DE19527221B4 - Magneto-optisches Aufnahmemedium für kurze Wellenlängen - Google Patents

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Abstract

Magneto-optisches Aufnahmemedium für kurze Wellenlängen, in dem nacheinander auf einem Substrat eine dielektrische Schicht, eine Schutzschicht und eine Reflexionsschicht ausgebildet sind, wobei das magneto-optische Aufnahmemedium eine Wiedergabe-/Aufnahme-Doppelschichtstruktur zwischen der dielektrischen Schicht und der Schutzschicht aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Doppelschicht aus (Ndx(TbFeCoCr)100-x)/(TbFeCoCr) hergestellt ist und x ein Atomprozentgehalt größer Null ist, wobei Nd für die Wiedergabeschicht in einer Größenordnung von 5 bis 30 Atomprozent in Ndx(TbFeCoCr)100-x vorhanden ist und die Wiedergabeschicht der Doppelschicht 1 bis 100 nm dick ist.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein magneto-optisches Aufnahmemedium für kurze Wellenlängen und im besonderen ein magneto-optisches Aufnahmemedium mit einer hohen Datenspeicherdichte, hohen Datenübertragungsraten und einer großen Datenarchivierungsfähigkeit.
  • Eine Vielzahl an Informationen hat sich in unserer informationsintensiven Gesellschaft explosionsartig vergrößert. Eine solche Informationsexplosion verlangt nach Aufnahmemedien, die eine höhere Datenspeicherdichte und Datenübertragungsrate aufweisen sowie schneller im Betrieb sind.
  • Momentan basieren die praktischen oder kommerziellen Techniken zur Datenaufnahme im wesentlichen auf magnetischer Aufnahmetechnologie. Im allgemeinen werden Daten auf magnetischen Medien, wie z.B. Videobänder, Audiobänder, Floppy-Discs und ähnlichem, gespeichert, auf denen, abhängig von der Magnetisierungsrichtung der magnetischen Substanzen im magnetischen Aufnahmemedium, Informationen aufgenommen werden.
  • Während die magnetische Aufnahmetechnologie kommerziell erfolgreich und vorteilhaft ist, ist eine im allgemeinen als optisches Aufnehmen bekannte Aufnahmetechnik als sehr vielversprechende Alternative für die Datenspeicherung angesehen worden und wird als solche auch weiterhin angesehen, da ein Aufnahmemedium mit höherer Kapazität bezüglich der enormen Informationsmenge, die aus der Gesellschaftsentwicklung resultiert, gefordert wird.
  • Ein magneto-optisches Aufnahmemedium weist im Gegensatz zum magnetischen Medium eine senkrecht zur Schichtebene magnetisierbare Aufnahmeschicht auf. Darüber hinaus ist die Koerzitivkraft (Hc) des magneto-optischen Aufnahmemediums, eine Kraft, die in der Lage ist, im magnetischen Zustand zu verweilen, zirka 5 bis 10 Mal höher als die eines magnetischen Mediums. Folglich ist es sehr schwierig eine vorherige Magnetisierungsrichtung mit einem externen Magnetfeld zu verändern. Die Aufnahme von Informationen auf einer magneto-optischen Aufnahmeschicht wird durch ein erstes Fokussieren eines modulierten Laserstrahls auf eine Oberfläche der Schicht innerhalb eines 1 μm-Durchmessers bewerkstelligt, wobei die Laserstrahlenergie ausreichend hoch ist, um die Schicht lokal beispielsweise bis auf die Curie-Punkt-Temperatur der Schicht zu erwärmen. In diesem Zustand kann eine Magnetisierungsrichtung mit einem externen Magnetfeld verändert werden, um so gemäß der Ausrichtung Information auf der Schicht aufzunehmen.
  • Wird Information durch dieses Verfahren aufgenommen, wird die aufgenommene Informationseinheit auf 1 μm oder weniger verringert. Folglich ist die Aufnahmedichte des magneto-optischen Aufnahmemediums 10 bis 1.000 Mal größer als die eines konventionellen magnetischen Aufnahmemediums. Darüber hinaus verwendet das magneto-optische Medium ein berührungsloses Leseverfahren, so daß das magneto-optisches Aufnehmen potentiell signifikante Vorteile gegenüber magnetischem Aufnehmen einschließlich einer leichteren Datenkonservierung und einer größeren Datenarchivierungsfähigkeit aufweist.
  • In den letzten Jahren sind Personal Computer am Markt erschienen, die mit einem Multimedia-System als die am meisten angenommene Struktur ausgestattet sind, bei der bewegte Bildinformation verarbeitet wird. Zusätzlich sind Aufnahmesysteme entstanden, die ein Aufnahmemedium mit einer ausreichend hohen Datenspeicherdichte verlangen, beispielsweise optische Bearbeitungssysteme, Digital-Video-Disk-Aufnahmesysteme etc. Für diesen Zweck wird ein magnetooptisches Aufnahmemedium für kurze Wellenlängen verwendet.
  • Die erste Generation an magneto-optischen Aufnahmescheiben wies typischerweise eine Datenspeicherkapazität von 128 MB oder 650 MB bei einem Durchmesser von 3,5 bzw. 5,25 inch auf. Die 3,5 inch magneto-optische Aufnahmescheibe wird gewöhnlich in einem Personal Computer verwendet, während die 5,25 inch-Scheibe in ein optisches Bearbeitungssystem eingeführt wird. Da diese eine Aufnahmeschicht aus einem TbFeCo-Film aufweisenden magneto-optischen Aufnahmescheiben vom Vorteil eines Laserstrahls mit einer Wellenlänge von 830 nm profitieren, sind sie bezüglich der senkrechten Magnetisierung überlegen und weisen einen hohen magneto-optischen Effekt auf (Kerr-Rotation-Winkel, θk), mit einem Träger-Rauschverhältnis (C/N) von 45 dB oder größer.
  • Jedoch werden größere Kapazitäten benötigt, um mehr Informationen zu verarbeiten, die augenblicklich durch viele elektromagnetische Systeme benötigt werden. Beispielsweise wird eine Kapazität von 6 GB oder mehr für ein Aufnahmemedium benötigt, das verwendet wird, um bewegte Bilder in einer hochauflösenden Fernseh-Qualität in einem optischen Bearbeitungssystem für einen Super-Computer oder ein Digital-Video-Disk-Aufnahmesystem zu verarbeiten. Auf dem Gebiet der optischen Aufnahme ist es in Betracht gezogen worden, daß Laserstrahlen mit kürzerer Wellenlänge höhere Datenspeicherdichte hervorbringen können. Beispielsweise erzeugt ein blauer Laserstrahl mit einer Wellenlänge von 400 nm anstelle einer Wellenlänge von 830 nm einen auf ein Viertel der Fläche reduzierten fokusierten Laserstrahlpunkt, was zu einer Vervierfachung der Aufnahmedichte führt. Folglich werden magneto-optische Aufnahmemedien für kurze Wellenlängen sehr benötigt.
  • In der 1 ist ein konventionelles magneto-optisches Aufnahmemedium mit einer Mehrschichtstruktur gezeigt, in der ein Substrat 1, eine dielektrische Schicht 2, eine Aufnahmeschicht 3, eine Schutzschicht 4 und eine Reflexionsschicht 5 nacheinander aufgetragen sind. Wie in dieser Figur zu erkennen, ist die Aufnahmeschicht des konventionellen magneto-optischen Aufnahmemediums eine aus TbFeCo hergestellte einzelne Schicht, wobei TbFeCo eine Legierung aus Selten-Erdmetall und Übergangsmetall darstellt. Bei einer Laserwellenlänge von 830 nm wird die TbFeCo-Schicht vorzugsweise senkrecht zur Schichtebene magnetisiert und somit Information dort zufriedenstellend aufgenommen. Darüber hinaus zeigt die Schicht zufriedenstellende Eigenschaften beim Auslesen von Information, da diese einen großen Kerr-Rotationswinkel bei dieser Laserwellenlänge aufweist.
  • Bei Verwendung eines kurzwelligen Bereiches (unter 532 nm) zeigt die ausschließlich aus TbFeCo bestehende Einzelschicht jedoch einen kleineren Kerr-Rotationswinkel, der nur 60% des Winkels bei 830nm beträgt. Unter dieser Bedingung zeigt das die Aufnahme-Einzelschicht aufweisende konventionelle magneto-optische Aufnahmemedium ein C/N-Verhältnis von 45 dB oder weniger, was zu Schwierigkeiten beim Auslesen von Information führt.
  • Wie oben erklärt weist das konventionelle magneto-optische Aufnahmemedium mit einer Aufnahmeschicht aus TbFeCo direkt oberhalb einer dielektrischen Schicht auf einem Substrat einen ausreichend hohen Kerr-Rotationswinkel auf, um bei einer Wellenlänge von 830 nm neben zuverlässigen reproduzierenden Eigenschafter darüber hinaus zufriedenstellende senkrechte Magnetisierungs- und Aufnahmeeigenschaften aufzuweisen. Im Gegensatz dazu leidet das Medium in einem kurzwelligen Bereich mit λ < 532 nm an einem Informationsausleseproblem, bei dem der Kerr-Rotationswinkel 60% des bei λ = 830 nm auftretenden Winkels beträgt, wobei das C/N-Verhältnis auf 45 dB oder weniger abgesenkt wird.
  • Aus der EP 419 169 A2 ist ferner ein magneto-optisches Aufzeichnungsmedium, bestehend aus mehreren Schichten bekannt, nämlich einem Substrat, einer dieelektrischen Schicht, einer Schutzschicht, einer Reflexionsschicht und einer Doppelschicht aus einer Wiedergabe- und einer Aufnahmeschicht. Die Wiedergabeschicht wird durch eine Formel wiedergegeben, die eine extrem große, experimentell nicht mehr realisierbare Zahl an Kombinationsmöglichkeiten bezüglich Zusammensetzung und Stöchiometrie offen lässt, ohne dass dem Fachmann eine Anleitung für die Auswahlmöglichkeiten gegeben würde. Statistische Tests zeigen, dass der Kerr-Rotationswinkel deutlich verringert wird, was jedoch insbesondere auf das Filmdickenverhältnis zurückgeführt wird. Es wird nicht angegeben, wie charakteristische Parameter wie die Koerzitivkraft, die lotrechte Magnetisierung und das C/N-Verhältnis, die die Gesamtcharakteristik des magneto-optischen Mediums bestimmen, beeinflusst werden könnten. Die Ergebnisse bleiben daher zufällig und sind noch nicht optimal.
  • Aus der JP 2-40151 (a) (Abstract) ist weiterhin eine Zusammensetzung mit Praseodym bekannt, mit der jedoch keine Wiedergabe-Aufnahme-Doppelschicht gebildet wird.
  • Demgemäß ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein magnetooptisches Aufnahmemedium bereitzustellen, das in den magnetischen und magneto-optischen Eigenschaften in einem kurzwelligen Bereich überlegen ist und eine hohe Datenspeicherdichte, eine hohe Datenübertragungsrate und eine große Datenarchivierungsfähigkeit aufweist.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung können die obigen Aufgaben durch Bereitstellen eines magneto-optischen Mediums für kurze Wellenlängen gelöst werden, bei dem nacheinander auf einem Substrat eine dielelektrische Schicht, eine Schutzschicht und eine Reflexionsschicht ausgebildet sind, wobei das magneto-optische Aufnahmemedium eine Wiedergabe-/Aufnahme-Doppel schichtstruktur zwischen der dielektrischen Schicht und der Schutzschich aufweist, die Doppelschicht aus (Ndx(TbFeCoCr)100-x)/(TbFeCoCr) hergestellt ist, x ein Atomprozentgehalt größer Null ist und Nd für die Wiedergabeschicht in eine Größenordnung von zirka 5 bis zirka 30 Atomprozent in (Ndx(TbFeCoCr)100-x vorhanden ist und die Wiedergabeschicht der Doppelschicht zirka 1 bis zirka 100 nm dick ist.
  • Im Laufe dieser Erfindung wurde nach intensivem Forschen und Analysieren der Probleme herausgefunden, daß eine zwischen die dielektrische Schicht und die Schutzschicht eingefügte Wiedergabe-/Aufnahme-Doppelschichtstruktur der vorgenannten Art es dem magneto-optischen Aufnahmemedium ermöglicht überlegene magneto-optische Eigenschaften sogar im kurzwelligen Bereich mit λ ≤ 532 nm zu zeigen.
  • Die obigen Ziele und anderen Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden detailierten Beschreibung unter Bezugnahme der begleitenden Zeichnungen verständlicher werden, wobei:
  • 1 eine schematische Teilansicht eines konventionellen magneto-optischen Aufnahmemediums für kurze Wellenlängen darstellt;
  • 2 eine schematische Teilansicht ist, die ein erfindungsgemäßes magneto-optisches Aufnahmemedium für kurze Wellenlängen darstellt;
  • 3 eine Kurve zeigt, die den Wechsel der Koerzitivkraft in einer Wiedergabe-/Aufnahme-Doppelschicht (Ndx(TbFeCoCr)100-x /(TbFeCoCr) der vorliegenden Erfindung bezüglich der Nd-Zusammensetzung zeigt;
  • 4 eine Kurve darstellt, die den Wechsel der senkrechten magnetischen Anisotropie-Konstante in der erfindungsgemäßen Wiedergabe-/Aufnahme-Doppelschicht (Ndx(TbFeCoCr)100-x/(TbFeCoCr) bezüglich der Nd-Zusammensetzung zeigt;
  • 5 eine Kurve darstellt, die den Wechsel des Kerr-Rotationswinkels in der Wiedergabe-/Aufnahme-Doppelschicht (Ndx(TbFeCoCr)100-x/(TbFeCoCr) der vorliegenden Erfindung bezüglich der Nd-Zusammensetzung zeigt;
  • 6 eine Kurve darstellt, die den Wechsel des C/N-Verhältnisses in der Wiedergabe-/Aufnahme-Doppelschicht (Ndx(TbFeCoCr)100-x/(TbFeCoCr) der vorliegenden Erfindung bezüglich der Nd-Zusammensetzung zeigt;
  • 7 eine Kurve darstellt, die den Wechsel der Koerzitivkraft in der Wiedergabe-/Aufnahme-Doppelschicht (NdgGdb(TbFe-CoCr)100-(a+b)/(TbFeCoCr) der vorliegenden Erfindung bezüglich der Nd- und der Gd-Zusammensetzung zeigt;
  • 8 eine Kurve darstellt, die den Wechsel der Magnetisierungssättigung in der Wiedergabe-/Aufnahme-Doppelschicht (NdaGdb(TbFeCoCr )100-(a+b)/(TbFeCoCr) der vorliegenden Erfindung bezüglich der Nd- und Gd-Zusammensetzung zeigt;
  • 9 eine Kurve darstellt, die den Wechsel der senkrechten magnetischen Anisotropie-Konstante in der Wiedergabe-/Aufnahme-Doppelschicht (NdaGdb(TbFeCoCr)100-(a+b)/(TbFeCoCr) der vorliegenden Erfindung bezüglich der Nd- und Gd-Zusammensetzung zeigt;
  • 10 eine Kurve darstellt, die den Wechsel des Kerr-Rotationswinkels in der Wiedergabe-/Aufnahme-Doppelschicht (NdaGdb (TbFeCoCr)100-(a+b)/(TbFeCoCr) der vorliegenden Erfindung bezüglich der Nd- und Gd-Zusammensetzung zeigt; und
  • 11 eine Kurve darstellt, die den Wechsel des C/N-Verhältnisses in der Wiedergabe-/Aufnahme-Doppelschicht (NdaGdb (TbFeCoCr)100-(a+b)/(TbFeCoCr) der vorliegenden Erfindung bezüglich der Nd- und Gd-Zusammensetzung zeigt.
  • In 2 ist ein magneto-optisches Aufnahmemedium für kurze Wellenlängen gemäß der vorliegenden Erfindung mit einer Mehrfach-Schichtstruktur gezeigt, die ein Substrat, eine dielektrische Schicht, eine Aufnahmeschicht, eine Schutzschicht und eine Reflexionsschicht aufweist, wobei eine Wiedergabeschicht zwischen der dielektrischen Schicht und der Aufnahmeschicht eingebracht ist. Wie in 2 zu erkennen sind diese Schichten nacheinander aufgetragen; d.h., daß auf einem 2P-Glas-Substrat 11 eine dielektrische Schicht 12, eine Wiedergabeschicht 16, eine Aufnahmeschicht 13, eine Schutzschicht 14 und eine Reflexionsschicht 15 in dieser Reihenfolge ausgebildet sind. Wie konventionelle Schichten sind die dielektrische Schicht und die Schutzschicht beide aus SiN hergestellt. Die Reflexionsschicht kann entweder aus Al oder Al-Ti hergestellt sein. Die zwei verbleibenden Aufnahme- und Wiedergabeschichten, die das deutliche Merkmal dieser Erfindung ausmachen, sind aus Ndx(TbFeCoCr)100-x bzw. TbFeCoCr hergestellt, wobei diese den Vorteil des Austauschbindungseffektes ausnutzen.
  • Elementares Tb ermöglicht es, dem magneto-optischen Aufnahmemedium die Koerzitivkraft (Hc) und die senkrechte Magnetisierung (Ku) zu verbessern, obwohl Tb eine Tendenz zeigt, den Kerr-Rotationswinkel in einem kurzwelligen Bereich zu erniedrigen. Die Anwesenheit des Elementes Cr im magneto-optischen Aufnahmemedium bringt nicht nur eine signifikante Verbesserung bezüglich Korrosion oder Witterungsbeständigkeit, eine eng mit dessen Lagerbeständigkeit zusammenhängende Größe, sondern ebenso eine Verringerung des Magnet-Sättigungswertes (MS), ein Effekt, mit dem die auf den Curie-Punkt-Temperatur-Anstieg bei Anwesenheit des Elementes Co verursachte Instabilität der magnetischen Domäne kompensiert werden kann, und eine Verbesserung der Anisotropie-Konstante für die senkrechte Magnetisierung möglich ist.
  • Folglich ergibt die Doppelschicht-Wiedergabe-/Aufnahme-Struktur einen großen Kerr-Rotationswinkel und eine zufriedenstellende senkrechte Magnetisierung in einem kurzwelligen Bereich aufgrund des Austauschbindungseffektes, wobei somit das magneto-optische Aufnahmemedium bezüglich des Auslesens von Information und der Korrosionsbeständigkeit überlegen ist und als eine Aufnahmescheibe verwendet werden kann, die eine hohe Qualität an Information speichert, die ausreichend für bewegte Bilder in HDTV-Qualität ist.
  • Der Nd-Bestandteil in der aus Ndx(TbFeCoCr)100-x hergestellten Wiedergabeschicht weist einen signifikanten Einfluß auf die gesamten Eigenschaften des magneto-optischen Aufnahmemediums auf. Dessen Zusammensetzungsanteil erstreckt sich von zirka 5 bis zirka 30 Atomprozent, bevorzugt von ca. 10 bis ca. 20 Atomprozent. Ist beispielsweise x größer als 30 Atomprozent fällt der senkrechte Magnetisierungswert, was sich in einer bedeutsamen Verringerung des Kerr-Rotationswinkels bemerkbar macht. Auf der anderen Seite ist be x < 5 Atomprozent nur noch ein Kerr-Rotationswinkel zu beobachten, der dem der konventionellen TbFeCo-Aufnahmeschicht entspricht.
  • Die Dicke der Ndx(TbFeCoCr)100-x-Wiedergabeschicht liegt zwischen annähernd 1 nm (10 Å) und annähernd 100 nm (1.000 Å), wobei die TbFeCoCr-Aufnahmeschicht zwischen annähernd 1 nm (10 Å) und annähernd 150 nm (1.500 Å) liegt, wobei schließlich die Gesamtdicke der Doppelschichtaufnahmestruktur sich von ungefähr 2 nm (20 Å) bis ungefähr 250 nm (2.500 Å) erstrecken kann. Eine zu dicke Wiedergabeschicht verhindert, daß bei Aufnehmen oder Auslesen von Information ein Laserstrahl die Aufnahmeschicht erreicht. Unter dem Gesichtspunkt, daß die Dicke der Aufnahmeschicht eng mit der Aufnahme-Empfindlichkeit zusammenhängt, verringert sich diese in zu dicken Aufnahmeschichten.
  • Das oben beschriebene erfindungsgemäße magneto-optische Aufnahmemedium weist eine Doppelschichtstruktur mit einer ersten Schicht zur Wiedergabe aus Ndx(TbFeCoCr)100-x und einer zweiten Schicht zur Aufnahme aus TbFeCoCr auf, mit dem Ziel, Austauschbindung herbeizuführen und somit magneto-optische Eigenschaften, das C/N-Verhältnis und die senkrechte Magnetisierung in einem kurzwelligen Bereich zu verbessern. Beispielsweie weist die konventionelle TbFeCo-Aufnahmeschicht einen Kerr-Rotationswinkel kleiner als 0,25 ° bei 532 nm auf. Im Gegensatz dazu weist Nd, ein leichtes Selten-Erdmetall, einen großen Kerr-Rotationswinkel in einem kurzwelligen Bereich auf. Aus diesem Grund weist eine erfindungsgemäße magneto-optische Aufnahmescheibe überlegende Wiedergabe-Eigenschaften auf. Beispielsweise beträgt das C/N-Verhältnis um die 50 dB und der Kerr-Rotationswinkel ist ungefähr oder größer als 0,4 °, wobei diese Spezifikation für eine magneto-optische Scheibe, die bewegte Bilder in HDTV-Qualtität trägt, benötigt wird. Zusätzlich wird mit der Zugabe von Cr das magneto-optische Aufnahmemedium gegenüber Sauerstoffeinwirkung korrosionsbeständiger und antioxidanter als TbFeCo.
  • Die untere Tabelle 1 gibt Daten magnetischer und magneto-optischer Eigenschaften der Doppelschicht-Wiedergabe (Ndx(TbFeCoCr)100-x)/Aufnahme (TbFeCoCr)-Struktur und der Einzelschicht-Aufnahme (TbFeCo)-Struktur wieder.
  • TABELLE 1
    Figure 00110001
  • Wie in Tabelle 1 gezeigt, ist das vorliegende magneto-optische Aufnahmemedium gegenüber einem konventionellen in nahezu allen gemessenen Eigenschaften überlegen. Beispielsweise liegt der Kerr-Rotationswinkel (θk), eine repräsentative magneto-optische Eigenschaft, in der Größenordnung von 0,4 bis 0,45 ° in der Doppelschicht-Aufnahmestruktur, die sogar noch höher als die in der konventionellen Einzelschicht-Aufnahmestruktur ist. Als dynamisches Charakteristikum zeigt das vorliegende magneto-optische Aufnahmemedium ein C/N-Verhältnis von ungefähr 50 dB beim Auslesen von Information mit einem Laserstrahl von 532 nm Wellenlänge. Die TbFeCoCr-Aufnahmeschicht hält eine ausreichend hohe Koerzitivkraft (Hc) aufrecht und kann mit Leichtigkeit senkrecht magnetisiert werden, was zu wünschenswerten magnetischen Eigenschaften führt, beispielsweise loop squareness (remanente Magnetisierung (MR)/Sättigungsmagnetisierung (MS)) nahe 1.
  • Magnetische und magneto-optische Eigenschaften eines Doppelschicht-Wiedergabe (Ndx(TbFeCoCr)100-x/Aufnahme(TbFeCoCr)-Struktur enthaltenden magneto-optischen Aufnahmemediums wurden bezüglich der Nd-Zusammensetzung gemessen, wobei die erhaltenen Ergebnisse in der unteren Tabelle 2 gezeigt sind. Bei diesen Messungen wurde die Koerzitivkraft (Hc) mittels eines Vibrations-Probenmagnetometers, wie beispielsweise das von DMS Co. Ltd., USA, angebotene, geprüft, wobei die senkrechte magnetische Anisotropie-Konstante (Ku) durch ein Momentmagnetometer, wie z.B. das von DMS Co., Ltd., USA, angebotene, ermittelt wurde. Der Kerr-Rotationswinkel (θk) wurde mittels eines Kerr loop tracers under Verwendung eines grünen SHG-Laserstrahls mit einer Wellenlänge von 532 nm als Lichtquelle gemessen. Die Messungen des C/N-Verhältnisses erfolgte mittels eines selbst konstruierten Dynamiktesters (dynamic tester) unter Verwendung eines grünen SHG-Laserstrahls mit einer Wellenlänge von 532 nm.
  • TABELLE 2
    Figure 00120001
  • In dieser Tabelle enthält die Notizspalte die Nd-Zusammensetzungs-Bestandteile, die quantitativ in einem induktiv gekoppelten Plasma-Spektrometer analysisiert wurden, was soviel heißen soll, daß der praxisnahe Nd-Zusammensetzungsanteil von 5 Atomprozenten praktisch 4,2 Atomprozent entspricht.
  • Gemäß der 3 bis 6 sind jeweils geplottete Wechsel der Koerzitivkraft, der senkrechten magnetischen Anisotropie-Konstante, des Kerr-Rotationswinkels und des C/N-Verhältnisses bezüglich des Nd-Zusammensetzungsanteils im magneto-optischen Aufnahmemedium gezeigt, das die Doppelschicht/Wiedergabe(Ndx(TbFeCoCr)100-x)/Aufnah me(TbFeCoCr)-Struktur enthält. Es ist aus diesen Kurven ersichtlich, daß die Koerzitivkraft, der Kerr-Rotationswinkel und das C/N-Verhältnis im allgemeinen ausreichende Werte zeigen, bei denen der Nd-Zusammensetzungsanteil 5 bis 30 Atomprozent und mit wünschenswerteren Werten 10 bis 20 Atomprozent beträgt.
  • Bezüglich einer anderen Ausgestaltung wird der die Doppelschicht-Struktur bildende Wiedergabeschicht Gd dazugesetzt, wobei deren Zusammensetzung durch NdaGdb(TbFeCoCr)100-(a+b) dargestellt ist. In einem kurzwelligen Bereich weist Gd, ein sehr seltenes Erdmetall, große magneto-optische Effekte, insbesondere einen Kerr-Rotationswinkel, auf. Daher kann Gd in Verbindung mit Nd den Kerr-Rotationswinkel über einen synergetischen Effekt bemerkenswert vergrößern.
  • Einen signifikanten Einfluß auf die gesamten Eigenschaften des magnetooptischen Aufnahmemediums ausübend, können Nd und Gd in einer Gesamtmenge an Nd und Gd im Bereich von 5 bis 30 Atomprozent enthalten sein. Beträgt der Gesamtanteil an Nd und Gd weniger als 5 Atomprozent, so zeigt sich der Additionseffekt nur gering. Wird auf der anderen Seite zuviel Nd und Gd verwendet, so findet ein steiler Abfall der senkrechten Magnetisierung statt, einhergehend mit der Instabilisierung der magnetischen Domäne, was zur Verkleinerung des Kerr-Rotationswinkels führt.
  • Die Dicke der NdaGdb(TbFe-CoCr)100-(a+b)-Wiedergabeschicht liegt in der Größenordnung von ungefähr 1 nm (10 Å) bis ungefähr 50 nm (500 Å), wobei die TbFeCoCr-Aufnahmeschicht ungefähr 1 nm (10 Å) bis ungefähr 100 nm (1.000 Å) dick ist. Da ein Laserstrahl die Wiedergabeschicht durchdringen soll, um Information aufzunehmen oder wiederzugeben, behindern zu dicke Wiedergabeschichten die Aufnahme oder das Auslesen von Information durch den Laserstrahl. Unter Berücksichtigung der engen Beziehung der Wiedergabeschicht mit der Aufnahme-Empfindlichkeit verringert sich diese bei zu dicken Aufnahmeschichten.
  • Magnetische und magneto-optische Eigenschaften eines magneto-optischen Aufnahmemediums, das die Doppelschicht/Wiedergabe(NdaGdb(TbFeCoCr)100-(a+b))/Aufnahme(TbFeCoCr)-Struktur enthält, wurden bezüglich des Anteiles an Nd und Gd gemessen, wobei die Resultate in der unteren Tabelle 3 gezeigt sind. Bei diesen Messungen wurden Magnet-Sättigungswerte (MS) unter Verwendung eines Vibrations-Probenmagnetometers, wie z.B. das von DMS Co., Ltd., USA, angebotene, gemessen. Die anderen Größen, beispielsweise die Koerzitivkraft, die senkrechte magnetische Anisotropie-Konstante (Ku), der Kerr-Rotationswinkel (θk) und das C/N-Verhältnis, wurden in jedem Fall durch die gleichen Meßapparaturen unter den gleichen Bedingungen wie die bei der Messung der Doppelschicht-Wiedergabe(Ndx(TbFeCoCr)100-x)/Aufnahme(TbFeCoCr)-Struktur verwendeten Bedingungen gemessen.
  • TABELLE 3
    Figure 00140001
  • Gemäß der 7 bis 11 sind dort jeweils geplottete Wechsel der Koerzitivkraft, magnetischen Sättigung, senkrechten magnetischen Anisotropie-Konstante, des Kerr-Rotationswinkels und des C/N-Verhältnisses bezüglich des Nd- und Gd-Zusammensetzungsanteils im magneto-optischen Aufnahmemedium gezeigt, das die Doppelschicht-Wiedergabe (NdaGdb(TbFeCoCr)100-(a+b))/Aufnahme(TbFeCoCr)-Struktur aufweist. Wie aus diesen Kurven zu ersehen ist, zeigen der Kerr-Rotationswinkel und das C/N-Verhältnis im allgemeinen ausrei chende Werte, bei denen die Nd- und Gd-Zusammensetzungsanteile jeweils innerhalb der erfindungsgemäßen Bereiche und der wünschenswerteren Werte liegen, wenn der Nd-Anteil von 10 bis 20 Atomprozent und der Gd-Anteil sich von 5 bis 10 Atomprozent erstreckt. Es ist gezeigt, daß die senkrechte Magnetisierung und der Kerr-Rotationswinkel erniedrigt sind, bei denen die Nd- und Gd-Zusammensetzungsanteile außerhalb der erfindungsgemäßen Bereiche liegen. Das magneto-optische Aufnahmemedium in Verbindung mit Nd und Gd gemäß einer anderen Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung weist exzellente magneto-optische Eigenschaften in einem kurzwelligen Bereich auf; beispielsweise beträgt der Kerr-Rotationswinkel 0,5 ° oder mehr, was auf deren Synergie-Effekt zurückzuführen ist. Wie vorhergehend erwähnt, ermöglicht Cr nicht nur, daß das magneto-optische Aufnahmemedium gegenüber Korrosion oder Verwitterung beständiger ist, eine eng mit dessen Lagerbeständigkeit zusammenhängende Größe, sondern, daß ein verringerter Magnetsättigungswert erhalten wird, der zu einer Stabilisierung der magnetischen Domäne führt. Die magneto-optischen Eigenschaften betreffen ebenso eine hohe senkrechte magnetische Anisotropie-Konstante, eine sichere Bezugsgröße. Darüber hinaus erlaubt es die Austauschbindung zwischen der Aufnahmeschicht und der Wiedergabeschicht ihnen, sowohl einen hohen Kerr-Rotationswinkel als auch eine hohe senkrechte Magnetisierung aufzuweisen. Beispielsweise weist ein magneto-optisches Aufnahmemedium in Verbindung mit 10 Atomprozent Gd und 10 Atomprozent Nd ein C/N-Verhältnis von ungefähr 50 dB beim Auslesen von Information auf.

Claims (4)

  1. Magneto-optisches Aufnahmemedium für kurze Wellenlängen, in dem nacheinander auf einem Substrat eine dielektrische Schicht, eine Schutzschicht und eine Reflexionsschicht ausgebildet sind, wobei das magneto-optische Aufnahmemedium eine Wiedergabe-/Aufnahme-Doppelschichtstruktur zwischen der dielektrischen Schicht und der Schutzschicht aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Doppelschicht aus (Ndx(TbFeCoCr)100-x)/(TbFeCoCr) hergestellt ist und x ein Atomprozentgehalt größer Null ist, wobei Nd für die Wiedergabeschicht in einer Größenordnung von 5 bis 30 Atomprozent in Ndx(TbFeCoCr)100-x vorhanden ist und die Wiedergabeschicht der Doppelschicht 1 bis 100 nm dick ist.
  2. Magneto-optisches Aufnahmemedium nach Anspruch 1, wobei Nd für die Wiedergabeschicht in einer Größenordnung von 10 bis 20 Atomprozent in Ndx(TbFeCoCr)100-x vorhanden ist.
  3. Magneto-optisches Aufnahmemedium nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Aufnahmeschicht der Doppelschicht 1 bis 150 nm dick ist.
  4. Magneto-optisches Aufnahmemedium nach Anspruch 1, wobei die Doppelschicht insgesamt 2 bis 250 nm dick ist.
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