DE10324478B3 - Vorrichtung zum Ermitteln der Lichtleistung eines Lichtstrahles und Scanmikroskop - Google Patents

Vorrichtung zum Ermitteln der Lichtleistung eines Lichtstrahles und Scanmikroskop Download PDF

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Abstract

Ein Scanmikroskop mit einer Vorrichtung zum Ermitteln von Eigenschaften eines Lichtstrahles, die ein Mittel zum Abspalten eines Messstrahles von dem Lichtstrahl und mindestens einen Detektor beinhaltet, der den Messstrahl zumindest teilweise empfängt, wobei im Strahlengang des Messstrahles ein Polarisationsbeeinflussungsmittel vorgesehen ist, ist offenbart. Das Scanmikroskop ist dadurch gekennzeichnet, dass ein Verarbeitungsmodul vorgesehen ist, das in Abhängigkeit von zumindest einer mit dem Detektor gemessenen Lichtleistung die Lichtleistung und/oder die Polarisation des Lichtstrahles steuert bzw. regelt, und dass als Stellglied eines Regelkreises ein weiteres Polarisationsbeeinflussungsmittel im Strahlengang des Lichtstrahles angeordnet ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft in Scanmikroskop mit einer Vorrichtung zum Ermitteln von Eigenschaften eines Lichtstrahles, die ein Mittel zum Abspalten eines Messstrahles von dem Lichtstrahl und mindestens einen Detektor beinhaltet, der den Messstrahl zumindest teilweise empfängt, wobei im Strahlengang des Messstrahles ein Polarisationsbeeinflussungsmittel vorgesehen ist.
  • In der Scanmikroskopie wird eine Probe mit einem Lichtstrahl beleuchtet, um das von der Probe emittierte Reflexions- oder Fluoreszenzlicht zu beobachten. Der Fokus eines Beleuchtungslichtstrahles wird mit Hilfe einer steuerbaren Strahlablenkeinrichtung, im Allgemeinen durch Verkippen zweier Spiegel, in einer Objektebene bewegt, wobei die Ablenkachsen meist senkrecht aufeinander stehen, so dass ein Spiegel in x-, der andere in y-Richtung ablenkt. Die Verkippung der Spiegel wird beispielsweise mit Hilfe von Galvanometer-Stellelementen bewerkstelligt. Die Leistung des vom Objekt kommenden Lichtes wird in Abhängigkeit von der Position des Abtaststrahles gemessen. Üblicherweise werden die Stellelemente mit Sensoren zur Ermittlung der aktuellen Spiegelstellung ausgerüstet.
  • Speziell in der konfokalen Scanmikroskopie wird ein Objekt mit dem Fokus eines Lichtstrahles in drei Dimensionen abgetastet. Ein konfokales Scanmikroskop umfasst im Allgemeinen eine Lichtquelle, eine Fokussieroptik, mit der das Licht der Quelle auf eine Lochblende – die sog. Anregungsblende – fokussiert wird, einen Strahlteiler, eine Strahlablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung, eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichtes. Das Beleuchtungslicht wird beispielsweise über einen Strahlteiler eingekoppelt. Das vom Objekt kommende Fluoreszenz- oder Reflexionslicht gelangt über die Strahlablenkeinrichtung zurück zum Strahlteiler, passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren befinden. Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so dass man eine Punktinformation erhält, die durch sequentielles Abtasten des Objekts zu einem dreidimensionalen Bild führt.
  • Anstelle des Strahlteilers kann zum Einkoppeln des Anregungslichts mindestens einer Lichtquelle in das Mikroskop und zum Ausblenden des am Objekt gestreuten und reflektierten Anregungslichts bzw. der Anregungswellenlänge aus dem über den Detektionsstrahlengang vom Objekt kommenden Lichts auch eine als akustooptisches Bauteil ausgestaltete optische Anordnung vorgesehen sein, wie beispielsweise aus der Deutschen Offenlegungsschrift DE 199 06 757 A1 bekannt ist.
  • Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatennahme erzielt, wobei die Bahn des Abtastlichtstrahles auf bzw. in dem Objekt idealer Weise einen Mäander beschreibt. (Abtasten einer Zeile in x-Richtung bei konstanter y-Position, anschließend x-Abtastung anhalten und per y-Verstellung auf die nächste abzutastende Zeile schwenken und dann, bei konstanter y-Position, diese Zeile in negative x-Richtung abtasten u.s.w.). Um eine schichtweise Bilddatennahme zu ermöglichen, wird der Probentisch oder das Objektiv nach dem Abtasten einer Schicht verschoben und so die nächste abzutastende Schicht in die Fokusebene des Objektivs gebracht.
  • Zum Transport des Beleuchtungslichts von der Lichtquelle in ein Scanmikroskop wird üblicherweise eine Lichtleitfaser verwendet. Im Allgemeinen ist die Polarisationsrichtung, mit der das Beleuchtungslicht die Faser verlässt, nicht konstant, sondern abhängig von der Temperatur, der Biegung der Lichtleitfaser (beispielsweise infolge von Doppelbrechung) oder anderen äußeren Einflüssen beliebig verdreht. Dieser störende Effekt tritt selbst bei sog. polarisationserhaltenden Lichtleitfasern auf.
  • Insbesondere der Strahlteiler bzw. das stattdessen verwendbare akustooptisches Bauteil zeigen in Abhängigkeit der Polarisation des Lichtstrahles ein unterschiedliches Verhalten; beispielsweise in Bezug auf das Teilungsverhältnis des Strahlteilers oder in Bezug auf die Amplitude des von der akustischen Welle des akustooptischen Bauteils gebeugten Lichts. Auch die übrigen Komponenten des Scanmikroskops zeigen ein polarisationsabhängiges Verhalten, so dass es durch Veränderungen der Polarisation des Beleuchtungs-Lichtstrahls zwangsläufig zu störenden Änderungen der Lichtleistung am Ort der Probe kommt.
  • Bei vielen Anwendungen werden Proben mit mehreren Markern, beispielsweise mehreren unterschiedlichen Fluoreszenzfarbstoffen präpariert. Diese Farbstoffe können sequentiell, beispielsweise mit Beleuchtungslichtstrahlen, die unterschiedliche Anregungswellenlängen aufweisen, angeregt werden. Auch eine simultane Anregung mit einem Beleuchtungslichtstrahl, der Licht mehrerer Anregungswellenlängen beinhaltet, ist üblich. Aus der EP 0 495 930 B1 : „Konfokales Mikroskopsystem für Mehrfarbenfluoreszenz" ist beispielsweise eine Anordnung mit einem einzelnen mehrere Laserlinien emittierenden Laser bekannt. Derzeit sind in der Praxis solche Laser meist als Mischgaslaser, insbesondere als ArKr-Laser, ausgebildet.
  • Die Lichtleistung des Beleuchtungslichtes ist auf Grund verschiedener Effekte zeitlichen Schwankungen unterworfen, was sich negativ bei der Untersuchung von Proben auswirkt.
  • Eine bekannte Methode, Kurzzeitschwankungen, beispielsweise der Beleuchtungslichtleistung, auszugleichen, beruht darauf, mit Hilfe eines Strahlteilers vom Beleuchtungsstrahl einen Referenzstrahl abzuteilen und zur Bilderzeugung/-berechnung das Verhältnis der gemessenen Leistungen von Referenz- und Detektionslichtstrahl zu verwenden; das sich so instantane Leistungsschwankungen aufheben. Dies ist offenbart in: G.J. Brakenhoff, Journal of Microscopy, Vol. 117, Pt 2, November 1979, S. 233-242. Diese Methode hat. einige Nachteile. Beispielsweise ist Herausrechnen der Laserleistungsschwankungen im Nachhinein bei der Bildberechnung aufwändig und nicht immer eine voll befriedigende Korrekturmethode. Bei einer Verhältnisbildung aus gemessener Leistung von Referenz- und Detektionslichtstrahl kürzen sich Offsetanteile nicht heraus. Darüber hinaus wird das errechnete Rasterbild an den Orten sehr niedriger Detektionslichtleistungen verwaschen, da das Signal-zu-Rausch-Verhältnis es nicht mehr zulässt, dem abgerasterten Bildpunkt eine Färbung oder Helligkeit korrekt und eindeutig zuzuordnen.
  • Aus der Deutschen Offenlegungsschrift DE 100 33 269 A1 ist eine Vorrichtung zum Einkoppeln von Licht in ein konfokales Rastermikroskop bekannt, die zum Ziel hat, diese Schwankungen der Beleuchtungslichtleistung zu kompensieren bzw. zu vermeiden. Die Vorrichtung zum Einkoppeln von Licht weist ein optisch aktives Bauteil, das insbesondere zur Selektion der Wellenlänge und zur Einstellung der Leistung des eingekoppelten Lichts dient, auf. Die Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass zur Beeinflussung des eingekoppelten Lichts das Bauteil als Stellglied einer Regelung dient. Nachteilig an dieser Vorrichtung ist, dass der Strahlteiler, der den Beleuchtungslichtstrahlengang vom Detektionsstrahlengang trennt, zwangsläufig eine polarisations- und wellenlängenabhängige Reflexivität aufweist. Der Regelungsvorgang wird dadurch aufwändig und kompliziert und macht aufwändige Kalibrationsmessungen nötig.
  • In der Deutschen Offenlegungsschrift DE 197 02 753 A1 wird vorgeschlagen, permanent die Leistung der in den Scankopf eingekoppelten Laserstrahlung, insbesondere jeder einzelnen Laserlinie, zu überwachen und Schwankungen am Laser direkt oder mit einem nachgeschalteten Intensitätsmodulator (ASOM, AOTF, EOM, Shutter) zu kompensieren. Die bereits erläuterte Strahlteiler-Problematik ist auch in Bezug auf diese Offenbarung relevant.
  • Aus DE 196 21 802 A1 ist eine Vorrichtung zum Steuern der Strahlungsintensität bekannt. Die Vorrichtung umfasst einen Strahlteiler zum Aufteilen des Strahlungsflusses einer Lasers in einen Hauptstrahlungsfluß und einen Monitorstrahlungsfluß. Es ist ein Sensor vorgesehen, der die Strahlungsintensität es Monitorflusses detektiert. Vor dem Sensor kann ein Polarisationsfilter angeordnet sein.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde ein Scanmikroskop anzugeben, das eine zuverlässigere und reproduzierbare Überwachung der Lichtleistung des an der Probe ankommenden Beleuchtungs-Lichtstrahles ermöglicht.
  • Die Aufgabe wird durch ein Scanmikroskop gelöst, das dadurch gekennzeichnet ist, dass ein Verarbeitungsmodul vorgesehen ist, das in Abhängigkeit von zumindest einer mit dem Detektor gemessenen Lichtleistung, die Lichtleistung und/oder die Polarisation des Lichtstrahls steuert bzw. regelt und dass als Stellglied eines Regelkreises ein weiteres Polarisationsbeeinflussungsmittel im Strahlengang des Lichtstrahls angeordnet ist.
  • Die Erfindung hat den Vorteil, dass Veränderungen der Polarisation und der Lichtleistung des Beleuchtungs-Lichtstrahles am Ort der Probe zuverlässig und effizient detektierbar und damit kompensierbar oder korrigierbar sind.
  • Vorzugsweise ist ein Speichermodul vorgesehen, in dem Referenzdaten, beispielsweise aus Kalibrationsmessungen, ablegbar sind, um von den gemessenen Eigenschaften des Messstrahles auf die Eigenschaften des Lichtstrahles, insbesondere am Ort der Probe, schließen zu können.
  • Das Polarisationsbeeinflussungsmittel ist in einer bevorzugten Ausgestaltung ein senkrecht zur optischen Achse des Messstrahles angeordneter und um die optische Achse drehbar gelagerter Linear-Polarisationsfilter, der vorzugsweise von einem Motor kontinuierlich um die optische Achse gedreht wird. Aus der Modulation des Signals auf dem bzw. auf den Detektoren kann dann auf den Polarisationsgrad des Lichtstrahles geschlossen werden.
  • In einer anderen Variante beinhaltet das Polarisationsbeeinflussungsmittel ein LCD-Element, das kontinuierlich zwischen mindestens zwei Polarisationszuständen hin und her schaltet. Als Polarisationsbeeinflussungsmittel kann beispielsweise auch ein EOM (Elektro-Optischer-Modulator) vorgesehen sein. Vorteilhafter Weise werden hierbei keine mechanisch beweglichen Bauteile benötigt.
  • In einer bevorzugten Ausgestaltung ist ein Mittel zur simultanen farbselektiven Detektion des Messstrahles vorgesehen. Das Mittel beinhaltet vorzugsweise ein räumlich spektral aufspaltendes Element, das beispielsweise als Prisma ausgeführt ist. Es kann beispielsweise auch als Gitter, insbesondere als Transmissionsgitter, ausgeführt sein. In einer ganz besonders bevorzugten Ausführung bildet eine, vorzugsweise beschichtete Fläche des Prismas den Strahlteiler. Es kann sich bei der Beschichtung beispielsweise um eine Teilverspiegelung handeln. Ein Prisma hat den Vorteil, dass Mehrfachreflexionen nicht zu Interferenzerscheinungen auf dem Detektor führen, da es bei einem Prisma keine parallelen Flächen gibt. Zur Vermeidung von Reflexen, die nach mehrmaligem Umlenken innerhalb der Prismas schließlich auf den Detektor treffen und dort das Signal verfälschen, können einzelne Flächen des Prismas aufgeraut sein.
  • Vorzugsweise sind mehrere Einzeldetektoren vorgesehen, die jeweils spektral unterschiedliche Anteile des Messlichts empfangen. Der Detektor bzw. die Einzeldetektoren können beispielsweise eine Photodiode oder einen Photomultiplier oder eine Photodiodenzeile oder ein Photodiodenarray oder ein CCD-Element oder ein Photomultiplierarray oder eine Photomultiplierzeile beinhalten. Die Einzeldetektoren sind vorzugsweise einzeln jeweils für die Wellenlänge kalibriert, die sie empfangen.
  • Es ist ein weiteres Polarisationsbeeinflussungsmittel im Strahlengang des Lichtstrahles angeordnet, das an Hand der gemessenen Eigenschaften des Messstrahles die Polarisation auf einem Sollwert hält. Hierfür ist ein Regelkreis vorgesehen, bei dem die Vorrichtung zur Ermittlung das Messglied und das Polarisationsbeeinflussungsmittel das Stellglied ist.
  • In einer bevorzugten Ausgestaltung ist ein akustooptisches Bauteil als Stellglied eines Regelkreises vorgesehen, das die Lichtleistung des Lichtstrahles an Hand der gemessenen Eigenschaften des Messstrahles konstant hält. Das akustooptische Bauteil ist vorzugsweise als AOTF (acousto optical tunable filter) oder als AOM (akustooptischer Modulator) ausgeführt. Akustooptische Filter sind weithin bekannt. Nur beispielsweise ist hier die Deutsche Offenlegungsschrift DE 197 13 254 A1 oder die bereits erwähnte Deutsche Offenlegungsschrift DE 199 06 757 A1 zu nennen. In akustooptischen Filtern (AOTF) wird mit Hilfe eines Schallerzeugers, beispielsweise einem Piezoelement, das von einer elektromagnetischen Steuerfrequenz angesteuert wird, eine mechanische Welle erzeugt, die den AOTF durchläuft und an dem eine Lichtwelle beugbar bzw. streubar ist. Akustooptische Filter sind idealer Weise derart aufgebaut, dass nur der Anteil der zur Steuerfrequenz korrespondierenden Wellenlänge von dem übrigen einfallenden Licht durch Beugung getrennt wird. Durch geeignete Wahl der Amplitude der Schallwelle, ist die Leistung des gebeugten Lichts einstellbar.
  • In einer ganz besonders bevorzugten Ausgestaltung ist das Scanmikroskop ein konfokales Scanmikroskop.
  • In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben, wobei gleiche oder gleich wirkende Elemente mit denselben Bezugszeichen versehen sind. Dabei zeigen:
  • 1 eine Vorrichtung zum Ermitteln der Eigenschaften eines Lichtstrahls und
  • 2 ein erfindungsgemäßes Scanmikroskop.
  • 1 zeigt eine Vorrichtung 27 zum Ermitteln der Eigenschaften eines Lichtstrahls 1. Von dem Lichtstrahl 1 wird mit einem Strahlteiler 3 ein Messstrahl 5, dessen Lichtleistung wenige Prozent der Lichtleistung des Lichtstrahles aufweist, abgespalten. Dieser trifft auf ein Polarisationsbeeinflussungsmittel 7, das als Linear-Polarisationsfilter 9 ausgeführt ist. Das Polarisationsbeeinflussungsmittel 7 ist senkrecht zur optischen Achse des Messstrahles 5 angeordnet und um die optische Achse drehbar gelagert. Die Drehung erfolgt kontinuierlich mit einem Antriebsmittel 11, das als Linearmotor 13 ausgeführt ist.
  • Nach Passieren des Polarisationsbeeinflussungsmittels 7 trifft der Messstrahl 5 auf ein räumlich spektral aufspaltendes Element 15, das als Prisma 17 ausgeführt ist und anschließend auf einen Detektor 19, der als Photodiodenzeile 21 ausgeführt ist. In den Einzeldetektoren 23 der Photodiodenzeile 21 werden zur Lichtleistung des jeweiligen spektralen Anteils proportionale elektrische Signale erzeugt, die über die Leitung 25 zu einem Verarbeitungsmodul geleitet werden können. Aus der Modulation des Signals kann auf den Polarisationsgrad des Lichtstrahles geschlossen werden.
  • 2 zeigt schematisch ein erfindungsgemäßes Scanmikroskop 29, das als konfokales Scanmikroskop ausgeführt ist. Der von einem Beleuchtungssystem 31 kommende Lichtstrahl 1 wird mit der Einkoppeloptik 33 in eine Glasfaser 35 eingekoppelt und trifft nach der Auskopplung aus der Glasfaser 35 mit Hilfe der Auskoppeloptik 37 auf die Beleuchtungslochblende 39, passiert diese und gelangt zu einer Vorrichtung 27 zur Ermittlung der Eigenschaften eines Lichtstrahls 1, die analog zu der in 1 beschriebenen ausgeführt ist, so dass auf diesen Teil der Beschreibung verwiesen werden kann.
  • Der Lichtstrahl 1 gelangt über den Hauptstrahlteiler 43 zum kardanisch aufgehängten Scanspiegel 45, der den Lichtstrahl 1 durch die Scanoptik 47, die Tubusoptik 49 und das Objektiv 51 hindurch über bzw. durch die Probe 53 führt. Der Lichtstrahl 1 wird bei nicht transparenten Proben 53 über die Probenoberfläche geführt. Bei biologischen Proben 53 (Präparaten) oder transparenten Proben kann der Lichtstrahl 1 auch durch die Probe 53 geführt werden. Dies bedeutet, dass verschiedene Fokusebenen der Probe 53 nacheinander durch den Lichtstrahl 1 abgetastet werden können. Das von der Probe 53 ausgehende Detektionslicht 55 gelangt durch das Objektiv 51, die Tubusoptik 49 und die Scanoptik 47 hindurch und über den Scanspiegel 45 zum Hauptstrahlteiler 43, passiert diesen und trifft auf eine Detektorvorrichtung 57, die als Multibanddetektor 59 ausgeführt ist. In der Detektorvorrichtung 57 werden spektral selektiv, zur Leistung des Detektionslichts 55 proportionale elektrische Detektionssignale erzeugt und über die Leitung 61 an die Verarbeitungseinheit 41 weitergegeben. In der Verarbeitungseinheit 41 werden die eingehenden Analogsignale zunächst digitalisiert und dann digital miteinander verrechnet und an Hand der Signale der Vorrichtung 27 zum Ermitteln der Eigenschaften des Lichtstrahls 1 korrigierte Detektionslichtleistungen ermittelt. Diese werden an einen PC 63 weitergegeben. Die korrigierten Detektionslichtleistungen werden anhand eines Positionssignals des kardanisch aufgehängten Spiegels der Position des zugehörigen Rasterpunktes zugeordnet und die Daten aller Rasterpunkte werden zu einem Abbild 65 der Probe 53 zusammengesetzt, das auf einem Display 67 dargestellt ist. Das bei einem konfokalen Scanmikroskop üblicherweise vorgesehene Beleuchtungspinhole 39 und das Detektionspinhole 69 sind der Vollständigkeit halber schematisch eingezeichnet. Weggelassen sind wegen der besseren Anschaulichkeit hingegen einige optische Elemente zur Führung und Formung der Lichtstrahlen. Diese sind einem auf diesem Gebiet tätigen Fachmann hinlänglich bekannt.
  • Die Signale der Vorrichtung 27 zur Ermittlung der Eigenschaften eines Lichtstrahls 1 werden über die Leitung 25 an ein Verarbeitungsmodul 71 übergeben, das ein weiteres Polarisationsbeeinflussungsmittel 73, das als weiterer Linear-Polarisationsfilter 75 ausgeführt ist, über einen Schrittmotor 77 steuert und an Hand der gemessenen Eigenschaften des Messstrahles die Polarisation des Lichtstrahles 1 auf einem Sollwert hält. Der weitere Linear-Polarisationsfilter 75 ist im Strahlengang des Lichtstrahles 1 angeordnet.
  • Die Erfindung wurde in Bezug auf eine besondere Ausführungsform beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.
  • 1
    Lichtstrahl
    3
    Strahlteiler
    5
    Messstrahl
    7
    Polarisationsbeeinflussungsmittel
    9
    Linear-Polarisationsfilter
    11
    Antriebsmittel
    13
    Linearmotor
    15
    räumlich spektral aufspaltendes Element
    17
    Prisma
    19
    Detektor
    21
    Photodiodenzeile
    23
    Einzeldetektoren
    25
    Leitung
    27
    Vorrichtung zum Ermitteln der Eigenschaften eines Lichtstrahls 1
    29
    Scanmikroskop
    31
    Beleuchtungssystem
    33
    Einkoppeloptik
    35
    Glasfaser
    37
    Auskoppeloptik
    39
    Beleuchtungslochblende
    41
    Verarbeitungseinheit
    43
    Hauptstrahlteiler
    45
    Scanspiegel
    47
    Scanoptik
    49
    Tubusoptik
    51
    Objektiv
    53
    Probe
    55
    Detektionslicht
    57
    Detektorvorrichtung
    59
    Multibanddetektor
    61
    Leitung
    63
    PC
    65
    Abbild
    67
    Display
    69
    Detektionspinhole
    71
    Verarbeitungsmodul
    73
    weiteres Polarisationsbeeinflussungsmittel
    75
    weiterer Linear-Polarisationsfilter
    77
    Schrittmotor

Claims (14)

  1. Scanmikroskop mit einer Vorrichtung zum Ermitteln von Eigenschaften eines Lichtstrahles, die ein Mittel zum Abspalten eines Messstrahles von dem Lichtstrahl und mindestens einen Detektor beinhaltet, der den Messstrahl zumindest teilweise empfängt, wobei im Strahlengang des Messstrahles ein Polarisationsbeeinflussungsmittel vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass ein Verarbeitungsmodul vorgesehen ist, das in Abhängigkeit von zumindest einer mit dem Detektor gemessenen Lichtleistung, die Lichtleistung und/oder die Polarisation des Lichtstrahls steuert bzw. regelt und dass als Stellglied eines Regelkreises ein weiteres Polarisationsbeeinflussungsmittel im Strahlengang des Lichtstrahls angeordnet ist.
  2. Scanmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Polarisationsbeeinflussungsmittel ein Polarisationsfilter ist.
  3. Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Polarisationsbeeinflussungsmittel drehbar angeordnet ist.
  4. Scanmikroskop nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Polarisationsbeeinflussungsmittel um die optische Achse des Messstrahles drehbar ist.
  5. Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Polarisationsbeeinflussungsmittel kontinuierlich drehbar ist.
  6. Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass ein Antriebsmittel zum Drehen des Polarisationsbeeinflussungsmittels vorgesehen ist.
  7. Scanmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Polarisationsbeeinflussungsmittel ein LCD-Element beinhaltet.
  8. Scanmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Polarisationsbeeinflussungsmittel einen EOM (Elektro-Optischer-Modulator) beinhaltet.
  9. Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Polarisationsbeeinflussungsmittel kontinuierlich zwischen mindestens zwei Polarisationszuständen umschaltet.
  10. Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass ein Mittel zur simultanen farbselektiven Detektion des Messstrahles vorgesehen ist.
  11. Scanmikroskop nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel zur simultanen farbselektiven Detektion des Messstrahles ein räumlich spektral aufspaltendes Element, vorzugsweise ein Prisma oder ein Gitter, beinhaltet.
  12. Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Einzeldetektoren vorgesehen sind, die jeweils spektral unterschiedliche Anteile des Messlichts empfangen.
  13. Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass als Stellglied des Regelkreises ein akustooptisches Bauteil im Strahlengang des Lichtstrahles angeordnet ist.
  14. Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 13 dadurch gekennzeichnet, dass das Scanmikroskop ein konfokales Scanmikroskop ist.
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