DE102005026961A1 - Substrate e.g. compact disc, treating device, has treatment arm with end that is movable by pivoting over surface of substrate, and transport device with transport arm that swivels about swivel axis, where arms swivel about same swivel axis - Google Patents
Substrate e.g. compact disc, treating device, has treatment arm with end that is movable by pivoting over surface of substrate, and transport device with transport arm that swivels about swivel axis, where arms swivel about same swivel axis Download PDFInfo
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Behandeln von Substratoberflächen, insbesondere zur Beschichtung durch Rotation bzw. Spincoating von Substraten, wie beispielsweise optischen Datenträgern oder Halbleiterwafern, mit einem viskosen Material, wie beispielsweise einem Farbstoff(Dye) oder einem Klebstoff zum Verkleben zweier Substrathälften.The The invention relates to a device for treating substrate surfaces, in particular for Coating by rotation or spin coating of substrates, such as for example, optical data carriers or semiconductor wafers, with a viscous material, such as a dye (dye) or an adhesive for bonding two substrate halves.
Bei
der Herstellung optischer Datenträger, wie beispielsweise CDs,
CD-Rs, CD-RWs, DVDs oder Blu-Ray Discs, oder bei der Bearbeitung
von Halbleiterwafern muss die Substratoberfläche beschichtet, beispielsweise
lackiert, bzw. zum Verkleben zweier Substrate eine gleichförmig dicke
Kleberschicht auf eines der Substrate aufgetragen werden. Dies geschieht üblicherweise
durch Rotationsbeschichten. Eine Vorrichtung nach dem Stand der Technik
ist in
Bei
diesem bekannten Verfahren können
im mechanischen oder elektronischen Fehlerfall der Transportarm
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine verbesserte Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung, insbesondere Oberflächenbeschichtung und zum Transport eines Substrates zu einer Behandlungsstation bereitzustellen. Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, die Steuerung von Behandlungs- und Transportarm zu vereinfachen. Darüber hinaus sollen die Herstellungs- und Wartungskosten reduziert werden.Of the The invention is therefore based on the object, an improved device for surface treatment, in particular surface coating and to provide for transport of a substrate to a treatment station. Another object of the invention is to improve the control of treatment and transport arm to simplify. In addition, the manufacturing and maintenance costs are reduced.
Diese Aufgaben werden insbesondere durch die in den Patentansprüchen enthaltenen Merkmale gelöst.These Tasks are in particular by the included in the claims Characteristics solved.
Die Erfindung geht von dem Grundgedanken aus, den Behandlungsarm, an dem z.B. eine Dosiereinrichtung angebracht ist und die Transporteinrichtung, die ein Substrat von einer Übergabestation zu einer Behandlungsstation transportiert und umgekehrt, im Wesentlichen um die gleiche Achse zu verschwenken. Der Behandlungsarm ist dabei vorzugsweise in einem festen Winkelabstand zu dem Transportarm angeordnet. Dadurch kann eine Kollision von Transportarm und Behandlungsarm im Fehlerfall prinzipiell ausgeschlossen werden.The The invention is based on the basic idea, the treatment arm the e.g. a metering device is mounted and the transport device, which is a substrate from a transfer station transported to a treatment station and vice versa, essentially to pivot around the same axis. The treatment arm is included preferably arranged at a fixed angular distance to the transport arm. This may cause a collision of the transport arm and the treatment arm in principle, be excluded in case of error.
Im Falle einer festen Verbindung von Behandlungs- und Transportarm kann die Steuerung in vorteilhafter Weise durch einen gemeinsamen Antrieb ausgeführt und damit vereinfacht werden.in the Case of a fixed connection of treatment and transport arm The control can advantageously by a common Drive executed and thus be simplified.
Nach dem Ablegen des Substrates auf der Behandlungsstation werden Transportarm und Behandlungsarm um die im Wesentlichen gleiche Achse (weiter) verschwenkt, um die z. B. am freien Ende des Behandlungsarms angeordnete Dosiereinrichtung über dem Substrat zu positionieren.To the deposition of the substrate on the treatment station are transport arm and treatment arm about the substantially same axis (cont'd) pivoted to the z. B. arranged at the free end of the treatment arm Dosing over to position the substrate.
Der Materialauftrag auf dem Substrat kann (i) entweder punktuell, wenn während der Materialausgabe keine Relativbewegung zwischen Substrat und Dosiereinrichtung vorliegt, oder (ii) bei Relativbewegung zwischen Substrat und Dosiereinrichtung verteilt erfolgen. Im ersten Fall (i) sind Substrat, Dosiereinrichtung und Behandlungsarm in Ruhe während das aufzutragende Material auf das Substrat abgegeben wird. Im zweiten Fall (ii) führt die Relativbewegung zwischen Substrat und Dosiereinrichtung während des Materialauftrages zu einer Verteilung des Materials auf dem Substrat entsprechend der Relativbewegung.Of the Material application on the substrate can be (i) either punctually, if while the material output no relative movement between the substrate and metering device is present, or (ii) during relative movement between the substrate and metering device distributed. In the first case (i) are substrate, metering device and treatment arm at rest during the is applied to the substrate to be applied material. In the second Case (ii) leads the relative movement between substrate and metering device during the Material order for a distribution of the material on the substrate according to the relative movement.
Um eine Relativbewegung zwischen der Dosiereinrichtung und dem zu behandelnden Substrat zu erzeugen, wird z. B. das zu behandelnde Substrat auf der Behandlungsstation um die eigene Achse gedreht. Ist eine geeignete, relativ geringe Rotationsgeschwindigkeit erreicht, bringt die Dosiereinrichtung viskoses Material auf das Substrat auf; anschließend wird in üblicher Weise die Rotationsgeschwindigkeit erhöht, um durch die Zentrifugalkraft das aufgetragene viskose Material gleichmäßig auf der Oberfläche des Substrats zu verteilen.Around a relative movement between the metering device and the treatment to be treated To produce substrate, z. B. on the substrate to be treated the treatment station turned around its own axis. Is a suitable, achieved relatively low rotational speed, the metering brings viscous Material on the substrate; subsequently becomes in usual Way the rotation speed increases to by the centrifugal force the applied viscous material evenly on the surface of the Distribute substrate.
Der Materialauftrag kann auch in einer Spiralform erfolgen, indem die Dosiereinrichtung während der Materialabgabe relativ zum rotierenden Substrat radial bewegt wird, z. B. durch Verschwenken des Behandlungsarms und/oder durch Verschieben der Dosiereinrichtung längs des Behandlungsarms. Die Materialabgabe wird dabei so gesteuert, dass sie zwischen einem maximalen und einem minimalen Radius auf dem Substrat erfolgt.Of the Material application can also be done in a spiral shape by the Dosing device during the material delivery is moved radially relative to the rotating substrate is, for. B. by pivoting the treatment arm and / or by Moving the metering device along the treatment arm. The Material delivery is controlled so that they are between a maximum and a minimum radius on the substrate.
Spätestens nach Beendigung des Materialauftrags schwenkt der Behandlungsarm über der Oberfläche des behandelten Substrats weg; vorzugsweise wird gleichzeitig der Transportarm, der einen Substrathalter aufweist, über das Substrat geschwenkt. Mit diesem Transportarm wird das beschichtete Substrat aufgenommen und zu einer Übergabestation transportiert; gleichzeitig (mit Hilfe eines zweiten Transportarms) oder zeitversetzt wird ein zu beschichtendes Substrat von der gleichen oder einer anderen Übergabestation aufgenommen und zur Behandlungsstation transportiert.No later than After completion of the application of material, the treatment arm pivots over the surface of the treated substrate away; Preferably, at the same time the transport arm, having a substrate holder, pivoted about the substrate. This transport arm is used to pick up the coated substrate and to a transfer station transported; at the same time (with the help of a second transport arm) or time-shifted is a substrate to be coated of the same or another transfer station picked up and transported to the treatment station.
Im Rahmen der Erfindung können auch mehrere Behandlungsarme und/oder Transportarme wie oben beschrieben angeordnet werden, um z. B. die gleichzeitige Behandlung und/oder Handhabung von Substraten zu ermöglichen.in the Within the scope of the invention also several treatment arms and / or transport arms as described above be arranged to z. B. the simultaneous treatment and / or To enable handling of substrates.
Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:The The invention will be explained in more detail below with reference to the drawings. It demonstrate:
Die
in
Ein
Transportarm
Behandlungsarm
Der
Substrathalter
Behandlungsarm
Ein
Transportarm
Abweichend
von dieser Ausführungsform können mehrere Übergabestationen
in verschiedenen Winkelpositionen vorhanden sein, und das Substrat
Im
Rahmen der Erfindung ist es jedoch nicht erforderlich, dass die
beiden radialen Abstände gleich
sind, d. h. der Bewegungsradius der Dosiernadel
Im
Falle eines spiralförmigen
Materialauftrags wird beim auf der Behandlungsstation
Claims (17)
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
DE200510026961 DE102005026961B4 (en) | 2005-06-10 | 2005-06-10 | Apparatus for treating substrates |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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---|---|
DE (1) | DE102005026961B4 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107634021A (en) * | 2017-10-17 | 2018-01-26 | 马鞍山荣泰科技有限公司 | A kind of multi-functional processing unit (plant) of quartz crystal oscillator |
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DE69621989T2 (en) * | 1995-08-30 | 2002-10-24 | Origin Electric | System for coating a plate |
US6481956B1 (en) * | 1995-10-27 | 2002-11-19 | Brooks Automation Inc. | Method of transferring substrates with two different substrate holding end effectors |
-
2005
- 2005-06-10 DE DE200510026961 patent/DE102005026961B4/en not_active Expired - Fee Related
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CN107634021A (en) * | 2017-10-17 | 2018-01-26 | 马鞍山荣泰科技有限公司 | A kind of multi-functional processing unit (plant) of quartz crystal oscillator |
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