DE102006048317A1 - Optische Fasersonde - Google Patents

Optische Fasersonde Download PDF

Info

Publication number
DE102006048317A1
DE102006048317A1 DE102006048317A DE102006048317A DE102006048317A1 DE 102006048317 A1 DE102006048317 A1 DE 102006048317A1 DE 102006048317 A DE102006048317 A DE 102006048317A DE 102006048317 A DE102006048317 A DE 102006048317A DE 102006048317 A1 DE102006048317 A1 DE 102006048317A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
optical fiber
end piece
fiber
optical
area
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102006048317A
Other languages
English (en)
Inventor
David Rychtarik
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE102006048317A priority Critical patent/DE102006048317A1/de
Priority to US11/974,434 priority patent/US8130381B2/en
Priority to JP2007266704A priority patent/JP2008122368A/ja
Publication of DE102006048317A1 publication Critical patent/DE102006048317A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/02049Interferometers characterised by particular mechanical design details
    • G01B9/0205Interferometers characterised by particular mechanical design details of probe head
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/02055Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
    • G01B9/02056Passive reduction of errors
    • G01B9/02057Passive reduction of errors by using common path configuration, i.e. reference and object path almost entirely overlapping
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/44Mechanical structures for providing tensile strength and external protection for fibres, e.g. optical transmission cables
    • G02B6/4401Optical cables
    • G02B6/4429Means specially adapted for strengthening or protecting the cables
    • G02B6/443Protective covering
    • G02B6/4432Protective covering with fibre reinforcements

Abstract

Die Erfindung betrifft eine optische Fasersonde für eine optische Messeinrichtung mit einer mechanischen Aufnahme, in der eine optische Faser geführt ist, mit einem Faserendstück, das über die mechanische Aufnahme herausragt und das zur Führung eines Messstrahls auf ein Messobjekt ausgebildet ist. Dabei ist die optische Faser im Bereich des Faserendstücks und/oder im Bereich der mechanischen Aufnahme zumindest bereichsweise mit einer sie mechanisch stabilisierenden Beschichtung versehen. Die Beschichtung führt zu einer verbesserten mechanischengung des Faserendstücks, welches daher deutlich länger ausgeführt werden kann als ohne die Beschichtung.

Description

  • Stand der Technik
  • Die Erfindung betrifft eine optische Fasersonde für eine optische Messeinrichtung mit einer mechanischen Aufnahme, in der eine optische Faser geführt ist, mit einem Faserendstück, das über die mechanische Aufnahme herausragt und das zur Führung eines Messstrahls auf ein Messobjekt ausgebildet ist.
  • Eine interferometrische Messeinrichtung, bei der eine solche Fasersonde eingesetzt ist, ist in der Schrift DE 102 44 553 dargestellt. Die Schrift offenbart eine interferometrische Messvorrichtung zum Erfassen der Form, der Rauheit oder des Abstandes der Oberfläche eines Messobjektes mit einem Modulationsinterferometer, dem von einer Strahlungsquelle kurzkohärente Strahlung zugeführt wird und das einen ersten Strahlteiler zum Aufteilen der zugeführten Strahlung in einen über einen ersten Arm geführten ersten Teilstrahl und einen über einen zweiten Arm geführten zweiten Teilstrahl aufweist, von denen der eine gegenüber dem anderen mittels einer Modulationseinrichtung in seiner Licht-Phase oder Lichtfrequenz verschoben wird und eine Verzögerungsstrecke durchläuft, und die anschließend an einem weiteren Strahlteiler des Modulationsinterferometers vereinigt werden, mit einer von dem Modulationsinterferometer räumlich getrennten und mit dieser über eine Lichtleitfaseranordnung gekoppelten oder koppelbaren Messsonde, in der die vereinigten Teilstrahlen in einen durch eine Sonden-Lichtleitfasereinheit mit einer schrägen objektseitigen Austrittsfläche zu der Oberfläche gefürten Messstrahl und einen Referenzstrahl aufgeteilt und in der der and der Oberfläche reflektierte Messstrahl (r1(t)) und der an einer Referenzebene reflektierte Referenzstrahl (r2(t)) überla gert werden, und mit einer Empfängervorrichtung und einer Auswerteeinheit zum Umwandeln der ihr zugeleiteten Strahlung in elektrische Signale und zum Auswerten der Signale auf der Grundlage einer Phasendifferenz. Dabei beträgt der Neigungswinkel (y) der Austrittsfläche gegenüber der Normalen der optischen Sondenachse mindestens 46°.
  • Entsprechend den in der Schrift gezeigten 5 und 6 ragt eine objektseitige Sonden-Lichtleitfasereinheit mit der schrägen Austrittsfläche über eine röhrchenförmige Aufnahme hinaus, so dass die überstehende Sonden-Lichtleitfasereinheit, also das Faserendstück, für optische, insbesondere interferometrische Messaufgaben beispielsweise in enge Hohlräume eingeführt werden kann.
  • Die Tiefe des zu untersuchenden Hohlraumes ist dabei durch die Länge des Faserendstücks beschränkt. Bei heute eingesetzten Sonden-Lichteleitfasereinheiten beträgt die Länge des Faserendstücks bei einem typischen Durchmesser der Faser von 20µm ca. 2mm. Aufgrund der mechanischen Empfindlichkeit des Faserendstücks sowie dessen Schwingungsneigung mit entsprechend negativen Auswirkungen auf die Messgenauigkeit kann das Faserendstück nicht wesentlich länger ausgeführt werden. Dies beschränkt den Einsatz der interferometrischen Messeinheit auf die Untersuchung von Hohlräumen mit relativ geringer Tiefe.
  • Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine optische Fasersonde bereit zu stellen, welche bei möglichst einfacher Handhabung mit hoher Messgenauigkeit die Untersuchung von Hohlräumen mit geringem Durchmesser und großer Tiefe ermöglicht.
  • Vorteile der Erfindung
  • Die Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst, dass die optische Faser im Bereich des Faserendstücks und/oder im Bereich der mechanischen Aufnahme zumindest bereichsweise mit einer sie mechanisch stabilisierenden Beschichtung versehen ist. Die Beschichtung wirkt dabei als ein die Faser oder das Faserendstück mechanisch stabilisierender Mantel. Das Faserendstück ist – abhängig von dem gewählten Material und der Dicke der Beschichtung – nicht mehr so anfällig, insbesondere gegenüber Verbiegungen. Weiterhin verringert die erhöhte mechanische Stabilität die Schwingungsneigung des Faserendstücks. Das Faserendstück kann daher gegenüber bekannten Faserendstücken deutlich länger ausgeführt werden, was die optische, insbesondere die interferometrische Untersuchung von Hohlräumen mit einer Tiefe von deutlich mehr als 2mm erlaubt, ohne dass die Messgenauigkeit oder die mechanische Stabilität der optischen Fasersonde reduziert ist. Die optische Fasersonde kann so auch in Messmaschinen eingesetzt werden, die mit einem Tasterschutzkontakt ausgeführt sind. Der Tasterschutzkontakt bewirkt, dass die Bewegung eines Tastarms, an dem die optische Fasersonde montiert ist, automatisch gestoppt wird, wenn der Tastarm mit dem Faserendstück gegen das Messobjekt fährt.
  • Eine ausreichende mechanische Stabilisierung des Faserendstücks lässt sich dadurch erreichen, dass die Beschichtung aus einem Lack, einem Kunststoff, aus Metall und/oder aus Karbon ausgeführt ist. Dabei ermöglichte es insbesondere eine Metallisierung des Faserendstücks, die Schichtdicke genau auf den Vorgabewert einzustellen beziehungsweise die Schicht durch aufeinander folgendes Aufbringen von mehreren Schichten entsprechend der gewünschten Dicke aufzubringen. Ist die optische Faser aus einem Faserkern und einem Mantel aufgebaut, wobei die Lichtleitung durch Reflexion in der Grenzschicht zwischen dem Faserkern und dem Mantel erfolgt, so hat die Beschichtung keinen Einfluss auf die optischen Eigenschaften der optischen Faser beziehungsweise des Faserendstücks.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltungsvariante der Erfindung ist es vorgesehen, dass die Beschichtung zwischen 10µm und 100µm, vorzugsweise zwischen 40µm und 60µm, dick ist. Fasersonden der beschriebenen Art werden bevorzugt zur Vermessung von Einspritzdüsen von Brennkraftmaschinen eingesetzt, welche typisch einen Durchmesser von ca. 150µm aufweisen. Die Faser selbst hat eine Dicke von ca. 20µm. Mit einer Beschichtung in der angegebenen Dicke erhält das Faserendstück einen Außendurchmesser, der es erlaubt, dass das Faserendstück in die Bohrungen der Einspritzdüsen eingebracht werden kann und gleichzeitig eine ausreichende mechanische Stabilität aufweist. Sind Hohlräume mit größeren Durchmessern zu vermessen, kann die Beschichtung jedoch auch dicker ausgeführt werden.
  • Eine weitere mechanische Stabilisierung der optischen Faser beziehungsweise des Faserendstücks lässt sich dadurch erreichen, dass um die optische Faser zumindest bereichsweise ein Schutzröhrchen vorgesehen ist. Das Schutzröhrchen kann dabei direkt die optische Faser beziehungsweise das Faserendstück umschließen oder zusätzlich zu der Beschichtung vorgesehen sein. Der Innendurchmesser des Schutzröhrchens ist entsprechend an den Außendurchmesser der optischen Faser beziehungsweise des Faserendstücks oder der beschichten optischen Faser beziehungsweise des beschichteten Faserendstücks anzupassen. Mit der Anordnung können Hohlräume, deren Durchmesser größer sind als der des Schutzröhrchens, interferometrisch vermessen werden. Dabei kann der Außendurchmesser des Schutzröhrchens kleiner als der Durchmesser der mechanischen Aufnahme gewählt werden. Ragt das Faserendstück aus dem Schutzröhrchen heraus, so bestimmt der Durchmesser des Faserendstücks den kleinstmöglichen messbaren Durchmesser auf einer Tiefe, der dem herausstehenden Teil des Faserendstücks entspricht.
  • Ein ausreichender mechanischer Schutz der optischen Faser beziehungsweise des Faserendstücks bei möglichst geringem Außendurchmesser des Schutzröhrchens kann dadurch erreicht werden, dass das Schutzröhrchen aus Metall, Keramik und/oder aus Karbon ausgeführt ist.
  • Zeichnungen
  • Die Erfindung wird im Folgenden anhand der in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 in schematischer Darstellung eine optische Fasersonde nach dem Stand der Technik,
  • 2 in schematischer Darstellung eine optische Fasersonde mit einer beschichteten optischen Faser und einem beschichtetem Faserendstück,
  • 3 in schematischer Darstellung eine Detailansicht des beschichteten Faserendstücks,
  • 4 in schematischer Darstellung eine optische Fasersonde mit einer beschichteten optischen Faser und einem beschichtetem Faserendstück und einem Schutzröhrchen,
  • 5 in schematischer Darstellung eine Detailansicht des beschichteten Faserendstücks mit einem Schutzröhrchen.
  • Beschreibung der Ausführungsbeispiele
  • 1 zeigt in schematischer Darstellung eine optische Fasersonde 1, wie sie heute beispielsweise zur optischen, insbesondere interferometrischen Vermessung von Einspritzdüsen von Brennkraftmaschinen eingesetzt wird.
  • Eine optische Faser 20 ist in einer axial angeordneten Ausnehmung 11 einer mechanischen Aufnahme 10 geführt. An einem aus der mechanischen Aufnahme 10 überstehenden Teilstück der optischen Fa ser 20, dem Faserendstück 22, sind an einer Faserspitze 23 eine nicht dargestellte Linse und ein nicht dargestellter Spiegel angeordnet. Die optische Faser 20 ist mit einer faseroptischen Lichtzuführung 21 verbunden.
  • Die optische Fasersonde 1 ist bei einem Ausführungsbeispiel über die Lichtzuführung 21 mit einem nicht dargestellten Interferometer verbunden. Ein Lichtstrahl wird von dem Interferometer über die Lichtzuführung 21 der optischen Faser 20 zugeführt. Die optische Faser 20 beinhaltet zum Beispiel eine nicht dargestellte Reflexionsebene, an der der zugeführte Lichtstrahl in einen transmittierten Messstrahl und einen reflektierten Referenzstrahl aufgeteilt wird. Der transmittierte Messstrahl wird dem Faserendstück 22 und der Faserspitze 23 zugeführt und über die optischen Komponenten Linse und Spiegel auf das Messobjekt gelenkt und fokussiert. Der von dem Messobjekt reflektierte Strahl wird wieder in die Faserspitze 22 eingekoppelt und über die optische Faser 20 und die Lichtzuführung 21 zurück an das Interferometer geleitet.
  • Das Faserendstück 22 kann zur Durchführung von interferometrischen Messungen beispielsweise in feinen Bohrungen, wie sie bei Einspritzdüsen für Brennkraftmaschinen vorgesehen sind, verwendet werden. Dazu wird das Faserendstück 22 in die Bohrung eingeführt. Der Durchmesser solcher Bohrungen an Einspritzdüsen beträgt ca. 150µm, während das Faserendstück 22 einen Durchmesser von typisch ca. 20µm aufweist.
  • Aufgrund des geringen Durchmessers ist das Faserendstück 22 sehr fragil. Bereits leichte Berührungen des Faserendstücks 22 oder ein stärkerer Luftzug können dazu führen, dass das Faserendstück 22 abbricht. Der dann notwendige Ersatz der optischen Fasersonde 1 ist mit hohen Kosten verbunden. Das Faserendstück 22 muss daher möglichst kurz gehalten werden.
  • Neben der mechanischen Anfälligkeit begrenzt die Schwingungsneigung des vergleichsweise dünnen Faserendstücks 22 dessen maximale Länge. Bei heutigen optischen Fasersonden 1 ist die Länge des Faserendstücks 22 durch die auftretenden Schwingungen auf ca. 2mm begrenzt.
  • 2 zeigt in schematischer Darstellung eine optische Fasersonde 1 mit einer beschichteten optischen Faser 20 und einem beschichteten Faserendstück 22. Zusätzlich zu den bereits in 1 beschriebenen Komponenten ist eine entsprechende Beschichtung 30 dargestellt. Dabei ist die die optischen Komponenten tragende Faserspitze 23 nicht beschichtet.
  • Die Beschichtung 30 kann aus unterschiedlichen Materialien, im vorliegenden Ausführungsbeispiel aus Metall, ausgeführt sein.
  • Das Faserendstück 22 weist gegenüber einem unbeschichteten Faserendstück 22 eine deutlich verbesserte mechanische Stabilität auf, was zum einen die mechanische Belastbarkeit erhöht, zum anderen die Ausbildung von die Messgenauigkeit reduzierenden Schwingungen reduziert. Das Faserendstück 22 kann gegenüber bekannten Faserendstücken 22 entsprechend länger ausgeführt werden, es können somit tiefere Hohlräume vermessen werden.
  • Die erhöhte mechanische Stabilität des beschichteten Faserendstücks 22 ermöglicht es weiterhin, dass die optische Fasersonde 1 an Messmaschinen eingesetzt werden kann, die einen Tasterschutzkontakt aufweisen. Der Tasterschutzkontakt führt zum automatischen Abschalten der Bewegung eines Tastarmes, wenn der Tastarm mit dem Faserendstück 22 zum Beispiel gegen das Messobjekt fährt.
  • 3 zeigt eine Detailansicht des in 2 dargestellten Faserendstücks 22 mit der umgebenden Beschichtung 30 in nicht maßstabsgerechter Darstellung. Die Beschichtung 30 ist mit einer Dicke von ca. 50µm deutlich stärker als der Durchmesser des eigentlichen Faserendstücks 22 mit ca. 20µm. Die resultierende Gesamtdicke von ca. 120µm ermöglicht es, Bohrungen von Einspritzdüsen mit einem typischen Durchmesser von ca. 150µm interferometrisch zu vermessen.
  • 4 zeigt in schematischer Darstellung eine optische Fasersonde 1 mit einer beschichteten optischen Faser 20 und einem beschichteten Faserendstück 22. Zusätzlich zu den bereits in den vorangegangenen Figuren eingeführten Komponenten ist das Faserendstück 22 mit einem Schutzröhrchen 31 versehen. Das Schutzröhrchen 31 umfasst dabei die Beschichtung 30 des Faserendstücks 22.
  • In der dargestellten Ausführungsvariante schließt das Schutzröhrchen 31 mit der mechanischen Aufnahme 10 ab. Es sind jedoch auch Varianten möglich, bei denen das Schutzröhrchen 31 auch im Bereich der mechanischen Aufnahme 10 über die optische Faser 20 geführt und von der mechanischen Aufnahme 10 gehalten ist.
  • Das Schutzröhrchen 31 führt zu einer weiteren Verbesserung der mechanischen Stabilität sowie einer Reduzierung der Schwingungsneigung des Faserendstücks 22. Der vordere Teil des Faserendstücks 30 kann dabei frei bleiben, so dass der kleinste messbare Durchmesser von dem Durchmesser des beschichteten Faserendstücks 30 bestimmt wird. Für tiefere Bohrungen ist dann der äußere Durchmesser des Schutzröhrchens 31 maßgebend, der jedoch wesentlich kleiner als der Durchmesser der mechanischen Aufnahme 10 ausgeführt sein kann. Durch das Schutzröhrchen 31 kann die maximale Länge des Faserendstücks 22 noch einmal deutlich erhöht werden.
  • 5 zeigt eine Detailansicht des in 4 dargestellten Faserendstücks 22 mit der umgebenden Beschichtung 30 und dem Endstück des Schutzröhrchens 31 in nicht maßstabsgerechter Darstellung.
  • Das Schutzröhrchen 31 kann aus Metall, Keramik oder aus Karbon gefertigt sein. Die Verbindung zu dem Faserendstück 22 beziehungsweise zur Beschichtung 30 kann beispielsweise durch Kleben erfolgen.

Claims (6)

  1. Optische Fasersonde (1) für eine optische Messeinrichtung mit einer mechanischen Aufnahme (19), in der eine optische Faser (20) geführt ist, mit einem Faserendstück (22), das über die mechanische Aufnahme (10) herausragt und das zur Führung eines Messstrahls auf ein Messobjekt ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die optische Faser (20) im Bereich des Faserendstücks (22) und/oder im Bereich der mechanischen Aufnahme (10) zumindest bereichsweise mit einer sie mechanisch stabilisierenden Beschichtung (30) versehen ist.
  2. Optische Fasersonde (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (30) aus einem Lack, einem Kunststoff, aus Metall und/oder aus Karbon ausgeführt ist.
  3. Optische Fasersonde (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (30) zwischen 10µm und 100µm dick ist.
  4. Optische Fasersonde (1) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (30) zwischen 40µm und 60µm dick ist.
  5. Optische Fasersonde (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass um die optische Faser (20) zumindest bereichsweise ein Schutzröhrchen (31) vorgesehen ist.
  6. Optische Fasersonde (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Schutzröhrchen (31) aus Metall, Keramik und/oder aus Karbon ausgeführt ist.
DE102006048317A 2006-10-12 2006-10-12 Optische Fasersonde Withdrawn DE102006048317A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006048317A DE102006048317A1 (de) 2006-10-12 2006-10-12 Optische Fasersonde
US11/974,434 US8130381B2 (en) 2006-10-12 2007-10-11 Optical fiber probe
JP2007266704A JP2008122368A (ja) 2006-10-12 2007-10-12 光学的なファイバゾンデ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006048317A DE102006048317A1 (de) 2006-10-12 2006-10-12 Optische Fasersonde

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102006048317A1 true DE102006048317A1 (de) 2008-04-17

Family

ID=39184878

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102006048317A Withdrawn DE102006048317A1 (de) 2006-10-12 2006-10-12 Optische Fasersonde

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8130381B2 (de)
JP (1) JP2008122368A (de)
DE (1) DE102006048317A1 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090045826A1 (en) * 2007-08-18 2009-02-19 Samo Sustarsic Measuring probe with optical cable

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1054911A (en) * 1976-01-07 1979-05-22 Exxon Production Research Company Method for determining gas saturation in reservoirs
US4390897A (en) * 1981-04-17 1983-06-28 Western Electric Company, Inc. Technique for automatically centering a lightguide fiber in a coating
JPS62173402A (ja) * 1986-01-27 1987-07-30 Fujitsu Ltd 入射角可変設定装置
US4760845A (en) * 1987-01-14 1988-08-02 Hgm Medical Laser Systems, Inc. Laser angioplasty probe
US5057099A (en) * 1987-02-27 1991-10-15 Xintec Corporation Method for laser surgery
JP2841119B2 (ja) * 1990-11-27 1998-12-24 三菱レイヨン株式会社 プラスチツク光フアイバ及びその製造法
JP3192771B2 (ja) * 1992-08-21 2001-07-30 住友大阪セメント株式会社 光素子の実装方法
US5361314A (en) * 1992-09-04 1994-11-01 The Regents Of The University Of Michigan Micro optical fiber light source and sensor and method of fabrication thereof
US5598005A (en) * 1995-02-15 1997-01-28 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Commerce Non-destructive method for determining the extent of cure of a polymerizing material and the solidification of a thermoplastic polymer based on wavelength shift of fluroescence
US5557406A (en) * 1995-02-28 1996-09-17 The Texas A&M University System Signal conditioning unit for fiber optic sensors
JP3127806B2 (ja) * 1995-12-05 2001-01-29 富士ゼロックス株式会社 光ファイバの製造方法
US6239868B1 (en) * 1996-01-02 2001-05-29 Lj Laboratories, L.L.C. Apparatus and method for measuring optical characteristics of an object
US6124597A (en) * 1997-07-07 2000-09-26 Cedars-Sinai Medical Center Method and devices for laser induced fluorescence attenuation spectroscopy
US6052520A (en) * 1998-02-10 2000-04-18 Exxon Production Research Company Process for predicting behavior of a subterranean formation
JP2000199736A (ja) * 1998-11-06 2000-07-18 Seiko Instruments Inc 走査型近視野顕微鏡
US6398777B1 (en) * 1999-02-01 2002-06-04 Luis Navarro Endovascular laser device and treatment of varicose veins
US6574401B2 (en) * 1999-03-30 2003-06-03 Ceramoptec Industries, Inc. Optical fiber-handpiece combination for medical laser treatments
US6314214B1 (en) * 1999-09-28 2001-11-06 Corning Incorporated System and method for measuring stress during processing of an optical fiber
JP2001281077A (ja) * 2000-03-30 2001-10-10 Nippon Steel Weld Prod & Eng Co Ltd 光ファイバ歪みセンサ
JP4191366B2 (ja) * 2000-05-16 2008-12-03 旭化成エレクトロニクス株式会社 耐熱プラスチック光ファイバケーブル
DE10057539B4 (de) * 2000-11-20 2008-06-12 Robert Bosch Gmbh Interferometrische Messvorrichtung
JP2003149119A (ja) * 2001-11-07 2003-05-21 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 導電透明プローブ
JP3871603B2 (ja) * 2002-04-18 2007-01-24 三菱レイヨン株式会社 光ファイバケーブル、及びプラグ付き光ファイバケーブル
DE10244553B3 (de) 2002-09-25 2004-02-05 Robert Bosch Gmbh Interferometrische Messeinrichtung
JP2005265772A (ja) * 2004-03-22 2005-09-29 Seikoh Giken Co Ltd 光ファイバプローブの製造方法
US7440788B2 (en) * 2004-08-26 2008-10-21 Kelvyn Enterprises, Inc. Oral health measurement clamping probe, system, and method
FR2904982B1 (fr) * 2006-08-16 2009-04-17 Inst Francais Du Petrole Methode pour optimiser la recuperation assistee d'un fluide en place dans un milieu poreux par suivi de front.
DE102006048316A1 (de) * 2006-10-12 2008-04-17 Robert Bosch Gmbh Optische Fasersonde und Verfahren zur Herstellung einer optischen Fasersonde

Also Published As

Publication number Publication date
US8130381B2 (en) 2012-03-06
JP2008122368A (ja) 2008-05-29
US20080285047A1 (en) 2008-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4324983C2 (de) Akustisches Mikroskop
WO2009024344A1 (de) Optische mikrosonde
WO2002025206A9 (de) Anordnung und verfahren zum opto-taktilen messen von strukturen
EP2631592A1 (de) Messgerät und Verfahren zur Messung des Oberflächenmikrostrukturprofils oder der Rauheit einer Oberfläche eines Körpers
DE3740227C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Verformungen an Proben oder Prüfkörpern in Prüfmaschinen
DE102006048316A1 (de) Optische Fasersonde und Verfahren zur Herstellung einer optischen Fasersonde
DE102016125730A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Messen der Torsion eines Messobjekts
DE102006048317A1 (de) Optische Fasersonde
DE10301607B4 (de) Interferenzmesssonde
DE102007018817A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Druckmessung
DE4338688C1 (de) Halterung für eine Tastspitze eines Rastersondenmikroskop
WO2003060481A1 (de) Vorrichtung zur schwingungsarmen kraftmessung bei schnellen, dynamischen zugversuchen an werkstoffproben
DE102005021645B4 (de) Verfahren zum opto-taktilen Messen eines Objektes
DE10142945A1 (de) Vorrichtung zur Ermittlung einer Lichtleistung und Mikroskop
DE102006001329B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur hochgenauen Messung der Oberfläche eines Prüflings
EP3563126B1 (de) Akustik-emissionssensor
DE102008038883A1 (de) Mikrofonanordnung
DE10057607A1 (de) Faseroptische Druck-und Temperaturaufnehmer und System zur Überwachung von Druck und/oder Temperatur
DE102008002206A1 (de) Faseroptischer Tastkopf und interferometrische Messanordnung
DE102009027456B4 (de) Vorrichtung zur Vermessung konischer Oberflächen
EP0471239A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung von Oberflächenschichten, insbesondere von kompliziert geformten grossen Bauteilen
AT501574B1 (de) Optischer wegsensor
DE10342689B3 (de) Verfahren zur Herstellung von Prüfkörpern für die Überprüfung von Messgeräten für Mikro-Bohrungen
DE102007059903A1 (de) Sonde und Vorrichtung zum optischen Prüfen von Messobjekten
DE19717203A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Messung von Längen und Entfernungen

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed

Effective date: 20130627

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee