DE102013204353A1 - Treatment device and method of treatment - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Behandlungsvorrichtung umfassend mindestens einen Druckwellen-Leiter (2, 102, 202, 302, 402) und mindestens eine Erregereinrichtung (3, 103, 503) zur Erzeugung von Druckwellen in dem Druckwellen-Leiter (2, 102, 202, 302, 402), wobei eine Behandlungskammer (40, 240) für einen Unterdruckprozess und/oder einen Überdruckprozess vorgesehen ist, die an einem der mindestens einen Erregereinrichtung (3, 103, 503) gegenüberliegenden Ende des mindestens einen Druckwellen-Leiters (2, 102, 202, 302, 402) angeordnet ist, und die mindestens eine Erregereinrichtung (3, 103, 503) betreibbar ist, um in der Behandlungskammer (40, 240) mindestens einmalig eine Verdichtungs- und/oder eine Verdünnungswelle für den Unterdruckprozess und/oder den Überdruckprozess zu erzeugen. Die Erfindung betrifft weiter ein System umfassend mindestens zwei Behandlungsvorrichtungen und ein Verfahren zum Erzeugen eines Unterdrucks und/oder eines Überdrucks in einer Behandlungskammer.The invention relates to a treatment device comprising at least one pressure wave guide (2, 102, 202, 302, 402) and at least one excitation device (3, 103, 503) for generating pressure waves in the pressure wave guide (2, 102, 202, 302 , 402), wherein a treatment chamber (40, 240) is provided for a negative pressure process and / or a positive pressure process, which is located at an end of the at least one pressure wave guide (2, 102,) opposite the at least one excitation device (3, 103, 503). 202, 302, 402), and the at least one excitation device (3, 103, 503) can be operated in order to at least once in the treatment chamber (40, 240) a compression and / or a dilution shaft for the vacuum process and / or the Generate overpressure process. The invention further relates to a system comprising at least two treatment devices and a method for generating a negative pressure and / or an excess pressure in a treatment chamber.
Description
Die Erfindung betrifft eine Behandlungsvorrichtung für einen Unterdruckprozess und/oder einen Überdruckprozess und ein Verfahren zum Erzeugen eines Unterdrucks, insbesondere eines Vakuums, oder eines Überdrucks in einer Behandlungskammer.The invention relates to a treatment apparatus for a vacuum process and / or an overpressure process and a method for generating a negative pressure, in particular a vacuum, or an overpressure in a treatment chamber.
Es ist bekannt, zur Durchführung von Unterdruck- oder Überdruckprozessen eine Behandlungskammer zu evakuieren bzw. ein Medium in einer Behandlungskammer zu verdichten.It is known to evacuate a treatment chamber or to compress a medium in a treatment chamber in order to carry out vacuum or overpressure processes.
Für eine Verdichtung sind beispielsweise aus
Als Vakuum wird im Zusammenhang mit der Anmeldung entsprechend der
Zum Erzeugen von Vakuum ist aus der
Mittels einer derartigen Vakuumpumpe ist es möglich, in einer mit der Eingangsöffnung kommunizierten Behandlungskammer ein Vakuum zu erzeugen. Ein Nachteil aller bekannter Vakuumpumpen ist jedoch der für die Evakuierung der Behandlungskammer notwendige Zeitaufwand. By means of such a vacuum pump, it is possible to generate a vacuum in a treatment chamber which is communicated with the inlet opening. However, a disadvantage of all known vacuum pumps is the time required for the evacuation of the treatment chamber.
Es ist daher die Aufgabe der Erfindung eine Behandlungsvorrichtung mit einer Behandlungskammer und ein Verfahren zum Erzeugen eines Vakuums oder eines Hochdrucks in einer Behandlungskammer zu schaffen, welche eine quasikontinuierliche Durchführung eines Vakuum- oder eines Hochdruckprozesses erlauben.It is therefore the object of the invention to provide a treatment device with a treatment chamber and a method for generating a vacuum or a high pressure in a treatment chamber, which allow a quasi-continuous execution of a vacuum or a high-pressure process.
Gemäß einem ersten Aspekt wird eine Behandlungsvorrichtung umfassend, mindestens einen Druckwellen-Leiter und mindestens eine Erregereinrichtung zur Erzeugung von Druckwellen in dem mindestens einen Druckwellen-Leiter geschaffen, wobei die Behandlungsvorrichtung eine geschlossene Behandlungskammer für einen Unterdruckprozess und/oder einen Überdruckprozess umfasst, die an einem der mindestens einen Erregereinrichtung gegenüberliegenden Ende des mindestens einen Druckwellen-Leiters angeordnet ist, und die mindestens eine Erregereinrichtung betreibbar ist, um in der Behandlungskammer mindestens einmalig eine Verdichtungs- und/oder eine Verdünnungswelle für den Unterdruckprozess und/oder den Überdruckprozess zu erzeugen. According to a first aspect, a treatment apparatus comprising at least one pressure wave conductor and at least one excitation device for generating pressure waves in the at least one pressure wave conductor is provided, wherein the treatment device comprises a closed treatment chamber for a vacuum process and / or an overprinting process, which on a the at least one exciter device opposite end of the at least one pressure wave conductor is arranged, and the at least one excitation device is operable to generate in the treatment chamber at least once a compression and / or a dilution wave for the vacuum process and / or the overprinting process.
Als Druckwellen werden im Zusammenhang mit der Anmeldung kurzzeitige Schwankungen des Drucks in dem Druckwellen-Leiter bezeichnet, die sich als Wellenfront in dem Druckwellen-Leiter fortpflanzen. Überdruckwellen werden als Verdichtungswellen, Unterdruckwellen als Verdünnungswellen bezeichnet. Bei einer Druckwelle handelt es sich in einer Ausgestaltung um eine Schallwelle, welche einen stetigen zeitlichen Druckverlauf aufweist. In einer anderen Ausgestaltung wird mittels der Erregereinrichtung eine Stoßwelle mit einem sich sprunghaft ändernden Druck angeregt. In the context of the application, short-term fluctuations of the pressure in the pressure wave conductor, which propagate as wavefront in the pressure wave conductor, are referred to as pressure waves. Overpressure waves are referred to as compression waves, vacuum waves as dilution waves. In one embodiment, a pressure wave is a sound wave which has a steady temporal pressure curve. In another embodiment, a shock wave is excited by means of the excitation device with a sudden change in pressure.
Die Behandlungskammer ist geschlossen, d.h. es findet kein Austausch von Medien mit der Umgebung zur Erzeugung eines Unter- oder eines Überdrucks statt. Es ist jedoch offensichtlich, dass die Behandlungskammer zur Einbringung und/oder zum Entnehmen eines zu behandelnden Objekts zugänglich ist. Hierfür ist beispielsweise eine schließbare Ladeöffnung oder dergleichen vorgesehen.The treatment chamber is closed, i. there is no exchange of media with the environment to create a negative or an overpressure. However, it is obvious that the treatment chamber is accessible for introduction and / or removal of an object to be treated. For this purpose, for example, a closable loading opening or the like is provided.
Im Unterschied zum Stand der Technik wird die Behandlungskammer nicht dauerhaft evakuiert oder befüllt, sondern nur kurzfristig mittels einer Verdichtungs- und/oder einer Verdünnungswelle unter Überdruck oder Unterdruck gesetzt. Die mindestens eine Erregereinrichtung ist betreibbar, um in der Behandlungskammer mindestens einmalig eine Verdichtungs- und/oder eine Verdünnungswelle erzeugen. In einer Ausgestaltung wird eine Folge an Verdichtungs- und Verdünnungswellen erzeugt, wobei in vorteilhaften Gestaltungen eine periodische Anregung erfolgt. Die in der Behandlungskammer einmalig oder in Folge erzeugte Schallwelle oder Stoßwelle ist für Kurzzeitreaktionen chemischer oder physikalischer Stoffumwandlungen und/oder Oberflächenbehandlungen von Objekten nutzbar. Insbesondere sind in einer Ausgestaltung hohe Drücke und Hochtemperaturreaktionen im Millisekundenbereich angeregt. Aufgrund der kurzzeitigen Einwirkung kann auf eine hermetische Abdichtung der Behandlungskammer verzichtet werden.In contrast to the prior art, the treatment chamber is not permanently evacuated or filled, but only briefly by means of a compression and / or a dilution wave under pressure or negative pressure set. The at least one exciter device is operable to generate in the treatment chamber at least once a compression and / or a dilution wave. In one embodiment, a sequence is applied Compression and dilution waves generated, wherein in advantageous configurations, a periodic excitation occurs. The sound wave or shock wave generated once or in succession in the treatment chamber can be used for short-term reactions of chemical or physical substance conversions and / or surface treatments of objects. In particular, in one embodiment, high pressures and high-temperature reactions in the millisecond range are excited. Due to the short-term impact can be dispensed with a hermetic sealing of the treatment chamber.
Die Behandlungskammer ist je nach Anwendung mit einem geeigneten Prozessfluid, insbesondere einem Prozessgas, einer Gas/Flüssig-Mischung, wie beispielsweise Nebel, Schaum, Blasenschwarm, einer Gas/Festkörper-Mischung, wie beispielsweise Staub oder Aerosol, oder einer Flüssigkeit, befüllt.Depending on the application, the treatment chamber is filled with a suitable process fluid, in particular a process gas, a gas / liquid mixture, such as, for example, mist, foam, swarm swarm, a gas / solid mixture, such as, for example, dust or aerosol, or a liquid.
Vakuumprozesse, wie beispielsweise eine physikalische Gasphasenabscheidung (englisch physical vapour deposition, kurz PVD), eine chemische Gasphasenabscheidung (englisch chemical vapour deposition, kurz CVD), eine plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (englisch plasma-enhanced chemical vapour deposition, kurz PECVD), ein Sputtern oder ein Plasmaprozess, können so ohne eine zeitaufwändige Evakuierung der Behandlungskammer durchgeführt werden. Vacuum processes, such as a physical vapor deposition (PVD), a chemical vapor deposition (CVD), a plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD), a sputtering or a plasma process can thus be carried out without a time-consuming evacuation of the treatment chamber.
In der Behandlungskammer können auch Hochtemperatur- und Hochdruck-Ultrakurzzeitprozesse (physikalisch und chemisch) gefahren werden, wobei eine adiabate Kompression mittels einer Verdichtungswelle genutzt wird. In the treatment chamber, high-temperature and high-pressure ultra-short-time processes (physical and chemical) can be used, whereby adiabatic compression is used by means of a compression shaft.
Weiter ist die Durchführung thermoakustischer Prozesse in der Behandlungskammer vorteilhaft möglich. Besonderes Augenmerk liegt auch auf kavitativen Prozessen, die mit besonders starken Druckpulsen arbeiten. Auch Reaktionen auf empfindlichen, z.B. temperaturempfindlichen Oberflächen sind vorteilhaft möglich. Furthermore, the implementation of thermoacoustic processes in the treatment chamber is advantageously possible. Particular attention is also paid to cavitative processes, which work with particularly strong pressure pulses. Also reactions to sensitive, e.g. Temperature-sensitive surfaces are advantageously possible.
Die Behandlungsvorrichtung ist insbesondere für Nicht-Gleichgewichtsreaktionen (schnelles Erhitzen und schnelle Abkühlung) und hochselektive Reaktionen, die nach kurzer Zeit gestoppt werden sollen, geeignet. Bei starken akustischen Schwingungsamplituden können aufgrund von einwirkenden Kräften an Oberflächen sehr hohe Wärme- und Stofftransportkoeffizienten erreicht werden, wobei die Druckwellen somit die ultraschnellen und selektiven Reaktionen unterstützen. The treatment device is particularly suitable for non-equilibrium reactions (rapid heating and rapid cooling) and highly selective reactions which are to be stopped after a short time. At strong acoustic vibration amplitudes very high heat and mass transfer coefficients can be achieved due to acting forces on surfaces, the pressure waves thus supporting the ultrafast and selective reactions.
Die Druckwellen breiten sich als Longitudinalwellen in dem Druckwellen-Leiter aus. Aufgrund der Reflexions- und Beugungseigenschaften der Druckwellen ist es bei einer weiteren Gestaltung des Druckwellen-Leiters jedoch nicht zwingend, dass der Druckwellen-Leiter über den gesamten Bereich sich in eine Richtung erstreckt. Beispielsweise ist in einer Ausgestaltung ein abschnittsweise gekrümmter Druckwellen-Leiter vorgesehen. Dadurch sind bauraumoptimierte Bauweisen möglich.The pressure waves propagate as longitudinal waves in the pressure wave conductor. Due to the reflection and diffraction properties of the pressure waves, however, it is not mandatory in a further design of the pressure wave conductor that the pressure wave conductor extends over the entire region in one direction. For example, in one embodiment, a sectionally curved pressure wave conductor is provided. As a result, space-optimized designs are possible.
Die mindestens eine Erregereinrichtung ist betreibbar, um mindestens einmalig eine Verdichtungs- und/oder Verdünnungswelle anzuregen. Die Anregung erfolgt in einer Ausgestaltung als Einzelimpuls, in einer anderen Ausgestaltung als Folge an Impulsen und in noch einer anderen Ausgestaltung als harmonische Anregung. Die Frequenz der harmonischen Anregung entspricht vorzugsweise einer Eigenfrequenz des Druckwellen-Leiters.The at least one excitation device is operable to excite at least once a compression and / or dilution wave. The excitation takes place in one embodiment as a single pulse, in another embodiment as a result of pulses and in yet another embodiment as a harmonic excitation. The frequency of the harmonic excitation preferably corresponds to a natural frequency of the pressure wave conductor.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung ist die mindestens eine Erregereinrichtung betreibbar, um zeitgleich oder getaktet mindestens zwei, in einem Fokus phasengleich interferierende Druckwellen zu erzeugen, wobei die Behandlungskammer in dem Fokus angeordnet ist, um in der Behandlungskammer mindestens einmalig eine aufgrund der Interferenz verstärkte Verdichtungs- und/oder eine Verdünnungswelle für den Unterdruckprozess und/oder den Überdruckprozess zu erzeugen. Die Erregereinrichtung erzeugt an einer Eingangsseite eines zugeordneten Druckwellen-Leiters eine Schallwelle oder eine Stoßwelle mit einer Erregeramplitude. Durch die Interferenz der Druckwellen werden in dem Fokus einmalig oder wiederholt Schall- oder Stoßwellen mit einer gegenüber einer der Erregeramplitude erhöhten Amplitude erzeugt.In an advantageous embodiment, the at least one excitation device is operable to simultaneously or clocked at least two in a focus to produce in-phase interfering pressure waves, wherein the treatment chamber is arranged in the focus to at least once in the treatment chamber due to the interference increased compression and / or to create a dilution wave for the vacuum process and / or the overpressure process. The excitation device generates an acoustic wave or a shock wave with an exciter amplitude at an input side of an associated pressure wave conductor. As a result of the interference of the pressure waves, sound or shock waves are generated once or repeatedly in the focus with an amplitude which is higher than that of the exciter amplitude.
In einer Ausgestaltung sind zwei oder mehr Druckwellen-Leiter mit zugehörigen Erregereinrichtungen einer Behandlungskammer zugeordnet, wobei durch synchronisierte Anregung eine Überlagerung der Verdichtungs- und/oder Verdünnungswelle in der Behandlungskammer erzielbar ist.In one embodiment, two or more pressure wave conductors associated with excitation means associated with a treatment chamber, wherein by synchronized excitation, a superposition of the compression and / or dilution wave in the treatment chamber can be achieved.
Alternativ oder zusätzlich ist in vorteilhaften Ausgestaltungen vorgesehen, dass die mindestens eine Erregereinrichtung ausgebildet ist, um in einem zugeordneten Druckwellen-Leiter zeitgleich oder getaktet mindestens zwei in einem Fokus phasengleich interferierende Druckwellen zu erzeugen. Dabei ist in einer Ausgestaltung zur Erzeugung eines Überdrucks oder eines Unterdrucks in der Behandlungskammer nur ein Druckwellen-Leiter mit einer zugeordneten Erregereinrichtung vorgesehen.Alternatively or additionally, it is provided in advantageous embodiments that the at least one exciter device is designed to generate at least two pressure waves that in phase phase interfere in a pressure wave conductor at the same time or in a clocked manner. In this case, in one embodiment for generating an overpressure or a negative pressure in the treatment chamber, only one pressure wave conductor is provided with an associated exciter device.
In einer Ausgestaltung umfasst eine Erregereinrichtung eine biegeweiche Oberfläche und eine Vielzahl an Aktuatoren, mittels welchen Druckwellen an der Oberfläche anregbar sind. Durch geeignete, phasenversetzte Synchronisation der Anregung ist dabei eine phasengleiche Interferenz im Fokus erzielbar. In one embodiment, an exciter device comprises a flexible surface and a plurality of actuators, by means of which pressure waves can be excited on the surface. By suitable, phase-shifted synchronization of the excitation is while an in-phase interference in focus achievable.
In einer anderen Ausgestaltung weist die mindestens eine Erregereinrichtung mindestens einen Aktuator und eine steife Schwingungsfläche auf. Durch eine Anregung der steifen Schwingungsfläche durch einen Aktuator werden dabei zeitgleich an jedem Punkt einer Schwingungsfläche sich in Normalrichtung ausbreitende Druckwellen erzeugt. Die Druckwellen einer gekrümmten Schwingungsfläche werden durch geeignete Maßnahmen für eine Interferenz im Fokus geleitet.In another embodiment, the at least one excitation device has at least one actuator and a rigid oscillation surface. By exciting the rigid vibrating surface by means of an actuator, pressure waves propagating in the normal direction are generated simultaneously at each point of a vibrating surface. The pressure waves of a curved vibration surface are directed through appropriate measures for interference in focus.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung ist eine Erregerfläche der Erregereinrichtung kugelkalottenförmig. Als Erregerfläche wird dabei eine Oberfläche bezeichnet, an welcher Druckwellen durch die Erregereinrichtung angeregt werden. In einer Ausgestaltung ist die Erregerfläche als steife Schwingungsfläche gestaltet. Durch die Kugelkalottenform ist auf einfache Weise eine phasengleiche Interferenz der an der Erregerfläche zeitgleich angeregten phasengleichen Druckwellen im Fokus erzielbar. In an advantageous embodiment, an excitation surface of the exciter device is spherical cap-shaped. In this case, the surface of excitation is referred to as a surface on which pressure waves are excited by the exciter device. In one embodiment, the excitation surface is designed as a stiff oscillation surface. Due to the spherical cap shape, an in-phase interference of the in-phase pressure waves excited simultaneously on the excitation surface in the focus can be achieved in a simple manner.
Für eine Führung der Wellen und eine Erhöhung der Amplituden ist in einer weiteren Ausgestaltung vorgesehen, dass der Druckwellen-Leiter einen konvergierenden Querschnitt aufweist. Je nach Geometrie sind durch den konvergierenden Querschnitt hohe Kompressionsfaktoren möglich. Beispielsweise werden in einer Ausgestaltung Kompressionsfaktoren von ca. 1:1000 und mehr erzielt. Der Druckwellen-Leiter ist in einer vorteilhaften Ausgestaltung kegelförmig, für ein optimales Zusammenwirken mit einer kugelkalottenförmigen Schwingungsfläche. Die über eine kugelkalottenförmige Schwingungsfläche angeregten zum Fokus auflaufenden Druckwellen verdichten sich bei Verwendung eines konvergenten Druckwellen-Leiter im Fokus zu hohen Amplituden. Bei einer geeigneten Geometrie, insbesondere bei zurück reflektierter Verdünnungswelle oder Verdünnungshalbwelle sind dabei Vakuum-ähnliche Absolutdrücke in der Behandlungskammer erzielbar. For a guidance of the waves and an increase in the amplitudes, it is provided in a further embodiment that the pressure wave conductor has a convergent cross section. Depending on the geometry, high compression factors are possible due to the converging cross-section. For example, in one embodiment, compression factors of about 1: 1000 and more are achieved. The pressure wave conductor is conical in an advantageous embodiment, for optimum interaction with a spherical cap-shaped oscillation surface. The pressure waves, which are excited by means of a spherical cap-shaped oscillation surface, become concentrated to high amplitudes when using a convergent pressure wave conductor. In the case of a suitable geometry, in particular with a reflected dilution wave or dilution half-wave, vacuum-like absolute pressures in the treatment chamber can be achieved.
In einer Ausgestaltung ist der Druckwellen-Leiter als ein mit einem Fluid, insbesondere mit einem Gas oder einem mehrphasigen Fluid, wie einem Staub, einen Aerosol, einem Nebel, einem Schaum oder einem Blasenschwarm, gefülltes Gehäuse gestaltet. Das in dem Druckwellen-Leiter befindliche Medium wird im Zusammenhang mit der Anmeldung auch als Schallleiter-Medium bezeichnet. Als Schallleiter-Medium dient in einer Ausgestaltung ein in der Behandlungskammer eingesetztes Prozessfluid, wobei ein Innenraum des Gehäuses mit der Behandlungskammer fluidisch kommuniziert ist. Das Gehäuse und die Behandlungskammer bilden dabei eine geschlossene Baueinheit. Ein geeignetes Fluid ist dabei durch den Fachmann unter Berücksichtigung des in der Behandlungskammer durchzuführenden Prozesses wählbar. In anderen Ausgestaltungen sind ein fluid-befüllter Druckwellen-Leiter und eine Behandlungskammer über eine Membran getrennt, wobei eine Druckwelle über die Membran übertragen wird.In one embodiment, the pressure wave conductor is designed as a housing filled with a fluid, in particular with a gas or a multiphase fluid, such as a dust, an aerosol, a mist, a foam or a bubble swarm. The medium contained in the pressure wave conductor is also referred to as sound conductor medium in connection with the application. As a sound conductor medium used in one embodiment, a process fluid used in the treatment chamber, wherein an interior of the housing is fluidically communicated with the treatment chamber. The housing and the treatment chamber form a closed unit. A suitable fluid can be selected by the person skilled in the art taking into account the process to be carried out in the treatment chamber. In other embodiments, a fluid-filled pressure wave conductor and a treatment chamber are separated by a membrane, wherein a pressure wave is transmitted across the membrane.
In noch einer anderen Ausgestaltung ist der Druckwellen-Leiter als Festkörper gestaltet ist. Dabei wirkt der Druckwellen-Leiter vorzugsweise als Kolben mit einer feststehenden Führung zur Schaffung einer Behandlungskammer mit einem variablen Volumen zusammen. In der Behandlungskammer ist dabei die Durchführung von Prozessen möglich, bei welchen Flüssigkeiten oder andere Festkörper manipuliert werden. Insbesondere ist es auch denkbar, Gefügeumwandlungen von Feststoffen, beispielsweise von Graphit in Diamant, mittels eines Festkörper-Druckwellen-Leiters durchzuführen.In yet another embodiment, the pressure wave conductor is designed as a solid body. In this case, the pressure wave conductor preferably cooperates as a piston with a fixed guide to create a treatment chamber with a variable volume. In the treatment chamber, it is possible to carry out processes in which liquids or other solids are manipulated. In particular, it is also conceivable to carry out structural transformations of solids, for example of graphite in diamond, by means of a solid-state pressure wave conductor.
Der Aktuator der Erregereinrichtung ist durch den Fachmann geeignet wählbar. Je nach Anwendungsfall sind beispielsweise elektromagnetische, piezoakustische, pneumatische, explosive, detonative und/oder hydraulische Aktuatoren denkbar.The actuator of the excitation device is suitably selectable by the person skilled in the art. Depending on the application example, electromagnetic, piezoacoustic, pneumatic, explosive, detonative and / or hydraulic actuators are conceivable.
In einer Ausgestaltung umfasst die Erregereinrichtung einen Pulsgenerator zur Erzeugung einer Stoßwelle durch elektrische Entladungen. Die Stoßwelle wird dabei durch Verdampfung eines im Druckwellen-Leiter befindlichen Fluids oder durch kurzzeitige Erhitzung eines Gases gebildet. Der Pulsgenerator umfasst eine Hochspannungselektrode und eine Masse-Elektrode, welche durch einen Isolator getrennt sind. Zwischen der Hochspannungselektrode und eine Masse-Elektrode kommt es zu einer Entladung. Die Anordnung der Hochspannungselektrode und der Masse-Elektrode wird als Entladungsanordnung bezeichnet. Eine Entladungsanordnung ist durch den Fachmann geeignet wählbar, wobei je nach Anordnung eine Volumenentladung oder Oberflächenentladung, insbesondere eine Oberflächen-Barrierenentladung (Engl. Surface Barrier Discharge SBD) entsteht. Bei einer Oberflächen-Barrierenentladung kommt es zu einer Verschiebungspolarisation an einer Elektrodenkante einer auf einem Isolator angeordneten Hochspannungselektrode. An der Oberfläche des Isolators bildet sich in einer zweiten Phase ein leitfähiger Kanal, welcher als Streamer bezeichnet wird. Sobald der Streamer die Masse-Elektrode erreicht, kommt es zu einer Entladung. In vorteilhaften Ausgestaltungen sind die Hochspannungselektrode und die Masse-Elektrode an einer Erregerfläche angeordnet. Für kurze Wege und damit geringe induktive Verluste ist in einer Ausgestaltung die Hochspannungselektrode strahlenförmig bezüglich eines Zentrums einer Erregerfläche angeordnet.In one embodiment, the exciter device comprises a pulse generator for generating a shockwave by electrical discharges. The shock wave is formed by evaporation of a fluid located in the pressure wave conductor or by short-term heating of a gas. The pulse generator comprises a high voltage electrode and a ground electrode which are separated by an insulator. Between the high voltage electrode and a ground electrode there is a discharge. The arrangement of the high voltage electrode and the ground electrode is referred to as a discharge arrangement. A discharge arrangement can be suitably selected by the person skilled in the art, whereby, depending on the arrangement, a volume discharge or surface discharge, in particular a surface barrier discharge SBD, is produced. In a surface barrier discharge, there is a shift polarization at an electrode edge of a high voltage electrode arranged on an insulator. On the surface of the insulator forms in a second phase, a conductive channel, which is referred to as streamer. Once the streamer reaches the ground electrode, it will discharge. In advantageous embodiments, the high-voltage electrode and the ground electrode are arranged on an excitation surface. For short distances and thus low inductive losses, in one embodiment, the high-voltage electrode is arranged radially with respect to a center of an exciter area.
In einer Ausgestaltung ist eine Erregerfläche der Erregereinrichtung als Isolator gestaltet, wobei auf der Erregerfläche Hochspannungselektroden und Masse-Elektroden alternierend, jeweils zueinander beabstandet angeordnet sind. Dabei entwickeln sich Barriere-Entladungen entlang der Oberfläche des Isolators.In one embodiment, an excitation surface of the excitation device is designed as an insulator, wherein on the excitation surface high voltage electrodes and ground electrodes are arranged alternately, each spaced from each other. Barrier discharges develop along the surface of the insulator.
In einer anderen Ausgestaltung sind schmale, ausgedehnte Elektroden auf einer Oberseite eines Isolators und eine flächige Masse-Elektrode auf einer Unterseite des Isoloators angeordnet. Durch eine derartige Anordnung wird eine Oberflächen-Barrierenentladung begünstigt. In another embodiment, narrow, extended electrodes are arranged on an upper side of an insulator and a planar ground electrode is arranged on a lower side of the insulator. Such an arrangement promotes surface barrier discharge.
Der Pulsgenerator ist in einer weiteren Ausgestaltung als Blümleingenerator gestaltet. Ein Blümleingenerator wird auch als Inversionsschaltung oder LC-Inversionsschaltung bezeichnet. Bei einem Blümleingenerator sind zwei Hochspannungselektroden über eine Speicherinduktivität verbunden. The pulse generator is designed in a further embodiment as Blümleingenerator. A flower generator is also referred to as an inversion circuit or LC inversion circuit. In a flower generator, two high voltage electrodes are connected via a storage inductor.
Gemäß einem zweiten Aspekt wird ein System umfassend mindestens zwei Behandlungsvorrichtungen mit jeweils einer Behandlungskammer geschaffen, wobei die Behandlungskammern der Behandlungsvorrichtungen mittels beweglicher Schottwände kommuniziert sind. Durch Öffnen einer Schottwand ist ein zu behandelndes Objekt in eine nachfolgende Behandlungskammer überführbar, wobei nach Schließen der Schottwand die Behandlungskammer für eine Prozessdurchführung bereit ist.According to a second aspect, a system comprising at least two treatment devices, each with a treatment chamber, is provided, wherein the treatment chambers of the treatment devices are communicated by means of movable bulkheads. By opening a bulkhead, an object to be treated can be transferred into a subsequent treatment chamber, wherein after closing the bulkhead the treatment chamber is ready for a process execution.
Die Behandlungskammern sind in einer Ausgestaltung in einer Reihe angeordnet, wobei ein zu behandelndes Objekt die Behandlungskammern sequentiell durchläuft. Die Erregereinrichtungen der Behandlungsvorrichtungen sind dabei derart synchronisiert, dass ein quasi-kontinuierlicher Überdruck- und/oder Unterdruckprozess an dem Objekt durchführbar ist, während das Objekt die Behandlungskammern durchläuft.The treatment chambers are arranged in one embodiment in a row, wherein an object to be treated passes through the treatment chambers sequentially. The excitation devices of the treatment devices are synchronized in such a way that a quasi-continuous overpressure and / or negative pressure process can be performed on the object while the object passes through the treatment chambers.
Gemäß einem dritten Aspekt wird ein Verfahren zum Erzeugen eines Unterdrucks und/oder eines Überdrucks in einer Behandlungskammer mittels mindestens eines Druckwellen-Leiters und mittels mindestens einer Erregereinrichtung zur Erzeugung von Druckwellen in dem Druckwellen-Leiter geschaffen, wobei die mindestens eine Erregereinrichtung zur Erzeugung mindestens einer Druckwelle betrieben wird, um in der an einem der Erregereinrichtung gegenüberliegenden Ende des mindestens eine Druckwellen-Leiters angeordneten, geschlossenen Behandlungskammer mindestens einmalig eine Verdichtungs- und/oder eine Verdünnungswelle zu erzeugen. According to a third aspect, a method is provided for generating a negative pressure and / or an overpressure in a treatment chamber by means of at least one pressure wave conductor and by means of at least one excitation device for generating pressure waves in the pressure wave conductor, wherein the at least one excitation device for generating at least one Pressure wave is operated to at least once in the arranged at one of the exciter end of the at least one pressure wave conductor, closed treatment chamber to generate a compression and / or a dilution wave.
Das Verfahren zur kurzfristigen Erzeugung von Über- oder Unterdruck in der Behandlungskammer ist insbesondere für Nichtgleichgewichtsreaktionen und/oder hochselektive Reaktionen, die nach kurzer Zeit gestoppt werden sollen, vorteilhaft.The method for the short-term generation of positive or negative pressure in the treatment chamber is particularly advantageous for non-equilibrium reactions and / or highly selective reactions which are to be stopped after a short time.
In einer Ausgestaltung erfolgt eine Anregung mittels der Erregereinrichtung als diskreter Impuls. Die Behandlungskammer ist geschlossen, sodass die angeregte Verdichtungs- und/oder Verdünnungswelle reflektiert wird. Alternativ oder zusätzlich ist in einer weiteren Ausgestaltung vorgesehen, dass eine Unterdrückung einer reflektierten Welle durch eine Gegen-Anregung erfolgt. Die Gegenanregung erfolgt in vorteilhaften Ausgestaltungen ebenfalls über die mindestens eine Erregereinrichtung. In noch einer weiteren Ausgestaltung wird eine Folge an diskreten Impulsen angeregt.In one embodiment, excitation by means of the exciter device takes place as a discrete pulse. The treatment chamber is closed so that the excited compression and / or dilution wave is reflected. Alternatively or additionally, it is provided in a further embodiment that a suppression of a reflected wave by a counter-excitation. The counter-excitation also takes place in advantageous embodiments via the at least one exciter device. In yet another embodiment, a train of discrete pulses is excited.
In anderen Ausgestaltungen erfolgt eine periodische Anregung. Dabei erfolgt in einer Ausgestaltung eine harmonische Anregung mittels der Erregereinrichtung mit einer Eigenfrequenz des Druckwellen-Leiters. Die Eigenfrequenz des Druckwellen-Leiters ist dabei auch von einem verwendeten Schallleiter-Medium abhängig. In other embodiments, a periodic excitation occurs. In one embodiment, a harmonic excitation by means of the exciter device with a natural frequency of the pressure wave conductor takes place. The natural frequency of the pressure wave conductor is also dependent on a used sound conductor medium.
Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen und aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen der Erfindung, die in den Zeichnungen schematisch dargestellt sind. Für gleiche oder ähnliche Bauteile werden in den Zeichnungen einheitliche Bezugszeichen verwendet. Further advantages of the invention will become apparent from the subclaims and from the following description of embodiments of the invention, which are shown schematically in the drawings. For identical or similar components, the same reference numbers are used in the drawings.
In den Zeichnungen zeigen schematisch:In the drawings show schematically:
Der in
Bei Verwendung einer steifen Schwingungsfläche
In anderen Worten überlagern sich die an der Schwingungsfläche
Aufgrund der geeigneten Gestaltung der Schwingungsfläche
Die Erregereinrichtung
Die Erregereinrichtung
Die Behandlungskammer ist geschlossen, sodass die angeregte Verdichtungs- und/oder Verdünnungswelle an einem der Erregereinrichtung
Der Druckwellen-Leiter
Die in
Eine Anregung mittels der Erregereinrichtung
Die
Das Entstehen einer Oberflächen-Barrierenentladung zwischen einer Hochspannungselektrode
Die
Sämtliche Ausführungsbeispiele sind lediglich beispielhaft. Als Teil eines Ausführungsbeispiels beschriebene oder dargestellte Merkmale können ebenso in einem anderen Ausführungsbeispiel verwendet werden, um eine weitere Ausführungsform der Erfindung zu erhalten.All embodiments are merely exemplary. Features described or illustrated as part of one embodiment may also be used in another embodiment to obtain a further embodiment of the invention.
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
- US 2007/0235252 A1 [0003, 0003] US 2007/0235252 A1 [0003, 0003]
- US 6638032 B1 [0005] US 6638032 B1 [0005]
Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature
- DIN 28400 Teil 1 [0004] DIN 28400 Part 1 [0004]
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Non-Patent Citations (1)
Title |
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DIN 28400 Teil 1 |
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