Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Behandeln von
Substraten in einem Fluid-Behälter gemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 1.
Es sind Vorrichtungen aus der US-PS 5 275 184 oder der
auf dieselbe Anmelderin zurückgehenden DE-A 44 13 077 be
kannt, bei der ein Fluid über eine Einlaßöffnung bzw. ei
nen Diffusor in das Fluid-Becken eingeleitet und über ei
nen Überlauf am oberen Ende aus ihm ausströmt. Bei Ver
wendung einer einzigen Zuströmöffnung am Boden des Fluid
behälters ist die pro Zeiteinheit einströmende Menge so
wie die Geschwindigkeit des einströmenden Fluids be
grenzt. Insbesondere ist es damit nicht möglich, im Be
hälter gleichmäßige Strömungsverhältnisse zu erreichen,
um die im Fluid-Becken zu behandelnden Substrate oder Wa
fer über die gesamte Substratbreite oder -fläche hinweg
gleichmäßig mit dem Fluid zu beaufschlagen bzw. zu umspü
len. Bei Verwendung eines Diffusors ist es zwar möglich,
das einströmende Fluid im Fluid-Behälter besser über die
Fluidfläche hinweg zu verteilen, die pro Zeiteinheit ein
strömende Fluid-Menge und insbesondere auch die Einström
geschwindigkeit des Fluids ist bei der Verwendung von
Diffusoren aber stark beschränkt.
Aus JP 5-267263-A2, JP 208984-A2, US 5 000 795,
JP 6-196466-A2, JP-5-267262-A2 oder JP 4-80924-A2 sind
Vorrichtungen zur Substratbehandlung in einem Fluid-
Behälter bekannt, bei denen ein Düsensystem mit mehreren
Düsen zum Einleiten eines Fluids vorgesehen sind. Die Dü
sen sind auf einem Behälterboden verteilt angeordnet, um
die Fluidverteilung über die Bodenfläche hinweg zu ver
bessern. Die Fluid-Strömung erfolgt dabei im wesentlichen
parallel zu den Seitenwänden von unten nach oben, wobei
die Substrate in einigen Fällen in Substratbehälter, so
genannten Kassetten, gehalten sind, mit denen die Sub
strate in den Fluidbehälter eingesetzt und herausgehoben
werden. Die Strömungsrichtung bei den bekannten Vorrich
tungen ist parallel zu den senkrechten Wänden des Fluid
behälters gerichtet. Um eine Strömungskomponente in einem
Winkel zu den Fluidbehälterwänden zu erhalten, ist bei
der Vorrichtung gemäß der JP 5-267263 ein runder
Behälterboden vorgesehen, in dem die Düsen ausgebildet
sind. Ein derartiger Behälterboden ist jedoch fertigungs
technisch außerordentlich kompliziert und kostenintensiv,
weil für die Behälterwandungen üblicherweise Quarz ver
wendet wird. Gemäß einer weiteren, aus der JP 5-267263-A1
und der JP 6-208984 A2 bekannten Vorrichtung sind Düsen
vorgesehen, die im unteren Bereich des Fluidbehälters in
einem Winkel zur Senkrechten das Behandlungsfluid ab
strahlen. Abgesehen davon, daß dafür zusätzliche Düsen
angeordnet und befestigt werden müssen, ist die genaue
winkelmäßige Ausrichtung der Düsen kompliziert, ganz zu
schweigen davon, daß für die Anbringung derartiger Düsen
im Fluidbehälter ein erheblicher Raumbedarf besteht, der
im Hinblick auf die sehr teuren Fluid-Materialien bzw.
den hohen Aufwand bei der Wiederaufbereitung der Behand
lungsfluids unerwünscht ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine Vorrich
tung zum Behandeln von Substraten in einem Fluid-Behälter
zu schaffen, die kostengünstig herstellbar ist, geringe
Abmessungen und damit einen geringen Fluidverbrauch er
möglicht und dennoch optimale Strömungsverhältnisse im
Fluidbehälter aufweist, große Umwelt- bzw. Fließge
schwindigkeiten zuläßt und insbesondere auch im Hinblick
auf einen nachfolgenden Trocknungsvorgang optimale Vor
aussetzungen schafft.
Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den kenn
zeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
Aufgrund mehrerer Düsen ist es möglich, das Fluid mit den
gewünschten Strömungsverhältnissen bzw. zum Erreichen ge
wünschter Strömungsverhältnisse im Fluid-Behälter ein
strömen zu lassen, so daß der gesamte zu behandelnde Sub
stratbereich gleichmäßig von dem Fluid umspült und be
aufschlagt wird. Durch die Verwendung von Düsen zur Ein
leitung des Fluids ist es auch möglich, das Fluid mit ho
hen Einströmgeschwindigkeiten und hohen Durchflußmengen
pro Zeiteinheit in den Fluid-Behälter einzubringen und in
ihm strömen zu lassen, so daß bei Aufrechterhaltung eines
laminaren Stromes hohe Fließgeschwindigkeiten erreicht
werden. Dadurch wird nicht nur die Behandlung der Sub
strate verbessert, sondern auch der Behandlungsvorgang
verkürzt, so daß die Produktivität der Vorrichtung erhöht
wird.
Die Düsen sind auf dem Boden des Fluid-Behälters vorzugs
weise matrixartig verteilt angeordnet. Auf diese Weise
ergibt sich eine gleichmäßige Verteilung der Fluid-Zufuhr
über die gesamte Fläche des Fluid-Behälters hinweg und
insbesondere ist es auch möglich, in den Randbereichen
gute Strömungsverhältnisse zu schaffen.
Gemäß der Erfindung ist der Boden des Fluid-Behälters ge
neigt, und fällt jeweils zur Mitte, etwa zu einer Mittel
linie oder zu einem Mittelpunkt des Fluid-Behälters hin
ab. Durch die Neigung des Bodens kann das Behältervolumen
wesentlich verringert werden, so daß die teuren und in ih
rer Wiederaufbereitung aufwendigen Behandlungsfluids, wie
beispielsweise Spülfluids oder dergleichen, in kleineren
Mengen eingesetzt zu werden brauchen, ohne daß dadurch
die Qualität des Behandlungsvorgangs leidet. Ein weiterer
wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen zur Mitte des
Fluidbehälters hin abfallenden Bodens besteht insbeson
dere auch darin, daß die im Fluidboden vorgesehenen oder
ausgebildeten Düsen oder Fluid-Eintrittsöffnungen das Be
handlungsfluid durch die Neigung des Bodens selbst in ei
nem dem Neigungswinkel des Bodens entsprechenden Winkel
zur Senkrechten auf die Substrate, beispielsweise Wafer,
gelangt, was für die Behandlung, insbesondere für die
Reinigung und Spülung der Wafer von Vorteil ist, weil das
Fluid dadurch nicht nur parallel an den senkrecht im
Fluid Behälter angeordneten Wafer vorbei strömt, sondern
auch auf seitliche Flächen der Wafer auftritt. Durch den
geneigten Boden mit den darin angebrachten oder ausgebil
deten Düsen sind keine speziellen Düsen erforderlich und
es wird auch vermieden, die sonst erforderliche Ausrich
tung der Düsen winkelmäßig einzustellen.
Gemäß besonders vorteilhaften Ausgestaltungen der Erfin
dung weisen wenigstens einige Düsen unterschiedliche Ab
strahlwinkel auf. Die Abstrahlformen der Düsen können
vorzugsweise kegelförmig, aber auch fächerförmig sein, so
daß die Einleitung des Fluids je nach den Gegebenheiten
des Einzelfalles und der Lage der Düsen im Hinblick auf
eine gleichmäßige, laminare Strömung im Fluid-Behälter
und eine gleichmäßige Beaufschlagung der Substrate mit
dem Fluid optimierbar ist.
Die Düsen sind vorteilhafterweise zu Düsengruppen zusam
mengefaßt, die vorzugsweise an unterschiedlichen Bodenbe
reichen des Behälters angeordnet sind. Vorteilhaft ist
es, wenn eine Düsengruppe im mittleren Bereich und je
weils eine Düsengruppe in den beiden Außenbereichen vor
gesehen ist, wobei die Dichte und Anzahl der Düsen in den
einzelnen Bereichen unterschiedlich gewählt sein kann.
Vorteilhaft ist es auch, wenn die einzelnen Düsen
und/oder Düsengruppen voneinander getrennte Fluid-Versor
gungseinrichtungen aufweisen, so daß die Düsen mit unter
schiedlichem Fluid-Druck beaufschlagbar sind.
Gemäß einer sehr vorteilhaften Ausführungsform der Erfin
dung ist unter dem Boden des Fluid-Behälters ein Fluid-
Zuführraum vorgesehen, mit dem die Düsen in Verbindung
stehen. Dabei ist der Fluid-Zuführraum gemäß einer weite
ren Ausführungsform der Erfindung in Teilräume für ein
zelne Düsen und/oder Düsengruppen unterteilt.
Der Fluid-Zuführraum unterhalb des Behälter-Bodens ist
vorzugsweise in Form eines Zwischenraums zwischen einem
doppelten Boden ausgebildet.
Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Er
findung sind zusätzlich zu den Düsen Freispül-Öffnungen
zum Freispülen der Düsen vorgesehen, die vorteilhafter
weise ebenfalls maxtrixförmig angeordnet sind und sich
zwischen den Düsen befinden. Auf diese Weise ist es mög
lich, auch die Zwischenräume zwischen den Düsen und die
toten Winkel freizuspülen. Die Freispül-Öffnungen stehen
dabei vorteilhafterweise ebenfalls wie die Düsen mit dem
darunterliegenden Fluid-Zuführraum in Verbindung.
Zum schnellen Ablassen des Fluids ist im Fluid-Behälter,
und dort insbesondere in der Mitte bzw. in der Mittelli
nie, eine verschließbare Öffnung vorgesehen, die einen
großen Durchmesser aufweist. Im Falle eines Stromausfalls
oder einer sonstigen Unregelmäßigkeit, aber auch im Zu
sammenhang mit gängigen Verfahrensschritten ist es auf
diese Weise möglich, die im Fluid-Behälter befindlichen
Substrate schnell von dem Behandlungs-Medium, beispiels
weise ätzenden Substanzen, zu befreien. Zur Aufnahme des
schnell abgelassenen Fluids ist vorzugsweise unterhalb
des Fluidbeckens ein Auffangbehälter vorgesehen.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung besteht darin,
zusätzlich zu oder statt den Düsen auf dem Behälter-Boden
Düsen an den Seitenwänden des Fluid-Behälters vorzusehen,
um auf diese Weise auch seitlich oder im Bereich des
Übergangs des Fluid-Bodens zu den Seitenwänden Fluid in
den Fluid-Behälter einzuleiten, damit die Strömungsver
hältnisse weiter verbessert oder dadurch das Umwälzvolu
men erhöht werden bzw. wird.
Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausführungsform
der Erfindung sind Düsen und/oder Düsengruppen für unter
schiedliche Fluids vorgesehen. Die einzelnen Düsen
und/oder Düsengruppen für unterschiedliche Gruppen sind
dabei auch hinsichtlich der Zuleitungen und Pumpen von
einander getrennt, so daß die unterschiedlichen Fluids,
etwa unterschiedliche Chemikalien, durch Düsen- und/oder
Düsengruppen eingeleitet werden, die den Chemikalien zu
geordnet sind. Auf diese Weise ist ein Fluid-Wechsel
schnell und ohne die Gefahr einer Vermischung möglich, da
an die jeweiligen Düsen immer nur die diesen Düsen zuge
ordneten Fluids gelangen.
Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausführungsform
der Erfindung werden zusätzlich zu den über die Düsen
eingeleiteten Fluids weitere Fluids, beispielsweise zu
sätzliche Chemikalien, Gase, Ozon, Wasser usw. in den
Fluid-Behälter eingeleitet. Insbesondere zur zusätzlichen
Einleitung von Chemikalien, Gasen, Ozon oder Wasser ist
im Fluid-Behälter wenigstens ein Diffusor vorgesehen.
Sehr vorteilhaft ist auch eine Ausführungsform der Erfin
dung, bei der Sprühdüsen im oberen Bereich des Fluid-Be
hälters, etwa an den Seitenwänden angeordnet sind, die
zur Reinigung des Fluid-Behälters und/oder dazu dienen,
die Substrate zwischen unterschiedlichen im selben Fluid-
Behälter ablaufenden Verfahren, etwa zwischen dem Ätzpro
zeß, dem Reinigungsprozeß und dem Trocknungsvorgang zu
befeuchten bzw. naß zu halten. Vorzugsweise werden hier
für Aerosole, Wasser, sonstige Chemikaliendämpfe einge
sprüht, oder auch Fluids die auch von unten in die Fluid-
Behälter eingeleitet werden.
Vorzugsweise weist der Fluid-Behälter eine Substrat-Auf
nahmevorrichtung auf, die vorteilhafterweise drei Halte
rungsbereiche für die Halterung der Substrate umfaßt. Im
Gegensatz zur Verwendung von Substratkassetten wird die
Strömung des Behandlungsfluids von unten nach oben nicht
oder wesentlich weniger gestört, so daß der
Behandlungsvorgang besser abläuft und keine bzw. weniger
tote Winkel für das Behandlungsfluid auftreten. Durch die
Halterung der Substrate an drei Stellen ist eine
definierte Lage der Substrate sichergestellt, ohne daß
Führungen im Fluid-Becken erforderlich sind. Die
Substrat-Aufnahmevorrichtung ist vorzugsweise anheb- und
absenkbar. Vorteilhaft ist es dabei, wenn wenigstens ein
Halterungsbereich ein messerartiger Steg ist, der quer
zur Steglängsrichtung Schlitze zur Aufnahme der Substrat-
Randbereiche aufweist. Vorzugsweise ist wenigstens ein
Halterungsbereich relativ gegenüber wenigstens einem an
deren Halterungsbereich in senkrechter Richtung bewegbar.
Um Wiederholungen zu vermeiden, wird bezüglich dieses
Merkmals auf die nicht vorveröffentlichte DE-A 196 15 108
und DE-A 195 46 990 derselben Anmelderin verwiesen, die
zur Vermeidung von Wiederholungen insofern zum Gegenstand
der vorliegenden Anmeldung gemacht werden.
Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausführungsform
der Erfindung weist die Substrat-Aufnahmevorrichtung nur
einen Halterungsbereich, etwa einen messerartigen Steg
auf, wobei in bzw. auf der Innenfläche wenigstens einer
Seitenwand des Fluid-Behälters Führungen für die Sub
strate vorgesehen sind. Diese Ausführungsform hat neben
der Verminderung von toten Winkeln und Verwirbelungen des
hochströmenden Behandlungsfluids den Vorteil, daß im
Fluid-Becken für die Substrat-Aufnahmevorrichtung kein
oder nur ein geringer Raumbedarf besteht, so daß das Be
hälter-Volumen und damit das Chemikalien-Volumen klein
bleibt und die Prozeßkosten, die in erheblichem Maße vom
Verbrauch der Chemikalien abhängen, kleingehalten werden
können. Die Führungen werden durch Schlitze, vorzugsweise
jedoch durch Stege, Stifte und/oder Noppen gebildet, die
gegenüber Schlitzen den Vorteil haben, daß sie einfacher
und schneller gesäubert und - falls erforderlich - ge
trocknet werden können. Beim Verdrängen eines Fluids
durch ein anderes oder beim Umfüllen des Fluid-Behälters
bleibt in den Schlitzen relativ viel Fluid haften und
verunreinigt das nachfolgend eingeleitete Fluid.
Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausführungsform
der Erfindung weisen die Innenflächen der Seitenwände des
Fluid-Behälters Bereiche ohne Führungen auf. Ohne die si
chere Führung und Halterung der Substrate im Fluid-Behäl
ter zum Beeinträchtigen sind die Bereiche der Innenflä
chen ohne Führungen zu den Bereichen der Innenflächen mit
Führungen versetzt angeordnet. Wenn beispielsweise in ei
nem Bereich der Innenfläche Führungen vorgesehen sind,
sind Führungen auf der gegenüberliegenden Innenfläche
nicht erforderlich, da Führungen auf einer Seite ausrei
chen. An den führungsfreien Bereichen der Innenflächen
sind vorzugsweise Einlaßöffnungen, Sprühdüsen, Diffuso
ren, Ultraviolett-Lichtquellen und/oder Megasonic-Ab
strahlvorrichtungen vorgesehen.
Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung
besteht darin, eine über das Fluid-Becken bringbare Haube
zu verwenden, die vorzugsweise wenigstens eine Fluid-Ein
laßöffnung, insbesondere zum Einlassen eines Fluids für
den Trocknungsvorgang nach dem MARANGONI-Prinzip, auf
weist. Um Wiederholungen zu dieser Ausführungsform zu
vermeiden, wird insbesondere auf die DE-A 44 13 077 sowie
die nicht vorveröffentlichten, auf dieselbe Anmelderin
zurückgehenden DE-A 195 00 239, DE-A 196 15 108 und
DE-A 196 15 970, angemeldet am 22. April 1996, verwiesen,
die insofern zum Gegenstand der vorliegenden Anmeldung
gemacht werden.
Vorteilhaft ist weiterhin die Verwendung einer Heiz-
und/oder Kühleinrichtung zum Erwärmen und/oder Kühlen des
Fluids im Fluid-Behälter, mit der die Fluid-Temperatur
auf einen wählbaren, optimalen Wert einstellbar ist. Auch
ist die Verwendung einer Ultraviolett-Lichtquelle vor
teilhaft, die am Boden und/oder an den Seitenwänden des
Fluid-Behälters angeordnet ist.
Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung be
steht darin, einen Substrat-Niederhalter etwa in Form ei
ner Halteleiste vorzusehen, die auf den oberen Randbe
reich der Substrate auf legbar ist. Um Wiederholungen
hierzu zu vermeiden, wird auf die auf dieselbe Anmelderin
zurückgehende DE-A 196 15 970, angemeldet am 22. April
1996, verwiesen, die insofern zum Inhalt der vorliegenden
Anmeldung gemacht wird.
Vorteilhaft ist weiterhin eine Magasonic-Abstrahlvorrich
tung, die vorzugsweise in Form eines Megasonic-Trans
ducers im Fluid-Behälter integriert ist bzw. sind. Ein
vorteilhafter Anbringungsort ist dafür die vom Boden und
den Seitenwänden gebildeten Ecken des Fluid-Behälters,
wobei die Abstrahlrichtung bezüglich der Horizontalen
vorzugsweise 45° beträgt.
Da mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung der Behälter
sehr schnell gefüllt werden kann, und eine starke Düsen
wirkung beim Einbringen des Fluids in den Behälter auf
tritt, ist insbesondere eine Vorrichtung zum Abdecken des
Fluid-Behälters vorteilhaft, die verhindert, daß Fluid in
Form von Spritzern in eine vorhandene Haube gelangt, die
vorzugsweise für den Trocknungsvorgang eingesetzt wird.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist vorzugsweise mit ei
ner Fluid-Aufbereitungseinrichtung verbunden, in der
Fluids oder Fluidmischungen aufgefangen und aufbereitet
werden, so daß sie wiederverwendet werden können und vor
zugsweise in den Fluid-Behälter rückgeführt werden.
Vorteilhaft ist weiterhin eine Trenn-Anlage, in der die
in der Abluft enthaltenen alkalischen und Säuredämpfe ge
trennt werden.
Insbesondere für die Behandlungs- und Spülvorgänge ist es
vorteilhaft, wenn die Substrate im Fluid-Behälter gedreht
werden können. Dafür ist vorzugsweise eine Vorrichtung
vorgesehen, die die Substrate im Fluid-Behälter dreht.
Es ist vorteilhaft, die Fluids bei der Verwendung von
Fluid-Mischungen vor dem Einbringen in den Fluid-Behälter
vorzumischen.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von bevorzugten
Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Figuren
erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen
Vorrichtung im Querschnitt,
Fig. 2 die in der Fig. 1 gezeigte Vorrichtung in
Aufsicht bzw. mit Blickrichtung von oben in den
Fluid-Behälter, und
Fig. 3 einen Querschnitt entlang einer Querschnitts
fläche, die gegenüber der Querschnittsfläche
der in Fig. 1 gezeigten Darstellung um 90°
gedreht ist.
Wie aus den Figuren ersichtlich ist, weist der Fluid-Be
hälter 1 der erfindungsgemäßen Vorrichtung einen Boden 2
und Seitenwände 3 auf. Auf den in Fig. 1 gegenüberlie
genden Seitenwänden 3 sind Schlitze 4 vorgesehen, in de
nen Substrat-Scheiben 5 geführt sind, und die auf einer
Substrat-Aufnahmevorrichtung 6 stehen, die mittels einer
nicht dargestellten Antriebsvorrichtung in vertikaler
Richtung beweglich ist und die Wafer 5 in den Fluid-Be
hälter 1 absenkt und aus ihm herausfährt. Die Substrat-
Aufnahmevorrichtung 6 besteht bei dem dargestellten Aus
führungsbeispiel aus einem messerartigen Steg mit Schlit
zen oder Kerben, die entsprechend dem Abstand zwischen
den Führungsschlitzen 4 in den einander gegenüberliegen
den Seitenwänden 3 beabstandet sind.
Wie am besten aus Fig. 1 ersichtlich ist, ist der Boden
2 auf beiden Seiten einer Mittellinie nach innen geneigt,
so daß ein Fluid bei Entleerung des Behälters 1 in der
Mitte nach unten ausströmt.
Der Boden 2 weist eine Vielzahl von Düsen 7 auf, die ma
trixförmig angeordnet sind, wie dies am besten aus Fig.
3 zu ersehen ist. Die Düsen weisen unterschiedliche Dü
senaustritts- bzw. Abstrahlwinkel 8, 9 auf, wie dies in
Fig. 1 eingezeichnet ist. Aufgrund der unterschiedlichen
Abstrahlwinkel bzw. aufgrund der unterschiedlichen Ab
strahlformen ergibt sich eine gute, gleichmäßige laminare
Strömung über das gesamte Fluid-Behälterprofil hinweg und
die Substrate 5 werden über die gesamte Breite hinweg
gleichmäßig mit dem aus den Düsen 7 austretenden Fluid
beaufschlagt.
Aus Fig. 1 ist ersichtlich, daß unterhalb des Bodens 2
Hohlräume 12, 13, 14, 15 ausgebildet sind, die nach unten
durch eine Abschlußplatte 16 abgeschlossen sind. Über die
Hohlräume 12 bis 15 wird das Fluid den mit den jeweiligen
Hohlräumen in Verbindung stehenden Düsen 7 zugeleitet.
Zwischen den Düsen 7 sind im Boden 2 Freispül-Öffnungen
18 vorgesehen, die entsprechend Fig. 2 ebenfalls matrix
förmig auf dem Boden 2 des Fluid-Behälters 1 verteilt
sind. Die Freispül-Öffnungen 18 spülen die Bereiche des
Bodens 2 zwischen den Düsen 7 frei und stehen ebenfalls
für die Fluid-Zufuhr mit entsprechenden Fluid-Zuführräu
men 12 bis 15 unterhalb des Bodens 2 in Verbindung.
Wie Fig. 1 zeigt, ist in der Mitte des Bodens 2 eine
Öffnung 19 für das schnelle Ablassen des im Fluid-Behäl
ter 1 befindlichen Fluids vorgesehen, etwa dann, wenn
Stromausfall eintritt und/oder die sich im Fluid-Behälter
1 befindenden Substrate 5 schnell aus der Fluid-Umgebung,
beispielsweise einem Ätz-Medium, befreit werden müssen.
Bei Öffnen eines Verschlusses 20 wird das Fluid innerhalb
eines kleinen Zeitraums in einen nicht dargestellten, un
ter dem Fluid-Behälter 1 angeordneten Auffangbehälter
entleert.
Die Substrat-Aufnahmevorrichtung 6 befindet sich im Be
reich oberhalb des Verschlusses 20 teilweise innerhalb
des Bodens 2 und ragt nur zu einem geringen Teil über die
Düsenöffnungen nach oben hinaus. Dadurch ist innerhalb
des Fluid-Behälters 1 nur wenig zusätzlicher Raum für die
Substrat-Aufnahmevorrichtung erforderlich, so daß das
Fluid-Volumen im Fluid-Behälter 1 klein gehalten werden
kann.
Auf der Oberseite der Seitenwände 3 befinden sich Über
lauf-Öffnungen 21, über die das von unten einströmende
Fluid abfließt.
Die Erfindung wurde zuvor anhand eines bevorzugten Aus
führungsbeispiels erläutert. Dem Fachmann sind jedoch
zahlreiche Abwandlungen und Ausgestaltungen möglich, ohne
daß dadurch der Erfindungsgedanke verlassen wird. Bei
spielsweise ist über dem Fluid-Behälter 1 eine Haube an
bringbar, oder es sind an den Seitenwänden 3 des Fluid-
Behälters 1, beispielsweise im oberen Bereich, Sprühdüsen
zum Reinigen des Beckens oder zum Besprühen der Substrate
5 zwischen den einzelnen Verfahrensschritten und Behand
lungsprozessen vorgesehen. Auch ist der Einsatz von Me
gasonic-Transducern, von Ultraviolett-Lichtquellen oder
von Vorrichtungen zum Drehen der Wafer 5 im Fluid-Behäl
ter 1 möglich, wie dies zuvor bereits beschrieben wurde.