DE19733702B4 - Halbleitergehäuse und Verfahren zur Herstellung eines Halbleitergehäuses - Google Patents

Halbleitergehäuse und Verfahren zur Herstellung eines Halbleitergehäuses Download PDF

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Abstract

Halbleitergehäuse, das umfaßt:
einen ersten Kühlkörper;
einen zweiten Kühlkörper, der mit dem ersten Kühlkörper verbunden ist;
einen Halbleiterchip, der an einer Oberfläche des ersten Kühlkörpers angebracht ist;
eine Vielzahl von Zuleitungen, die an dem Halbleiterchip angebracht sind;
leitende Drähte oder eine Erhebung, die die Vielzahl von Zuleitungen mit dem Halbleiterchip verbinden; und
einen Formabschnitt, der den Halbleiterchip, die Vielzahl von Zuleitungen und die leitenden Drähte oder Erhebung versiegelt, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Kühlkörper zur Ausbildung einer topfförmigen Struktur vertikal an seitlichen Abschnitten des ersten Kühlkörpers angeordnet ist und daß der Halbleiterchip innerhalb der topfförmigen Struktur angeordnet ist.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • 1. Bereich der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Halbleitergehäuse und insbesondere ein Halbleitergehäuse mit einem Kühlkörper sowie ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleitergehäuses. Obwohl die vorliegende Erfindung für eine Vielzahl von Halbleiterchips geeignet ist, eignet sie sich insbesondere für Hochleistungschips.
  • 2. Beschreibung des Stands der Technik
  • 1 ist eine Querschnittsansicht, die ein herkömmliches Halbleitergehäuse mit untenliegenden Zuleitungen zeigt. Dieses herkömmliche Gehäuse mit untenliegenden Zuleitungen weist eine Vielzahl von untenliegenden Zuleitungen 2a, die elektrisch mit einer Leiterplatte (PCB) (nicht abgebildet) verbunden sind, innere Zuleitungen 2b, die von jeder untenliegenden Zuleitung 2a aufwärts gebogen sind, einen Halbleiterchip 1, der an einer oberen Oberfläche einer jeden untenliegenden Zuleitung 2a mittels eines Klebstoffs 3 befestigt ist, leitende Drähte 4, die die Chip-Kontaktierungsflächen (nicht abgebildet) des Halbleiterchips 1 und die inneren Zuleitungen 2b elektrisch miteinander verbinden, sowie einen Formabschnitt 5 auf. Der Formabschnitt umschließt den Halbleiterchip 1, die untenliegenden Zuleitungen 2a, die inneren Zuleitungen 2b und die leitenden Drähte 4, läßt jedoch die Unterseiten der untenliegenden Zuleitungen 2a frei, um die Montage und Verbindung mit der Leiterplatte (PCB) zu ermöglichen.
  • Das oben beschriebene herkömmliche Halbleitergehäuse mit untenliegenden Zuleitungen hat jedoch den Nachteil, daß die Wärme, die durch den Halbleiterchip 1 erzeugt wird, aufgrund des Formabschnitts 5, der einen geringen Wärmeübertragungsfaktor aufweist, nicht wirksam aus dem Chip geleitet wird. Das Gehäuse ist insbesondere nicht für einen Hochleistungschip geeignet, der einen hohen Wärmeübertragungsfaktor erfordert.
  • Aus der EP 0 651 440 A1 ist ein Halbleitergehäuse mit zwei miteinander verbundenen Kühlkörpern, einem Halbleiterchip, der an einer Oberfläche eines der Kühlkörper angebracht ist, einer Vielzahl von Zuleitungen, die an dem Halbleiterchip angebracht sind, leitenden Drähten, die die Vielzahl von Zuleitungen mit dem Halbleiterchip verbinden, und einem Formabschnitt, welcher den Halbleiterchip, die Vielzahl von Zuleitungen und die leitenden Drähte versiegelt, bekannt.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Demgemäß betrifft die vorliegende Erfindung ein Halbleitergehäuse und ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleitergehäuses, das im wesentlichen eines oder mehrere der Probleme vermeidet, die durch die Nachteile des herkömmlichen Halbleitergehäuses mit untenliegenden Zuleitungen entstehen.
    •
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein verbessertes Halbleitergehäuse bereitzustellen, das die Wärmeübertragung effizient erhöhen kann.
  • Die Lösung der Aufgabe ist in den Patentansprüchen 1 und 9 angegeben.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
  • Zusätzliche Ausgestaltungen und Vorteile der Erfindung werden in der folgenden Beschreibung erläutert.
    •
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine Querschnittsansicht, die ein herkömmliches Halbleitergehäuse mit untenliegenden Zuleitungen zeigt;
  • 2 ist eine Querschnittsansicht, die ein Halbleitergehäuse mit untenliegenden Zuleitungen gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 3 ist eine Ansicht, die ein Halbleitergehäuse mit untenliegenden Zuleitungen gemäß der vorliegenden Erfindung von unten zeigt;
  • 4 ist eine vergrößerte Querschnittsansicht des Bereichs "A" in 2;
  • 5 ist eine Querschnittsansicht, die ein Halbleitergehäuse mit untenliegenden Zuleitungen gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt, das auf einer Leiterplatte (PCB) montiert ist; und
  • 6A bis 6H sind Querschnittsansichten, die ein Herstellungsverfahren für ein Halbleitergehäuse mit untenliegenden Zuleitungen gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Im folgenden wird detailliert auf die bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung Bezug genommen, von denen Beispiele in den anliegenden Zeichnungen dargestellt sind.
  • 2 ist eine Querschnittsansicht, die ein Halbleitergehäuse mit untenliegenden Zuleitungen gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt. Unter Bezugnahme auf 2 ist an seitlichen Abschnitten eines ersten Kühlkörpers (erste Wärmesenke) 6 ein zweiter Kühlkörper 7 vertikal ausgeformt. Der zweite Kühlkörper 7 kann am ersten Kühlkörper 6 befestigt werden oder kann zusammen mit diesem als eine Einheit geformt werden. Der erste Kühlkörper 6 und der zweite Kühlkörper 7 bestehen vorzugsweise aus einem Metall und/oder keramischem Material, das einen hohen Wärmeübertragungsfaktor und eine hohe mechanische Festigkeit aufweist. Der Halbleiterchip 1 ist am ersten Kühlkörper 6 mittels eines ersten Klebstoffs 3 befestigt. Der erste Klebstoff ist vorzugsweise aus einem Material gefertigt, das einen guten Wärmeübertragungsfaktor bzw. eine gute Wärmeleitfähigkeit aufweist. Die inneren Zuleitungen 2b eines Zuleitungsrahmens 2 sind an beiden Seiten des Halbleiterchips 1 mittels eines Klebstoffs befestigt und ein dritter Kühlkörper 8 ist an einem Mittelabschnitt einer oberen Oberfläche des Halbleiterchips 1 mittels eines zweiten Klebstoffs 3a befestigt. Der Zuleitungsrahmen 2 ist vorzugsweise so geformt, daß seine untenliegenden Zuleitungen 2a von den inneren Zuleitungen 2b aufwärts weggebogen sind und ist vorzugsweise aus einer Kupfer- oder Nickellegierung gefertigt.
  • Der dritte Kühlkörper 8 ist vorzugsweise aus einem Metall oder keramischem Material gefertigt, das einen guten Wärmeübertragungsfaktor bzw. eine gute Wärmeleitfähigkeit hat und eine hohe mechanische Festigkeit ähnlich dem ersten und zweiten Kühlkörper 6 und 7 aufweist. Zusätzlich weist der dritte Kühlkörper 8 vorzugsweise einen Flansch 11 auf, der an Randabschnitten an beiden Seiten des dritten Kühlkörpers 8 ausgeformt ist, wie in 4 gezeigt. Der hervorstehende Abschnitt ist vorzugsweise zum Erhöhen der Verbundwirkung des dritten Kühlkörpers 8 mit dem Formabschnitt 5 in einer kreisförmigen oder einer vieleckigen Form ausgebildet. Die inneren Zuleitungen 2b und die Chip-Kontaktierungsflächen (nicht gezeigt) des Halbleiterchips 1 sind durch aus einem leitenden Material gefertigte leitende Drähte 4 miteinander verbunden. Ein Bereich, der durch den ersten bis dritten Kühlkörper 6, 7 und 8 festgelegt wird, wird mit einem Gießharz gefüllt bzw. vergossen, um den Halbleiterchip 1, die inneren Zuleitungen 2b, die untenliegenden Zuleitungen 2a und die leitenden Drähte 4 zu versiegeln, wie in 3 gezeigt. Dieser Formabschnitt 5 ist so geformt, daß die untenliegenden Zuleitungen 2a teilweise freigelegt sind.
  • Wie in 3 gezeigt, können die untenliegenden Zuleitungen 2a elektrisch mit einer Leiterplatte (PCB) (nicht gezeigt) verbunden werden und der größte Teil des unteren Bereichs des Halbleitergehäuses mit untenliegenden Zuleitungen mit Ausnahme der untenliegenden Zuleitungen 2a ist von dem dritten Kühlkörper 8 bedeckt.
  • 5 ist eine Querschnittsansicht, die den Zustand zeigt, in dem ein Halbleitergehäuse mit untenliegenden Zuleitungen gemäß der vorliegenden Erfindung auf einer Leiterplatte (PCB) angebracht ist. Mit Bezug auf 5 sind lediglich die untenliegenden Zuleitungen 2a mit der Leiterplatte (PCB) 10 unter Verwendung eines Lötmittels 9 verbunden.
  • Die 6a bis 6h sind Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung des Halbleitergehäuses mit untenliegenden Zuleitungen gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen. Obwohl hierbei auf die "oberen" Seiten der Bauteile verwiesen wird, versteht es sich, daß diese und andere Bezugsbegriffe lediglich im Hinblick auf die Darstellungen in den Zeichnungen zu verstehen sind.
  • 6a ist eine Querschnittsansicht, die einen Schritt zeigt, in dem der zweite Kühlkörper 7 vertikal an seitlichen Randabschnitten des flachen, plattenförmigen ersten Kühlkörpers angefügt wird. Der erste und zweite Kühlkörper 6 und 7 können vorzugsweise materialeinheitlich ausgebildet sein und sind aus einem Metall und/oder keramischem Material gefertigt, das einen guten Wärmeübertragungsfaktor und eine hohe mechanische Festigkeit aufweist.
  • 6b ist eine Querschnittsansicht, die einen Schritt zeigt, in dem die obere Oberfläche des ersten Kühlkörpers 6 gleichmäßig mit dem ersten Klebstoff 3 überzogen wird. Der erste Klebstoff 3 ist aus einem Material hergestellt, das einen guten Wärmeübertragungs-Wirkungsgrad hat.
  • 6c ist eine Querschnittsansicht, die einen Schritt darstellt, in dem der Halbleiterchip 1 auf der oberen Oberfläche des ersten Kühlkörpers 6 mittels des ersten Klebstoffs 3 befestigt wird.
  • 6d ist eine Querschnittsansicht, die einen Schritt zeigt, in dem die inneren Zuleitungen 2b des Zuleitungsrahmens 2 auf beiden Seiten der oberen Oberfläche des Halbleiterchips 1 mittels eines Klebstoffs befestigt werden. Der Zuleitungsrahmen 2 ist von den inneren Zuleitungen 2b weg aufwärts gebogen, um einen Aufbau mit untenliegenden Zuleitungen auszubilden.
  • 6e ist eine Querschnittsansicht, die einen Schritt zeigt, in dem die inneren Zuleitungen 2b und die Chip-Kontaktierungsflächen des Halbleiterchips 1 durch Verwendung von leitendem Draht 4 miteinander verbunden werden. Der leitende Draht 4 ist aus einem geeigneten leitenden Material hergestellt.
  • 6f ist eine Querschnittsansicht, die einen Schritt zeigt, in dem der zweite Klebstoff 3a auf einem oberen Mittelabschnitt des Halbleiterchips 1 gleichmäßig aufgetragen wird. Der zweite Klebstoff 3a ist aus einem Material gefertigt, das einen guten Wärmeübertragungsfaktor bzw. eine gute Wärmeleitfähigkeit aufweist.
  • 6g ist eine Querschnittsansicht, die einen Schritt zeigt, in dem der dritte Kühlkörper 8 an dem oberen Mittelabschnitt des Halbleiterchips 1 mittels des zweiten Klebstoffs 3a befestigt wird. Der dritte Kühlkörper 8 ist aus einem Metall oder einem Keramikmaterial mit einem guten Wärmeübertragungsfaktor und einer hohen mechanischen Festigkeit gefertigt.
  • 6h ist eine Querschnittsansicht, die einen Schritt zeigt, in dem der von dem ersten bis dritten Kühlkörper 6, 7 und 8 festgelegte Bereich mit einem Gießharz ausgefüllt bzw. vergossen wird, wobei die unterliegenden Zuleitungen 2a nach außen hin freigelegt bleiben, so daß der Halbleiterchip 1, die inneren Zuleitungen 2b, die untenliegenden Zuleitungen 2a und der leitende Draht 4 versiegelt sind, um so den Formabschnitt 5 zu bilden.
  • Wie zuvor beschrieben, bewirkt das erfindungsgemäße Halbleitergehäuse mit untenliegenden Zuleitungen, daß Wärme, die von dem Halbleiterchip 1 erzeugt wird, unter Verwendung der ersten, zweiten und dritten Kühlkörper 6, 7 und 8, die an der oberen und unteren Oberfläche und den Seitenflächen des Halbleiterchips 1 angebracht sind, effektiver abgestrahlt bzw. abgeleitet wird. Das erfindungsgemäße Halbleitergehäuse mit untenliegenden Zuleitungen ist somit gut für einen Hochleistungschip geeignet, der eine hohe Wärmeübertragungseffizienz erfordert, um die während des Betriebs des Chips erzeugte große Wärme abzuleiten. Außerdem ist es möglich, die Haftung des Formabschnitts 5 zu erhöhen, indem von dem Flansch 11 des dritten Kühlkörpers 8 hervorstehende Abschnitte beispielsweise eine runde oder eine vieleckige Form aufweisen.

Claims (14)

  1. Halbleitergehäuse, das umfaßt: einen ersten Kühlkörper; einen zweiten Kühlkörper, der mit dem ersten Kühlkörper verbunden ist; einen Halbleiterchip, der an einer Oberfläche des ersten Kühlkörpers angebracht ist; eine Vielzahl von Zuleitungen, die an dem Halbleiterchip angebracht sind; leitende Drähte oder eine Erhebung, die die Vielzahl von Zuleitungen mit dem Halbleiterchip verbinden; und einen Formabschnitt, der den Halbleiterchip, die Vielzahl von Zuleitungen und die leitenden Drähte oder Erhebung versiegelt, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Kühlkörper zur Ausbildung einer topfförmigen Struktur vertikal an seitlichen Abschnitten des ersten Kühlkörpers angeordnet ist und daß der Halbleiterchip innerhalb der topfförmigen Struktur angeordnet ist.
  2. Halbleitergehäuse nach Anspruch 1, bei dem der zweite Kühlkörper als Einheit mit dem ersten Kühlkörper ausgebildet ist.
  3. Halbleitergehäuse nach Anspruch 1, das weiter einen dritten Kühlkörper aufweist, der an dem Halbleiterchip angebracht ist.
  4. Halbleitergehäuse nach Anspruch 3, bei dem der dritte Kühlkörper einen Flansch an mindestens einem seiner Randabschnitte aufweist.
  5. Halbleitergehäuse nach Anspruch 4, bei dem der Flansch einen sich von dem Flansch weg erstreckenden Abschnitt aufweist.
  6. Halbleitergehäuse nach Anspruch 1, bei dem ein Teil der Zuleitungen nach außen hin freiliegt.
  7. Halbleitergehäuse nach Anspruch 1, bei dem der erste und zweite Kühlkörper Metall oder keramisches Material aufweisen.
  8. Halbleitergehäuse nach Anspruch 1, bei dem der dritte Kühlkörper an einer Oberseite des Halbleiterchips befestigt ist.
  9. Verfahren zur Herstellung eines Halbleitergehäuses, das folgende Schritte umfaßt: Formen eines ersten Kühlkörpers; Formen eines zweiten Kühlkörpers, der mit dem ersten Kühlkörper verbunden ist; Anbringen eines Halbleiterchips auf dem ersten Kühlkörper; Anbringen einer Vielzahl von Zuleitungen an dem Halbleiterchip; Verbinden der Zuleitungen mit dem Halbleiterchip mittels leitender Drähte oder einer Erhebung; und Vergießen des Halbleiterchips, der Zuleitungen und der leitenden Drähte oder Erhebung, um das Gehäuse zu formen, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Kühlkörper zur Ausbildung einer topfförmigen Struktur vertikal an seitlichen Abschnitten des ersten Kühlkörpers angeordnet wird und daß der Halbleiterchip innerhalb der topfförmigen Struktur auf dem ersten Kühlkörper angebracht wird.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, bei dem der zweite Kühlkörper und der erste Kühlkörper in einem Stück geformt werden.
  11. Verfahren nach Anspruch 9, das weiter den Schritt des Formens eines dritten Kühlkörpers auf dem Halbleiterchip umfaßt.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, bei dem der dritte Kühlkörper einen Flansch an mindestens einer Seite des dritten Kühlkörpers umfaßt.
  13. Verfahren nach Anspruch 12, bei dem der Flansch einen sich vom Flansch weg erstreckenden Abschnitt umfaßt.
  14. Verfahren nach Anspruch 9, bei dem ein Teil der Zuleitungen nach außen hin freigelassen wird.
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