DE19645150A1 - Optische Anordnung zur Symmetrierung der Strahlung von Laserdioden - Google Patents
Optische Anordnung zur Symmetrierung der Strahlung von LaserdiodenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung zur
Symmetrierung der Strahlung von Laserdioden nach dem
Oberbegriff des Hauptanspruchs.
Zur Herstellung von Hochleistungslaserdiodenanordnun
gen werden eine Mehrzahl von Laserdioden in fester
Zuordnung zu sogenannten Laserdiodenbarren nebenein
ander angeordnet. Derartige Laserdiodenbarren mit
optischen Ausgangsleistungen im Bereich bis etwa 30 W
bestehen üblicherweise aus mehreren in einer Reihe
angeordneten Laserdioden als Einzelemittern mit einer
geometrischen Abmessung der abstrahlenden Fläche zwi
schen etwa 50 × 1 µm und etwa 200 × 1 µm, wobei die
lineare Anordnung dieser Emitter stets in Richtung
ihrer größten Ausdehnung erfolgt. Die Ausgangsstrah
lung dieser Laserdiodenbarren ist extrem unsymme
trisch. Für die meisten praktischen Anwendungen sol
cher Laserdiodenbarren, zum Beispiel zum Pumpen von
Festkörperlasern, für Zwecke der Materialbearbeitung
und medizinische Zwecke wird ein symmetrisches Bündel
hoher Strahldichte benötigt. Für einen breiten Ein
satz von Hochleistungsdiodenlasern in den genannten
Gebieten sind somit möglichst kompakte optische Sy
steme zur Strahlsymmetrierung erforderlich.
Es sind Anordnungen zur Symmetrierung der Strahlung
von Hochleistungslaserdioden bekannt, die beispiels
weise spezielle Strahlendrehelemente in Form von
Prismen verwenden, wodurch die von den einzelnen
Emittern ausgesandten Strahlenbündel räumlich typi
scherweise um 90° gedreht werden (US 5 168 401,
EP 0 484 276). In einer anderen Anordnung durchläuft
die Ausgangsstrahlung der Laserdioden ein System aus
zwei schwach zueinander geneigten hochreflektierenden
Flächen derart, daß sich am Ausgang dieses Systems
eine geeignete Rekonfigurierung des Laserdiodenbün
dels ergibt (WO 95/15510). In allen Fällen wird ein
weitgehend symmetrisches Ausgangsbündel geschaffen,
welches sich gut fokussieren läßt.
Nachteilig an diesen bekannten Systemen ist insbeson
dere die Kompliziertheit der verwendeten mikroopti
schen Elemente, wobei dies insbesondere für die
Strahlendrehung gilt, bei der eine Realisierung für
größere Emitterzahlen im Laserdiodenbarren als äu
ßerst schwierig erscheint, der hohe Justieraufwand
des Gesamtsystems und die fehlende Möglichkeit zur
preisgünstigen Herstellung solcher Systeme.
Ausgehend vom Stand der Technik liegt der Erfindung
die Aufgabe zugrunde, eine optische Anordnung zur
Symmetrierung der Strahlung einer Mehrzahl von in
fester Zuordnung nebeneinander angeordneten Laserdio
den zu schaffen, die unter Verwendung vergleichsweise
einfacher mikrooptischer Komponenten die Ausgangs
strahlung ohne Strahldichteneinbußen bei verbessertem
optischen Wirkungsgrad und gleichzeitiger Verringe
rung der Abmessungen der Anordnung transformiert.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kenn
zeichnenden Merkmale des Hauptanspruchs in Verbindung
mit den Merkmalen des Oberbegriffs gelöst.
Dadurch, daß eine Mikrozylinderlinse mit ausreichend
großer Isoplanasie in geneigter Orientierung zum La
serdiodenbarren angeordnet wird, das heißt um die als
z-Achse bezeichnete optische Achse gekippt wird, er
halten die Ausgangsbündel der Einzelemitter jeweils
unterschiedliche Abstrahlwinkel und werden somit in
genügend großem Abstand hinter der Linse in der ge
wünschten Richtung senkrecht zu der Richtung der li
nearen Anordnung der Einzelemitter getrennt. Durch
ein nachgeschaltetes optisches Direktionselement wird
die Ausgangsstrahlung der einzelnen Laserdioden bzw.
Emitter in der Richtung der linearen Anordnung der
einzelnen Laserdioden so umgelenkt, daß in einem vor
gegebenen Abstand hinter dem Direktionselement die
Bündelschwerpunkte in dieser Richtung zusammenfallen.
Dadurch, daß weiterhin hinter dem Direktionselement
ein Redirektionselement angeordnet ist, das die Aus
gangsstrahlbündel der einzelnen Laserdioden derart
umlenkt, daß die vom Direktionselement erzeugten Ab
lenkwinkel wieder kompensiert werden, wird insgesamt
eine einfache und kostengünstige Anordnung zur
Strahlformung zur Verfügung gestellt, die gegenüber
dem Stand der Technik eine verbesserte optische Effi
zienz aufweist.
Durch die in den Unteransprüchen angegebenen Maßnah
men sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesse
rungen möglich.
Ein Ausführungsbeispiel ist in der Zeichnung dargestellt
und wird in der nachfolgenden Beschreibung
näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 die optische Anordnung zur Symmetrie
rung der Strahlung einer Mehrzahl von
Laserdioden in zwei verschiedenen Ebe
nen mit den Strahlengängen,
Fig. 2 die optischen Strahlengänge in den
zwei Ebenen für eine in der Mitte des
Laserdiodenbarrens angeordnete Laser
diode, und
Fig. 3 die Strahlengänge einer am Rand des
Laserdiodenbarrens angeordneten Laser
diode.
Bei der in Fig. 1 dargestellten optischen Anordnung
zur Strahlformung ist mit 1 ein Hochleistungs-Laser
diodenbarren bezeichnet. Der Laserdiodenbarren 1
weist eine Mehrzahl von in y-Richtung nebeneinander
angeordneten einzelnen Laserdioden oder Einzelemitter
2 auf, die einen festen Abstand zueinander haben. Ein
typischer Laserdiodenbarren 1 besitzt in der Richtung
der Nebeneinanderordnung (y-Richtung) eine Abmessung
von 10 mm, wobei die Einzelemitter, zum Beispiel 16,
in einer Linie angeordnet sind. Die Abmessung der
Emitter in y-Richtung variiert zwischen etwa 50 µm
und 200 µm und ist abhängig vom konkreten Laserdio
dentyp. Die Divergenz der Ausgangsstrahlung jeder
einzelnen Laserdiode ist in der in Fig. 1 oben darge
stellten y-z-Ebene relativ gering, der halbe Öff
nungswinkel beträgt etwa 6°. In der zu der y-Richtung
senkrechten Richtung (x-Richtung) betragen die Abmes
sungen der einzelnen Laserdioden etwa 1 µm, wobei die
Größe durch die Epitaxie vorgegeben ist. Entsprechend
ist die Divergenz der Ausgangsstrahlung in der in
Fig. 1 unten dargestellten x-z-Ebene deutlich größer
und der halbe Öffnungswinkel ist etwa 30°. Zwischen
den einzelnen Laserdioden bzw. Emitter befinden sich
Bereiche, in denen keine Strahlung abgestrahlt wird.
Die aufgrund der unterschiedlichen Abmessungen in x-
und y-Richtung auftretende extreme Unsymmetrie der
Ausgangsstrahlung ist für viele Anwendungen ungün
stig. Eine Symmetrierung der Ausgangsstrahlung erfor
dert eine Umordnung der Strahlbündel der einzelnen
Laserdioden derart, daß sie in der ursprünglich stark
divergenten Richtung (x-Richtung) linear angeordnet
sind.
Parallel zu dem Laserdiodenbarren 1 ist eine Kollima
tor-Mikrozylinderlinse 3 angeordnet, die, wie in Fig.
1 unten angedeutet ist, um die z-Achse, die die opti
sche Achse darstellt, gekippt ist. Die Mikrozylinder
linse 3 ist so ausgebildet, daß sie eine ausreichend
große Isoplanasie aufweist. Die jeweiligen Ausgangs
strahlbündel 7 der einzelnen Laserdioden 2 werden
jeweils für sich kollimiert, erhalten durch die Nei
gung der Mikrozylinderlinse 3 unterschiedliche Ab
strahlwinkel bezüglich der ursprünglichen optischen
Achse (z-Achse in Fig. 1) und werden so, in der x-
Richtung gesehen, in der Höhe versetzt bzw. getrennt.
Die Strahlung in der y-z-Richtung der einzelnen La
serdioden 2 geht unverändert durch die Zylinderlinse
hindurch. Als Kollimator-Mikrozylinderlinse kann eine
gradientenoptische Mikrozylinderlinse mit einem ein
dimensionalen oder auch zweidimensionalen Brechzahl
profil verwendet werden. Auch können Asphären-Mikro
zylinderlinsen eingesetzt werden, wobei hier jedoch
bei einer außeraxialen Anordnung zu einer Verschlech
terung der Kollimation führt. Weiterhin ist die Ver
wendung einer Fresnel-Zylinderlinse, einer Plankon
vex- oder Biokonvexlinse einschließlich Faserlinse
(runder Querschnitt) sowie einer Mehrkomponenten-Zy
linderoptik, bestehend aus zwei oder mehreren der
oben beschriebenen Einzellinsen denkbar.
Hinter der Mikrozylinderlinse 3 ist ein optisches
Direktionselement 4, das beispielsweise als Achromat
ausgebildet sein kann, angeordnet. Anstelle des
Achromaten können auch andere Linsen verwendet wer
den, beispielsweise eine Bikonvex- oder Plankonvex
linse mit sphärischen oder asphärischen Oberflächen
oder eine Bikonvex- oder Plankonvex-Zylinderlinse.
Wie aus Fig. 1 oben zu erkennen ist, werden die Aus
gangsstrahlenbündel 7 der einzelnen Laserdioden 2 in
der Richtung der linearen Anordnung der einzelnen
Laserdioden 2 im Barren 1, das heißt in der y-z-Ebene
so umgelenkt, daß in einem bestimmten Abstand hinter
dem Direktionselement 4 die Bündelschwerpunkte zusam
menfallen, d. h., in der y-Richtung liegen in dem vor
bestimmten Abstand die Strahlbündel übereinander. In
der x-z-Ebene werden die Strahlenbündel nur geringfü
gig beeinflußt.
In dem vorbestimmten Abstand, bei dem gemäß Fig. 1
oben die Schwerpunkte der einzelnen Strahlenbündel
zusammenfallen, ist ein optisches Redirektionselement
5 angeordnet, das die Strahlbündel der einzelnen La
serdioden so ablenkt, daß die durch das Direktions
element 4 in der y-z-Ebene erzeugten unterschiedli
chen Einfallswinkel korrigiert werden, d. h., daß die
vom Direktionselement erzeugten Neigungswinkel zur z-
Achse bzw. optischen Achse wieder kompensiert werden.
Das Redirektionselement 5 muß für die Erzielung der
unterschiedlichen Ablenkungswinkel linear angeordnete
unterschiedliche Ablenkbereiche aufweisen und kann
beispielsweise aus schmalen prismatischen Körpern
bestehen. Die Realisierung eines solchen Redirek
tionselementes 5 ist jedoch recht aufwendig. Eine
einfachere Ausführungsform besteht in einem Gitter
array mit ablenkenden Gittern.
Nach dem Redirektionselement 5 verlaufen die Strahl
bündel der einzelnen Laserdioden 2 in bezug auf die
y-z-Ebene in gleicher Richtung, das heißt die Strah
lung der einzelnen Laserdioden 2 liegt entsprechend
Fig. 1 oben hinter dem Redirektionselement überein
ander. In der x-z-Ebene entsprechend Fig. 1 unten
behalten die einzelnen Bündel 7 weiter ihre zueinan
der divergenten Richtungen bei.
Dem Redirektionselement 5 ist eine Fokussieroptik 6
nachgeschaltet, die beispielsweise aus Achromaten
bestehen kann, und die Strahlbündel 7 der einzelnen
Laserdioden 2 lassen sich nun sowohl in der y-z-Ebene
als auch in der x-z-Ebene sehr gut in einen weitest
gehend symmetrischen Strahlfleck geringer Abmessung
konzentrieren, wie aus Fig. 1 zu erkennen ist. Diese
Strahlung kann in dem dargestellten Ausführungsbei
spiel dann mit hoher Effizienz in eine optische Faser
8 eingekoppelt werden.
In Fig. 2 und Fig. 3 werden optische Strahlengänge
dargestellt, die für das folgende Ausführungsbeispiel
berechnet wurden. Zur Kollimation der stark divergen
ten Abstrahlrichtung (x-Richtung) und Ablenkung der
kollimierten einzelnen Strahlbündel 7 ebenfalls in
der x-Richtung wird eine gradientenoptische (GRIN)
Zylindermikrolinse 3 verwendet, die in diesem Ausfüh
rungsbeispiel eine Abmessung in x-Richtung von 300 µm
aufweist. Durch Schrägstellen der gradientenoptischen
Mikrozylinderlinse 3 in bezug auf den Laserdiodenbar
ren 1 durch eine Drehung um die z-Achse um etwa 1°
werden die einzelnen Laserdioden 2 in bezug auf die
optische Achse der Mikrozylinderlinse 3 unterschied
lich stark versetzt, und zwar so, daß die Mittenemit
ter bzw. die mittleren Laserdioden praktisch nicht,
die Randemitter, d. h. die am Rande des Laserdioden
barrens 1 liegenden Laserdioden 2, am stärksten au
ßeraxial kollimiert werden. Dies führt zu einer Ab
lenkung der kollimierten Bündel bezüglich der z-Achse
nach der Mikrozylinderlinse 3. Wie aus Fig. 2 und 3
jeweils in der unteren Darstellung zu erkennen ist,
führt die außeraxiale Anordnung bei der verwendeten
Mikrozylinderlinse 3 nicht zu einer Verschlechterung
der Kollimation, was bei Asphären-Mikrozylinderlinsen
möglich ist. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel
wird weiterhin für das Direktionselement 4 ein han
delsüblicher Achromat mit einer Brennweite im Bereich
50 mm verwendet. Fig. 2 und 3 zeigen die unter
schiedlichen Ablenkungen durch den Achromaten 4 für
einen Mittenemitter und einen Randemitter, wobei in
Fig. 2 die Strahlung für den Mittenemitter und in
Fig. 3 die Strahlung für den Randemitter dargestellt
ist. Der zusätzliche Linseneffekt (Divergenzreduk
tion) des Achromaten 4 ist nur von sekundärer Wir
kung.
In der Ebene des Redirektionselementes 5 entstehen
bei der konkreten Ausführungsform folgende Verhält
nisse:
In der y-z-Ebene (obere Darstellungen in Fig. 2 und 3) liegen alle Strahlbündel 7 der Einzelemitter bzw. einzelnen Laserdioden 2 zentrisch. Die Einfallswinkel bezüglich der z-Achse liegen dabei zwischen 0° für den Mittenemitter und + ungefähr 6° für die beiden Randemitter entsprechend der Breite des Laserdioden barrens 1 von 10 mm, d. h. die Randemitter liegen 5 mm außeraxial. Naturgemäß liegt die zentrische Lage der einzelnen Strahlbündel 7 dann vor, wenn die Redirek tionsebene im Abstand der Brennweite hinter dem Achromaten 4 liegt. Bei der oben angegebenen typi schen Divergenz der Ausgangsstrahlung der Laserdioden 2 in der y-z-Ebene von ungefähr 6° (halber Öffnungswinkel) ergibt sich eine Bündelbreite in y-Richtung in der Redirektionsebene von etwa 10 mm.
In der y-z-Ebene (obere Darstellungen in Fig. 2 und 3) liegen alle Strahlbündel 7 der Einzelemitter bzw. einzelnen Laserdioden 2 zentrisch. Die Einfallswinkel bezüglich der z-Achse liegen dabei zwischen 0° für den Mittenemitter und + ungefähr 6° für die beiden Randemitter entsprechend der Breite des Laserdioden barrens 1 von 10 mm, d. h. die Randemitter liegen 5 mm außeraxial. Naturgemäß liegt die zentrische Lage der einzelnen Strahlbündel 7 dann vor, wenn die Redirek tionsebene im Abstand der Brennweite hinter dem Achromaten 4 liegt. Bei der oben angegebenen typi schen Divergenz der Ausgangsstrahlung der Laserdioden 2 in der y-z-Ebene von ungefähr 6° (halber Öffnungswinkel) ergibt sich eine Bündelbreite in y-Richtung in der Redirektionsebene von etwa 10 mm.
In der x-z-Ebene (untere Darstellungen in Fig. 2 und
3) ergeben sich auf dem Redirektionselement 5 für die
oben angegebenen Abmessungen und Abstände eine Breite
der Strahlbündel der einzelnen Emitter bzw. Laserdio
den 2 von ungefähr 0,5 bis 0,6 mm, je nach tatsächli
cher Emitterdivergenz in dieser Ebene. Um zum Bei
spiel für einen Laserdiodenbarren 1 mit 16 Emittern
die zugehörigen einzelnen Strahlbündel trennen und
separat umlenken zu können, ist ein Abstand der Bün
delschwerpunkte in x-Richtung von 0,6 mm notwendig.
Dies bedeutet, daß die beiden Strahlbündel der Rande
mitter in der x-Richtung um etwa ± 6° ausgelenkt wer
den müssen (siehe Fig. 3). Dies erfordert die oben
erwähnte Schrägstellung der Mikrozylinderlinse 3 um
ungefähr 1°. Die Gesamtausdehnung der Ausgangsstrah
lung der Laserdioden in x-Richtung beträgt dann etwa
10 mm (16 Emitter × 0,6 mm).
Im Ergebnis entsteht in der Redirektionsebene ein
nahezu symmetrisches Gesamtbündel mit einem Bündel
querschnitt von 10 mm × 10 mm, bestehend aus einer
Reihe von in x-Richtung übereinander angeordneten
Einzelbündeln, die wiederum den in y-Richtung ange
ordneten einzelnen Emittern 2 des Laserdiodenbarrens
1 zuzuordnen sind, d. h. die Gesamtstrahlung in der
x-y-Ebene besteht aus 16 übereinanderliegenden
Strahlbündel der Abmessung in x-Richtung von 0,6 mm
und in y-Richtung von 10 mm. Somit ist die für die
nachfolgend vorgesehene effiziente Fokussierung not
wendige Symmetrierung erreicht.
Das Redirektionselement 5 muß jedoch noch die in Fig.
1 oben dargestellten unterschiedlichen Einfallswinkel
der Strahlbündel der einzelnen Laserdioden 2 in der
y-z-Ebene korrigieren. Durch die in x-Richtung ent
sprechend Fig. 1 unten vorliegende räumliche Trennung
der einzelnen Strahlbündel kann die Korrektur in der
Redirektionsebene prinzipiell realisiert werden, wo
bei für jedes einzelne Strahlbündel eine unterschied
liche Ablenkung notwendig ist. Im in Fig. 2 und 3
dargestellten Ausführungsbeispiel liegen diese Ab
lenkwinkel zwischen 0° für das Strahlbündel des Mit
tenemitters und 6° für die Strahlbündel der Randemit
ter. Entsprechend den Abmessungen der Strahlbündel in
der Redirektionsebene müssen die einzelnen ablenken
den Bereiche dabei eine Breite von 0,6 mm in x-Rich
tung und mindestens 10 mm in y-Richtung aufweisen. Im
Ausführungsbeispiel wird anstelle des klassischen
Aufbaus mit 16 schmalen prismatischen Körpern ein
Gitterarray unter Nutzung der Möglichkeiten der Mi
krostrukturierung aus 16 unterschiedlich ablenkenden
schmalen Bereichen verwendet, wobei eine Realisierung
des Gitterarrays mit den geforderten maximalen Ab
lenkwinkeln von nur 6° Gitterperioden technisch rela
tiv einfach möglich ist.
Für die abschließende Fokussierung des Gesamtbündels
in einen möglichst kleinen Fleck werden im Ausfüh
rungsbeispiel zwei handelsübliche Achromaten mit
Brennweiten von 50 mm und 60 mm verwendet. Mit dieser
Fokussieroptik 6 werden Bündelbreiten im Fokus von
etwa 0,2 × 0,2 mm erzeugt, und zwar mit einer Konver
genz des Bündels von etwa 6° halber Öffnungswinkel.
Bei stärkerer Fokussierung wird das Bündel im Fokus
entsprechend kleiner.
Claims (11)
1. Optische Anordnung zur Symmetrierung der Strah
lung einer Mehrzahl von in fester Zuordnung ne
beneinander angeordneten Laserdioden, deren je
weilige Ausgangsstrahlung in bezug auf eine er
ste und eine zweite Richtung, die senkrecht auf
einanderstehen, unsymmetrisch ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine Zylinderlinsenoptik (3) mit ausreichend
großer Isoplanasie um die optische Achse (z-Ach
se), die senkrecht zu der durch die zwei Rich
tungen (x,y) vorgegebenen Ebene steht, gekippt
angeordnet ist und die Ausgangsstrahlbündel der
einzelnen Laserdioden in die erste Richtung (x)
kollimiert und zueinander versetzt und dabei
trennt, daß der Zylinderlinsenoptik (3) ein Di
rektionselement (4) nachgeschaltet ist, das die
Strahlbündel der einzelnen Laserdioden (2) in
der zweiten Richtung (y) mit jeweils unter
schiedlichen Ablenkwinkeln derart umlenkt, daß
in einem vorgegebenen Abstand die Schwerpunkte
der einzelnen Strahlbündel zusammenfallen und
daß im Abstand hinter dem Direktionselement (4)
ein Redirektionselement (5) angeordnet ist, das
die unterschiedlichen Ablenkwinkel der Strahl
bündel zur optischen Achse (z-Achse) wieder kom
pensiert.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß dem Redirektionselement (5) eine Fokus
sieroptik (6) nachgeschaltet ist, die die durch
das Redirektionselement hindurchtretenden Strah
lenbündel auf einen Strahlungsfleck geringer
Abmessung konzentriert.
3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Zylinderlinsenoptik (3)
eine gradientenoptische Mikrozylinderlinse
(GRIN), eine Asphären-Mikrozylinderlinse, eine
Fresnellinse, eine Plankonvex- und Bikonvexlinse
und/oder eine Kombination derselben aufweist.
4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeich
net, daß die gradientenoptische Mikrozylinder
linse ein in die erste Richtung eindimensionales
Brechzahlprofil aufweist.
5. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeich
net, daß die gradientenoptische Mikrozylinder
linse ein zweidimensionales Brechzahlprofil auf
weist.
6. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da
durch gekennzeichnet, daß das Direktionselement
(4) als Achromat oder als Bikonvex- oder Plan
konvexlinse mit sphärischen oder asphärischen
Oberflächen oder als Bikonvex- oder Plankonvex-
Zylinderlinse ausgebildet ist.
7. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da
durch gekennzeichnet, daß das Redirektionsele
ment (5) als Feld von Ablenkgittern ausgebildet
ist.
8. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da
durch gekennzeichnet, daß das Redirektionsele
ment (5) als Prismenfeld ausgebildet ist.
9. Anordnung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Ablenkbereiche bzw. Pris
men mit jeweils unterschiedlichen Ablenkwinkeln
des Ablenkgitterfeldes bzw. des Prismenfeldes in
der ersten Richtung (x) nebeneinander angeordnet
sind.
10. Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich
net, daß die Breite der Ablenkbereiche bzw. der
Prismen in der ersten Richtung (x) dem Abstand
der Schwerpunkte der Strahlbündel in x-Richtung
auf der Ebene des Redirektionselementes (5) ent
sprechen.
11. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß die Fokussieroptik
(6) aus Achromaten gebildet ist.
Priority Applications (6)
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---|---|---|---|
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JP10519923A JP2001502818A (ja) | 1996-10-28 | 1997-10-27 | レーザダイオードの放射を対称的とするための光学的配置 |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
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