach einem der Ansprüche 2-19, dadurch gekennzeichnet, dass mittels der Sensoren die Anzahl der auf den einzelnen Komponenten des Transportsystems befindlichen Wafer registriert wird und in der Transportsteu­ ereinheit (9) abgespeichert wird. 20. System according to one of claims 2-19, characterized in that the number of wafers located on the individual components of the transport system is registered by means of the sensors and is stored in the transport control unit ( 9 ). 21. Anlage nach Anspruch 20, dadurch gekenn­ zeichnet, dass mit den Sensoren die Belegungsdichte mit Behältern (6) für die einzelnen Komponenten des Trans­ portsystems ermittelt und in der Transportsteuereinheit (9) abgespeichert wird.21. System according to claim 20, characterized in that the occupancy density with containers ( 6 ) for the individual components of the transport system is determined with the sensors and stored in the transport control unit ( 9 ). 22. Anlage nach einem der Ansprüche 14-21, dadurch gekennzeichnet, dass in der Transportsteuer­ einheit (9) Transportaufträge in Teiltransportaufträge zer­ legt werden.22. Plant according to one of claims 14-21, characterized in that in the transport control unit ( 9 ) transport orders are broken down into partial transport orders. 23. Anlage nach Anspruch 22, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Zerlegung in Teiltransportaufträ­ ge in Abhängigkeit der Bearbeitungszustände der entsprechen­ den Wafer erfolgt.23. Plant according to claim 22, characterized records that the division into partial transport orders depending on the processing status the wafer is done. 24. Anlage nach einem der Ansprüche 22 oder 23, dadurch gekennzeichnet, dass von der Transportsteuer­ einheit (9) Transportwege für die einzelnen Transportaufträge oder Teiltransportaufträge definiert und als Bestandteil der Steuerbefehle ausgebbar sind.24. System according to one of claims 22 or 23, characterized in that the transport control unit ( 9 ) defines transport routes for the individual transport orders or partial transport orders and can be output as part of the control commands. 25. Anlage nach Anspruch 24, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Transportwege in der Trans­ portsteuereinheit (9) in Abhängigkeit der Bearbeitungszustän­ de der Wafer und/oder in Abhängigkeit der Auslastungszustände der Komponenten des Transportsystems, der Fertigungseinheiten (2) und/oder der Messeinheiten (3) gewählt sind.25. System according to claim 24, characterized in that the transport routes in the transport control unit ( 9 ) depending on the processing states of the wafers and / or on the load states of the components of the transport system, the manufacturing units ( 2 ) and / or the measuring units ( 3 ) are selected. 26. Anlage nach Anspruch 25, dadurch gekenn­ zeichnet, dass über einen Transportweg ein Behälter (6) einer einen Zielort bildenden Fertigungs- (2) oder Mess­ einheit (3) zugeführt wird, falls diese verfügbare Arbeitska­ pazität aufweist.26. System according to claim 25, characterized in that a container ( 6 ) of a manufacturing ( 2 ) or measuring unit ( 3 ) forming a destination is supplied via a transport route if it has available working capacity. 27. Anlage nach Anspruch 26, dadurch gekenn­ zeichnet, dass über einen Transportweg ein Behälter (6) einem Puffer in der Umgebung eines Zielorts zugeführt wird, falls die den Zielort bildende Fertigungseinheit (2) oder Messeinheit (3) keine verfügbare Arbeitskapazität auf­ weist.27. Plant according to claim 26, characterized in that a container ( 6 ) is fed to a buffer in the vicinity of a destination via a transport route if the manufacturing unit ( 2 ) or measuring unit ( 3 ) forming the destination has no available working capacity. 28. Anlage nach einem der Ansprüche 1-27, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportsteuerein­ heit (9) wenigstens eine Rechnereinheit aufweist.28. Plant according to one of claims 1-27, characterized in that the transport control unit ( 9 ) has at least one computer unit.
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