DE10313158A1 - Micropump with piezoelectric membrane actuator contacting inner contour of opposing part of pump chamber wall in its deformed condition - Google Patents

Micropump with piezoelectric membrane actuator contacting inner contour of opposing part of pump chamber wall in its deformed condition Download PDF

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Abstract

The micropump has a pump chamber (14a) with a deformable membrane actuator (13), e.g. a piezoelectric transducer forming part of the pump chamber wall, the opposing part of the pump chamber wall shaped so that its inner contour (17a) corresponds to that of the membrane actuator in its deformed condition and contacted by the membrane actuator in its deformed condition.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Mikropumpe mit einer Pumpenkammer, bei der ein Teil der Pumpenkammerwandung durch eine Seite eines membranartigen Aktors gebildet ist, ein weiterer Teil der Pumpenkammerwandung dem membranartigen Aktor gegenüberliegt und der membranartige Aktor zum weiteren Teil der Pumpenkammerwandung hin verformbar ist.The invention relates to a Micropump with a pump chamber, in which a part of the pump chamber wall is formed by one side of a membrane-like actuator, another Part of the pump chamber wall is opposite the membrane-like actuator and the membrane-like actuator to the further part of the pump chamber wall is deformable.

Eine derartige Mikropumpe ist beispielsweise in dem US-Patent mit der Nummer 5,215,446 beschrieben. Ein Ausführungsbeispiel gemäß 2a dieses Dokumentes weist zwei benachbarte Pumpenkammern auf, welche durch einen piezoelektrischen, membranartigen Aktor voneinander getrennt sind, so dass ein Teil der jeweiligen Pumpenkammerwandungen der beiden Pumpenkammern durch jeweils eine der Seiten des membranartigen Aktors gebildet sind. In jeder Pumpenkammer liegt ein weiterer Teil der Pumpenkammerwandung dem membranartigen Aktor gegenüber. Eine Verformung des membranartigen Aktors kann durch die Erzeugung eines elektrischen Feldes im Piezokristall bewirkt werden, wobei dieser als Biegewandler ausgelegt ist. Damit verformt sich der Biegewandler zum weiteren Teil der Pumpenkammerwandung in einer der Pumpenkammern und entfernt sich dabei gleichzeitig von dem weiteren Teil der Pumpenkammerwandung der anderen Pumpenkammer. Hierdurch wird gleichzeitig in der einen Pumpenkammer eine Volumenverminderung und in der andern Pumpenkammer eine Volumenvergrößerung erreicht, wodurch die Förderung eines zu fördernden Fluides durch ein Einlassventil und ein Auslassventil bewirkt wird.Such a micropump is described, for example, in US Pat. No. 5,215,446. An embodiment according to 2a This document has two adjacent pump chambers, which are separated from one another by a piezoelectric, membrane-like actuator, so that a part of the respective pump chamber walls of the two pump chambers are formed by one of the sides of the membrane-like actuator. In each pump chamber, a further part of the pump chamber wall lies opposite the membrane-like actuator. A deformation of the membrane-like actuator can be brought about by generating an electric field in the piezo crystal, which is designed as a bending transducer. The bending transducer thus deforms toward the further part of the pump chamber wall in one of the pump chambers and at the same time moves away from the further part of the pump chamber wall of the other pump chamber. This results in a volume reduction in the one pump chamber and an increase in volume in the other pump chamber, whereby the delivery of a fluid to be delivered is effected by an inlet valve and an outlet valve.

Ferner gilt als Stand der Technik auch der Inhalt der älteren deutschen Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen 101 64 474.4, deren Gegenstand eine Mikropumpe ist. Bei dieser Mikropumpe steht der Aktor mit der Pumpenmembran über ein Verbindungsglied in starrer Verbindung, so dass das Verbindungsglied die Bewegungen des Aktors auf die Pumpenmembran übertragen kann. Ein Teil der Pumpenkammerwandung wird durch die Pumpenmembran gebildet, ein weiterer Teil der Pumpenkammerwandung liegt dieser Membran gegenüber.It is also considered to be state of the art also the content of the older ones German patent application with the file number 101 64 474.4, the The subject is a micropump. This micropump is the Actuator with the pump membrane a link in rigid connection so that the link can transfer the movements of the actuator to the pump diaphragm. A part of Pump chamber wall is formed by the pump membrane, another Part of the pump chamber wall is opposite this membrane.

Eine wesentliche, von der Konstruktion der Pumpe abhängige Kenngröße für deren Einsatzmöglichkeiten ist die Förderhöhe. Die Förderhöhe einer Pumpe wird bestimmt durch den höchstzulässigen Gegendruck, den eine zu fördernde Flüssigkeit aufgrund eines geodätischen Höhenunterschiedes entsprechend der Förderhöhe ausüben darf, ohne dass die Fördermenge der Pumpe Null wird. Bei der Förderung von Gasen wird der höchstzulässige Gegendruck des Gases direkt als Kenngröße verwendet.An essential one, from the construction dependent on the pump Parameter for their applications is the amount of funding. The Head of a pump is determined by the maximum permissible back pressure, the one to be promoted liquid due to a geodetic Height difference may exercise according to the amount of funding, without the delivery rate the pump becomes zero. When promoting of gases becomes the maximum permissible back pressure of the gas used directly as a parameter.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Mikropumpe mit einem membranartigen Aktor anzugeben, welche Flüssigkeiten mit einer vergleichsweise großen Förderhöhe bzw. Gase mit vergleichsweise hohem Gegendruck zu fördern vermag.The object of the invention is a Micropump with a diaphragm actuator to indicate which liquids with a comparatively large delivery head or Can pump gases with a comparatively high back pressure.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass der weitere Teil der Pumpenkammerwandung eine Innenkontur aufweist, die dem verformten Zustand des membranartigen Aktors zumindest im Wesentlichen entspricht und der weitere Teil der Pumpenkammerwandung derart dicht am membranartigen Aktor angeordnet ist, dass der membranartige Aktor im verformten Zustand zumindest im Wesentlichen an der Innenkontur anliegt. Eine an den verformten Zustand des membranartigen Aktors, insbesondere die Biegelinie des Aktors im Wesentlichen ange passte Innenkontur der Pumpenkammerwandung ist Voraussetzung dafür, dass die Pumpenkammer derartig gestaltet sein kann, dass der besagte weitere Teil der Pumpenkammer genügend dicht am membranartigen Aktor angeordnet werden kann, damit aufgrund des im verformten Zustand am weiteren Teil der Pumpenkammer anliegenden Aktors das Volumen der Pumpenkammer gegen Null geht. Hierdurch wird vorteilhaft erreicht, dass bei Förderung von Flüssigkeiten die erreichbare Förderhöhe vergleichsweise groß ist, da durch die periodische Verringerung des Pumpenkammervolumens auf Null eventuell mitgeförderte Gasblasen, die in ihrer Eigenschaft als kompressibles Fluid die Förderhöhe einer Pumpe verringern, immer vollständig aus der Pumpenkammer ausgestoßen werden können. Anders als bei Pumpenkammern, bei denen sich das Kammervolumen nicht auf Null verringern lässt, entsteht bei der Pumpenkammer der erfindungsgemäßen Mikropumpe kein Totvolumen, indem sich Gasblasen festsetzten könnten.This object is achieved according to the invention solved, that the further part of the pump chamber wall has an inner contour, the the deformed state of the membrane-like actuator at least in Essentially corresponds to and the other part of the pump chamber wall is arranged so close to the membrane-like actuator that the membrane-like Actuator in the deformed state at least essentially on the inner contour is applied. One to the deformed state of the membrane-like actuator, in particular, the bending line of the actuator essentially adapted Inner contour of the pump chamber wall is a prerequisite for that the pump chamber can be designed such that said further Enough part of the pump chamber can be arranged close to the membrane-like actuator, so due to of the part of the pump chamber lying in the deformed state Actuator the volume of the pump chamber goes to zero. This will advantageously achieved that with the promotion of liquids the achievable delivery head comparatively is great due to the periodic reduction in the pump chamber volume Zero possibly supported Gas bubbles, which in their capacity as compressible fluid Head of a pump decrease, always completely ejected from the pump chamber can be. Unlike with pump chambers, where the chamber volume is not reduced to zero, there is no dead volume in the pump chamber of the micropump according to the invention, by gas bubbles getting stuck.

Bei der Förderung von gasförmigen Fluiden bewirkt die Vermeidung eines Totvolumens vorteilhaft eine Erhöhung des zulässigen Gegendruckes im zu fördernden Fluid, da das Volumen der Pumpenkammer bei jedem Zyklus zuverlässig gegen Null gefahren werden kann. Im Falle der Förderung von Gasen lässt sich hierdurch der durch die anschließende Vergrößerung des Pumpenkammervolumens erzeugbare Unterdruck steigern, wobei der Unterdruck die für die Überwindung des Gegendruckes des Gases bestimmende Größe ist.When pumping gaseous fluids avoiding a dead volume advantageously increases the permissible Back pressure in the pumped Fluid as the volume of the pump chamber reliably counteracts each cycle Zero can be driven. In the case of gas extraction, hereby by the subsequent enlargement of the pump chamber volume Generate negative pressure that can be generated, the negative pressure being used for overcoming of the back pressure of the gas.

Die Erhöhung des zulässigen Gegendruckes ist weiterhin für die Auslegung so genannter selbstansaugender Mikropumpen von Bedeutung. Selbstansaugend ist eine Mikropumpe dann, wenn diese eine zu fördernde Flüssigkeit aus einem Reservoir auch dann heraussaugen kann, wenn die Pumpenkammer noch nicht mit der Flüssigkeit befüllt ist. Dies bedeutet, dass zunächst die Gassäule in der Zuleitung zur Pumpe gefördert werden muss, wobei der Gegendruck durch die Schwerkraft der Flüssigkeit erzeugt wird. Je höher der zulässige Gegendruck bei der Gasförderung also ist, desto größer darf bei dem Vorgang des Selbstansaugens auch der zu überwindende Höhenunterschied für die Flüssigkeit ausgebildet sein.The increase in the permissible back pressure is still important for the design of so-called self-priming micropumps. A micropump is self-priming when it can suck a liquid to be pumped out of a reservoir even when the pump chamber is not yet filled with the liquid. This means that the gas column in the supply line to the pump must first be conveyed, whereby the back pressure is caused by the gravity of the liquid is fathered. The higher the permissible back pressure during gas production, the greater the height difference that can be overcome for the liquid during the self-priming process.

Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung weist die Innenkontur einen ebenen Mittelbereich auf. Hierdurch vereinfacht sich vorteilhaft die Herstellung der Innenkontur. Eine derartige Innenkontur kann beispielsweise auf einfache Weise durch Ätzen in einem Siliziumwafer hergestellt werden. Dabei ist die Innenkontur mit dem ebenen Mittelbereich dem eigentlichen Verformungszustand des membranartigen Aktors weitgehend angepasst, so dass durch die geometrischen Abweichungen zwischen dem verformten, membranartigen Aktor und der Innenkontur nur ein sehr geringes Totvolumen entsteht. Die genannten Vorteile lassen sich also auch mit dieser Ausführung der Erfindung erreichen.According to one embodiment of the invention the inner contour has a flat central area. This simplifies the production of the inner contour is advantageous. Such one Inner contour can be easily etched in, for example a silicon wafer. Here is the inner contour with the flat central area the actual state of deformation of the membrane-like actuator largely adapted so that the geometric Deviations between the deformed, membrane-like actuator and the Inner contour only a very small dead volume arises. The above Advantages can also be achieved with this embodiment of the invention.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass auf der der einen Seite gegenüberliegenden Seite des membranartigen Aktors eine Wand zur Bildung einer weiteren Pumpenkammer vorgesehen ist. Hierdurch wird vorteilhaft erreicht, dass der membranartige Aktor mit seinen beiden Seiten einen Pumpvorgang betreiben kann, so dass unter Verwendung eines einzigen membranartigen Aktors die Fördermenge der Mikropumpe verdoppelt werden kann.According to a further embodiment the invention provides that on one side opposite Side of the membrane-like actuator a wall to form another Pump chamber is provided. This advantageously achieves that the membrane-like actuator is pumping with both sides can operate so that using a single membrane Actuator the delivery rate the micropump can be doubled.

Bei Anordnung zweier Pumpenkammern ist es vorteilhaft, wenn der membranartige Aktor auch zur Wand hin verformbar ist, wobei die Wand eine Innenkontur aufweist, die den zu ihr hin verformten Zustand des membranartigen Aktors zumindest im Wesentlichen entspricht, und die Wand derart dicht am membranartigen Aktor angeordnet ist, dass der membranartige Aktor im verformten Zustand zumindest im Wesentlichen an der Innenkontur der Wand anliegt. Hierdurch ergibt sich ein spiegelsymmetrischer Aufbau der beiden Pumpenkammern, wobei der membranartige Aktor derart ausgeführt sein muss, dass er sich nach seinen beiden Seiten hin verformen kann. Bei Verwendung eines piezoelektrischen Biegewandlers lässt sich dieses beispielsweise unter Einsatz zweier Piezokristalle erreichen, welche geschichtet angeordnet sind. Der Biegewandler wechselt dann von einem zur einen Seite des Biegewandlers hin durchgebogenen Zustand zu einem zur anderen Seite des Biegewandlers hin durchgebogenen Zustand. Hierdurch lässt sich durch den membranartigen Aktor vorteilhaft eine vergleichsweise hohe Volumenänderung in den Pumpkammern erzeugen.When two pump chambers are arranged it is advantageous if the membrane-like actuator also faces the wall is deformable, the wall having an inner contour that the towards it the deformed state of the membrane-like actuator at least essentially corresponds, and the wall so close to the membrane-like Actuator is arranged that the membrane-like actuator is deformed Condition is at least essentially on the inner contour of the wall. This results in a mirror-symmetrical structure of the two Pump chambers, the membrane-like actuator having to be designed in such a way that it can deform on both sides. Using a piezoelectric bending transducer, for example using two piezo crystals, which are layered are arranged. The bending transducer then changes from one to the other Side of the bending transducer bent towards one another Side of the bending transducer bent condition. This allows a comparatively high due to the membrane-like actuator volume change generate in the pumping chambers.

Eine andere Ausführungsform der Mikropumpe mit zwei Pumpenkammern sieht vor, dass die Wand eben ausgebildet ist und derart dicht am membranartigen Aktor angeordnet ist, dass der membranartige Aktor im unverformten Zustand and er Wand anliegt. In dieser Ausführungsform wird die zusätzliche Pumpenkammer also dadurch gebildet, dass sich der membranartige Aktor im verformten Zustand von der ebenen Wand abhebt. In der gegenüberliegenden Pumpenkammer legt sich der membranartige Aktor dann an die Innenkontur an. Kehrt der membranartige Aktor in seine Ausgangslage zurück, wird in der zusätzlichen Pumpenkammer das Volumen auf Null reduziert. Diese Ausführungsform der Membranpumpe lässt sich vorteilhaft besonders kostengünstig herstellen, da die Herstellung einer ebenen Wand sehr einfach ist. Weiterhin kann der membranartige Aktor derartig ausgeführt sein, dass dieser sich nur in eine Rich tung verformen lässt, wodurch sich ein kostengünstiger herzustellender membranartiger Aktor ergibt.Another embodiment of the micropump with two pump chambers provides that the wall is level and is arranged so close to the membrane-like actuator that the Membrane-like actuator in the undeformed state against the wall. In this embodiment will be the additional Pump chamber thus formed in that the membrane-like In the deformed state, the actuator lifts off the flat wall. In the opposite The diaphragm-like actuator then lays against the inner contour of the pump chamber on. If the membrane-like actuator returns to its original position, in the additional Pump chamber reduces the volume to zero. This embodiment the diaphragm pump produce themselves particularly inexpensively, because the production a flat wall is very simple. Furthermore, the membrane-like actuator executed like this be that it can only be deformed in one direction, which means that become an inexpensive produces membrane-like actuator.

Eine andere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass der membranartige Aktor ein piezoelektrischer Wandler ist. Mit einem piezoelektrischen Wandler lassen sich vorteilhaft auf kleinstem Raum hohe Kräfte erzeugen, so dass eine genügende Pumpleistung der Mikropumpe zur Verfügung steht.Another embodiment of the invention provides before that the membrane-like actuator is a piezoelectric transducer is. Using a piezoelectric transducer can be advantageous high forces in the smallest space generate so that a sufficient pumping power of the micropump stands.

Gemäß einer besonders günstigen Ausgestaltung der Mikropumpe ist die Pumpenkammer aus einer Basisplatte gebildet, die auf ihrer die Innenkontur des weiteren Teils der Pumpenkammerwandung aufweisenden Seite den membranartigen Aktor trägt. Hierdurch kann die Mikropumpe vorteilhafterweise durch einen Sandwich mehrerer mikromechanisch hergestellter Platten gebildet werden, wodurch eine kostengünstige Herstellung möglich ist. Die Innenkontur kann beispielsweise durch Ätzen eines Siliziumwafers gebildet werden, der anschließend mit dem membranartigen Aktor durch Bonden verbunden wird.According to a particularly cheap one The design of the micropump is the pump chamber made of a base plate formed, which have the inner contour of the further part of the pump chamber wall Side carries the membrane-like actuator. This allows the micropump advantageously by a sandwich of several micromechanically produced ones Plates are formed, whereby an inexpensive production is possible. The inner contour can be formed, for example, by etching a silicon wafer be the one after that is connected to the membrane-like actuator by bonding.

Genauso kann vorteilhaft die Wand der weiteren Pumpenkammer aus einer Abdeckplatte gebildet werden, die mit ihrer dem membranartigen Aktor zugewandten Seite mit diesem verbunden ist. Auch hierbei können, wie bereits erläutert, mikromechanische Fertigungsverfahren wie Ätzen und Bonden kostengünstig zur Anwendung kommen.Likewise, the wall can be advantageous the further pump chamber are formed from a cover plate, the side facing the membrane-like actuator with this connected is. Again, as already explained micromechanical manufacturing processes such as etching and bonding cost-effectively Application come.

Weitere Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand der Zeichnung erläutert. Hierbei zeigenFurther details of the invention are explained below with reference to the drawing. Show here

1 ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Mikropumpe mit zwei Pumpenkammern, wobei der membranartige Aktor sich in der Ruhelage befindet, im Schnitt und 1 an embodiment of the micropump according to the invention with two pump chambers, wherein the membrane-like actuator is in the rest position, in section and

2 die Mikropumpe gemäß 1, wobei sich der Aktor im verformten Zustand befindet, im Schnitt. 2 the micropump according to 1 , with the actuator in the deformed state, on average.

Eine Mikropumpe ist im Wesentlichen gebildet aus einer Basisplatte 11 und einer Abdeckplatte 12 zwischen denen ein nicht näher dargestellter, membranartiger Aktor 13 angeordnet ist. Bei dem membranartigen Aktor kann es sich beispielsweise um einen piezoelektrischen Biegewandler handeln, der durch Bonden mit der Basisplatte 11 und der Abdeckplatte 12 verbunden ist.A micropump is essentially formed from a base plate 11 and a cover plate 12 between which a membrane-like actuator, not shown, is shown 13 is arranged. The membrane-like actuator can be, for example, a piezoelectric bending transducer which is bonded to the base plate 11 and the Ab cover plate 12 connected is.

Zwischen der Basisplatte 11 und dem membranartigen Aktor 13 ist eine Pumpenkammer 14a vorgesehen, welche über ein schematisch dargestelltes Einlassventil 15a und ein Auslassventil 16a mit einer nicht dargestellten Leitung zur Förderung eines Fluides verbunden werden kann. In der Basisplatte ist eine Innenkontur 17a ausgebildet, die einen ebenen Mittelbereich 18 aufweist, welcher über eine Flanke 19 in einer mit dem membranartigen Aktor 13 verbundene Oberfläche 20 der Basisplatte 11 übergeht. Die Flanke besitzt die Gestalt der Mantelfläche eines Kegelstumpfes. Die Innenkontur 17a liegt dem membranartigen Aktor 13 gegenüber, welcher in seiner Ruhelage, d. h. in seiner unverformten Lage dargestellt ist.Between the base plate 11 and the membrane-like actuator 13 is a pump chamber 14a provided which via a schematically illustrated inlet valve 15a and an exhaust valve 16a can be connected to a line, not shown, for conveying a fluid. There is an inner contour in the base plate 17a trained that a flat central area 18 which has a flank 19 in one with the membrane-like actuator 13 connected surface 20 the base plate 11 transforms. The flank has the shape of the outer surface of a truncated cone. The inner contour 17a lies in the membrane-like actuator 13 opposite, which is shown in its rest position, ie in its undeformed position.

In der Abdeckplatte 12 ist ebenfalls ein Einlassventil 15b und ein Auslassventil 16b angeordnet. Diese führen zu einer in der Darstellung gemäß 1 nicht zu erkennenden Pumpenkammer, deren Volumen aufgrund des sich im entspannten Zustand befindlichen, membranartigen Aktors 13 nicht zu erkennen ist, da der membranartige Aktor an einer durch die Abdeckplatte 12 gebildeten Wand 21 der Pumpenkammer anliegt.In the cover plate 12 is also an inlet valve 15b and an exhaust valve 16b arranged. These lead to a in the representation according to 1 Pump chamber not to be recognized, its volume due to the membrane-like actuator being in the relaxed state 13 cannot be seen, since the membrane-like actuator is attached to one through the cover plate 12 formed wall 21 the pump chamber rests.

Bei der Mikropumpe ist gemäß 2 der membranartige Aktor 13 im verformten Zustand dargestellt. Dieser Zustand wird bei einem piezoelektrischen Biegewandler beispielsweise durch Anlegen einer externen Spannung 22 erzeugt. Die Spannung 22 kann beispielsweise an Beschichtungen eines Piezokristalls angelegt werden, die als Kondensatorplatten dienen und auf diese Weise im Piezokristall ein elektrisches Feld erzeugen.The micropump is in accordance with 2 the membrane-like actuator 13 shown in the deformed state. In a piezoelectric bending transducer, this state is caused, for example, by applying an external voltage 22 generated. The voltage 22 can, for example, be applied to coatings of a piezo crystal that serve as capacitor plates and in this way generate an electric field in the piezo crystal.

Bei der Verformung des membranartigen Aktors 13 legt sich dieser an die Innenkontur 17a im Wesentlichen an, wobei vernachlässigbar kleine Totvolumina 23 am Übergang des Mittelbereiches 18 in die Flanken 19 entstehen. Durch die Verformung des membranartigen Aktors 13 entsteht weiterhin das Volumen der Pumpenkammer 14b, indem sich der membranartige Aktor 13 von der Wand 21 abhebt.When the membrane-like actuator is deformed 13 this lays against the inner contour 17a essentially at, with negligible small dead volumes 23 at the transition of the middle area 18 in the flanks 19 arise. Due to the deformation of the membrane-like actuator 13 the volume of the pump chamber continues to arise 14b by the membrane-like actuator 13 from the wall 21 takes off.

In der 2 ist gestrichelt weiterhin eine alternative Ausgestaltung der Wand 21 mit einer Innenkontur 17b dargestellt. Diese Innenkontur 17b entspricht im Unterschied zur angenäherten Kontur 17a genau einer Biegelinie 24 des membranartigen Aktors 13. Im Fall der alternativen Ausgestaltung der Wand 21 muss der membranartige Aktor 13 sowohl in Richtung der Basisplatte 11 als auch in Richtung der Abdeckplatte 12 verformbar sein. Dies bedeutet, dass sich der membranartige Aktor 13 genau spiegelsymmetrisch zur in 2 dargestellten Form verbiegen kann, so dass dieser sich an die Innenkontur 17b ohne Totvolumen anlegen kann.In the 2 is also an alternative design of the wall with dashed lines 21 with an inner contour 17b shown. This inner contour 17b corresponds to the approximate contour 17a exactly one bending line 24 of the membrane-like actuator 13 , In the case of an alternative design of the wall 21 the membrane-like actuator 13 both towards the base plate 11 as well as towards the cover plate 12 be deformable. This means that the membrane-like actuator 13 exactly mirror-symmetrical to the in 2 shown shape can bend, so that it adheres to the inner contour 17b can create without dead volume.

Claims (8)

Mikropumpe mit einer Pumpenkammer (14a), bei der – ein Teil der Pumpenkammerwandung durch eine Seite eines membranartigen Aktors (13) gebildet ist, – ein weiterer Teil der Pumpenkammerwandung dem membranartigen Aktor (13) gegenüberliegt und – der membranartige Aktor (13) zum weiteren Teil der Pumpenkammerwandung hin verformbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass – der weitere Teil der Pumpenkammerwandung eine Innenkontur aufweist, die dem verformten Zustand des membranartigen Aktors (13) zumindest im Wesentlichen entspricht und – der weitere Teil der Pumpenkammerwandung derart dicht am membranartigen Aktor (13) angeordnet ist, dass der membranartige Aktor (13) im verformten Zustand zumindest im Wesentlichen an der Innenkontur anliegt.Micropump with one pump chamber ( 14a ), in which - part of the pump chamber wall through one side of a membrane-like actuator ( 13 ) is formed, - a further part of the pump chamber wall the membrane-like actuator ( 13 ) is opposite and - the membrane-like actuator ( 13 ) can be deformed towards the further part of the pump chamber wall, characterized in that - the further part of the pump chamber wall has an inner contour which corresponds to the deformed state of the membrane-like actuator ( 13 ) corresponds at least essentially and - the other part of the pump chamber wall is so close to the membrane-like actuator ( 13 ) is arranged that the membrane-like actuator ( 13 ) in the deformed state at least essentially bears against the inner contour. Mikropumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenkontur einen ebenen Mittelbereich (18) aufweist.Micropump according to claim 1, characterized in that the inner contour has a flat central region ( 18 ) having. Mikropumpe nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass auf der der einen Seite gegenüberliegenden Seite des membranartigen Aktors (13) eine Wand (21) zur Bildung einer weiteren Pumpenkammer (14b) vorgesehen ist.Micropump according to one of claims 1 or 2, characterized in that on the opposite side of the membrane-like actuator ( 13 ) a wall ( 21 ) to form another pump chamber ( 14b ) is provided. Mikropumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass – der membranartige Aktor auch zur Wand +20 hin verformbar ist, wobei – die Wand (21) eine Innenkontur aufweist, die dem zu ihr hin verformten Zustand des membranartigen Aktors (13) zumindest im Wesentlichen entspricht, und – die Wand derart dicht am membranartigen Aktor (13) angeordnet ist, dass der membranartige Aktor im verformten Zustand zumindest im Wesentlichen an der Innenkontur der Wand anliegt.Micropump according to claim 3, characterized in that - the membrane-like actuator is also deformable towards the wall +20, wherein - the wall ( 21 ) has an inner contour that corresponds to the deformed state of the membrane-like actuator ( 13 ) corresponds at least essentially, and - the wall is so close to the membrane-like actuator ( 13 ) is arranged such that the membrane-like actuator in the deformed state lies at least essentially against the inner contour of the wall. Mikropumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass – die Wand (21) eben ausgebildet ist und – derart dicht am membranartigen Aktor (13) angeordnet ist, dass der membranartige Aktor im unverformten Zustand an der Wand (21) anliegt.Micropump according to claim 3, characterized in that - the wall ( 21 ) is flat and - so close to the membrane-like actuator ( 13 ) is arranged that the membrane-like actuator on the wall in the undeformed state ( 21 ) is present. Mikropumpe nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der membranartige Aktor ein piezoelektrischer Wandler ist.Micropump according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the membrane-like actuator is a piezoelectric Converter is. Mikropumpe nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Pumpenkammer (14a) aus einer Basisplatte (11) gebildet ist, die auf ihrer die Innenkontur des weiteren Teils der Pumpenkammerwandung aufweisenden Seite den membranartigen Aktor (13) trägt.Micropump according to one of the preceding claims, characterized in that the pump chamber ( 14a ) from a base plate ( 11 ) is formed, which on its inner contour of the further part of the pump chamber wall has the membrane-like actuator ( 13 ) wearing. Mikropumpe nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Wand der weiteren Pumpenkammer (14b) aus einer Abdeckplatte (12) gebildet ist, die mit ihrer dem membranartigen Aktor zugewandten Seite mit diesem verbunden ist.Micropump according to one of claims 3 to 7, characterized in that the wall of the white tter pump chamber ( 14b ) from a cover plate ( 12 ) is formed, which is connected to the membrane-like side of the actuator with this.
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