DE19541619A1 - Elektrochemischer Meßfühler und Verfahren zur Herstellung eines elektrochemischen Meßfühlers - Google Patents
Elektrochemischer Meßfühler und Verfahren zur Herstellung eines elektrochemischen MeßfühlersInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen elektrochemischen Meß
fühler nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und ein
Verfahren zur Herstellung eines elektrochemischen
Meßfühlers nach dem Oberbegriff des Anspruchs 8.
Elektrochemische Meßfühler der gattungsgemäßen Art
sind bekannt. Diese besitzen in der Regel einen
schichtförmigen Aufbau, wobei ein gleichzeitig als
Träger fungierender Festelektrolyt an gegenüberlie
genden Seiten jeweils eine Elektrode aufweist. Eine
der Elektroden ist einem Meßgas und die andere Elek
trode einem Referenzgas, in der Regel der Luft
atmosphäre, ausgesetzt. Entsprechend einem Sauer
stoffanteil in dem Meßgas stellt sich an der dem Meß
gas zugewandten Elektrode ein bestimmter Sauerstoff
partialdruck ein. Dieser steht in einem bestimmten
Verhältnis zu dem von dem Referenzgas ausgehenden, an
der diesem zugewandten Elektrode sich einstellenden
Sauerstoffpartialdruck. Aufgrund des sich ergebenden
Sauerstoffkonzentrationsunterschiedes an den Elektro
den stellt sich zwischen diesen eine bestimmte Detek
torspannung ein, die mittels einer geeigneten Aus
werteschaltung ausgewertet werden kann und somit ein
an der dem Meßgas ausgesetzten Elektrode anliegenden
Sauerstoffkonzentration entsprechendes Signal bereit
stellt. Ein derartiger chemischer Meßfühler ist bei
spielsweise aus der DE-OS 29 28 496 bekannt. Hierbei
wird die dem Referenzgas ausgesetzte Elektrode mit
einer Abdeckung versehen. Die der Elektrode zuge
wandte Seite der Abdeckung weist grabenförmige Struk
turen auf, die ein Zuführen des Referenzgases zu der
Elektrode gestatten. Der chemische Meßfühler weist
somit einen Aufbau auf, der aus relativ vielen ein
zelnen Schichten besteht, die mittels eines allgemein
bekannten Sinterverfahrens fest miteinander verbunden
werden.
Bei dem bekannten Aufbau des elektrochemi
schen Meßfühlers ist nachteilig, daß die wirksame
Elektrodenfläche, die mit dem Referenzgas unmittelbar
in Kontakt steht, im Verhältnis zur tatsächlichen
Elektrodenfläche relativ klein ist.
Der erfindungsgemäße elektrochemische Meßfühler mit
den im Anspruch 1 genannten Merkmalen bietet den
Vorteil, daß eine relativ große effektive Elektroden
fläche zur Verfügung steht. Dadurch, daß wenigstens
eine der Elektroden an ihrer dem Meßgas beziehungs
weise dem Referenzgas ausgesetzten Seite eine Profi
lierung aufweist, ist es in einfacher Weise möglich,
bei in ihrer äußeren Größe unverändert gebliebenen
elektrochemischen Meßfühlern die Elektrodenfläche zu
vergrößern. Durch die Profilierung, die vorzugsweise
von grabenförmigen Strukturen gebildet wird, kann die
Elektrodenoberfläche der Elektrode vergrößert werden,
so daß eine entsprechend höhere Elektrodenaktivität,
beispielsweise eine höhere Pumpleistung, der Elektro
de zur Verfügung steht.
In bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung ist vorge
sehen, daß die Profilierung von eine Netzstruktur er
gebenden grabenförmigen Strukturen gebildet wird, die
als Referenzgaskanäle verwendet werden. Hierdurch
wird sehr vorteilhaft erreicht, daß durch die Profi
lierung der dem Referenzgas ausgesetzten Elektrode
selbst, die Anordnung einer zusätzlichen, die Refe
renzluftkanäle aufweisenden Schicht des elektroche
mischen Meßfühlers nicht mehr notwendig ist. Der Auf
bau des elektrochemischen Meßfühlers kann hierdurch
vereinfacht werden. Darüber hinaus ist durch den Weg
fall einer zusätzlichen Schicht eine Miniaturisierung
des elektrochemischen Meßfühlers möglich.
Darüber hinaus bietet das erfindungsgemäße Verfahren
zur Herstellung eines elektrochemischen Meßfühlers
mit den im Anspruch 8 genannten Merkmalen den Vor
teil, daß in einfacher, für eine massenhafte Herstel
lung geeigneter Weise elektrochemische Meßfühler
erzielbar sind, die sich durch einen einfachen und
robusten Aufbau auszeichnen. Dadurch, daß wenigstens
eine der Elektroden an ihrer dem Meßgas beziehungs
weise Referenzgas ausgesetzten Seite vor dem Sintern
profiliert wird, ist es vorteilhaft möglich, die Pro
filierung einerseits für eine Vergrößerung der effek
tiven Elektrodenoberfläche auszunutzen und anderer
seits durch die Profilierung eine größere mechanische
Stabilität der Elektrode beziehungsweise der die
Elektrode aufweisenden Meßfühler zu erreichen, so daß
deren Handhabbarkeit sowohl beim Herstellungsprozeß
als auch beim Einbau in ein Sensorelement verbessert
ist.
Besonders bevorzugt ist, daß die Elektroden zur Aus
bildung der Profilierung geprägt werden. Das Ein
bringen der Prägung in die Elektrode vor der Sin
terung des elektrochemischen Meßfühlers ist in ein
facher Weise mittels eines entsprechenden Präge
stempels zu einem Zeitpunkt möglich, in dem die Elek
trode beziehungsweise der Meßfühler noch nicht gesin
tert sind, sondern diese als sogenannte grüne Folien
vorliegen. Diese weisen somit eine gute Verformbar
keit auf, so daß mittels der Prägung hochpräzise
Profilierungen erzielbar sind, die nach dem Sintern
des elektrochemischen Meßfühlers erhalten bleiben.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung
ergeben sich aus den übrigen in den Unteransprüchen
genannten Merkmalen.
Die Erfindung wird nachfolgend in Ausführungsbei
spielen anhand der zugehörigen Zeichnungen näher er
läutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Schnittdarstellung durch
einen elektrochemischen Meßfühler;
Fig. 2 eine perspektivische Draufsicht auf eine dem
Referenzgas ausgesetzte Elektrode und
Fig. 3 eine Draufsicht auf eine einem Meßgas
ausgesetzte Elektrode nach einem weiteren
Ausführungsbeispiel.
Fig. 1 zeigt einen allgemein mit 10 bezeichneten
elektrochemischen Meßfühler, der beispielsweise zur
Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Gasgemischen,
insbesondere in Abgasen von Verbrennungskraftmaschi
nen, eingesetzt werden kann. Der Meßfühler 10 besteht
aus einem Festelektrolyten 12, auf dessen hier oben
dargestellten Seite 14 eine erste Elektrode 16 an
geordnet ist. An der anderen Seite 18 des Festelek
trolyten 12 ist eine zweite Elektrode 20 angeordnet.
Die Elektrode 20 ist hierbei in den Festelektrolyten
12 eingebettet, so daß eine Außenseite 22 der Elek
trode 20 mit der Seite 18 des Festelektrolyten 12
fluchtet und insgesamt eine plane Oberfläche ergibt.
Die Elektrode 20 besitzt im Querschnitt gesehen einen
mäanderförmigen Verlauf, dessen Aufbau noch näher er
läutert wird. Die Elektrode 20 besitzt eine Profi
lierung 24, die von zur Außenseite 22 hin offenen
grabenförmigen Strukturen 26 gebildet wird. Die gra
benförmigen Strukturen 26 bilden - wie anhand Fig. 2
noch deutlich wird - ein Netz 28, in dem längs der
Elektrode 20 verlaufende grabenförmige Strukturen 26
sich mit quer zur Elektrode 20 angeordneten graben
förmigen Strukturen 26 kreuzen.
Die Seite 18 des Festelektrolyten 12 ist mit einer
Deckplatte 30 versehen. Durch die Deckplatte 30 wer
den die grabenförmigen Strukturen 26 an der Außen
seite 22 der Elektrode 20 verschlossen, so daß sich
ein verzweigtes Kanalsystem ergibt. Die grabenförmi
gen Strukturen 26 werden somit an drei Seiten von der
Elektrode 20 und an ihrer vierten Seite von der Deck
platte 30 begrenzt. In der Deckplatte 30 kann optio
nal eine Heizeinrichtung 32 vorgesehen sein, bei der
in einer Schicht 34 Heizleiter 36 angeordnet sind.
Die grabenförmigen Strukturen 26 sind an einer Seite
des Meßfühlers 10, insbesondere an einer Stirnfläche
des Meßfühlers 10, offen, so daß ein Referenzgas
durch das von den grabenförmigen Strukturen 26 ge
schaffene netzartige Kanalsystem zu der Elektrode 20
gelangen kann. Dadurch, daß die grabenförmigen Struk
turen 26 an drei Seiten von der Elektrode 20 umgeben
werden, ist eine effektive Oberfläche der Elektrode
20, die direkt mit dem Referenzgas in Kontakt kommt,
relativ groß. Im gezeigten Beispiel beträgt diese
relative Oberflächenelektrode 20 das Dreifache gegen
über einer üblichen, planar auf den Festelektrolyten
12 aufgebrachten Elektrode.
Anhand der Fig. 2 soll das erfindungsgemäße Her
stellungsverfahren für den elektrochemischen Meßfüh
ler 10 näher erläutert werden. Gleiche Teile wie in
Fig. 1 sind mit gleichen Bezugszeichen versehen und
nicht nochmals erläutert. Auf die Darstellung des
kompletten Meßfühlers 10 wurde aus Gründen der Über
sichtlichkeit verzichtet.
Anhand der perspektivischen Draufsicht wird deutlich,
daß der Festelektrolyt 12 im wesentlichen plattenför
mig vorliegt. Der Festelektrolyt 12 besteht bei
spielsweise aus yttriumstabilisiertem Zirkonoxid und
liegt in Folienform vor. Auf der hier oben liegenden
Seite 18 des Festelektrolyten 12 ist die Elektrode 20
aufgebracht. Das Aufbringen der Elektrode 20 erfolgt
üblicherweise mittels bekannter Verfahrensschritte,
wie beispielsweise Aufdrucken. Die Elektrode 20 steht
hierbei über der Kontur des Festelektrolyten 12 über.
Sowohl der Festelektrolyt 12 als auch die Elektrode
20 und die an der entgegengesetzten Seite
angeordnete - hier nicht sichtbare - Elektrode 16 liegen noch als
sogenannte Grünfolien vor, das heißt, diese sind noch
nicht gesintert.
Die Elektrode 20 besitzt einen Elektrodenkopf 38, der
über eine Leiterbahn 40 mit einer nicht dargestellten
Schaltungsanordnung kontaktierbar ist. Nach Auf
bringen der Elektrode 20 auf den Festelektrolyten 12
wird mittels eines hier angedeuteten Prägestempels
42, der eine Gitterstruktur aufweist, die der spä
teren Anordnung des von den grabenförmigen Strukturen
26 gebildeten Netzes 28 aufweist, geprägt. Durch Be
aufschlagen des Prägestempels 42 mit einer Prägekraft
wird die gitterförmige Struktur des Prägestempels 42
in der Elektrode 20 sowie teilweise in dem Festelek
trolyten 12 abgebildet. Durch die Prägekraft wird
gleichzeitig die Elektrode 20 in den Festelektrolyten
12 eingedrückt, so daß sich die - wie in Fig. 1 in
der Schnittdarstellung dargestellt - Struktur mit der
im Festelektrolyten 12 eingebetteten Elektrode 20 er
gibt. Nach Abheben des Prägestempels 42 verbleiben in
der Elektrode 20 die sich kreuzenden grabenförmigen
Strukturen 26.
Im Anschluß an den Prägevorgang wird der gesamte
elektrochemische Meßfühler 10 in bekannter Weise ge
sintert, so daß die einzelnen Schichten fest mitein
ander verbunden sind. Hierbei erfolgt gleichzeitig
eine Stabilisierung des Meßfühlers 10 und der in dem
Meßfühler 10, insbesondere in der Elektrode 20, ge
prägten grabenförmigen Strukturen 26. Die grabenför
migen Strukturen 26 sind hierbei so angelegt, daß an
einer Stirnseite 44 des Meßfühlers 10 diese auch nach
Abdeckung mittels der in Fig. 1 gezeigten Deckplatte
30 Öffnungen 46 aufweisen, so daß ein Referenzgas das
von den grabenförmigen Strukturen 26 gebildete Kanal
netz durchströmen kann.
Insgesamt besitzt der elektrochemische Meßfühler 10
einen sehr kompakten Aufbau, der mittels einfacher
Verfahrensschritte erzielt wird. Die einzelnen Struk
turen des elektrochemischen Meßfühlers 10 sind hier
bei im sogenannten Nutzen erzielbar, das heißt,
gleichzeitig können eine Vielzahl von Meßfühlern 10
strukturiert werden, die nach der Strukturierung und
der Sinterung entsprechend vereinzelt werden. Durch
das Prägen der Elektrode 20 wird erreicht, daß eine
Zuführung des Referenzgases zu der Elektrode 20, ins
besondere zu deren Elektrodenkopf 38, problemlos mög
lich wird, ohne daß zusätzliche aufwendige Strukturen
vorzusehen sind. Durch die Ausbildung des Referenz
luftkanalnetzes durch die Elektrode 20 selbst kann
eine optional vorhandene Schicht 34 mit seiner Heiz
einrichtung 32 näher an das von dem Festelektrolyten
12 mit den Elektroden 16 und 20 gebildete Sensorteil
positioniert werden, so daß sich eine bessere thermi
sche Ankopplung der Heizeinrichtung 32 ergibt. Hier
durch wird eine geringere Belastung der Heizeinrich
tung 32 möglich, da zum Erhitzen des Sensorteiles
keine Zwischenschichten mehr miterhitzt werden müs
sen.
Weiterhin ergibt sich, daß durch die Ausbildung des
Referenzgaskanalnetzes durch die Elektrode 20 selbst
die effektive Elektrodenoberfläche der Elektrode 20
gegenüber dem Referenzgas vergrößert ist, so daß eine
Pumpleistung der Elektrode 20 verbessert ist.
Letztendlich wird durch die Profilierung der Elektro
de 20 die gesamte Stabilität des elektrochemischen
Meßfühlers 10 verbessert. Die durch das Einprägen der
grabenförmigen Strukturen 26 sich ergebende mäander
förmige Strukturierung der Elektrode 20 bildet
gleichzeitig Versteifungsrippen beziehungsweise Ver
steifungsbereiche aus, die zur Erhöhung der Festig
keit des gesamten elektrochemischen Meßfühlers 10
beitragen. Insbesondere ist es möglich, die Elektrode
20, insbesondere den Elektrodenkopf 38, im Verhältnis
zur Festelektrolytfläche zu vergrößern, so daß die um
die Elektrode 20 verbleibenden Randbereiche des Fest
elektrolyten 12 verkleinert werden können. Hierdurch
ist neben der Einsparung der bereits erwähnten Zwi
schenschicht zur Ausbildung der Luftreferenzkanäle
eine weitere Miniaturisierung des gesamten elektro
chemischen Meßfühlers 10 möglich. Der elektroche
mische Meßfühler 10 kann insgesamt somit aus bei
spielsweise nur noch zwei Folien aufgebaut sein, wo
bei eine erste Folie von dem Festelektrolyten 12 mit
den Elektroden 16 und 20 und eine zweite Folie von
der Deckelplatte 30 mit der die Heizleiter 36 auf
weisenden Schicht 34 gebildet wird.
Im gezeigten Beispiel sind die grabenförmigen Struk
turen 26 im Querschnitt gesehen im wesentlichen qua
dratisch geprägt. Selbstverständlich ist jede andere
Querschnittsform, beispielsweise trapezförmig, drei
eckförmig, halbrund usw., geeignet.
Nach einem weiteren Ausführungsbeispiel kann zur Ver
größerung der effektiven Elektrodenoberfläche selbst
verständlich auch die Elektrode 16 in vollkommen
analoger Weise geprägt werden. Hierdurch vergrößert
sich die mit dem Meßgas in Verbindung stehende Ober
fläche der Elektrode 16. Dadurch, daß während des
Prägevorgangs sowohl der Festelektrolyt 12 als auch
die Elektroden 16 und 20 noch in ihrer pasteusen
Form, also im grünen Zustand, vorliegen, ist eine
Profilierung beziehungsweise Strukturierung in jeder
erdenklichen Weise möglich. So können beispielsweise
durch eine entsprechende Profilierung die Elektroden
16 beziehungsweise 20 in unterschiedliche horizontale
Ebenen des elektrochemischen Meßfühlers 10 "verlegt"
werden, so daß beim elektrischen Kontaktieren der
Elektroden 16 beziehungsweise 20 Leitungskreuzungen
in einfacher Weise realisiert werden können. Darüber
hinaus kann eine Durchkontaktierung vereinfacht wer
den, da in den geprägten Bereichen der Elektroden 16
beziehungsweise 20 die Dicke des Festelektrolyten 12
zwischen den entsprechenden Elektrodenbereichen redu
ziert wird.
In der Fig. 3 ist in einer Draufsicht eine Elektrode
48 eines elektrochemischen Meßfühlers gezeigt. Die
hier gezeigte Elektrode 48 findet bei elektroche
mischen Meßfühlern Verwendung, die einen gegenüber
dem in Fig. 1 und 2 gezeigten Meßfühler 10 abwei
chenden Aufbau besitzen. Die Elektroden sind im we
sentlichen kreiszylinderförmig ausgebildet und be
sitzen an ihrer Oberfläche koaxial zu einem Mittel
punkt 50 umlaufende Profilierungen 24, die von in die
Elektrode 48 geprägten grabenförmigen Strukturen 26
gebildet werden. Wird die in der Fig. 3 dargestellte
Elektrode 48 mit der hier dargestellten Fläche einem
Meßgas oder einem Referenzgas ausgesetzt, ist die
effektive Elektrodenoberfläche, die mit dem Meßgas
beziehungsweise dem Referenzgas in Berührung gelangt,
gegenüber einer Elektrode mit einer vollkommen planen
Oberfläche sehr viel größer. Hierdurch ergeben sich
die bereits erwähnten Vorteile. Gegenüber den be
kannten Elektroden besitzen die erfindungsgemäßen
Elektroden 16, 20 beziehungsweise 48 bei einem unver
änderten Platzbedarf und ohne die Verwendung von zu
sätzlichem Material eine sehr viel höhere effektive
Elektrodenoberfläche und somit eine höhere Elektro
denaktivität.
Claims (11)
1. Elektrochemischer Meßfühler mit einem Festelektro
lyten, einer einem Meßgas ausgesetzten ersten Elek
trode und einer einem Referenzgas ausgesetzten zwei
ten Elektrode, wobei die Elektroden vorzugsweise an
gegenüberliegenden Seiten des Festelektrolyten ange
ordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens
eine der Elektroden (16, 20) an ihrer dem Meßgas bzw.
dem Referenzgas ausgesetzten Seite (22) eine Profi
lierung (24) aufweist.
2. Elektrochemischer Meßfühler nach Anspruch 1, da
durch gekennzeichnet, daß die Profilierung (24) eine
grabenförmige Vertiefung (26) an der Elektrode (16,
20) ausbildet.
3. Elektrochemischer Meßfühler nach Anspruch 2, da
durch gekennzeichnet, daß die grabenförmige Vertie
fung (26) wenigstens einseitig Öffnungen (46) auf
weist, die mit dem Referenzgas in Verbindung stehen.
4. Elektrochemischer Meßfühler nach Anspruch 2, da
durch gekennzeichnet, daß die Vertiefung (26) in die
Elektroden (16, 20) eingeprägt ist.
5. Elektrochemischer Meßfühler nach Anspruch 2, da
durch gekennzeichnet, daß die grabenförmigen Vertie
fungen (26) eine Netzstruktur (28) ergeben.
6. Elektrochemischer Meßfühler nach Anspruch 1, da
durch gekennzeichnet, daß die die Vertiefung (26)
aufweisende Elektrode (16, 20) in den Festelektro
lyten (12) eingebettet ist, so daß der Festelektrolyt
(12) und die Elektrode (16, 20) eine plane Oberfläche
besitzen.
7. Elektrochemischer Meßfühler nach Anspruch 2, da
durch gekennzeichnet, daß die grabenförmigen Vertie
fungen (26) mit einer Deckelplatte (30) abgedeckelt
werden, so daß sich ein Kanalnetz ergibt, das die
Öffnungen (46) aufweist.
8. Verfahren zur Herstellung eines elektrochemischen
Meßfühlers mit einem Festelektrolyten, einer einem
Meßgas ausgesetzten ersten Elektrode und einer einem
Referenzgas ausgesetzten zweiten Elektrode, wobei die
Elektroden im wesentlichen schichtförmig auf dem
Festelektrolyten aufgebracht werden und der Meßfühler
anschließend gesintert wird, dadurch gekennzeichnet,
daß wenigstens eine der Elektroden (16, 20) an ihrer
dem Meßgas bzw. dem Referenzgas ausgesetzten Seite
vor dem Sintern profiliert wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die Elektroden (16, 20) zur Ausbildung einer Ver
tiefung (26) geprägt werden.
10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß in die Oberfläche
der Elektroden (16, 20) grabenförmigen Vertiefungen
(26) geprägt werden.
11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß in die Oberfläche
der Elektroden (16, 20) ein Netz (28) von sich
kreuzenden grabenförmigen Vertiefungen (26) geprägt
wird.
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ID=7776926
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8141 | Disposal/no request for examination |