DE102013005607A1 - Method and apparatus for optically pumping laser amplifiers for generating laser radiation with defined beam characteristics - Google Patents
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Abstract
Aufgabe war es, mit möglichst geringem Aufwand und ohne erforderliche Strahlformung der Lasereingangsstrahlung eine fixe durch einen Laser generierte Energie/Leistung sowie ggf. mit einer durch die Laser-induzierte Zerstörschwelle der optischen Komponenten bestimmte Energieflächendichte zu erzeugen und dabei die Energie/Leistung der verwendeten Pumpstrahlung so gering wie möglich zu halten. Erfindungsgemäß wird die Pumpstrahlung (5) zur Anregung der Besetzungsinversion im aktiven Medium (2) zur Verstärkung einer Lasereingangsstrahlung (4) eines Laserverstärkers (3) in Abhängigkeit sowohl der Energieflächendichte der Laserausgangsstrahlung (6) des Laserverstärkers (3) als auch in Abhängigkeit der Strahleigenschaften, insbesondere Strahlquerschnittprofil und/oder Strahlgeometrie und/oder Strahlgröße, der zu verstärkenden Lasereingangsstrahlung (4) flächenmoduliert.The task was to generate a fixed energy / power generated by a laser and, if necessary, a specific energy area density determined by the laser-induced destruction threshold of the optical components with the least possible effort and without the necessary beam shaping of the laser input radiation, and thereby the energy / power of the pump radiation used to keep as low as possible. According to the invention, the pump radiation (5) for stimulating the population inversion in the active medium (2) for amplifying a laser input radiation (4) from a laser amplifier (3) as a function of both the energy area density of the laser output radiation (6) of the laser amplifier (3) and as a function of the beam properties , in particular beam cross-sectional profile and / or beam geometry and / or beam size, which surface-modulates the laser input radiation (4) to be amplified.
Description
Zur Erzeugung von Laserstrahlung mit definierten Parametern, z. B. einer bestimmten spektralen Bandbreite, Leistung bzw. Energie oder einem bestimmten Strahlprofil, wird oftmals die Gesamtverstärkung des Laserstrahles in verschiedene Verstärkerstufen unterteilt. Ein durch einen Oszillator generierter zeitlich definierter Laserstrahl (oder auch Laserpuls) wird hier durch mehrere Verstärker bis zu einer bestimmten Energie bzw. Leistung verstärkt. Bei Lasersystemen hoher Energien bzw. Durchschnittsleistungen ist dieses Prinzip unvermeidbar. Die daraus resultierenden individuellen Verstärkerstufen bestehen aus zumindest einem aktiven Medium, beispielsweise Festkörper (dotierte Gläser bzw. Kristalle), Farbstoffe oder Gase, in denen die für die Verstärkung notwendige Besetzungsinversion im aktiven Medium durch das Zuführen von Energie bspw. in Form von optischer Pumpstrahlung realisiert wird.For generating laser radiation with defined parameters, eg. As a particular spectral bandwidth, power or energy or a particular beam profile, often the overall gain of the laser beam is divided into different amplifier stages. A time-defined laser beam (or laser pulse) generated by an oscillator is amplified here by several amplifiers up to a certain energy or power. This principle is unavoidable in laser systems with high energies or average power. The resulting individual amplifier stages consist of at least one active medium, for example solids (doped glasses or crystals), dyes or gases in which the occupation inversion required in the active medium for the amplification is realized by supplying energy, for example in the form of optical pump radiation becomes.
Die Erfindung betrifft hierbei optisch longitudinal gepumpte, ungesättigte individuelle Laserverstärker. Die für die Besetzungsinversion im aktiven Medium und somit für die Verstärkung notwendige Pumpstrahlung wird hier entlang der optischen Achse in das aktive Medium des Laserverstärkers eingebracht. Aufgrund der Anordnung der optischen Komponenten besitzen diese Verstärker keine stabilen Resonatoren und haben demzufolge keine Modenabhängigkeit und kein bevorzugtes Strahlquerschnittprofil. Diese Art von Verstärkern wird insbesondere bei Hoch-Leistungs- bzw. Hoch-Energie-Lasern eingesetzt, bei denen eine effiziente Verstärkung und eine homogen Energiedichteverteilung essentiell sind, um Beschädigungen oder sogar die Zerstörung der optischen Komponenten zu vermeiden.The invention relates in this case to optically longitudinally pumped, unsaturated individual laser amplifiers. The pump radiation necessary for the population inversion in the active medium and thus for the amplification is introduced here along the optical axis into the active medium of the laser amplifier. Due to the arrangement of the optical components, these amplifiers do not have stable resonators and, consequently, have no mode dependence and no preferred beam cross-sectional profile. This type of amplifier is used in particular in high-power or high-energy lasers, for which efficient amplification and a homogeneous energy density distribution are essential in order to avoid damage or even the destruction of the optical components.
Die Laserverstärker können jedoch ebenfalls zur Verstärkung und Erzeugung von Laserstrahlung jeglicher Energie, Wellenlänge, Bandbreite und Strahlprofile verwendet werden.However, the laser amplifiers can also be used to amplify and generate laser radiation of any energy, wavelength, bandwidth, and beam profiles.
Ein Hauptaugenmerk bei der Konstruktion dieser Verstärker liegt auf der Energieflächendichte. Das Strahlprofil muss derart gewählt werden, dass die Energieflächendichte so gering wie möglich ist, um einen hohen Betrag an Energie bzw. Leistung im Strahl zu deponieren, ohne die Laser-induzierte Zerstörschwelle der optischen Komponenten zu überschreiten. Ebenfalls ist das Verhältnis von aufgebrachter Pumpenergie zu extrahierter Energie des verstärkten Laserstrahles von erheblicher Bedeutung. Hierfür ist eine optimale Anpassung des Querschnittprofils der in das Lasermedium eingebrachten Pumpstrahlung an das Strahlquerschnittprofils der zu verstärkenden Laserstrahlung notwendig.A major consideration in designing these amplifiers is energy surface density. The beam profile must be chosen such that the energy surface density is as low as possible to deposit a high amount of energy or power in the beam without exceeding the laser-induced damage threshold of the optical components. Also, the ratio of applied pump energy to extracted energy of the amplified laser beam is of considerable importance. For this purpose, an optimal adaptation of the cross-sectional profile of the pumping radiation introduced into the laser medium to the beam cross-sectional profile of the laser radiation to be amplified is necessary.
Diesen Anforderungen wirken Verstärkungseffekte wie z. B. das „spatial gain narrowing” entgegen. Bei der ungesättigten Verstärkung ist das Strahlquerschnittprofil der Laserausgangsstrahlung sehr stark von der Form und der Homogenität des Querschnittprofils der Pumpstrahlung abhängig, weshalb hierfür häufig eine rechteckige Intensitätsverteilung über den Strahlquerschnitt der Pumpstrahlung verwendet wird. Aufgrund der Propagationseigenschaften, die diese jedoch durch das aktive Medium aufweist, sowie aufgrund von Emission und Reabsorption von spontaner Laserstrahlung (Fluoreszenz) innerhalb des aktiven Mediums wird dieses rechteckige Querschnittprofil an den Rändern ausgewaschen, was zu einem Super-Gauß-förmigen Querschnittprofil der Pumpstrahlung innerhalb des aktiven Mediums führt. Die verringerte Flankensteilheit führt zu einer inhomogenen Verstärkung der Randbereiche und letztendlich zu einem Einschnüren des effektiven Verstärkungsprofils, welches zusätzlich durch die Anzahl an Transmissionspassagen durch das aktive Medium bestimmt wird. Somit ist die spezielle Anpassung der Lasereingangsstrahlung auf die Pumpstrahlung für das Strahlprofil der verstärkten Laserstrahlung von wesentlicher Bedeutung.These requirements have reinforcing effects such. B. contrary to the "spatial gain narrowing". In the case of unsaturated reinforcement, the beam cross-sectional profile of the laser output radiation is very much dependent on the shape and homogeneity of the cross-sectional profile of the pump radiation, which is why a rectangular intensity distribution over the beam cross section of the pump radiation is frequently used for this purpose. However, due to the propagation characteristics of the active medium and the emission and reabsorption of spontaneous laser radiation (fluorescence) within the active medium, this rectangular cross-sectional profile is washed out at the edges resulting in a super Gaussian cross-sectional profile of the pump radiation within of the active medium. The reduced slope leads to an inhomogeneous reinforcement of the edge regions and ultimately to a constriction of the effective gain profile, which is additionally determined by the number of transmission passages through the active medium. Thus, the special adaptation of the laser input radiation to the pump radiation for the beam profile of the amplified laser radiation is essential.
Bisherige Bemühungen zielten ausschließlich auf die Homogenisierung der Pumpstrahlung. Hierbei wird als Ziel eine rechteckige Intensitätsverteilung über den Strahlquerschnitt der Pumpstrahlung angegeben, welches keine hochfrequenten Störungen mehr besitzt (beispielsweise
Zur Vermeidung besagter Zerstörungsgefahr wurde zum einen die Homogenisierung mittels eines Mikrolinsenarrays entwickelt. Diese Technik auf der Basis einer optischen Beleuchtungsanordnung (z. B.
Eine weitere Methode zur Homogenisierung der Intensitätsverteilung der Pumpstrahlung stellt ein diffraktives optisches Element dar. Hier wird auf Basis von Beugung ein Gitter in der Art hergestellt, dass die an diesem Element gebeugte Pumpstrahlung in einer Ebene ein nahezu homogenes rechteckförmiges Querschnittprofil ergibt (
Bei all diesen entwickelten Techniken ist die spezielle Anpassung der Lasereingangsstrahlung auf die Pumpstrahlung jedoch nicht möglich. Der oben beschriebene Effekt des „spatial gain narrowing” sowie das Strahlquerschnittprofil der Lasereingangsstrahlung des Laserverstärkers bestimmen hier die Eigenschaften des Strahlquerschnittprofils der Laserausgangsstrahlung. Für die Minimierung der Energieflächendichte der Laserausgangsstrahlung müssen hier zusätzliche Techniken zur direkten Formung der Lasereingangsstrahlung verwendet werden. Beispielsweise kann durch die Installation eines Teleskops aus zwei speziell gefertigten Asphären ein Energieflächendichteminimiertes Strahlquerschnittprofil erzeugt werden (
Ebenfalls ist dies mit speziell gefertigten Spiegeln möglich. Diese Techniken zur direkten Beeinflussung der Laserstrahlung haben jedoch erhebliche Nachteile. Durch den entweder transmissiven oder auch reflektiven Aufbau der Komponenten zur Beeinflussung des Strahlquerschnittprofils der Laserstrahlung kann es zu Störungen und Aberrationen der räumlichen, zeitlichen und spektralen Parameter der Laserausgangsstrahlung kommen. Dies können beispielsweise Wellenfront- und Strahlprofildeformationen, eine Verschlechterung des zeitlichen Intensitätskontrastes von gepulsten Lasersystemen oder auch eine Verschmälerung oder auch Modulation der spektralen Bandbreite sein. Ebenfalls kann es zur teilweise deutlichen Erhöhung der akkumulierten nichtlinearen Phase kommen, welche durch nicht-lineare Effekte die Qualität eines zeitlich begrenzten Laserpulses erheblich verschlechtern kann. Ebenfalls unterliegen Optiken zur Formung des Strahlquerschnittprofils sehr hohen Anforderungen bezüglich der spektralen Reflektivität bzw. Transmission, der Zerstörschwelle und der Oberflächenqualität, was den Einsatz dieser Techniken, ebenfalls aufgrund der Sonderanfertigung der Asphären bzw. Spiegel, sehr teuer und zudem sehr justageaufwändig macht. Minimale Abweichungen der Linsen von der idealen Position führen, aufgrund von Wellenfrontaberrationen, zu einer mangelhaften Fokussierbarkeit des Laserausgangsstrahls. Aus diesen Gründen ist der Einsatz von Techniken zur Strahlformung in Hoch-Energie bzw. Hoch-Leistungs-Lasersystemen unbedingt zu vermeiden.This is also possible with specially made mirrors. However, these techniques for directly influencing the laser radiation have considerable disadvantages. Due to the either transmissive or even reflective construction of the components for influencing the beam cross-sectional profile of the laser radiation, disturbances and aberrations of the spatial, temporal and spectral parameters of the laser output radiation can occur. These may be, for example, wavefront and beam profile deformations, a deterioration in the temporal intensity contrast of pulsed laser systems or else a narrowing or modulation of the spectral bandwidth. It can also lead to a partially significant increase in the accumulated nonlinear phase, which can significantly degrade the quality of a time-limited laser pulse by non-linear effects. Likewise subject to optics for forming the beam cross-sectional profile very high requirements with respect to the spectral reflectance or transmission, the damage threshold and the surface quality, which makes the use of these techniques, also due to the special design of the aspheres or mirrors, very expensive and also very easy to tune. Minimal deviations of the lenses from the ideal position result in poor focusability of the laser output beam due to wavefront aberrations. For these reasons, the use of beamforming techniques in high-energy or high-power laser systems must be avoided at all costs.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, mit möglichst geringem Aufwand und ohne erforderliche Strahlformung der Lasereingangsstrahlung eine fixe durch einen Laser generierte Energie/Leistung sowie ggf. mit einer durch die Laser-induzierte Zerstörschwelle der optischen Systemkomponenten bestimmte Energieflächendichte zu erzeugen und dabei die Energie/Leistung der verwendeten Laser-Pumpstrahlung so gering wie möglich zu halten.The invention is based on the object with the least possible effort and without required beam shaping of the laser input radiation to generate a fixed energy generated by a laser / power and possibly with a determined by the laser-induced damage threshold of the optical system components energy density and thereby the energy / power the laser pump radiation used to be kept as low as possible.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren zur Erzeugung einer Laserstrahlung mit definierten Strahleigenschaften, bei dem eine Pumpstrahlung zur Anregung der Besetzungsinversion des aktiven Mediums eines Laserverstärkers zur Verstärkung einer Lasereingangsstrahlung über ein optisches System in das aktive Medium des Laserverstärkers eingekoppelt wird, wobei die Pumpstrahlung ggf. hinsichtlich einer homogenen und/oder vorzugsweise rechteckigen Intensitätsverteilung über den Strahlquerschnitt fixbeeinflusst wird, erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Pumpstrahlung zusätzlich zu einer eventuellen Fixbeeinflussung in Abhängigkeit sowohl der Energieflächendichte der Laserausgangsstrahlung des Laserverstärkers als auch in Abhängigkeit der Strahleigenschaften, insbesondere Strahlquerschnittprofil und/oder Strahlgeometrie und/oder Strahlgröße, der zu verstärkenden Lasereingangsstrahlung flächenmoduliert wird.This object is achieved by a method for generating a laser radiation with defined beam properties, in which a pump radiation for exciting the population inversion of the active medium of a laser amplifier for amplifying a laser input radiation via an optical system is coupled into the active medium of the laser amplifier, wherein the pump radiation, if necessary a homogeneous and / or preferably rectangular intensity distribution over the beam cross-section fixed, according to the invention solved in that the pump radiation in addition to a possible Fixbeeinflussung depending on both the energy surface density of the laser output radiation of the laser amplifier and in dependence of the beam properties, in particular beam cross-sectional profile and / or beam geometry and / or beam size, which is surface modulated to be amplified laser input radiation.
Diese Flächenmodulation der Pumpstrahlung wird entweder dynamisch in Abhängigkeit der aktuell detektierten Strahleigenschaften der Laserein- und -ausgangsstrahlung geregelt oder statisch anhand von vordetektierten oder vorgegebenen Strahleigenschaften der Laserein- und -ausgangsstrahlung realisiert.This area modulation of the pump radiation is either controlled dynamically as a function of the currently detected beam properties of the laser input and output radiation or implemented statically on the basis of predetected or predetermined beam properties of the laser input and output radiation.
In einer entsprechenden Vorrichtung, bei der die Strahlung einer Pumplichtquelle zur Anregung der Besetzungsinversion des aktiven Mediums eines Laserverstärkers über ein optisches System in das aktive Medium des Laserverstärkers eingekoppelt wird, wobei sich im Strahlengang der Pumpstrahlung eine Strahlbeeinflussungsstufe zur Fixeinstellung einer homogenen und/oder vorzugsweise rechteckigen Intensitätsverteilung über den Strahlquerschnitt befinden kann, steht ein von den Strahleigenschaften der Laserein- und -ausgangsstrahlung des Laserverstärkers abhängiges strahlflächenmodulierendes optisches Element innerhalb des optischen Systems zur Einkopplung der Pumpstrahlung in das aktive Medium mit dieser zum Zweck deren Strahlflächenmodulierung in Verbindung.In a corresponding device in which the radiation of a pumping light source for exciting the population inversion of the active medium of a laser amplifier is coupled via an optical system in the active medium of the laser amplifier, wherein in the beam path of the pump radiation, a beam influencing stage for fix setting a homogeneous and / or preferably rectangular Intensity distribution can be located over the beam cross-section, is dependent on the beam characteristics of the laser input and output radiation of the laser amplifier Strahlflächenmodulierendes optical element within the optical system for coupling the pump radiation into the active medium with this for the purpose of their Strahlflächenmodulierung in connection.
Ein solches strahlflächenmodulierendes Element kann beispielsweise ein aktiv geregelter optischer Modulator sein, dessen Eingänge jeweils mit zumindest einem Detektor zur Erfassung der aktuellen Strahleigenschaften der Laserein- und -ausgangsstrahlung des Laserverstärkers gekoppelt sind.Such a beam-surface-modulating element can be, for example, an actively controlled optical modulator whose inputs are each coupled to at least one detector for detecting the current beam characteristics of the laser input and output radiation of the laser amplifier.
Es ist auch möglich, als ein die Pumpstrahlung strahlflächenmodulierendes Element einen transmissiven und/oder reflektiven Filter vorzusehen, dessen Filtereigenschaften auf vordetektierte Strahleigenschaften der besagten Laserein- und -ausgangsstrahlung des Laserverstärkers angepasst sind. It is also possible to provide a transmissive and / or reflective filter as a radiation-beam-modulating element, the filter properties of which are matched to predetected beam properties of said laser input and output radiation of the laser amplifier.
Weitere zweckmäßige Realisierungsmöglichkeiten zur vorgeschlagenen Flächenmodulation der Pumpstrahlung sind in den Unteransprüchen angegeben.Further expedient implementation possibilities for the proposed area modulation of the pump radiation are specified in the subclaims.
Der zu verwendende räumlich flächenmodulierende statische bzw. dynamische Modulator wird erfindungsgemäß innerhalb der Pumpstrahlung positioniert. Hier sind die Anforderungen für die optischen Elemente bzgl. der Bandbreite, Zerstörfestigkeit, Transmission bzw. Reflektivität und auch der Oberflächenqualität aufgrund der Eigenschaften der Pumpstrahlung vergleichsweise gering. Damit wird die vorgeschlagene spezielle Flächenmodulation der Pumpstrahlung zu einer vorteilhaft aufwandgeringen, kostengünstigen und verfahrenstechnisch gut umsetzbaren Methode, die auch ohne Änderung bestehender Strahlarchitekturen mit geringem Justageaufwand in bestehende Systeme implementiert werden kann. Die geringeren Anforderungen sind ebenfalls bezüglich der Lebensdauer von Vorteil. Der verwendete Flächenmodulator beeinflusst die zu verstärkende Lasereingangsstrahlung in keiner Weise, da diese zu keinem Zeitpunkt den räumlich flächenmodulierenden Modulator transmittiert oder an ihm reflektiert wird. Daraus folgt, dass aufgrund des Modulators eventuell zu erwartende Störungen und Aberrationen der räumlichen, zeitlichen und spektralen Parameter der Laserausgangsstrahlung, wie beispielsweise Wellenfront- und Strahlprofildeformationen, eine Verschlechterung des zeitlichen Intensitätskontrastes von gepulsten Lasersystemen oder auch eine Verschmälerung oder auch Modulation der spektralen Bandbreite, sowie der Einfluss der akkumulierten nichtlinearen Phase komplett vermieden werden. Durch die oftmals sehr geringen Modulationstiefen der erfindungsgemäß benötigten Flächenmodulation im Prozentbereich ist zudem der Verlust der Verstärkung, und somit der Ausgangsenergie bzw. -leistung des Laserausgangsstrahles, auf ein Minimum begrenzt. Des Weiteren ist die Herstellung zumindest der transmissiven bzw. reflektiven Filter in hohen Stückzahlen sehr reproduzierbar und in fast beliebigen Größen möglich. Dies macht diese Methode kostengünstig, sehr zuverlässig und fast beliebig skalierbar.The spatial surface modulating static or dynamic modulator to be used according to the invention is positioned within the pump radiation. Here, the requirements for the optical elements with respect to the bandwidth, destruction resistance, transmission or reflectivity and also the surface quality due to the properties of the pump radiation are comparatively low. Thus, the proposed special area modulation of the pump radiation to an advantageous low effort, cost and procedurally well implemented method that can be implemented without modification of existing beam architectures with low adjustment effort into existing systems. The lower requirements are also advantageous in terms of life. The area modulator used in no way affects the laser input radiation to be amplified, since it is not transmitted at any time to the spatially modulating modulator or reflected at it. It follows that due to the modulator possibly to be expected interference and aberrations of the spatial, temporal and spectral parameters of the laser output radiation, such as wavefront and beam profile deformations, a deterioration of the temporal intensity contrast of pulsed laser systems or a narrowing or modulation of the spectral bandwidth, as well the influence of the accumulated nonlinear phase can be completely avoided. Due to the often very small modulation depths of the area modulation according to the invention in the percentage range, the loss of the gain, and thus the output energy or output of the laser output beam, is also limited to a minimum. Furthermore, the production of at least the transmissive or reflective filters in high quantities is very reproducible and possible in almost any size. This makes this method inexpensive, very reliable and almost arbitrarily scalable.
Die Erfindung soll nachstehend anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert werden.The invention will be explained below with reference to exemplary embodiments illustrated in the drawing.
Es zeigen:Show it:
- a) Darstellung der Querschnittprofile der Pumpstrahlung innerhalb des aktiven Mediums
1.1 ) bzw.1.2 ) Querschnittprofil ohne Modulation2.1 ) bzw.2.2 ) Querschnittprofil mit Modulation - b) Darstellung der Querschnittprofile der Laserein- und
ausgangsstrahlung 1 .) Querschnittprofil der Lasereingangsstrahlung2.1 ) bzw.2.2 ) Querschnittprofil der Laserausgangsstrahlung ohne Modulation3.1 ) bzw.3.2 ) Querschnittprofil der Laserausgangsstrahlung mit Modulation
- a) Representation of the cross-sectional profiles of the pump radiation within the active medium
1.1 ) respectively.1.2 ) Cross section profile without modulation2.1 ) respectively.2.2 ) Cross-section profile with modulation - b) Representation of the cross-sectional profiles of the laser input and
output radiation 1 .) Cross-sectional profile of the laser input radiation2.1 ) respectively.2.2 ) Cross-sectional profile of the laser output radiation without modulation3.1 ) respectively.3.2 ) Cross-section profile of the laser output radiation with modulation
In
Mittels eines optischen Systems
Folgend werden sowohl die in den Laserverstärker
Sowohl die durch den Detektor
Bei einem Gauß-förmigen Eingangsstrahlprofil und einem Super-Gauß-förmigen Zielausgangsstrahlprofil entspricht die einzustellende Flächenmodulation einer parabelförmigen Abschwächung der Pumpstrahlung
Anschließend wird die Lasereingangsstrahlung
Der Lichtmodulator
Ist der minimale Wert der Energieflächendichte erreicht, so ist das Strahlquerschnittprofil der Lasereingangsstrahlung
Im Anschluss an diese Flächenmodulation der Pumpstrahlung
Bei größeren Änderungen der Brennweite der besagten zweiten Teleskoplinse, beispielsweise aufgrund einer fehlerhaften initialen Abschätzung der Größe des Querschnittprofils der Pumpstrahlung
Es ist ebenfalls möglich, die beschriebene Vorgehensweise zur Flächenmoduation der Pumpstrahlung
Die Filtereingenschaften dieses transmissiven und/oder reflektiven Filters
Als flächenmodulierendes Element (transmissiver und/oder reflektiver Filter
Wiederum kann durch die Anpassung der Vergrößerung des das abbildende Teleskop beinhaltenden optischen Systems
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 11
- PumplichtquellePump light source
- 22
-
aktives Medium des Laserverstärkers
3 active medium of thelaser amplifier 3 - 33
- Laserverstärkerlaser amplifier
- 44
- LasereingangsstrahlungLaser radiation input
- 55
- Pumpstrahlungpump radiation
- 66
- optisches Systemoptical system
- 77
- LaserausgangsstrahlungLaser output
- 8, 98, 9
- Detektordetector
- 1010
- ModulationsberechnungsstufeModulation calculation stage
- 1111
- Lichtmodulatorlight modulator
- 1212
- optisches Elementoptical element
- 1313
- Filterfilter
- 1414
- Pfeildarstellungarrow display
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
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Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature
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