-
GEBIET DER ERFINDUNG
-
Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der integrierten
Schaltungen und insbesondere auf Photomasken, die verwendet werden, um
Vorrichtungen mit integrierten Schaltungen zu strukturieren (engl.
to pattern), und auf verwandte Verfahren und Systeme.
-
HINTERGRUND
-
Photomasken
werden beim Strukturieren von integrierten Schaltungsvorrichtungen
(integrated circuit devices) verwendet, und eine herkömmliche Photomaske
kann mikroskopische Bilder auf einem transparenten Substrat aufweisen.
Wie in 9 gezeigt, kann eine Photomaske 901 ein
transparentes Substrat 903 (wie z. B. ein Glas- und/oder Quarzsubstrat)
mit einem mikroskopischen Bild, das in einer gemusterten bzw.
-
strukturierten
Schicht 905 (wie z. B. einer strukturierten Schicht aus
Chrom) an einer Oberfläche
des transparenten Substrats 903 vorgesehen ist, aufweisen.
Das mikroskopische Bild kann von der Photomaske zu einer photoempfindlichen
Schicht (wie z. B. Photoresist) auf einem Wafer für eine integrierte
Schaltung unter Verwendung von photolithographischen Verfahren übertragen
werden, bei denen eine Strukturierungsstrahlung (wie z. B. Licht) durch
die Photomaske auf die photoempfindliche Schicht durchgelassen wird.
Dementsprechend werden Abschnitte der photoempfindlichen Schicht,
die Öffnungen
in der strukturierten Schicht aus Chrom 905 entsprechen,
der Strukturierungsstrahlung selektiv ausgesetzt, während Abschnitte
der photoempfindlichen Schicht, die Chromabschnitten der strukturierten
Schicht entsprechen, vor der Strukturierungsstrahlung maskiert werden.
Nach dem Aussetzen gegenüber
der Strukturierungsstrahlung durch die Photomaske kann die photoempfindliche
Schicht entwickelt werden, um die gewünschte Struktur in der photoempfindlichen
Schicht zu bilden. Die photoempfindliche Schicht, die die gewünschte Struktur
aufweist, kann dann als eine Ätzmaske
für eine
Schicht der integrierten Schaltungsvorrichtung verwendet werden.
-
Eine
kritische Abmessung einer Struktur einer integrierten Schaltung
kann als eine Breite einer Linie oder eines Zwischenraums, die für die herzustellende
Vorrichtung als kritisch identifiziert wurde, definiert sein. Abschnitte
der Struktur an dem transparenten Substrat können eine gleiche kritische
Abmessung über
unterschiedliche Abschnitte der Photomaske aufweisen, und die kritische
Abmessung wird idealerweise in der photoempfindlichen Schicht über unterschiedliche
Abschnitte der integrierten Schaltungsvorrichtung gleichmäßig reproduziert. Eine
Gleichmäßigkeit
einer kritischen Abmessung, die in unterschiedlichen Abschnitten
einer integrierten Schaltungsvorrichtung, in unterschiedlichen integrierten
Schaltungvorrichtungen auf einem gleichen Halbleiterwafer und auf
unterschiedlichen Halbleiterwafern gebildet wird, kann jedoch selbst
dann variieren, wenn eine Photomaske verwendet wird.
-
Entsprechend
aktueller photolithographischer Verfahren kann eine Photomaske eine
Struktur für
eine Schicht einer einzelnen integrierten Schaltungsvorrichtung
oder für
eine kleine Anzahl von benachbarten Vorrichtungen mit integrierten
Schaltungen, jedoch nicht für
alle Vorrichtungen mit integrierten Schaltungen auf einem Wafer,
aufweisen. Dementsprechend kann es sein, dass die Photomaske "abgetastet" bzw. "gescannt" oder "abgeschritten" (gesteppt) werden
muss, um unterschiedliche Teile einer gleichen photoempfindlichen
Schicht auf einem gleichen Wafer getrennt zu belichten. Bei einer
Photomaske, die eine Struktur für
eine Schicht einer einzelnen integrierten Schaltungsvorrichtung
aufweist, kann es sein, dass die Photomaske mit jeder integrierten
Schaltungsvorrichtung auf dem Wafer aufeinander folgend ausgerichtet
werden muss und eine getrennte Strukturierungsstrahlungsdosis für jede integrierte
Schaltungsvorrichtung vorgesehen werden muss.
-
Die
Ungleichmäßigkeit
einer kritischen Abmessung über
einen Halbleiterwafer und/oder von Wafer zu Wafer unter Verwendung
derselben Maske kann beispielsweise das Resultat von Variationen beim
Beschichten der photoempfindlichen Schicht, von Variationen beim
Aussetzen der photoempfindlichen Schicht gegenüber der Strukturierungsstrahlung,
von Variationen beim Entwickeln der photoempfindlichen Schicht nach
dem Aussetzen bzw. Belichten, von Variationen beim Trocknen der
photoempfindlichen Schicht und/oder von Variationen beim Ätzen einer
Schicht auf dem Wafer unter Verwendung der strukturierten photoempfindlichen
Schicht als eine Maske sein. Ungleichmäßigkeiten einer kritischen
Abmessung über
eine gleiche integrierte Schaltungsvorrichtung können beispielsweise das Resultat
von Unterschieden der Intensitäten
der Strukturierungsstrahlung, die die photoempfindliche Schicht
auf der integrierten Schaltungsvorrichtung erreicht, sein.
-
Selbst
wenn kritische Abmessungen der strukturierten Schicht der Photomaske
ohne einen Fehler geliefert werden, können Charakteristika der Belichtungsvorrichtung
und/oder der Photomaske Ungleichmäßigkeiten der kritischen Abmessungen, die
auf einer photoempfindlichen Schicht gebildet werden, einführen. Eine
kritische Abmessung einer Struktur, die in einer photoempfindlichen
Schicht in einer Mitte einer integrierten Schaltungsvorrichtung gebildet
wird, kann beispielsweise allgemein größer als eine kritische Abmessung
einer Struktur sein, die in der gleichen photoempfindlichen Schicht
an einer Kante der gleichen integrierten Schaltungsvorrichtung gebildet
wird. Dieser Effekt kann auf die Beugung der Strukturierungsstrahlung
zurückgeführt werden,
die durch die strukturierte Schicht der Photomaske läuft.
-
Wie
in 10 gezeigt, kann die Strukturierungsstrahlung 1001 zu
einer Rückseite
des transparenten Substrats 1005, die entgegengesetzt bzw.
gegenüberliegend
zu der strukturierten Schicht 1007 ist, geliefert werden.
Die Strukturierungsstrahlung 1001 kann außerdem mit
einer relativ gleichmäßigen Verteilung
der Beleuchtungsintensität,
wie es durch die durchgezogene Linie 1021 dargestellt ist,
geliefert werden. Die Strukturierungsstrahlung kann sich ferner
durch das transparente Substrat 1005 mit einer relativ
gleichmäßigen Verteilung
der Beleuchtungsintensität,
wie es durch die durchgezogene Linie 1023 gezeigt ist,
ausbreiten. Eine Gleichmäßigkeit
der Beleuchtungsintensität,
die durch die Öffnungen
in der strukturierten Schicht 1007 läuft, kann jedoch über das
Substrat, wie es durch die gepunktete Linie 1025 dargestellt
ist, variieren. Die Gleichmäßigkeit
der Beleuchtungsintensität,
die durch die Öffnungen
in der strukturierten Schicht 1007 läuft, kann beispielsweise variieren,
da eine Beugung von Licht, das durch die Öffnungen in der strukturierten
Schicht 1007 läuft,
in der Mitte der Photomaske 1003 stärker als an den Kanten der
Photomaske 1003 sein kann. Eine resultierende Verteilung
von kritischen Abmessungen über
eine strukturierte Vorrichtung ist durch die Linie 1027 dargestellt.
-
US 6,048,648 A offenbart
eine Maske mit einer optischen Schutzschicht, die eine variable
Lichttransmittanz aufweist. Dabei wird die Lichttransmittanz der
Schutzschicht in Übereinstimmung
mit der Musterdichte der Schutzschicht oder der Dicke einer Photoresistschicht
auf dem Halbleitersubstrat geändert.
-
US 6,120,942 A offenbart
ein Verfahren zum Herstellen einer Photomaske mit einer Vielzahl
von Absorptionsebenen. Das Verfahren betrifft eine Photomaske, die
bei der Halbleiterherstellung verwendet wird, wobei die Photomaske
durch Vorsehen eines Photomaskensubstrats und abwechselndes Abscheiden
einer Vielzahl von Schichten aus lichtabsorbierenden Material bzw.
einem Ätz-Stopp-Material auf dem
Photomaskensubstrat hergestellt wird. Das lichtabsorbierende Material wird
dabei so gewählt, dass
es eine genau definierte Ätzselektivität bezüglich dem Ätz-Stopp-Material aufweist.
Die Schichten werden aufeinanderfolgend durch Entfernen mittels selektiven Ätzprozesses
von zumindest einem Abschnitt von zumindest einer der Schichten,
wobei der Abschnitt, der von einer, in Bezug auf das Substrat, unteren
Schicht entfernt wird, eine Untermenge des Abschnitts ist, der von
einer höheren
Schicht entfernt wurde. Die gemusterten Schichten werden zusammen
als eine Photomaske verwendet, um ein Photoresistmuster photolithographisch
auf einen in der Herstellung befindlichen Halbleiterwafer abzubilden. Das
Photoresist wird anschließend
bei dem Ätzverfahren
für den
Halbleiterwafer verwendet.
-
Aus
der
DE 103 46 561
A1 ist eine Photomaske zur Verwendung in einem Photolitographieverfahren
bekannt. Die Photomaske besteht aus einem Substrat, welches auf
der Vorderseite ein Hauptmuster aufweist, so dass bei einem Belichtungsverfahren
auf die Photomaske einfallende Lichtstrahlen durch das Substrat
hindurch gehen und das Hauptmuster bestrahlen. Bei dem Belichtungsverfahren wird
eine Abbildung, die identisch zu der Abbildung des Hauptmusters
ist, auf einen Wafer übertragen. Auf
der Rückseite
des Substrates ist ein Transparenzeinstellmuster aus einer Mehrzahl
von Abschattungselementen vorgesehen. Die Abschattungselemente bewirken,
dass Lichtstrahlen, die bei einem Belichtungsverfahren auf die Rückseite
des Photomaskensubstrats einfallen, gebeugt werden oder miteinander
interferieren, um die Verteilung der Intensität der Lichtstrahlen, welche
durch das Photomaskensubstrat hindurch gehen, zu verändern.
-
KURZFASSUNG DER ERFINDUNG
-
Gemäß Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung kann eine Photomaske zum Strukturieren
einer integrierten Schaltungsvorrichtung unter Verwendung einer
Strukturierungsstrahlung vorgesehen sein. Die Photomaske kann beispielsweise ein
transparentes Substrat, eine Struktur von strahlungsblockierenden
Regionen und ein Array von Schattenelementen aufweisen. Das transparente Substrat
kann erste und zweite gegenüberliegende Oberflächen aufweisen,
und die Struktur der strahlungsblockierenden Regionen kann auf mindestens der
ersten und/oder der zweiten Oberfläche des transparenten Substrats
vorgesehen sein. Die Struktur der strahlungsblockierenden Re gionen
kann zusätzlich
eine Struktur definieren, die zu dem Substrat der integrierten Schaltung übertragen
werden soll. Das Array der Schattenelemente kann innerhalb des transparenten
Substrats zwischen ersten und zweiten gegenüberliegenden Oberflächen vorgesehen sein,
wobei die Schattenelemente des Arrays eine Lichtdurchlasscharakteristik,
die sich von derselben eines benachbarten Abschnitts des transparenten Substrats
unterscheidet, aufweisen. Eine Durchlässigkeit der Strukturierungsstrahlung
durch einen Abschnitt des transparenten Substrats, der das Array von
Schattenelementen aufweist, kann außerdem größer als etwa 20% sein.
-
Ein
Schattenelement des Arrays kann einen Brechungsindex, der sich von
demselben eines benachbarten Abschnitts des transparenten Substrats unterscheidet,
aufweisen, und ein Durchschnitt von Mitte-zu-Mitte-Abständen der
Schattenelemente innerhalb des Arrays kann mindestens etwa 6 μm sein. Ein
Durchschnitt des Mitte-zu-Mitte-Abstands der Schattenelemente innerhalb
des Arrays kann insbesondere mindestens etwa 8 μm sein. Die Durchlässigkeit
der Strukturierungsstrahlung durch Abschnitte des transparenten
Substrats, das das Array von Schattenelementen aufweist, kann größer als
etwa 70% sein.
-
Die
Photomaske kann ferner ein zweites Array von Schattenelementen innerhalb
des transparenten Substrats zwischen den ersten und zweiten gegenüberliegenden
Oberflächen
aufweisen, und die Schattenelemente des zweiten Arrays können eine Lichtdurchlässigkeitscharakteristik
aufweisen, die sich von derselben eines benachbarten Abschnitts des
transparenten Substrats unterscheidet. Eine Durchlässigkeit
der Strukturierungsstrahlung durch einen Abschnitt des transparenten
Substrats, der das zweite Array von Schattenelementen aufweist,
kann größer als
etwa 20% sein, und die Durchlässigkeit der
Strukturierungsstrahlung durch den Abschnitt des transparenten Substrats,
der das zweite Array aufweist, kann sich von der Durchlässigkeit
der Strukturierungsstrahlung durch den Abschnitt des transparenten
Substrats, der das erste Array aufweist, unterscheiden.
-
Das
erste Array von Schattenelementen kann zusätzlich konfiguriert sein, um
eine erste Beleuchtungsbedingung für einen ersten Abschnitt des Substrats
der integrierten Schaltung vorzusehen, und das zweite Array von
Schattenelementen kann konfiguriert sein, um eine zweite Beleuchtungsbedingung
für einen
zweiten Abschnitt des Substrats der integrierten Schaltung vorzusehen,
wobei sich die ersten und zweiten Beleuchtungsbedingungen unterscheiden.
Die erste Beleuchtungsbedingung kann entweder eine ringförmige Beleuchtung,
eine Dipol-Beleuchtung oder eine Quadrupol-Beleuchtung sein, und
die zweite Beleuchtungsbedingung kann eine andere Beleuchtung von
entweder der ringförmigen
Beleuchtung, Dipol-Beleuchtung oder Quadrupol-Beleuchtung sein.
Ein Durchschnitt des Mitte-zu-Mitte-Abstands der Schattenelemente
innerhalb des ersten Arrays kann sich von einem Durchschnitt des
Mitte-zu-Mitte-Abstands der Schattenelemente innerhalb des zweiten
Arrays unterscheiden. Die Durchlässigkeit
der Strukturierungsstrahlung durch Abschnitte des transparenten
Substrats, die das erste und das zweite Array von Schattenelementen
aufweisen, kann außerdem
größer als
etwa 70% sein.
-
Das
Array von Schattenelementen kann konfiguriert sein, um eine holographische
Struktur zu liefern, die verwendet wird, um ein Hologramm auf der integrierten
Schaltungsvorrichtung zu erzeugen, oder das Array von Schattenelementen
kann als eine Fresnel-Linse konfiguriert sein. Die Struktur von strahlungsblockierenden
Regionen kann zusätzlich eine
Struktur aus einem Metall, wie z. B. Chrom, sein. Ein Durchmesser
eines Schattenelements in dem Array kann in einem Bereich von etwa
0,1 μm bis
4 μm und
insbesondere in einem Bereich von etwa 0,3 μm bis 1 μm liegen.
-
Gemäß zusätzlicher
Ausführungsbeispiele der
vorliegenden Erfindung kann ein Verfahren zum Bilden einer Photomaske
zum Strukturieren einer integrierten Schaltungsvorrichtung unter
Verwendung einer Strukturierungsstrahlung vorgesehen sein. Das Verfahren
kann beispielsweise das Bereitstellen eines transparenten Substrats,
das Bilden einer Struktur von strahlungsblockierenden Regionen und
das Bilden eines Arrays von Schattenelementen aufweisen. Das transparente
Substrat kann erste und zweite gegenüberliegende Oberflächen aufweisen,
und die Struktur der strahlungsblockieren den Regionen kann auf mindestens
der ersten und/oder der zweiten Oberfläche des transparenten Substrats
gebildet sein. Die Struktur der strahlungsblockierenden Regionen
kann außerdem
eine Struktur definieren, die zu der integrierten Schaltungsvorrichtung übertragen werden
soll. Das Array von Schattenelementen kann innerhalb des transparenten
Substrats zwischen den ersten und zweiten gegenüberliegenden Oberflächen gebildet
sein, wobei die Schattenelemente des Arrays eine Lichtdurchlässigkeitscharakteristik,
die sich von derselben eines benachbarten Abschnitts des transparenten
Substrats unterscheidet, aufweisen. Eine Durchlässigkeit der Strukturierungsstrahlung durch
einen Abschnitt des transparenten Substrats, der das Array von Schattenelementen
aufweist, kann zusätzlich
größer als
etwa 20% sein.
-
Das
Verfahren kann ferner das Vorsehen einer Membran bzw. eines Peilicles
(engl. pellicle) auf dem transparenten Substrat aufweisen, und das
Array von Schattenelementen kann mit dem Pellicle auf dem Substrat
gebildet werden. Das Bilden des Arrays von Schattenelementen kann
das Liefern einer Laserstrahlung zu Abschnitten des transparenten
Substrats für
ein Schattenelement des Arrays aufweisen. Ein Laserstrahlungsstoß mit einer
Dauer in einer Größenordnung
von etwa 10–15 Sekunden
kann insbesondere für
jedes der Schattenelemente des Arrays vorgesehen sein, und jeder
Laserstrahlungsstoß kann
in einer Größenordnung
von etwa 106 bis 107 W/cm2 aufweisen. Das Liefern der Laserstrahlung
zu Abschnitten des transparenten Substrats für jedes Schattenelement des
Arrays kann zusätzlich
eine Mikroexplosion innerhalb des transparenten Substrats für jedes
Schattenelement des Arrays erzeugen.
-
Ein
Schattenelement des Arrays kann einen Brechungsindex, der sich von
demselben eines benachbarten Abschnitts des transparenten Substrats unterscheidet,
aufweisen. Ein Durchschnitt des Mitte-zu-Mitte-Abstands der Schattenelemente
innerhalb des Arrays kann mindestens etwa 6 μm und insbesondere mindestens
etwa 8 μm
sein, und die Durchlässigkeit
der Strukturierungsstrahlung durch Abschnitte des transparenten
Substrats, das das Array von Schattenelementen aufweist, kann größer als etwa
70% sein.
-
Gemäß weiterer
Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung kann ein Verfahren zum Strukturieren
einer integrierten Schaltungsvorrichtung das Bereitstellen eines
Substrat für
eine integrierte Schaltung, das eine photoempfindliche Schicht auf
demselben aufweist, und das Projizieren einer Strukturierungsstrahlung
durch eine Photomaske zu der photoempfindlichen Schicht auf dem
Substrat der integrierten Schaltung aufweisen. Die Photomaske kann
insbesondere ein transparentes Substrat, eine Struktur von strahlungsblockierenden
Regionen und ein Array von Schattenelementen aufweisen. Das transparente
Substrat kann erste und zweite gegenüberliegende Oberflächen aufweisen,
und die Struktur der strahlungsblockierenden Regionen kann sich
mindestens auf der ersten und/oder zweiten Oberfläche des
transparenten Substrats befinden. Die Struktur der strahlungsblockierenden
Regionen kann insbesondere eine Struktur definieren, die zu der
integrierten Schaltungsvorrichtung übertragen werden soll. Das
Array von Schattenelementen kann innerhalb des transparenten Substrats
zwischen den ersten und zweiten gegenüberliegenden Oberflächen vorgesehen
sein, wobei ein Schattenelement des Arrays eine Lichtdurchlässigkeitscharakteristik,
die sich von derselben eines benachbarten Abschnitts des transparenten
Substrats unterscheidet, aufweist. Eine Durchlässigkeit der Strukturierungsstrahlung durch
einen Abschnitt des transparenten Substrats, das das Array von Schattenelementen
aufweist, kann zusätzlich
größer als
etwa 20% sein.
-
Gemäß zusätzlicher
Ausführungsbeispiele der
vorliegenden Erfindung kann ein System zum Strukturieren einer integrierten
Schaltungsvorrichtung unter Verwendung einer Strukturierungsstrahlung
eine Einspannvorrichtung bzw. ein Futter, eine Photomaske und eine
Strahlungsquelle aufweisen. Die Einspannvorrichtung kann konfiguriert
sein, um ein Substrat einer integrierten Schaltung mit einer photoempfindlichen
Schicht auf demselben aufzunehmen, und die Photomaske kann ein transparentes
Substrat mit ersten und zweiten gegenüberliegenden Oberflächen, eine
Struktur von strahlungsblockierenden Regionen und ein Array von
Schattenelementen aufweisen. Die Struktur von strahlungsblockierenden
Regionen kann auf mindestens der ersten und/oder zweiten Oberfläche des
transparenten Substrats vorgesehen sein, und die Struktur der strahlungsblockierenden
Regionen kann eine Struktur definieren, die zu dem Substrat der
integrierten Schaltung übertragen
werden soll. Das Array von Schattenelementen kann innerhalb des
transparenten Substrats zwischen den ersten und zweiten gegenüberliegenden
Oberflächen
vorgesehen sein, wobei ein Schattenelement des Arrays eine Lichtdurchlässigkeitscharakteristik,
die sich von derselben eines benachbarten Abschnitts des transparenten Substrats
unterscheidet, aufweist. Eine Durchlässigkeit der Strukturierungsstrahlung
durch einen Abschnitt des transparenten Substrats, der das Array von
Schattenelementen aufweist, kann zusätzlich größer als etwa 20% sein. Das
System kann ferner eine Strahlungsquelle aufweisen, die konfiguriert
ist, um eine Strahlung durch die Photomaske zu der Photoresistschicht
auf dem Substrat der integrierten Schaltung zu projizieren.
-
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
-
Bevorzugte
Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung sind nachfolgend unter Bezugnahme auf
die beigefügten
Zeichnungen näher
erläutert. Es
zeigen:
-
1 eine
Querschnittsansicht einer Photomaske gemäß Ausführungsbeispielen der vorliegenden
Erfindung;
-
2 eine
Querschnittsansicht, die Variationen der Beleuchtungsintensitäten unter
Verwendung von Photomasken gemäß Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung darstellt;
-
3 eine
Querschnittsansicht einer weiteren Photomaske gemäß Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung;
-
4 eine
Draufsicht eines Abschnitts einer Photomaske, die unterschiedliche
Regionen aufweist, gemäß Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung;
-
5 ein
Blockdiagramm, das Systeme und Verfahren zum Bilden von Arrays von
Schattenelementen gemäß Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung darstellt;
-
6a–d Photographien,
die Arrays von Schattenelementen gemäß Ausführungsbeispielen der vorliegenden
Erfindung darstellen;
-
7 eine
graphische Darstellung, die Durchlässigkeiten von unterschiedlichen
Arrays von Schattenelementen gemäß Ausführungsbeispielen der
vorliegenden Erfindung darstellt;
-
8 ein
Blockdiagramm, das Strukturierungssysteme und Verfahren gemäß Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung darstellt;
-
9 eine
Querschnittsansicht einer herkömmlichen.
Photomaske; und
-
10 eine
Querschnittsansicht einer herkömmlichen
Photomaske und von relativen Dämpfungen
einer Strukturierungsstrahlung, die durch dieselbe läuft.
-
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
-
Die
vorliegende Erfindung ist im Folgenden unter Bezugnahme auf die
beigefügten
Zeichnungen, in denen Ausführungsbeispiele
der Erfindung gezeigt sind, vollständiger beschrieben. Diese Erfindung kann
jedoch in vielen unterschiedlichen Formen ausgeführt sein und sollte nicht auf
die Ausführungsbeispiele,
die hierin dargelegt sind, begrenzt ausgelegt werden; vielmehr sind
diese Ausführungsbeispiele vorgesehen,
derart, dass die Offenbarung gründlich und
vollständig
ist, und dieselben das Konzept der Erfindung Fachleuten vollständig vermitteln.
In den Zeichnungen sind die Größen und
Dicken der Schichten und Regionen für eine klare Darstellung übertrieben
dargestellt.
-
Es
ist offensichtlich, dass, wenn auf eine Schicht als sich auf einer
anderen Schicht oder einem Substrat befindend Bezug genommen wird,
sich dieselbe direkt auf der anderen Schicht oder dem Substrat befinden
kann oder dazwischenliegende Schichten ebenfalls vorhanden sein
können.
Es ist ferner offensichtlich, dass, wenn auf eine Schicht oder ein
Element als mit einer anderen Schicht oder einem anderen Element
verbunden oder gekoppelt Bezug genommen wird, dieselbe mit der anderen Schicht
oder dem Element direkt verbunden oder gekoppelt sein kann oder
dazwischenliegende Schichten oder Elemente ebenfalls vorhanden sein
können.
-
Eine
Photomaske 111 zum Strukturieren eines Substrats einer
integrierten Schaltung gemäß Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung ist in der Querschnittsansicht von 1 dargestellt. Die
Photomaske 111 kann ein transparentes Substrat 101 (wie
z. B. ein Glas- oder Quarzsubstrat), ein Array (Arrays) von Schattenelementen 105 innerhalb eines
Volumens des transparenten Substrats 101 zwischen ersten
und zweiten Oberflächen
des transparenten Substrats und eine Struktur von strahlungsblockierenden
(oder lichtundurchlässigen)
Regionen 103 auf mindestens entweder der ersten oder der zweiten
Oberfläche
des transparenten Substrats 101 aufweisen. Die Struktur
der strahlungsblockierenden Regionen 103 kann eine Struktur
definieren, die zu dem Substrat der integrierten Schaltung übertragen werden
soll, und jedes Schattenelement 105 innerhalb des (der)
Arrays kann eine Lichtdurchlässigkeitscharakteristik,
die sich von derselben eines benachbarten Abschnitts des transparenten
Substrats unterscheidet, aufweisen.
-
Ein
Schattenelement 105 kann insbesondere einen Brechungsindex,
der sich von demselben eines benachbarten Abschnitts des transparenten Substrats 101 unterscheidet,
aufweisen. Eine Durchlässigkeit
der Strukturierungsstrahlung durch Abschnitte des transparenten
Substrats, das das Array (die Arrays) von Schattenelementen 105 aufweist,
ist zusätzlich
mindestens etwa 50%. Die Struktur der strahlungsblockierenden Regionen 103 kann
ferner eine strukturierte Schicht eines Metalls, wie z. B. Chrom,
sein, und ein Durchmesser eines Schattenelements in dem Array (den
Arrays) kann in einem Bereich von etwa 0,1 μm bis 4 μm und insbesondere in einem
Bereich von etwa 0,3 μm
bis 1 μm
liegen.
-
Das
Array (die Arrays) von Schattenelementen 105 kann, wie
in 1 gezeigt, zweidimensional sein, derart, dass
die Schattenelemente etwa in einer gleichen Ebene in der Photomaske
liegen. Die Schattenelemente können
insbesondere in Arrays von Reihen und Spalten von Schattenelementen
mit Mitte-zu-Mitte-Abständen
der Schattenelemente von unterschiedlichen Arrays angeordnet sein,
die sich unterscheiden, um unterschiedliche Durchlässigkeitscharakteristika
in unterschiedlichen Abschnitten der Photomaske vorzusehen. Die
Mitte-zu-Mitte-Abstände
eines ersten Arrays 105a von Schattenelementen bei einer
Mittenposition der Photomaske können
beispielsweise kleiner als die Mitte-zu-Mitte-Abstände von
zweiten und dritten Arrays 105b und 105c von Schattenelementen
bei Kantenabschnitten der Photomaske sein. Eine Durchlässigkeit
einer Strukturierungsstrahlung durch das erste Array 105a in
der Mitte der Photomaske kann dementsprechend kleiner als eine Durchlässigkeit
der Strukturierungsstrahlung durch das zweite und das dritte Array 105b und 105c der
Schattenelemente an den Kantenabschnitten der Photomaske sein.
-
Durch
Vorsehen von unterschiedlichen Durchlässigkeiten in unterschiedlichen
Abschnitten der Maske kann eine Gleichmäßigkeit der Strukturierungsstrahlungsintensität, die durch
die Photomaske 101 durchgelassen wird, verbessert werden,
und eine Gleichmäßigkeit
von kritischen Abmessungen, die auf eine integrierten Schaltungsvorrichtung
strukturiert werden, kann verbessert werden. Wie im Vorhergehenden
erörtert,
kann eine Beugung, die durch die strahlungsblockierende Struktur 103 erzeugt wird,
eine Dämpfung
der Strukturierungsstrahlung, die durch dieselbe läuft, in
unterschiedlichen Abschnitten der Photomaske unterschiedlich beeinflussen.
Die Beugung, die durch die strahlungsblockierende Struktur 103 erzeugt
wird, kann beispielsweise eine größere Dämpfung der Strukturierungsstrahlung an
Kanten der Photomaske als in der Mitte der Photomaske erzeugen.
Das Array (die Arrays) 105 von Schattenelementen kann diese
Ungleichmäßigkeit der
Dämpfung
durch Vorsehen einer größeren Dämpfung durch
das Array 105a in der Mitte der Photomaske und durch Vorsehen
einer geringeren Dämp fung
durch die Arrays 105b–c
an den Kanten der Photomaske kompensieren. Gemäß spezieller Ausführungsbeispiele
kann eine Durchlässigkeit durch
das Array (die Arrays) 105 von Schattenelementen innerhalb
eines Bereichs von etwa 98% bis 100% variiert werden, um eine Gleichmäßigkeit
der Strukturierungsstrahlung, die zu einer integrierten Schaltungsvorrichtung,
die strukturiert wird, geliefert wird (wobei 100% die Durchlässigkeit
der Strukturierungsstrahlung durch einen Abschnitt des transparenten
Substrats ohne Schattenelemente ist), zu verbessern.
-
Wie
in 2 gezeigt, kann eine Quelle einer Strukturierungsstrahlung
eine Strukturierungsstrahlung 201 von ungefähr gleichmäßiger Intensität über eine
Gesamtheit der Photomaske 101 liefern. Die Linie 207 ist
vorgesehen, um zu zeigen, dass eine Beleuchtungsintensitätsverteilung
für die
Strukturierungsstrahlung 201, die in das transparente Substrat 101 eintritt, über die
Gesamtheit der Photomaske ungefähr
gleichmäßig ist.
Wie im Vorhergehenden erörtert,
kann das Array (die Arrays) 105 von Schattenelementen angeordnet
sein, derart, dass eine Dichte der Schattenelemente in einem mittleren
Abschnitt des Substrats größer ist,
und derart, dass eine Dichte der Schattenelemente abnimmt, sowie
ein Abstand von der Mitte des Substrats zunimmt. Dementsprechend
kann eine Durchlässigkeit
durch das Array (die Arrays) 105 nahe den Kanten des Substrats
am größten sein,
und die Durchlässigkeit
durch das Array (die Arrays) 105 kann nahe der Mitte des
Substrats am geringsten sein.
-
Die
durchgezogene Linie 203 stellt eine relative Dämpfung der
Durchlässigkeit
einer Strukturierungsstrahlung durch unterschiedliche Abschnitte des
Arrays (der Arrays) 105 von Schattenelementen dar. Wie
im Vorhergehenden erörtert,
kann eine Beugung der Strukturierungsstrahlung, die durch die strahlungsblockierende
Struktur 103 läuft,
zu einer größeren Dämpfung der
Strukturierungsstrahlung an Kanten der Photomaske 111,
wie durch die gepunktete Linie 205 dargestellt ist, führen. Dementsprechend
können
Effekte einer variierenden Durchlässigkeit durch unterschiedliche
Abschnitte des Arrays (der Arrays) 105 von Schattenelementen
und Effekte der Beugung durch die strahlungsblockierende Struktur 103 ausgeglichen
werden, derart, dass eine ungefähr
gleichmäßige Intensität der Strukturierungsstrahlung
durch das Sub strat 101 und die strahlungsblockierende Struktur 103,
wie durch die durchgezogene Linie 211 dargestellt, durchgelassen
wird. Die Linie 209 stellt außerdem dar, dass kritische
Abmessungen (CDs) über
eine integrierte Schaltungsvorrichtung, die strukturiert wird, unter
Verwendung eines Arrays (von Arrays) von Schattenelementen gemäß Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung ungefähr
gleichmäßig hergestellt
werden können.
-
Andere
Faktoren als die Beugung durch die strahlungsblockierende Struktur
können
die Gleichmäßigkeit
der kritischen Abmessungen in einer integrierten Schaltungsvorrichtung,
die strukturiert wird, beeinflussen. Wie in 3 gezeigt,
können
die kritischen Abmessungen CD1, CD2 und CD3 einer Struktur einer
photoempfindlichen Schicht 301 (wie z. B. einem Photoresist)
von relativ klein (CD1) auf einer Seite der integrierten Schaltungsvorrichtung 303, die
strukturiert wird, bis relativ groß (CD3) auf der anderen Seite
der integrierten Schaltungsvorrichtung, die strukturiert wird, variieren,
wenn die Photomaske 311 ohne Schattenelemente verwendet
wird. Die durchgezogenen Linien der strukturierten photoempfindlichen
Schicht 301 stellen die Abmessungen der Struktur dar, wenn
dieselbe unter Verwendung der Photomaske 311 vor dem Bilden
von Schattenelementen in derselben gebildet wird.
-
Mit
der Erkenntnis der CD-Ungleichmäßigkeiten,
die resultieren, wenn die Photomaske ohne Schattenelemente verwendet
wird, kann ein Entwurf für
Schattenelemente bestimmt werden, um die CD-Gleichmäßigkeit
zu verbessern. Die Photomaske 311 weist ein transparentes
Substrat 315 und eine strahlungsblockierende Struktur 317 (wie
z. B. eine Chromstruktur) auf dem transparenten Substrat 315 auf.
Die strahlungsblockierende Struktur 317 definiert, wie
gezeigt, die Struktur, die zu der photoempfindlichen Schicht 301 auf
der integrierten Schaltungsvorrichtung 303 übertragen
werden soll. Nachdem die CD-Ungleichmäßigkeiten bestimmt sind und ein
Entwurf der Schattenelemente bestimmt ist, können Arrays von Schattenelementen 319a und 319b in dem
transparenten Substrat 315 zwischen den ersten und zweiten
Oberflächen
derselben gebildet werden. Die Schattenelemente können beispielsweise unter
Verwendung eines Femto-Sekunden-Lasers, wie es im Folgenden detaillierter
erörtert
ist, gebildet werden.
-
Abstände, Größen und/oder
Platzierungen der Schattenelemente können beispielsweise empirisch
unter Verwendung von Versuch und Fehler und/oder unter Verwendung
einer Simulation bestimmt werden.
-
Wie
in 3 gezeigt, kann die Region des transparenten Substrats 315 ohne
Schattenelemente eine relativ hohe Durchlässigkeit der Strukturierungsstrahlung
durch dieselbe liefern, und die Region des transparenten Substrats 315,
die das Array 319b der Schattenelemente aufweist, kann
eine relativ niedrige Durchlässigkeit
der Strukturierungsstrahlung durch dieselbe liefern. Die Region
des transparenten Substrats 315, die das Array 319a von
Schattenelementen aufweist, kann eine mittlere Durchlässigkeit der
Strukturierungsstrahlung durch dieselbe, die kleiner als die relativ
hohe Durchlässigkeit
durch die Region ohne die Schattenelemente und größer als
die relativ niedrige Durchlässigkeit
durch die Region, die das Array 319b von Schattenelemente
aufweist, ist, liefern. Wie im Vorhergehenden erörtert, können Unterschiede der Durchlässigkeit
in absoluter Ausdrucksweise relativ klein sein, wenn alle Regionen des
Substrats eine Durchlässigkeit
von größer als 97%
für die
Strukturierungsstrahlung 321 liefern. Durch Hinzufügen der
Arrays von Schattenelementen kann die Gleichmäßigkeit der kritischen Abmessungen
in der photoempfindlichen Schicht 301, die strukturiert
wird, verbessert werden, wie es durch die gestrichelten Linien gezeigt
ist.
-
Die
Durchlässigkeit
durch die Arrays von Schattenelementen kann, wie im Vorhergehenden erörtert, durch
Vorsehen von Unterschieden der Abstände der Schattenelemente in
den unterschiedlichen Arrays variiert werden. Wie in 3 gezeigt, können die
Abstände
in dem Array 319a größer als
in dem Array 319b sein. Die Durchlässigkeit kann ferner durch
Vorsehen von Schattenelementen einer ersten Größe in einem Array und durch
Vorsehen von Schattenelementen einer zweiten Größe in einem zweiten Array variiert
werden. Die Schattenelemente des Arrays 319a können beispielsweise
größer als die
Schattenelemente des Arrays 319b sein. Die Durchlässigkeit
kann ferner durch Vorsehen von unterschiedlichen Anzahlen von Schichten
von Schattenelementen in unterschiedlichen Arrays variiert werden.
Das Array 319a kann beispielsweise eine einzige Schicht
von Schattenelementen aufweisen, während das Ar ray 319b mehrere
Schichten von Schattenelementen aufweisen kann. Gemäß Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung können Unterschiede
in den Abständen
der Schattenelemente, Unterschiede in den Größen der Schattenelemente, Unterschiede
in den Schichten der Schattenelemente und/oder Unterschiede in anderen
Charakteristika von Arrays von Schattenelementen individuell oder
in Kombination verwendet werden, um das Photomaskenverhalten zu
verbessern.
-
Wiederum
Bezug nehmend auf 1 kann ein Durchschnitt der
Mitte-zu-Mitte-Abstände von Schattenelementen
innerhalb des Arrays (der Arrays) 105 mindestens etwa 6 μm sein, und
ein Durchschnitt des Mitte-zu-Mitte-Abstands von Schattenelementen
kann insbesondere mindestens etwa 8 μm sein. Eine Durchlässigkeit
der Strukturierungsstrahlung durch Abschnitte des transparenten
Substrats, das das Array (die Arrays) von Schattenelementen aufweist,
kann somit größer als
etwa 70% und entsprechend spezieller Ausführungsbeispiele größer als
97% sein. Wie im Vorhergehenden erörtert, kann eine Durchlässigkeit
durch Abschnitte des transparenten Substrats, das das Array (die
Arrays) von Schattenelementen aufweist, zwischen etwa 98% und 100%
(wobei 100% die Durchlässigkeit
der Strukturierungsstrahlung durch einen Abschnitt des transparenten
Substrats ohne Schattenelement ist) variiert werden.
-
Die
Photomaske von 1 kann somit ein erstes Array 105a von
Schattenelementen zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche des
transparenten Substrats 101 bei einer Mittenposition desselben
aufweisen und ein zweites Array 105b von Schattenelementen
zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche des transparenten Substrats 101 bei
einem Kantenabschnitt desselben aufweisen. Die Durchlässigkeit
der Strukturierungsstrahlung durch die Abschnitte des transparenten
Substrats, die die ersten und zweiten Arrays von Schattenelementen aufweisen,
kann größer als
etwa 50% sein. Die Durchlässigkeit
der Strukturierungsstrahlung durch den Abschnitt des transparenten
Substrats, der das zweite Array aufweist, kann jedoch anders als
die Durchlässigkeit
der Strukturierungsstrahlung durch den Abschnitt des transparenten
Substrats, der das erste Array aufweist, sein. Wie im Vorhergehenden erörtert, kann
die Durchlässigkeit
durch Abschnitte des Substrats, die das zweite Array 195b aufweisen, größer als
die Durchläs sigkeit
durch Abschnitte des Substrats, die das erste Array 105a aufweisen,
sein, um beispielsweise die Unterschiede der Beleuchtungsintensitäten aufgrund
der Beugung, die durch die strahlungsblockierende Struktur 103 verursacht wird,
zu kompensieren. Die Durchlässigkeiten
durch die unterschiedlichen Arrays von Schattenelementen können insbesondere
zwischen 98% und 100% (wobei 100% die Durchlässigkeit der Strukturierungsstrahlung
durch Abschnitte des Substrats ohne Schattenelemente ist) variieren.
Unterschiedliche Durchlässigkeiten
können
beispielsweise durch Vorsehen von unterschiedlichen durchschnittlichen
Mitte-zu-Mitte-Abständen
von Schattenelementen innerhalb unterschiedlicher Arrays vorgesehen
sein.
-
Zusätzlich oder
als Alternative können
unterschiedliche Arrays verwendet werden, um unterschiedliche Beleuchtungsbedingungen
für unterschiedliche
Regionen einer integrierten Schaltungsvorrichtung, die strukturiert
wird, vorzusehen. Wenn eine IC-Speichervorrichtung
(integrated circuit memory device) (wie z. B. eine Vorrichtung mit
einem dynamischen Direktzugriffsspeicher) hergestellt wird, können unterschiedliche
Beleuchtungsbedingungen für
Speicherzellenarrayregionen und für Peripherieschaltungsregionen
vorgesehen werden. Ein erstes Array 150a von Schattenelementen
kann beispielsweise konfiguriert sein, um eine Dipol-Beleuchtungsbedingung
für eine
Speicherzellen-Arrayregion einer IC-Speichervorrichtung vorzusehen,
und ein zweites Array 150b von Schattenelementen kann konfiguriert
sein, um eine ringförmige
Beleuchtungsbedingung für
eine Peripherieschaltungsregion der gleichen IC-Speichervorrichtung
vorzusehen.
-
Eine
Beleuchtungsbedingung kann herkömmlicherweise
durch eine Öffnung,
durch die die Strukturierungsstrahlung durchgelassen wird, bevor dieselbe
die Photomaske erreicht, bestimmt werden, derart, dass eine gleiche
Beleuchtungsbedingung über
die Gesamtheit einer integrierten Schaltungsvorrichtung, die strukturiert
werden soll, geliefert wird. Gemäß Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung können
unterschiedliche Arrays von Schattenelementen in einer Photomaske
verwendet werden, um unterschiedliche Beleuchtungsbedingungen in
unterschiedlichen Teilen einer integrierten Schaltungsvorrichtung
während
eines gleichen Belichtungsschrittes zu liefern.
-
Ein
Array von Schattenelementen in einem transparenten Substrat einer
Photomaske kann somit konfiguriert sein, um beispielsweise entweder eine
ringförmige
Beleuchtungsbedingung, eine Dipol-Beleuchtungsbedingung, eine Quadrupol-Beleuchtungsbedingung
oder eine kundenspezifische Beleuchtungsbedingung zu liefern. Unterschiedliche Arrays
von Schattenelementen in einer Photomaske können somit verwendet werden,
um unterschiedliche Beleuchtungsbedingungen in unterschiedlichen Regionen
einer integrierten Schaltungsvorrichtung, die strukturiert wird,
zu liefern. Bei einer Alternative können ein Array (Arrays) von
Schattenelementen in einer Photomaske verwendet werden, um eine gleichmäßige Beleuchtungsbedingung
(wie z. B. eine ringförmige
Beleuchtungsbedingung), eine Dipol-Beleuchtungsbedingung, eine Quadrupol-Beleuchtungsbedingung
oder eine kundenspezifisch angepasste Beleuchtungsbedingung) über eine
integrierte Schaltungsvorrichtung, die strukturiert wird, zu liefern,
ohne eine spezielle Öffnung
zwischen einer Quelle einer Strukturierungsstrahlung und der Photomaske
zu erfordern.
-
Eine
IC-Speichervorrichtung kann beispielsweise rechteckige Speicherzellenarrayregionen
mit Peripherieschaltungsregionen, die die Speicherzellenarrayregionen
trennen, aufweisen. Wie in 4 gezeigt,
kann dementsprechend eine Photomaske 401, die verwendet
wird, um eine solche Vorrichtung zu strukturieren, Speicherzellenarrayregionen 403a–d und Peripherieschaltungsregionen 405,
die die Speicherzellenarrayregionen trennen, aufweisen. Eine strahlungsblockierende
Struktur auf einer Oberfläche
der Photomaske kann die Struktur definieren, die zu einer photoempfindlichen
Schicht auf der IC-Speichervorrichtung übertragen werden soll, und ein
Array oder Arrays von Schattenelementen zwischen transparenten Oberflächen kann
eine oder mehrere Beleuchtungsbedingungen für spezielle Abschnitte der
IC-Speichervorrichtung, die strukturiert werden soll, liefern. Erste
Arrays von Schattenelementen in den Speicherzellenarrayregionen 403a–d der Photomaske 401 können beispielsweise
eine Dipol-Beleuchtungsbedingung(en)
für Speicherzellenarrayregionen
der IC-Speichervorrichtung vorsehen, und zweite Arrays von Schattenelementen
in den Peripherieschaltungsregionen 405 können eine ringförmige Beleuchtungsbedingung(en)
für Peripherie schaltungsregionen
der Speichervorrichtung mit integrierter Schaltung während eines
gleichen Maskierungsschrittes liefern.
-
Zusätzlich oder
als eine Alternative können eines
oder mehrere Arrays von Schattenelementen konfiguriert sein, um
eine holographische Struktur zu liefern, die verwendet wird, um
ein Hologramm auf der integrierten Schaltungsvorrichtung, die strukturiert
wird, zu erzeugen, und unterschiedliche holographische Strukturen
können
durch unterschiedliche Arrays von Schattenelementen in der gleichen
Photomaske geliefert werden. In ähnlicher
Weise können eines
oder mehrere Arrays von Schattenelementen als eine Fresnel-Linse
konfiguriert sein, und unterschiedliche Fresnel-Linsen können durch
unterschiedliche Arrays von Schattenelementen in der gleichen Photomaske
vorgesehen werden.
-
Schattenelemente
können
in Photomasken gemäß Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung unter Verwendung eines Systems, wie z.
B. dasselbe, das in 5 dargestellt ist, gebildet
sein. Wie im Vorhergehenden im Hinblick auf die 1–3 erörtert, kann
eine Photomaske eine strahlungsblockierende Struktur (wie z. B.
eine strukturierte Schicht aus Chrom) an einem transparenten Substrat
aufweisen, wobei die strahlungsblockierende Struktur einer Struktur
entspricht, die zu einer photoempfindlichen Schicht an einer integrierte
Schaltungsvorrichtung übertragen
werden soll. Die Photomaske kann außerdem verwendet werden, um
eine photoempfindliche Testschicht vor dem Bilden der Schattenelemente
zu strukturieren, um zu bestimmen, welche Ungleichmäßigkeiten
von kritischen Abmessungen, wenn überhaupt, korrigiert werden
müssen.
-
Ein
gewünschtes
Array (Arrays) von Schattenelementen kann für die Photomaske basierend auf
den Informationen, die von der strukturierten Testphotoresistschicht
erhalten werden, bestimmt werden. Durch Bilden von Schattenelementen
nach dem Bilden der strahlungsblockierenden Struktur können die
Schattenelemente mit der strahlungsblockierenden Struktur ausgerichtet
werden. Ein Pellicle kann zusätzliche
auf der Photomaske nach dem Bilden der strahlungsblockierenden Struktur, jedoch
vor dem Strukturieren der photoempfindlichen Testschicht und vor
dem Bilden von Schattenelementen platziert werden. Die strahlungsblockierende
Struktur kann dementsprechend vor Staub vor und während der
Bildung der Schattenelemente geschützt werden.
-
Die
Schattenelemente 511 können
zwischen Oberflächen
des transparenten Substrats gebildet werden, während das Pellicle auf der
strahlungsblockierenden Struktur der Photomaske verbleibt. Obwohl
dies nicht in 5 gezeigt ist, können sich
die strahlungsblockierende Struktur und das Pellicle auf einer Oberfläche des
transparenten Substrats 501 befinden, die gegenüberliegend
zu der Oberfläche ist,
durch die die Laserstrahlung eingeführt wird. Die Laserstrahlung
kann durch eine Laserquelle 503 (wie z. B. einen Femto-Sekunden-Laser)
erzeugt werden, und die Laserstrahlung kann unter Verwendung von einem
oder mehreren Aufweitern 505 aufgeweitet werden. Die Strahlsteuerungsvorrichtung 507 kann die
aufgeweitete Laserstrahlung hin zu dem transparenten Substrat 501 richten,
und eine Fokussierungsvorrichtung 509 kann die Laserstrahlung
auf einen speziellen Punkt fokussieren, in dem ein Schattenelement
gebildet werden soll.
-
Die
Laserstrahlung kann zu einer X-Y-Koordinate (laterale Position)
eines speziellen Schattenelements in dem transparenten Substrat 501 unter Verwendung
der Strahlsteuerungsvorrichtung 507 und/oder durch physisches
Bewegen des transparenten Substrats in den X-Y-Richtungen (senkrecht relativ
zu der Richtung der Laserstrahlung) gerichtet werden. Die Laserstrahlung
kann zu einer Z-Koordinate (Tiefe) eines speziellen Schattenelements
in dem transparenten Substrat 501 unter Verwendung einer
Schärfentiefe,
die durch die Fokussierungsvorrichtung 509 und/oder durch
physisches Bewegen des transparenten Substrats in der Z-Richtung
(parallel zu der Richtung der Laserstrahlung) bereitgestellt wird,
gerichtet werden.
-
Jedes
Schattenelement kann unter Verwendung eines gepulsten Laserstrahlungsstoßes, der
zu einer vorbestimmten Position innerhalb eines Volumens des transparenten
Substrats 501 zwischen der ersten und zweiten Oberfläche desselben
gerichtet und auf dieselbe fokussiert ist, gebildet werden. Ein gepulster
Laser strahlungsstoß,
der verwendet wird, um ein Schattenelement zu verwenden, kann beispielsweise
eine Dauer in der Größenordnung
von etwa 10–15 Sekunden
aufweisen. Der gepulste Laserstrahlungsstoß kann eine Mikroexplosion
an der vorbestimmten Position innerhalb des transparenten Substrats
erzeugen. Eine computerisierte Steuerung der Schattenelementplatzierung
kann verwendet werden, um ein 2- und/oder 3-dimensionales Array (Arrays)
von Schattenelementen innerhalb des Volumens des transparenten Substrats 501 zwischen
der ersten und der zweiten Oberfläche des transparenten Substrats
zu erzeugen.
-
Wenn
ein einzelnes Schattenelement 511 gebildet wird, kann die
Laserquelle 503 einen Laserstrahlungsstoß mit einer
Dauer in einer Größenordnung
von 10–15 Sekunden
erzeugen, und die Laserstrahlung kann unter Verwendung von einem
oder mehreren Aufweitern 505 aufgeweitet werden und dann
unter Verwendung der Fokussierungsvorrichtung 509 fokussiert
werden. Die Steuerungsvorrichtung 507 kann vorsehen, dass
die Laserstrahlung zu gewünschten
X-Y-Koordinaten des transparenten Substrats gerichtet wird, und
die Fokussierungsvorrichtung 509 kann vorsehen, dass die
Laserstrahlung in einer gewünschten
Tiefe (Z-Koordinate) innerhalb des transparenten Substrats fokussiert
wird.
-
Die
Fokussierungsvorrichtung 509 kann insbesondere Laserstrahlung
derart fokussieren, dass eine Größenordnung
derselben von etwa 106 W/cm2 bis
107 W/cm2 in der
Tiefe innerhalb des transparenten Substrats konzentriert ist, bei
der das Schattenelement gebildet werden soll. Durch diese Konzentration
von Energie kann eine Lawinen-Photonenabsorption
und/oder Ionisation eine Plasmazone in dem transparenten Substrat
(ohne ein Schmelzen oder Verdampfen des Substrats) erzeugen. Ein
lokalisiertes Aufwärmen
und Abkühlen
kann zu einer Stoßwelle
führen,
die eine beschädigte
Zone mit einer morphologisch unterschiedlichen Struktur als dieselbe der
umgebenden Abschnitte des transparenten Substrats 511 erzeugt.
Die resultierende beschädigte Zone
liefert somit ein Schattenelement 501, das einen Brechungsindex
aufweisen kann, der sich von den umgebenden Abschnitten des transparenten Substrats 501 unterscheidet
(entweder größer oder kleiner
ist). Eine Lichtstreuung an Schattenelementen 511, die
so gebildet werden, kann verwendet werden, um eine Abbildungsintensität einer
Strukturierungsstrahlung zu ändern,
die durch dieselben läuft.
-
Ein
einzelnes Schattenelement, das wie im Vorhergehenden erörtert gebildet
wird, kann einen Durchmesser in einem Bereich von etwa 0,1 μm bis 4,0 μm und insbesondere
in einem Bereich von etwa 0,3 μm
bis 1,0 μm
aufweisen. Die Größen von
Schattenelementen können
beispielsweise durch Variieren einer Intensität der Laserstrahlung, einer
Dauer der Laserstrahlung, einer Größe des Strahls und/oder einer
Anzahl von Laserstrahlungspulsen, die verwendet werden, um das Schattenelement
zu bilden, variiert werden. Eine Größe eines Schattenelements 511 kann
zusätzlich
oder als eine Alternative durch Bilden von zwei oder mehreren überlappenden
Schattenelementen vergrößert werden.
-
Die
Steuerungsvorrichtung 507 und die Fokussierungsvorrichtung 509 können außerdem die Schattenelemente
innerhalb des Volumens des transparenten Substrats 501 unter
Verwendung einer vorher gebildeten strahlungsblockierenden Struktur, die
auf der gegenüberliegenden
Seite des transparenten Substrats gebildet ist, ausrichten. Ein
Pellicle kann zusätzlich
an der strahlungsblockierenden Struktur beibehalten werden, während die
Schattenelemente gebildet werden, derart, dass die strahlungsblockierende
Struktur gegenüber
Staub abgeschirmt ist. Bei einer Alternative können die Schattenelemente vor
dem Bilden der strahlungsblockierenden Struktur gebildet werden,
und die strahlungsblockierende Struktur kann relativ zu den Schattenelementen
ausgerichtet sein. Bei einer weiteren Alternative können sowohl
die strahlungsblockierende Struktur als auch die Schattenelemente
relativ zu einer anderen Anzeige, die unabhängig von entweder der strahlungsblockierenden
Struktur oder den Schattenelementen gebildet wird, ausgerichtet
werden.
-
Arrays
von Schattenelementen, die wie im Vorhergehenden erörtert gebildet
werden, sind in den 6a–d dargestellt. In 6a sind
die Schattenelemente in einem Array von Reihen und Spalten mit einem
Durchschnitt des Mitte-zu-Mitte-Abstands von etwa 6,0 μm angeordnet.
In 6c sind die Schattenelemente in einem Array von
Reihen und Spalten mit einem Durchschnitt des Mitte-zu-Mitte-Abstands von
etwa 8,0 μm
angeordnet. In 6d sind die Schattenelemente
in einem Array von Reihen und Spalten mit einem Durchschnitt des
Mitte-zu-Mitte-Abstands von etwa 10,0 μm angeordnet.
-
Die
graphische Darstellung von 7 stellt die
gemessenen Durchlässigkeiten
der Strahlung (von 248 nm Wellenlänge) durch Substrate dar, die Arrays
von Schattenelementen, wie in 6a–d dargestellt,
aufweisen. Drei transparente Probensubstrate wurden insbesondere
mit jedem transparenten Probensubstrat, das vier Arrays von Schattenelementen
mit durchschnittlichen Mitte-zu-Mitte-Abständen von 4,0 μm, 6,0 μm, 8,0 μm und 10,0 μm aufweist,
erzeugt. Wie gezeigt, liefern Arrays von Schattenelementen mit durchschnittlichen
Mitte-zu-Mitte-Abständen
von etwa 4,0 μm
eine Durchlässigkeit in
einem Bereich von etwa 20% bis 40%. Arrays von Schattenelementen
mit durchschnittlichen Mitte-zu-Mitte-Abständen von etwa 6,0 μm können eine Durchlässigkeit
in einem Bereich von etwa 50% bis 60% liefern. Arrays von Schattenelementen
mit durchschnittlichen Mitte-zu-Mitte-Abständen von etwa 8,0 μm können eine
Durchlässigkeit
in einem Bereich von etwa 70% bis 80% liefern. Arrays von Schattenelementen
mit durchschnittlichen Mitte-zu-Mitte-Abständen von etwa 10,0 μm können eine
Durchlässigkeit
in einem Bereich von etwa 85% bis 90% liefern. Die Referenz von
100%-Durchlässigkeit
wird hinsichtlich eines Abschnitts des Substrats gemessen, der frei
von Schattenelementen ist. Eine Reduzierung der Durchlässigkeit
von etwa 2% kann außerdem
ausreichend sein, um die Toleranzen der kritischen Abmessungen (CD)
zu verbessern.
-
Wie
im Vorhergehenden erörtert,
kann eine Tiefe der Schattenelemente in dem transparenten Substrat
einer Photomaske durch eine Position des transparenten Substrats
relativ zu der Fokussierungsvorrichtung und durch einen Brennpunkt
der Laserstrahlung von der Fokussierungsvorrichtung bestimmt werden.
Die Schattenregion einer integrieren Schaltungsvorrichtung (die
strukturiert wird), die durch ein Schattenelement (oder ein Array
von Schattenelementen) beeinflusst wird, kann außerdem von einem Abstand des
Schattenelements (oder des Arrays von Schattenelementen) von der
Oberfläche
des transparenten Substrats, das die strahlungsblockierende Struktur
auf demselben aufweist, abhängen.
Durch Vorsehen der Schattenelemente innerhalb des transparenten
Substrats nahe zu der Oberfläche,
die die strahlungsblockierende Struktur an demselben aufweist, kann
eine resultierende Schattenregion an der integrierten Schaltungsvorrichtung,
die strukturiert wird, reduziert werden. Eine Steuerung der kritischen
Abmessungen (CD) kann somit mit einer Auflösung von weniger als etwa 1,26 mm
geliefert werden. Schattenelemente können mit anderen Worten gemäß Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung eine verbesserte Auflösung liefern, da die Schattenelemente
und die strahlungsblockierende Schicht durch weniger als eine volle
Dicke des transparenten Substrats der Photomaske getrennt werden
können.
Eine Steuerung der CD-Gleichmäßigkeit
kann dementsprechend verbessert werden. Unterschiedliche Arrays
von Schattenelementen können
somit verwendet werden, um unterschiedliche CD-Steuerungen und/oder
unterschiedliche Beleuchtungsbedingungen in eng beabstandeten Regionen
einer integrierten Schaltungsvorrichtung (wie z. B. Zellarrayregionen
und Peripherieschaltungsregionen) zu liefern.
-
Photomasken
gemäß Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung können
somit verwendet werden, um photoempfindliche Schichten, wie beispielsweise
in 8 gezeigt, zu strukturieren. Eine Quelle 801 kann
eine Strukturierungsstrahlung 803a, wie z. B. eine Strahlung
mit einer Wellenlänge von
etwa 248 nm, erzeugen. Die Strukturierungsstrahlung 803a ist
durch eine Photomaske 805 mit Schattenelementen 805a innerhalb
eines Volumens eines transparenten Substrats 805b derselben
gerichtet. Eine strahlungsblockierende Struktur 805c (wie
z. B. eine Chromstruktur) definiert eine Struktur, die zu einer
photoempfindlichen Schicht 807a an einem Substrat 807b für eine integrierte
Schaltung unter Verwendung einer modifizierten Strukturierungsstrahlung 803b übertragen
wird. Das Substrat 807b mit der integrierten Schaltung
kann außerdem
in einer gewünschten
Ausrichtung relativ zu der Quelle 801 und der Photomaske 805c unter
Verwendung einer Einspannvorrichtung 809 gehalten werden.
-
Die
Strukturierungsstrahlung 803a von der Quelle 801 wird
insbesondere durch Laufen durch die Photomaske 805 (die
die Schattenelemente 805a und die strahlungsblockierende
Struktur 805c aufweist) modifiziert, um die modifizierte
Strukturierungsstrahlung 803b zu liefern. Die strahlungsblockierende
Struktur 805c kann beispielsweise eine Struktur definieren,
die zu der photoempfindlichen Schicht übertragen werden soll, und
die Schattenelemente 805a können in Arrays vorgesehen sein,
die konfiguriert sind, um Effekte zu kompensieren, die durch eine
Beugung durch die strahlungsblockierende Struktur 805c verursacht
werden. Zusätzlich
oder als eine Alternative können
die Schattenelemente 805a konfiguriert sein, um eine oder
mehrere Beleuchtungsbedingungen (wie z. B. eine Dipol-Beleuchtungsbedingung,
eine Quadrupol-Beleuchtungsbedingung, eine ringförmige Beleuchtungsbedingung
und/oder eine kundenspezifisch angepasste Beleuchtungsbedingung)
zu liefern, um eine holographische Struktur in der photoempfindlichen
Schicht 807a vorzusehen, und/oder um eine Fresnel-Linse vorzusehen
und/oder um unterschiedliche Beleuchtungsintensitäten zu liefern.
Die Photomaske 805 kann, wie im Vorhergehenden hinsichtlich
der 5–7 erörtert, gebildet
sein, um eine oder mehrere Funktionen, die oben hinsichtlich der 1–4 erörtert sind,
zu liefern.