DE19741159A1 - Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallzelle - Google Patents
Herstellungsverfahren für eine FlüssigkristallzelleInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für eine
Mehrbereichs-Flüssigkristallzelle und insbesondere ein
einfaches Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallzelle
mit einem großen Betrachtungswinkel.
Flüssigkristallzellen mit verdreht nematischem Flüssigkristall
(TN-LCD, Twisted Nematic Liquid Cristal Display) weisen ein
derartiges Problem auf, daß ihr Kontrast vom Betrachtungswinkel
abhängt, d. h. die Transmission für jede Graustufe hängt vom
Betrachtungswinkel ab.
Dieses Problem tritt insbesondere bei einer Veränderung des
Betrachtungswinkels in vertikaler Richtung besonders stark auf.
Diese Winkelabhängigkeit in vertikaler Richtung wird von der
elektrisch induzierten Anordnung des Flüssigkristall-Direktors
verursacht.
Um dieses Problem der Winkelabhängigkeit zu lösen, sind eine
Mehrbereichs-LCD, wie eine Zweibereichs-TN-LCD (TDTN-LCD, Two
Domain Twisted Nematic LCD) und eine bereichsgeteilte TN-LCD
(DDTN LCD, Domain Devided Twisted Nematic LCD) vorgeschlagen
worden. Bei der TDTN-LCD weist jedes Pixel zwei Bereiche mit
unterschiedlichen Anordnungen des Direktors (Ausrichtungen)
auf, wobei die beiden Orientierungsrichtungen, d. h. die
Projektionen des Direktors auf die Substratebene, in einander
entgegengesetzten Richtungen liegen. Beim Anlegen einer
Graustufenspannung an die LCD werden die beiden
Flüssigkristall-Direktoren in den beiden Bereichen jeweils in
verschiedene Richtungen gekippt. Durch dieses Anordnung
gleichen sich die Transmissionen für die verschiedenen
Betrachtungswinkel (insbesondere für die Betrachtungswinkel in
vertikaler Richtung) aus. Bei der DDTN-LCD sind in jedem Pixel
Materialien mit unterschiedlichen Kippwinkeln, wie organische
Materialien oder anorganische Materialien, abwechselnd
angeordnet. Durch ein Ausrichtungsverfahren erhält jede
Ausrichtungsfläche, d. h. jeder Bereich des Pixels, einen
Kippwinkel, der von dem des Nachbarbereichs verschieden ist.
Für Mehrbereichs-Flüssigkristallzellen ist das am meisten
verwendete Ausrichtungsverfahren ein Reibverfahren. Bei dem
Reibverfahren wird die Ausrichtungsschicht, wie eine Polyimid
beschichtete Schicht, mit einem Reibtuch o. ä. mechanisch
gerieben, so daß in der Oberfläche der Ausrichtungsschicht
Mikrorillen gebildet werden. Die periodische
Oberflächenstruktur des mechanisch mit Rillen versehenen LCD-Sub
strates verringert die elastische Deformationsenergie des
Flüssigkristalls, indem sie den Direktor des Flüssigkristalls
zwingt, sich so auszurichten, daß die Projektion des Direktors
auf die Substratebene parallel zu den Mikrorillen liegt. Bei
dem Reibverfahren führen Defekte in den Mikrorillen jedoch zu
statistischen Phasenverschiebungen und zu Lichtstreuung, so daß
die Bildqualität schlecht ist. Ferner werden durch das
Reibverfahren Staub und Entladungen auf der Ausrichtungsschicht
gebildet, so daß das Substrat beschädigt werden kann, was zu
einer schlechten Produktausbeute führt.
Um die Probleme der Beschädigung des Substrates zu lösen, wurde
kürzlich ein Fotoausrichtungsverfahren vorgeschlagen.
Aus Fig. 1 ist das Herstellungsverfahren für eine
Zweibereichs-LCD unter Verwendung des
Fotoausrichtungsverfahrens ersichtlich. In Fig. 2 bezeichnet
der schraffierte Bereich einen mit einer lichtundurchlässigen
Maske abgedeckten Bereich eines Substrats, und der Pfeil auf
dem Substrat gibt die Orientierungsrichtungen an. Ferner gibt
der Pfeil über dem Substrat die Einstrahlrichtung des Lichtes
sowie dessen Polarisationsrichtung an.
Zuerst wird der erste Bereich I des mit einem
Fotoausrichtungsmaterial beschichteten Substrates mit der
lichtundurchlässigen Maske abgedeckt, und dann wird das
Substrat mit linear polarisiertem Licht mit einer ersten
Polarisationsrichtung vertikal (d. h. senkrecht zur
Substratebene) bestrahlt, um einen ersten Satz einander
entgegengesetzter Orientierungsrichtungen im zweiten Bereich II
zu erzeugen, wie aus Fig. 1A ersichtlich. Danach wird das
Substrat schräg mit linear polarisiertem Licht mit einer
zweiten Polarisationsrichtung bestrahlt, die senkrecht zur
ersten Polarisationsrichtung ist, um eine der beiden einander
entgegengesetzten Orientierungsrichtungen auszuwählen. Damit
ist die erste Orientierungsrichtung in dem zweiten Bereich II
ausgebildet, wie in Fig. 1B mit dem Pfeil im zweiten Bereich
II des Substrats gezeigt.
Danach wird die Maske über dem ersten Bereich I entfernt, und
der zweite Bereich II wird mit der Maske abgedeckt. Das
Substrat wird mit linear polarisiertem Licht mit einer dritten
Polarisationsrichtung vertikal bestrahlt, die senkrecht zur
ersten Polarisationsrichtung ist, um einen zweiten Satz von
einander entgegengesetzten Orientierungsrichtungen zu
bestimmen, wie aus Fig. 1C ersichtlich. Dabei sind die zweiten
Orientierungsrichtungen senkrecht zu der ersten
Orientierungsrichtung. Danach wird das Substrat schräg mit
linear polarisiertem Licht bestrahlt, dessen
Polarisationsrichtung senkrecht zu der des im vorherigen
Schritt verwendeten linear polarisierten Lichtes ist, um eine
der beiden einander entgegengesetzten Orientierungsrichtungen
auszuwählen, wie aus Fig. 1D ersichtlich. Fig. 1E zeigt die
Zweibereichszelle, mit den beiden gebildeten
Orientierungsrichtungen nach Entfernen der Maske. Wie aus Fig.
1E ersichtlich, ist die Orientierungsrichtung in dem ersten
Bereich senkrecht zu der Orientierungsrichtung in dem zweiten
Bereich.
Dieses Verfahren wird nochmals für ein zweites Substrat
durchgeführt, und dann werden diese beiden Substrate mit
dazwischen angeordnetem Flüssigkristall zusammengebaut, so daß
eine Zweibereichs-Flüssigkristallzelle gebildet wird.
Bei dem herkömmlichen Ausrichtungsverfahren für eine
Mehrbereichs-LCD ist eine Mehrzahl von Belichtungs- und
Maskierungsschritten erforderlich. Z.B. sind bei diesem
Verfahren für eine Vierbereichs-LCD acht Belichtungsschritte
und vier Maskierungsschritte erforderlich, so daß das Verfahren
aufwendig ist und die Kosten hoch sind.
Durch die Erfindung wird ein einfaches und kostengünstiges
Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallzelle mit einem
großen Betrachtungswinkel bereitgestellt. Dies wird durch ein
Verfahren erreicht, bei dem unterschiedliche Bereiche der
Ausrichtungsschicht unterschiedliche Energiemengen während
einer einzigen Belichtung der Ausrichtungsschicht absorbieren,
so daß in den unterschiedlichen Bereichen jeweils
unterschiedliche Ausrichtungen erzielt werden.
Bevorzugt weist das erfindungsgemäße Verfahren folgende
Schritte auf: Abdecken des Substrates mit einer Maske, die in
eine Mehrzahl von Bereichen aufgeteilt ist, die jeweils
unterschiedliche Transmissionen aufweisen, und Belichten des
Substrates durch die Maske hindurch mit Licht. Jeder einem
Bereich der Maske entsprechende Bereich der Ausrichtungsschicht
absorbiert eine bestimmte Energiemenge, wobei die von den
unterschiedlichen Bereichen absorbierten Energiemengen in
Abhängigkeit von der Transmission des jeweiligen Bereichs der
Maske unterschiedlich sind, so daß in den unterschidlichen
Bereichen Kippwinkel mit unterschidlichen Größen gebildet
werden. Nach dem erfindungsgemäßen Belichten zweier Substrate
werden diese mit dazwischen angeordnetem Flüssigkristall
zusammengefügt, um eine Mehrbereichs-TN-Flüssigkristallzelle zu
bilden.
In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1 schematisch das herkömmliche Herstellungsverfahren für
eine Zweibereichs-Flüssigkristallzelle,
Fig. 2 einen Graph, der die Abhängigkeit des Kippwinkels von
der in der Ausrichtungsschicht absorbierten Lichtenergie
angibt;
Fig. 3 schematisch ein Herstellungsverfahren für eine
bereichsgeteilte Flüssigkristallzelle gemäß einer ersten
Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 4 schematisch ein Herstellungsverfahren für eine
Vierbereichs-Flüssigkristallzelle gemäß einer zweiten
Ausführungsform der Erfindung.
Erfindungsgemäß werden für die Ausrichtungsschicht auf
Polysiloxan basierende Materialien verwendet, während als
herkömmliche Ausrichtungsmaterialien Polyvinylcinnamate
verwendet werden (s. a. HASHIMOTO, SID 95, DIGEST, S. 877). Bei
dem HASHIMOTO-Verfahren kann kein gewünschter Kippwinkel
erzielt werden, da die Größe des Kippwinkels durch die
Belichtung lediglich etwa 0,1-0,3° beträgt, was sehr klein ist.
Bei den erfindungsgemäßen Ausrichtungsmaterialien jedoch hängt
die Größe des Kippwinkels von der absorbierten UV-Lichtenergie
in der Ausrichtungsschicht ab, wie aus Fig. 2 ersichtlich, so
daß die Größe des Kippwinkels entsprechend gesteuert werden
kann.
Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung
unter Bezugnahme auf die Zeichnung detailliert beschrieben.
Aus Fig. 3 ist schematisch ein Herstellungsverfahren für eine
bereichsgeteilte Flüssigkristallzelle gemäß einer ersten
Ausführungsform der Erfindung ersichtlich, bei welchem eine
Maske verwendet wird, die einen teildurchlässigen Bereich
aufweist. Diese Maske ist insbesondere für die Herstellung
einer DDTN-Flüssigkristallzelle geeignet. Der teildurchlässige
Bereich der Maske 33 bedeckt einen ersten Bereich I der
Ausrichtungsschicht 32 auf dem Substrat 31, um während des
Belichtungsschrittes dort ein Teil des Lichtes abzublocken, wie
aus Fig. 3A ersichtlich. Somit wird in dem ersten Bereich I
nur ein Teil der eingestrahlten Lichtenergie absorbiert,
während in einem zweiten Bereich II der Ausrichtungsschicht,
der nicht bedeckt ist, die gesamte eingestrahlte UV-Licht
energie absorbiert wird. Dies bedeutet, daß die in dem
ersten Bereich der Ausrichtungsschicht absorbierte UV-Licht
energie von der in dem zweiten Bereich der
Ausrichtungsschicht absorbierten UV-Lichtenergie verschieden
ist. Die Größe des Kippwinkels hängt von der in der
Ausrichtungsschicht absorbierten UV-Lichtenergie ab, wie aus
Fig. 2 ersichtlich. Durch eine erste Bestrahlung werden in dem
ersten Bereich I und in dem zweiten Bereich II der
Ausrichtungsschicht jeweils einander entgegengesetzte
Orientierungsrichtungen gebildet. Danach wird die
Ausrichtungsschicht 32 schräg mit UV-Licht bestrahlt, wodurch
jeweils eine der einander entgegengesetzten
Orientierungsrichtungen ausgewählt wird, wie aus Fig. 3B
ersichtlich. Auf diese Weise werden in dem ersten Bereich und
in dem zweiten Bereich jeweils Ausrichtungen gebildet, deren
Orientierungsrichtungen parallel zueinander sind, welche
Ausrichtungen jedoch unterschiedlich große Kippwinkel
aufweisen, wie aus Fig. 3C ersichtlich. Aus Fig. 3D ist ein
Schnitt einer DDTN-Flüssigkristallzelle ersichtlich, bei der ein
oberes Substrat und ein unteres Substrat zusammengesetzt sind,
die jeweils mit dem oben beschriebenen
Fotoausrichtungsverfahren hergestellt wurden.
Bei der aus Fig. 3D ersichtlichen Struktur sind die
Orientierungsrichtungen aller Bereiche parallel zueinander,
aber die Größe des Kippwinkels in den unterschiedlichen
Bereichen ist unterschiedlich. Dementsprechend schließt sich
ein Bereich mit großem Kippwinkel an einen Bereich mit geringem
Kippwinkel an, so daß ein Ausgleich des Betrachtungswinkels
erfolgt.
Aus Fig. 4 ist schematisch ein Herstellungsverfahren für eine
Vierbereichs-Flüssigkristallzelle gemäß einer zweiten
Ausführungsform der Erfindung ersichtlich. In Fig. 4
bezeichnen der schraffierte Bereich, der Bereich mit einander
überkreuzenden Linien und der weiße Bereich jeweils einen
teildurchlässigen Bereich 33b, einen lichtundurchlässigen
Bereich 33c bzw. einen transparenten Bereich 33a der Maske 33.
Zuerst wird das Substrat mit der Maske 33 bedeckt. Der erste
Bereich I der Ausrichtungsschicht wird mit dem
teildurchlässigen Bereich 33d der Maske bedeckt, der zweite
Bereich II der Ausrichtungsschicht wird mit dem transparenten
Bereich 33a der Maske bedeckt, und der dritte Bereich III und
der vierte Bereich IV der Ausrichtungsschicht werden mit dem
lichtundurchlässigen Bereich 33c bedeckt, wie aus Fig. 4A
ersichtlich. Die Transmission des teildurchlässigen Bereichs
33b der Maske beträgt 30-80%. Danach wird das Substrat
vertikal, d. h. senkrecht zur Substratsebene mit polarisiertem
Licht, wie UV-Licht, belichtet, das eine erste
Polarisationsrichtung aufweist, um in dem ersten Bereich I und
dem zweiten Bereich II jeweils zwei einander entgegengesetzte
Orientierungsrichtungen zu bilden. Wie aus Fig. 4B
ersichtlich, wird das Substrat danach schräg mit polarisiertem
Licht belichtet, das eine zweite Polarisationsrichtung
aufweist, die senkrecht zur ersten Polarisationsrichtung ist,
um eine der beiden einander entgegengesetzten
Orientierungsrichtungen auszuwählen, die mit dem einfallenden
Licht einen spitzen Winkel einschließt. Dafür kann auch
unpolarisiertes Licht verwendet werden. Aus Fig. 4C sind die
Orientierungsrichtung des ersten Bereichs und die
Orientierungsrichtung des zweiten Bereichs nach den ersten
beiden Belichtungsschritten ersichtlich. In dem ersten Bereich
und in dem zweiten Bereich werden die Orientierungsrichtungen
derart ausgebildet, daß sie senkrecht zur ersten
Polarisationsrichtung stehen. Da der dritte Bereich und der
vierte Bereich mit dem lichtundurchlässigen Bereich 33c der
Maske bedeckt sind, wird in diesen Bereichen keine
Orientierungsrichtung ausgebildet. Die Orientierungsrichtung im
ersten Bereich ist parallel zur Orientierungsrichtung im
zweiten Bereich, aber der Kippwinkel im ersten Bereich ist von
dem Kippwinkel in dem zweiten Bereich verschieden, da die im
ersten Bereich absorbierte Lichtenergie von der im zweiten
Bereich absorbierten Lichtenergie verschieden ist. Das heißt,
daß der Kippwinkel in dem zweiten Bereich kleiner ist als der
Kippwinkel in dem ersten Bereich.
Danach werden der erste Bereich I und der zweite Bereich II, in
denen entsprechende Orientierungsrichtungen ausgebildet sind,
mit dem lichtundurchlässigen Bereich 33c der Maske 33
abgedeckt, und der dritte Bereich III bzw. der vierte Bereich
IV werden jeweils mit dem teildurchlässigen bzw. dem
transparenten Bereich 33b bzw. 33a der Maske bedeckt. Wenn das
Substrat vertikal mit linear polarisiertem Licht mit einer
dritten Polarisationsrichtung bestrahlt wird, die senkrecht zur
ersten Polarisationsrichtung im ersten Belichtungsschritt ist,
werden im dritten Bereich III und im vierten Bereich IV jeweils
zwei zweite einander entgegengesetzte Orientierungsrichtungen
ausgebildet, die senkrecht zur dritten Polarisationsrichtung
stehen. Danach wird das Substrat mit polarisiertem Licht schräg
bestrahlt, das eine vierte Polarisationsrichtung aufweist, um
eine der einander entgegengesetzten Orientierungsrichtungen
auszuwählen, die mit der Richtung des eingestrahlten Lichtes
einen spitzen Winkel bildet. Mit Hilfe des gerade beschriebenen
dritten Belichtungsschritts und vierten Belichtungsschritts
werden Orientierungsrichtungen in dem dritten Bereich III und
in dem vierten Bereich IV gebildet, wie aus Fig. 4E
ersichtlich. Wie die Orientierungsrichtungen in dem ersten
Bereich I und in dem zweiten Bereich II sind die
Orientierungsrichtungen in dem dritten Bereich III und in dem
vierten Bereich IV jeweils parallel zueinander, aber die
Kippwinkel im dritten Bereich und im vierten Bereich sind
voneinander verschieden. Das heißt, der Kippwinkel im vierten
Bereich IV ist aufgrund des Unterschiedes in der in dem
jeweiligen Bereich absorbierten Lichtenergie kleiner als der
Kippwinkel im dritten Bereich III.
Aus Fig. 4F ist ein Substrat einer Vierbereichs-Flüssig
kristallzelle gemäß der zweiten Ausführungsform der
Erfindung ersichtlich. Wie aus Fig. 4F ersichtlich, weisen die
Ausrichtungen in dem ersten Bereich I und in dem zweiten
Bereich II voneinander verschiedene Kippwinkel, jedoch gleiche
Orientierungsrichtungen auf (dünne Pfeile bezeichnen einen
kleinen Kippwinkel und dicke Pfeile bezeichnen einen großen
Kippwinkel) und die Ausrichtungen in dem dritten Bereich III
und in dem vierten Bereich IV weisen ebenfalls voneinander
verschiedene Kippwinkel, jedoch gleiche Orientierungsrichtungen
auf. Ferner sind die Orientierungsrichtungen in dem ersten
Bereich I und in dem zweiten Bereich II jeweils senkrecht zu
den Orientierungsrichtungen in dem dritten Bereich III und in
dem vierten Bereich IV. Das Substrat mit den entsprechend
bestimmten Orientierungsrichtungen kann als oberes bzw. als
unteres Substrat für eine Vierbereichs-Flüssigkristallzelle
verwendet werden.
Erfindungsgemäß wird in dem oben beschriebenen Verfahren eine
DDTN-Flüssigkristallzelle mit Hilfe von einem
Maskierungsschritt und zwei Belichtungsschritten gebildet.
Ferner wird eine Vierbereichs-Flüssigkristallzelle
erfindungsgemäß mit Hilfe von zwei Maskierungsschritten und
vier Belichtungsschritten gebildet. Somit kann eine
Flüssigkristallzelle mit großem Betrachtungswinkel mit Hilfe
eines einfachen Herstellungsverfahrens und mit geringen Kosten
hergestellt werden.
Erfindungsgemäß kann bei den oben beschriebenen Verfahren beim
schrägen Einstrahlen von Licht zum Auswählen einer der beiden
einander entgegengesetzten Orientierungsrichtungen jeweils
sowohl unpolarisiertes als auch polarisiertes Licht verwendet
werden.
Es ist bevorzugt, daß die Maske Quarz oder Glas aufweist, wobei
die teildurchlässigen Bereiche der Maske mit einem teilweise
transparenten Metall, wie Indiumzinnoxid (ITO, Indium Tin
Oxide) beschichtet sind, um in diesen Bereichen die
Transmission zu verringern.
Claims (6)
1. Herstellungsverfahren für eine Mehrbereichs-Flüssig
kristallzelle mit folgenden Schritten:
Beschichten eines Substrates (31) mit einem Fotoausrichtungsmaterial (32), wobei die Größe des Kippwinkels des Fotoausrichtungsmaterials (32) durch die in dem Material absorbierte Lichtenergie steuerbar ist;
vertikales Belichten des beschichteten Substrates (31) mit erstem linear polarisiertem Licht derart, daß die in ersten Bereichen (I) der Ausrichtungsschicht (32) absorbierte Lichtenergie von der in zweiten Bereichen (II) der Ausrichtungsschicht (32) absorbierten Lichtenergie verschieden ist, so daß die Größe der Kippwinkel in den ersten Bereichen (I) von der Größe der Kippwinkel in den zweiten Bereichen (II) verschieden ist; und
schräges Bestrahlen des beschichteten Substrates (31) mit Licht, um eine Orientierungsrichtung in den ersten Bereichen (I) und in den zweiten Bereichen auszuwählen (II).
Beschichten eines Substrates (31) mit einem Fotoausrichtungsmaterial (32), wobei die Größe des Kippwinkels des Fotoausrichtungsmaterials (32) durch die in dem Material absorbierte Lichtenergie steuerbar ist;
vertikales Belichten des beschichteten Substrates (31) mit erstem linear polarisiertem Licht derart, daß die in ersten Bereichen (I) der Ausrichtungsschicht (32) absorbierte Lichtenergie von der in zweiten Bereichen (II) der Ausrichtungsschicht (32) absorbierten Lichtenergie verschieden ist, so daß die Größe der Kippwinkel in den ersten Bereichen (I) von der Größe der Kippwinkel in den zweiten Bereichen (II) verschieden ist; und
schräges Bestrahlen des beschichteten Substrates (31) mit Licht, um eine Orientierungsrichtung in den ersten Bereichen (I) und in den zweiten Bereichen auszuwählen (II).
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Schritt des vertikalen
Bestrahlens des beschichteten Substrates (31) mit erstem linear
polarisiertem Licht folgende Schritte aufweist:
Bedecken des beschichteten Substrates (31) mit einer ersten Maske (33), wobei die erste Maske (33) erste Bereiche (33b) mit einer ersten Transmission, welche die ersten Bereiche (I) der Fotoausrichtungsschicht (32) definieren, und zweite Bereiche (33a) mit einer zweiten Transmission aufweist, welche die zweiten Bereiche (II) der Fotoausrichtungsschicht (32) definieren, wobei die erste Transmission von der zweiten Transmission verschieden ist; und
vertikales Bestrahlen des beschichteten Substrates (31) mit erstem linear polarisiertem Licht für eine vorbestimmte Zeitdauer durch die erste Maske (33) hindurch; wobei
in dem Schritt des schrägen Bestrahlens des beschichteten Substrates (31) mit Licht das beschichtete Substrat (31) durch die erste Maske (33) hindurch bestrahlt wird.
Bedecken des beschichteten Substrates (31) mit einer ersten Maske (33), wobei die erste Maske (33) erste Bereiche (33b) mit einer ersten Transmission, welche die ersten Bereiche (I) der Fotoausrichtungsschicht (32) definieren, und zweite Bereiche (33a) mit einer zweiten Transmission aufweist, welche die zweiten Bereiche (II) der Fotoausrichtungsschicht (32) definieren, wobei die erste Transmission von der zweiten Transmission verschieden ist; und
vertikales Bestrahlen des beschichteten Substrates (31) mit erstem linear polarisiertem Licht für eine vorbestimmte Zeitdauer durch die erste Maske (33) hindurch; wobei
in dem Schritt des schrägen Bestrahlens des beschichteten Substrates (31) mit Licht das beschichtete Substrat (31) durch die erste Maske (33) hindurch bestrahlt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei die erste Maske (33)
lichtundurchlässige Bereiche (33c) aufweist, die dritte
Bereiche (III) der Fotoausrichtungsschicht (32) und vierte
Bereiche (IV) der Fotoausrichtungsschicht (32) definieren; und
welches Verfahren nach dem schrägen Bestrahlen des
beschichteten Substrates (31) durch die erste Maske (33)
hindurch folgende Schritte aufweist:
Entfernen der ersten Maske (33);
Bedecken des beschichteten Substrates (31) mit einer zweiten Maske, wobei die zweite Maske erste Bereiche mit einer ersten Transmission, die den dritten Bereichen (III) der Fotoausrichtungsschicht (32) entsprechen und über diesen angeordnet sind, zweite Bereiche mit einer zweiten Transmission, die den vierten Bereichen (IV) der Fotoausrichtungsschicht (32) entsprechen und über diesen angeordnet sind, und lichtundurchlässige Bereiche aufweist, die den ersten Bereichen (I) der Fotoausrichtungsschicht (32) und den zweiten Bereichen (II) der Fotoausrichtungsschicht (32) entsprechen und über den ersten Bereichen (I) und den zweiten Bereichen (II) angeordnet sind, wobei die zweite Transmission von der ersten Transmission verschieden ist;
vertikales Bestrahlen des beschichteten Substrates (31) mit zweitem linear polarisiertem Licht für eine bestimmte Zeitdauer durch die zweite Maske hindurch, so daß die Größe der Kippwinkel in den dritten Bereichen (III) von der Größe der Kippwinkel in den vierten Bereichen (IV) verschieden ist, wobei die Polarisationsrichtung des zweiten linear polarisierten Lichtes von der Polarisationsrichtung des ersten linear polarisierten Lichtes verschieden ist; und
schräges Bestrahlen des beschichteten Substrates (31) mit Licht durch die zweite Maske hindurch, um eine Orientierungsrichtung in den dritten Bereichen (III) und in den vierten Bereichen (IV) auszuwählen.
Entfernen der ersten Maske (33);
Bedecken des beschichteten Substrates (31) mit einer zweiten Maske, wobei die zweite Maske erste Bereiche mit einer ersten Transmission, die den dritten Bereichen (III) der Fotoausrichtungsschicht (32) entsprechen und über diesen angeordnet sind, zweite Bereiche mit einer zweiten Transmission, die den vierten Bereichen (IV) der Fotoausrichtungsschicht (32) entsprechen und über diesen angeordnet sind, und lichtundurchlässige Bereiche aufweist, die den ersten Bereichen (I) der Fotoausrichtungsschicht (32) und den zweiten Bereichen (II) der Fotoausrichtungsschicht (32) entsprechen und über den ersten Bereichen (I) und den zweiten Bereichen (II) angeordnet sind, wobei die zweite Transmission von der ersten Transmission verschieden ist;
vertikales Bestrahlen des beschichteten Substrates (31) mit zweitem linear polarisiertem Licht für eine bestimmte Zeitdauer durch die zweite Maske hindurch, so daß die Größe der Kippwinkel in den dritten Bereichen (III) von der Größe der Kippwinkel in den vierten Bereichen (IV) verschieden ist, wobei die Polarisationsrichtung des zweiten linear polarisierten Lichtes von der Polarisationsrichtung des ersten linear polarisierten Lichtes verschieden ist; und
schräges Bestrahlen des beschichteten Substrates (31) mit Licht durch die zweite Maske hindurch, um eine Orientierungsrichtung in den dritten Bereichen (III) und in den vierten Bereichen (IV) auszuwählen.
4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei die Polarisationsrichtung
des ersten linear polarisierten Lichtes senkrecht zu der
Polarisationsrichtung des zweiten linear polarisierten Lichtes
ist.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei das
Fotoausrichtungsmaterial auf Polysiloxan basierende Materialien
aufweist.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei das Licht
ultraviolettes Licht aufweist.
Applications Claiming Priority (2)
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