Die
Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Beschicken von Mikrosystemen
gemäß dem Oberbegriff
des Anspruches 1.The
The invention relates to a device for feeding microsystems
according to the generic term
of claim 1.
Vorrichtungen
der vorgenannten Art sind aus der US
5 895 191 bekannt und weisen eine Übergabestation auf, an die
ein geschlossener Transportbehälter
für plattenförmige Elemente
anzudocken ist. Solche Transportbehälter sind in der Regel so genannte
SMIF-Boxen, die als plattenförmige
Elemente üblicherweise
Substrate in Form von Wafern aufnehmen. Die plattenförmigen Elemente
werden nach Öffnen
des Transportbehälters
und einer der Übergabestation
zugeordneten Schleuse zwischen dem Transportbehälter und der Übergabestation,
gegebenenfalls aber auch in Gegenrichtung verlagert. Zur Übergabestation
vorgelagert ist eine horizontal auskragende Aufnahme vorgesehen,
auf die der Transportbehälter
aufgesetzt wird und entlang derer der Transportbehälter in
seine Andockposition zur Übergabestation
horizontal versetzt werden muss. Dementsprechend muss der Transportbehälter zumindest auf
das Niveau der Aufnahme und die seiner Positionierung in der Andockposition
entsprechende Höhenlage
angehoben werden, was bei größeren und schwereren
Transportbehältern
und der durch die Auskragung bedingten Positionierung der Bedienperson
bei manueller Handhabung einen erheblichen Kraftaufwand bedingt,
sowie auch ungünstige
Handhabungspositionen für
die Bedienperson.Devices of the aforementioned type are known from US 5,895,191 known and have a transfer station to which a closed transport container for plate-shaped elements is docked. Such transport containers are usually so-called SMIF boxes, which usually receive substrates in the form of wafers as plate-shaped elements. The plate-shaped elements are moved after opening the transport container and the transfer station associated lock between the transport container and the transfer station, but possibly also in the opposite direction. Upstream of the transfer station, a horizontal projecting receptacle is provided, on which the transport container is placed and along which the transport container must be moved horizontally in its docking position to the transfer station. Accordingly, the transport container must be raised at least to the level of recording and its positioning in the docking position corresponding altitude, resulting in larger and heavier transport containers and the conditional by the projection positioning of the operator with manual handling requires considerable effort, as well as unfavorable handling positions for the operator.
Der
Transportbehälter
ist an seiner gegen die Übergabestation
gerichteten Frontseite mit einem abnehmbaren Deckel versehen, der
mit dem geschlossenen Tor der Schleuse zu verbinden ist und der,
verbunden mit dem Schleusentor, in eine Öffnungslage zu überführen ist,
in der die vom Schleusentor in dessen geschlossener Stellung überdeckte Übergabeöffnung zur Übergabestation
sowie auch die der Übergabestation
zugewandte Frontseite des Transportbehälters geöffnet ist. Die Umstellung des Schleusentores
mit dem von diesem getragenen Deckel des Transportbehälters zwischen
der Schließstellung
und einer zur Übergabeöffnung angehobenen Öffnungslage
erfolgt über
eine seitens der Übergabestation
vorgesehene Schwenkvorrichtung. Da die Verbindung zwischen dem Schleusentor
und dem Deckel des anzudockenden Transportbehälters beim Andocken erfolgt,
werden der Transportbehälter
und die im Übergang
zwischen der Aufnahme und der Übergabeöffnung liegende
Schleuse gemeinsam geöffnet
und geschlossen, was insbesondere hinsichtlich der dadurch bedingten,
räumlich
benachbart liegenden Dichtgrenzen einen hohen Aufwand verlangt.Of the
transport container
is at his against the transfer station
directed front provided with a removable lid, the
to connect with the closed gate of the lock and that,
connected to the lock gate, to be transferred to an open position,
in which from the floodgate in its closed position covered transfer opening to the transfer station
as well as the transfer station
facing front of the transport container is open. The conversion of the floodgate
with the carried by this cover of the transport container between
the closed position
and an opening position raised to the transfer opening
over
one on the part of the transfer station
provided pivoting device. Because the connection between the lock gate
and the lid of the docking transport container is docked,
become the transport container
and those in transition
lying between the receptacle and the transfer opening
Lock open together
and closed, in particular as regards the consequent,
spatial
adjacent lying sealing boundaries requires a lot of effort.
Des
Weiteren ist aus der EP
0 829 903 A2 eine Vorrichtung zum Beschicken von Mikrosystemen
mit einer Übergabestation
bekannt, die eine über
ein zu öffnendes
Schleusentor absperrbare Übergabeöffnung aufweist,
der eine Aufnahme für den
Transportbehälter
zugeordnet ist. Die Aufnahme ist bei geöffneter Übergabeöffnung aus der Übergabestation
ausgeschwenkt und dieser vorgelagert und sie wird in Verbindung
mit einer Verstellung in Hochrichtung um eine liegende Achse zwischen
ihrer ausgeschwenkten Beladeposition in eine auf die Übergabestation
eingeschwenkte Lage verlagert. Entsprechend dieser Schwenkbewegung
erfolgt die Ablage des Transportbehälters auf der Aufnahme bei
vertikaler Erstreckung der im Transportbehälter kassettenartig gestapelten
Substrate, die sich, entsprechend der Schwenkbewegung bei der Verlagerung
des Transportbehälters
in die Übergabestation,
in der Übergabestation
horizontal erstrecken und dadurch, wie meist gefordert, horizontal
aus dem Transportbehälter
entnommen werden können.
Ein solches Beschickungsprinzip wird dem Ziel nicht gerecht, mit
minimierten Schadraumvolumina zu arbeiten, um dadurch den mit hohen
Reinheitsanforderungen bedingten Zeit- und Pumpaufwand bei unter
Reinraumbedingungen arbeitenden Vorrichtungen klein zu halten.Furthermore, from the EP 0 829 903 A2 a device for feeding microsystems with a transfer station known, which has a lockable via an openable lock gate transfer opening, which is associated with a receptacle for the transport container. The receptacle is swung out of the transfer station with open transfer opening and upstream of this and it is moved in conjunction with an adjustment in the vertical direction about a horizontal axis between its swung-loading position in a swiveled onto the transfer station location. According to this pivoting movement, the storage of the transport container takes place on the receptacle at vertical extent of the cassette-like stacked substrates in the transport container, which, according to the pivotal movement in the transfer of the transport container in the transfer station in the transfer station extend horizontally and thereby, as usually required, horizontally can be removed from the transport container. Such a charging principle does not do justice to the goal of working with minimized dead space volumes, thereby keeping the time and pumping costs associated with high purity requirements at devices operating under clean-room conditions low.
Bei
einer aus der US 5 609 459 bekannten Vorrichtung
wird der Transportbehälter
auf eine horizontal auskragende Aufnahme aufgesetzt und längs dieser
in eine durch Rastmulden vorgegebene Andockposition zu einem unter
Vorvakuum entstehenden Schleusenschacht verfahren und gegen diesen verriegelt.
An den Schleusenschacht schließt
gegenüberliegend
zur Aufnahme ein Zwischenspeicher an, der als Greifer ausgebildet
ist, über
die Schleusenöffnungen
in den Transportbehälter
eingreift und die dort in der Kassette des Transportbehälters zueinander
beabstandet liegenden plattenförmigen
Elemente en bloc übernimmt,
so dass diese über
eine nachgeordnete, an den Zwischenspeicher angedockte Handhabungsvorrichtung
auf Arbeitsstationen verteilt werden können.At one of the US 5,609,459 known device, the transport container is placed on a horizontally projecting receptacle and along this in a predetermined by locking recesses docking position to a resulting under pre-vacuum lock shaft and locked against it. At the lock shaft opposite to the recording, a buffer connects, which is designed as a gripper, engages over the lock openings in the transport container and there in the cassette of the transport container spaced apart plate-shaped elements en bloc takes over, so that these on a downstream, to the Buffer docked handling device can be distributed to workstations.
Die
WO 99/38200 zeigt eine weitere, einer nachgeordneten Station vorgelagerte,
auskragende Aufnahme zum Aufsetzen eines geschlossenen Transportbehälters, der
gegen eine im Übergang
zur nachgeordneten Station liegende, durch eine Schleuse verdeckte Übergabeöffnung zwangsgetrieben
verfahrbar ist, in seiner Andockstellung die Übergabeöffnung dichtend umschließt und dessen
der Übergabeöffnung zugewandter,
frontseitiger Deckel gegen die Schleuse verrastbar und mit der Schleuse
in eine Öffnungslage
verfahrbar ist.The
WO 99/38200 shows another, upstream of a downstream station,
projecting receptacle for placing a closed transport container, the
against one in transition
lying to the downstream station, covered by a lock transfer opening forcibly driven
is movable, in its docking the transfer opening sealingly encloses and its
facing the transfer opening,
Lockable front lid against the lock and with the lock
in an open position
is movable.
Mit
der US 6 168 364 B1 wird
eine Vorrichtung zum Beschicken von Mikrosystemen aufgezeigt, bei
der der Transportbehälter
auf eine zu einer nachgeordneten Station auskragende, horizontale
Aufnahme aufgesetzt wird, auf dieser Aufnahme durch Ansaugen fixiert
und anschließend
gegen eine durch eine Schleuse abgedeckte Übergabeöffnung verfahren wird. In seiner
Andockstellung umschließt
der Transportbehälter
die Übergabeöffnung dichtend
und es wird der der Schleuse zugewandte Frontdeckel anschließend mit
der Schleuse verkoppelt und über die
Schleuse in eine Freigabelage für
die Übergabeöffnung verfahren,
wobei vorab der Druck zwischen dem Transportbehälter und der über die Übergabeöffnung anzuschließenden Station
ausgeglichen wird.With the US Pat. No. 6,168,364 B1 a device for feeding microsystems is shown, wherein the transport container on a cantilevered to a downstream station, horizontal Auf is placed on this recording by suction and then moved against a covered by a lock transfer opening. In its docking position, the transport container encloses the transfer opening in a sealed manner and the front cover facing the lock is then coupled to the lock and moved via the lock into a release position for the transfer opening, wherein the pressure between the transport container and the station to be connected via the transfer opening is compensated in advance ,
Eine
weitere, aus der FR 2 779 421 bekannte Konstruktion
bezieht sich auf Vorrichtungen, bei denen einer nachgeordneten Station
eine horizontal auskragende Aufnahme vorgelagert ist, auf der ein Transportbehälter in
Form einer so genannten SMIF-Box
aufzusetzen ist, die eine Kassette zur gestapelten, beabstandeten
Aufnahme von plattenförmigen
Elementen in Form von Wafern enthält. Der Transportbehälter ist
in Richtung auf die Station verfahrbar und in Überdeckung zu einer Übergabeöffnung an
die Station anzudocken, derart, dass nach Freigabe der Übergabeöffnung über eine
Schleusenanordnung auf die in der Kassette des Transportbehälters gestapelten
Wafer mittels einer in der Station angeordneten Handhabungsvorrichtung
Zugriff genommen werden kann.Another, from the FR 2 779 421 known construction refers to devices in which a subordinate station is preceded by a horizontally projecting receptacle on which a transport container in the form of a so-called SMIF box is to be placed, which contains a cassette for stacked, spaced receiving plate-shaped elements in the form of wafers , The transport container is movable in the direction of the station and docked in overlap to a transfer opening to the station, such that after release of the transfer opening via a lock arrangement on the stacked in the cassette of the transport container wafer can be accessed by means disposed in the station handling device ,
Um
mit der gleichen Grundanordnung zu Versuchs- und Testzwecken mit
einem Transportbehälter
arbeiten zu können,
der lediglich ein plattenförmiges
Element aufnimmt und eine entsprechend geringere Höhe aufweist,
wird diesem Transportbehälter
als Unterbau ein Schlitten zugeordnet, der auf die Aufnahme aufsetzbar
ist und längs
der Aufnahme gegen die Übergabeöffnung verfahrbar
ist, wobei in der Andocklage zur Übergabeöffnung diese über eine Stirnwand
des Schlittens abgedeckt ist, die einen dem Transportbehälter zugeordneten
Ausschnitt aufweist, über
den auf das im Transportbehälter
befindliche plattenförmige
Element Zugriff genommen genommen werden kann.Around
with the same basic arrangement for experimental and test purposes with
a transport container
to be able to work
the only a plate-shaped
Receives element and has a correspondingly lower height,
gets this transport container
as a substructure associated with a carriage, which can be placed on the recording
is and longitudinal
the recording moved against the transfer opening
is, in the docking to the transfer opening this via an end wall
the carriage is covered, the one associated with the transport container
Section has, over
on the in the transport container
plate-shaped
Element access can be taken.
Der
Erfindung liegt bezogen auf eine Vorrichtung zum Beschicken von
Mikrosystemen der eingangs genannten Art die Aufgabe zugrunde, auch
für schwere
Transportbehälter
günstige
Handhabungsbedingungen zu schaffen, und dies unter dem Gesichtspunkt
geringer schädlicher
Volumina, um auch hohen geforderten Reinheitsbedingungen mit vertretbarem
Aufwand gerecht werden zu können.Of the
Invention is based on a device for feeding of
Microsystems of the type mentioned in the task, also
for heavy
transport container
favorable
To create handling conditions, and this from the point of view
less harmful
Volumes to meet even high required purity conditions with justifiable
To meet the expense.
Erreicht
wird dies mit einer Vorrichtung gemäß den Merkmalen des Anspruches
1, der eine in sich geschlossene kastenförmige Aufnahme für den Transportbehälter vorsieht,
die teilbar ist und in deren nach unten ausklappbaren, eine Klapplade
bildenden unteren Kastenteil der Transportbehälter verhältnismäßig bequem einzusetzen ist
und nachfolgend durch Verschwenken des unteren, die Klapplade bildenden
Kastenteiles in seine Andockposition einzuschwenken ist.Reached
this is achieved with a device according to the features of the claim
1, which provides a self-contained box-shaped receptacle for the transport container,
which is divisible and in which fold down, a folding drawer
forming lower box part of the transport container is relatively convenient to use
and subsequently by pivoting the lower, forming the folding drawer
Box part is to swing in his docking position.
Bei
einer derartigen Lösung
bildet der Boden und die Rückwand
des Kastens in dessen aufgeklappter, geöffneter Lage die Klapplade,
auf die aufgrund ihrer Schräglage
ein guter Zugriff und in die ein leichtes Einsetzen des Transportbehälters möglich ist,
wobei durch das Einschwenken der Klapplade die Andockposition für den Transportbehälter gegenüber der Übergabestation
anschlagbegrenzt mit geringem Kraftaufwand anfahrbar ist.at
such a solution
forms the ground and the back wall
the box in its unfolded, open position the folding drawer,
on the basis of their inclination
a good access and in the easy insertion of the transport container is possible,
wherein the pivoting of the folding shutter the docking position for the transport container with respect to the transfer station
limited stop with little effort can be approached.
Insgesamt
wird damit eine Lösung
erreicht, bei der im Transportbehälter, auch während des Transportes,
vorgegebene atmosphärische
Bedingungen aufrechterhalten werden können und bei der über den
der Übergabeöffnung vorgelagerten
und in der Andocklage die Übergabeöffnung umschließenden Kasten
bei insgesamt geringen schädlichen
Volumina die gegebenen atmosphärischen
Bedingungen weitgehend erhalten werden können. Dies gilt auch in Bezug
auf gegebenenfalls in der Übergabestation
gegebene, verschärfte
atmosphärische
Bedingungen, so insbesondere Rein- oder Reinstraumbedingungen, wozu
es ergänzend
zweckmäßig ist, auch
für die
Aufnahme, insbesondere unabhängig von
der Übergabestation,
Rein- oder Reinstraumbedingungen aufzubauen.All in all
becomes a solution
achieved in the transport container, even during transport,
predetermined atmospheric
Conditions can be maintained and over the
the transfer opening upstream
and in the docking the transfer opening enclosing box
at a total of low harmful
Volumes given atmospheric
Conditions can be largely maintained. This also applies in relation
if necessary in the transfer station
given, tightened
atmospheric
Conditions, in particular pure or clean room conditions, for which
supplementing it
is appropriate, too
for the
Recording, especially independent of
the transfer station,
To build pure or cleanroom conditions.
Weitere
Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen. Ferner wird
die Erfindung nachstehend anhand eines Ausführungsbeispieles erläutert. Es
zeigen:Further
Details and features of the invention will become apparent from the claims. Furthermore, will
the invention explained below with reference to an embodiment. It
demonstrate:
1 eine
Schnittdarstellung, vereinfacht, einer Vorrichtung zum Beschicken
von Mikrosystemen mit über
von einem Transportbehälter
aufgenommenen plattenförmigen
Elementen, wobei für den
Transportbehälter
eine einer Übergabestation zugeordnete
Aufnahme vorgesehen ist, die zur Übergabestation eine über ein
Schleusentor verschließbare Übergabeöffnung aufweist,
wobei die Aufnahme geöffnet
gezeigt ist, 1 a sectional view, simplified, a device for feeding microsystems with recorded via a transport container plate-shaped elements, wherein for the transport container a transfer station associated receptacle is provided, which has a lockable via a lock gate transfer opening to the transfer station, the receptacle is shown open
2 eine
der 1 entsprechende Darstellung bei geschlossener
Aufnahme, 2 one of the 1 corresponding representation with closed recording,
3 eine
Teildarstellung, in der die Aufnahme nur bereichsweise gezeigt ist
und das Schleusentor bei geschlossener Aufnahme gegen den Deckel des
Transportbehälters
herangerückt
ist, zur tragenden Übernahme
des Deckels, 3 a partial view, in which the receptacle is shown only partially and the lock gate is moved in closed recording against the lid of the transport container, for carrying the lid,
4 eine
der 3 entsprechende Darstellung, in der das Schleusentor
mit dem von ihm getragenen Deckel in eine die Übergabeöffnung freigebende Stellung
verfahren ist, 4 one of the 3 corresponding representation in which the lock gate is moved with the lid carried by him in a transfer opening releasing position,
5 und 6 einander
entsprechende Ausschnittsdarstellungen, die die Halterung des Deckels
des Transportbehälters
durch Unterdruckbeaufschlagung zur Fixierung des Deckels und den
Anschluss an die Atmosphäre
zur Freigabe des Deckels zeigen, sowie 5 and 6 Corresponding detail views showing the support of the cover of the transport container by applying vacuum to fix the lid and the connection to the atmosphere to release the lid, as well as
7 und 8 eine
eigenständige,
die Betätigung
eines Schleusentores zum Öffnen
und Schließen
einer Übergabeöffnung veranschaulichende
Lösung. 7 and 8th an independent, the operation of a sluice gate for opening and closing a transfer opening illustrative solution.
Ausgehend
von den Darstellungen gemäß 1 bis 4 ist
mit 1 eine Wand einer ansonsten nicht dargestellten Übergabestation 2 bezeichnet,
in der beispielsweise eines der in Verbindung mit Mikrosystemen
bekannten Handhabungsgeräte
angeordnet ist. Der Übergabestation 2 ist
außenseitig
auskragend in Überdeckung
zu einer Übergabeöffnung 3 eine
Aufnahme 4 für
einen Transportbehälter 5 zugeordnet.
Die Aufnahme 4 ist in 1 geöffnet und
in 2 geschlossen dargestellt, und der von der Aufnahme 4 im
geschlossenen Zustand umschlossene Raum ist gegen die Übergabestation 2 über ein
die Übergabeöffnung 3 überdeckendes,
verfahrbares Schleusentor 6 – als Ventilelement zwischen Übergabestation 2 und
Aufnahme 4 – absperrbar.
Das Schleusentor 6 ist über
ein nicht dargestelltes Hubwerk in Hochrichtung verfahrbar und liegt
in seiner geschlossenen Position gemäß 1 flächig mit
Abstand dem Deckel 7 des in der geschlossenen Aufnahme 4 liegenden
Transportbehälters 5 gegenüber. Letzteres
lassen insbesondere 2 und 3 erkennen.Based on the illustrations according to 1 to 4 is with 1 a wall of an otherwise not shown transfer station 2 in which, for example, one of the known in connection with microsystems handling equipment is arranged. The transfer station 2 is on the outside projecting in coverage to a transfer opening 3 a recording 4 for a transport container 5 assigned. The recording 4 is in 1 opened and in 2 shown closed, and that of the recording 4 enclosed space is against the transfer station 2 over a the transfer opening 3 Covering, movable lock gate 6 - As a valve element between transfer station 2 and recording 4 - lockable. The floodgate 6 is movable via a not shown hoist in the vertical direction and is in its closed position according to 1 flat with distance the lid 7 in the closed shot 4 lying transport container 5 across from. The latter in particular 2 and 3 detect.
Der
Transportbehälter 5 ist,
wie 1 und 2 erkennen lassen, bei aufgesetztem
Deckel 7 allseitig geschlossen, wobei über den Deckel 7 die Eintrittsöffnung 8 freigegeben
werden kann, über
die, wie im Ausführungsbeispiel
angedeutet, eine Stapelbox 9 mit darin gestapelt übereinander
liegenden, flächigen
Elementen 10 angeordnet ist, wobei diese flächigen Elemente 10 Wafer,
Bauteilträger,
Werkstückträger oder
Werkstücke
sein können,
die durch entsprechende Ausbildung, bzw. durch jeweilige Zuordnung
zu einem Tragrahmen, wie in der Zeichnung angedeutet, gestapelt übereinander
und gegeneinander abgestützt
angeordnet sein können.
Abweichend vom Gezeigten ist es auch möglich, den Transportbehälter selbst
als Stapelbox auszubilden oder mit Auflagen zu, versehen, in denen
flächige
Elemente magaziniert mit Abstand zueinander abzulegen sind.The transport container 5 is like 1 and 2 can recognize, with attached cover 7 closed on all sides, taking over the lid 7 the entrance opening 8th can be released, over, as indicated in the embodiment, a stacking box 9 with stacked, flat elements stacked in it 10 is arranged, these flat elements 10 Wafer, component carrier, workpiece carriers or workpieces can be, which can be stacked one above the other and supported against each other by appropriate training, or by respective assignment to a support frame, as indicated in the drawing, stacked. Notwithstanding what has been shown, it is also possible to form the transport container itself as a stacking box or provided with supports, in which sheet-like elements are stored in magazines with a distance from each other.
Die
dargestellte Lösung
mit Stapelbox 9 ermöglicht,
was hier allerdings nicht gezeigt ist, die Fixierung der Stapelbox 9 innerhalb
des Transportbehälters 5,
so dass, ausgehend von einer entsprechenden Festlegung des Transportbehälters 5 in
der geschlossenen Aufnahme 4, die Stapelbox 9 eine vorgegebene
Lage zur Übergabestation 2 einnimmt.The illustrated solution with stacking box 9 allows, which is not shown here, the fixation of the stacking box 9 inside the transport container 5 , so that, starting from a corresponding definition of the transport container 5 in the closed shot 4 , the stacking box 9 a predetermined position to the transfer station 2 occupies.
1 und 2 veranschaulichen,
dass die Aufnahme 4 bevorzugt als die Stapelbox 9 dichtend umschließender Kasten
ausgebildet ist, der aufklappbar ist, wobei der Boden 11 und
die der Übergabeöffnung 3 gegenüberliegende
Rückwand 12 mit
den zugeordneten Teilen der Seitenwände eine Klapplade 13 bilden.
Die Klapplade 13 ist um eine Schwenkachse 14 schwenkbar,
wobei die Schwenkachse 14 benachbart zur Übergabeöffnung 3 außenseitig
zur Übergabestation 2 wandnah
liegt, und zwar benachbart zur etwa diagonal verlaufenden Teilebene 15 der kastenförmigen Aufnahme 4.
Die diagonal verlaufende Teilebene 15 verbindet den oberen,
von der Übergabestation 2 abgelegenen
Eckbereich zwischen der Oberwand 16 und der Rückwand 12 der
Aufnahme 4 mit der Schnittebene des Deckels 7 und
des Bodens 11, und die Schwenkachse 14 ist zum
Boden 11 nach unten versetzt der Ebene des Deckels 7 benachbart. Aufgeklappt
(1) nimmt die Lade 13 eine Öffnungsstellung
ein, in der die Rückwand 12 etwa
parallel zur Teilebene 15 schräg nach oben verläuft, so dass
der Transportbehälter 5 entlang
der Rückwand 12 gleitend
in die Lade 13 eingesetzt werden kann, was insbesondere
bei größeren Transportbehältern und
entsprechendem Gewicht derselben – z.B. bei plattenförmigen Elementen
mit einem Durchmesser von 300 mm – die Beschickung wesentlich
erleichtert, zumal in der Offen stellung die obere Kante 17 der Rückwand 12 deutlich
unterhalb der Oberwand 16 der Aufnahme 2 liegt,
mit einem entsprechend großen
Eintrittsquerschnitt beim Einschieben in die Lade 13. In
der Teilebene 15 liegt eine bei geschlossener Aufnahme 4 den über die
ausklappbare Klapplade 13 freizugebenden Öffnungsquerschnitt
umschließende,
bei 53 angedeutete Dichtungsanordnung. 1 and 2 illustrate that recording 4 preferred as the stacking box 9 is formed sealingly enclosing box which is hinged, the bottom 11 and the transfer opening 3 opposite back wall 12 with the associated parts of the side walls a folding drawer 13 form. The folding drawer 13 is about a pivot axis 14 pivotable, the pivot axis 14 adjacent to the transfer opening 3 outside to the transfer station 2 is close to the wall, and adjacent to the approximately diagonal part plane 15 the box-shaped receptacle 4 , The diagonal part plane 15 connects the upper, from the transfer station 2 secluded corner area between the top wall 16 and the back wall 12 the recording 4 with the cutting plane of the lid 7 and the soil 11 , and the pivot axis 14 is to the ground 11 down the plane of the lid 7 adjacent. Unfolded ( 1 ) takes the drawer 13 an open position in which the rear wall 12 approximately parallel to the part plane 15 runs obliquely upwards, so that the transport container 5 along the back wall 12 sliding into the drawer 13 can be used, which in particular for larger transport containers and their corresponding weight - for example, plate-shaped elements with a diameter of 300 mm - the feed much easier, especially in the open position, the upper edge 17 the back wall 12 well below the top wall 16 the recording 2 lies, with a correspondingly large inlet cross section when inserted into the drawer 13 , In the part level 15 is one with closed recording 4 the over the fold-out folding drawer 13 to be released opening cross-section, at 53 indicated seal arrangement.
Der
Schwenkweg der Klapplade 13 in Öffnungsrichtung ist durch einen
Anschlag 18 begrenzt, und bevorzugt ist die Klapplade 13 auch über ein
längenveränderliches,
elastisches Abstützelement 19, beispielsweise
einen Stützzylinder,
eine Luftfeder oder dergleichen in Richtung auf die Schließlage gemäß 2 zumindest
entlastend abgestützt.
Im Rahmen der Erfindung liegt selbstverständlich auch eine gesteuerte,
fremdkraftbetätigte
Stellvorrichtung. 1 zeigt, dass der Transportbehälter 5 bevorzugt auch
mit einer Handhabe 20 versehen sein kann, die abklappbar
oder abnehmbar ist, so dass die Handhabung des Transportbehälters 5 ohne
Beeinträchtigung
von dessen Raumbedarf in der Aufnahme 4 erleichtert ist.The pivoting path of the folding drawer 13 in the opening direction is by a stop 18 limited, and preferred is the folding drawer 13 also via a variable-length, elastic support element 19 , For example, a support cylinder, an air spring or the like in the direction of the closed position according to 2 supported at least relieving. In the context of the invention is of course also a controlled, power-operated actuator. 1 shows that the transport container 5 preferably also with a handle 20 may be provided which is hinged or removable, allowing the handling of the transport container 5 without affecting its space requirements in the recording 4 is relieved.
Zur
Anordnung des Transportbehälters 5 in der
Aufnahme 4 zeigen 1 und 2 desweiteren,
dass der Rückwand 12 bevorzugt
eine Gleitbahn, insbesondere eine Gleitleiste 21 zugeordnet sein
kann, die das Absenken des Transportbehälters 5 in die Lade 13 erleichtert,
wobei die Gleitleiste 21 zweckmäßigerweise federnd – Federn 22 – gegen
die Rückwand 12 abgestützt ist.
Hierdurch ist der Transportbehälter
bei Öffnungslage
der Lade 13 vorgespannt abgestützt, so dass beim Verschwenken
der Lade 13 in die Schließlage – und entsprechender Gewichtsverlagerung – eine Beaufschlagung
des Transportbehälters 5 in
Richtung einer Verschiebung gegen das Schleusentor 6 gegeben
ist. Der diesbezügliche
Verschiebeweg ist anschlagbegrenzt, wobei der entsprechende Anschlag
durch die vordere Begrenzungskante 23 des Bodens 24 des
Transportbehälters
und eine etwa in Flucht zur vorderen, dem Schleusentor 6 zugewandten
Fläche
des Deckels 7 liegende, dem zur Übergabestation 2 festen
Teil der Aufnahme 4 zugehörige Gegenfläche 25 gebildet
ist.For the arrangement of the transport container 5 in the recording 4 demonstrate 1 and 2 desweite ren, that the back wall 12 preferably a slideway, in particular a slide bar 21 may be associated with the lowering of the transport container 5 in the drawer 13 relieved, with the sliding strip 21 expediently springy - springs 22 - against the back wall 12 is supported. As a result, the transport container in the open position of the drawer 13 supported biased, so that when pivoting the tray 13 in the closed position - and corresponding weight shift - an admission of the transport container 5 in the direction of a shift against the lock gate 6 given is. The relevant displacement is stop-limited, with the corresponding stop by the front boundary edge 23 of the soil 24 the transport container and an approximately in flight to the front, the lock gate 6 facing surface of the lid 7 lying, to the transfer station 2 fixed part of the recording 4 associated counter surface 25 is formed.
1 und 2 veranschaulichen
desweiteren schematisiert eine federbelastete, mechanische Verriegelung 26 des
Deckels 7, die, wie die Darstellungen 1 bis 4 im
Vergleich erkennen lassen, beim Schließen der Aufnahme 4 durch
Einschwenken der Klapplade 13 und Auflaufen auf eine der Oberwand 16 der
Aufnahme 4 zugeordnete Gegenfläche zumindest soweit gelöst wird,
dass nur noch eine Vorverriegelung gegeben ist. Hierzu ist die Verriegelung 26 durch
eine in Richtung auf seine Verriegelungslage federnd belastete Klinke 54 gebildet,
die im überdeckenden
Eingriffsbereich zum Deckel 7 schneidenartig angeschrägt ist,
so dass entsprechende Auflaufflächen
gebildet sind, über
die die Klinke 54 beim Abnehmen des Deckels 7 aus
der Vorverriegelungsstellung abgedrängt wird, bzw. beim Aufsetzen
des Deckels 7 soweit gegen ihre Federabstützung angehoben
wird, dass ein die Vorverriegelung sichernder Rastanschlag überfahren
wird. 1 and 2 further illustrate schematically a spring-loaded, mechanical locking 26 of the lid 7 that, like the representations 1 to 4 in comparison, when closing the recording 4 by swinging the folding drawer 13 and accumulating on one of the top wall 16 the recording 4 associated mating surface is at least as far solved that only one pre-locking is given. This is the lock 26 by a pawl resiliently loaded in the direction of its locking position 54 formed in the overlapping engagement area to the lid 7 beveled like a blade, so that corresponding ramp surfaces are formed, over which the pawl 54 when removing the lid 7 is pushed out of the Vorverriegelungsstellung, or when placing the lid 7 as far as raised against their spring support that a pre-locking locking catch stop is run over.
Ausgehend
von 1 zeigt der Vergleich zur 3, dass
das Schleusentor 6, das in der Schließlage der Aufnahme 4 ebenenparallel
zum Deckel 7 liegt, zum Abnehmen des Deckels 7 gegen
diesen verfahrbar und an diesen anzulegen ist (3),
so dass sich eine tragende Verbindung zwischen Deckel 7 und
Schleusentor 6 ergibt.Starting from 1 shows the comparison to 3 that the floodgate 6 in the closed position of the recording 4 plane parallel to the lid 7 lies, to remove the lid 7 can be moved against and attached to this ( 3 ), so that there is a load-bearing connection between lids 7 and floodgate 6 results.
Im
Ausführungsbeispiel
wird diese tragende Verbindung durch Unterdruck sichergestellt,
wobei Schleusentor 6 und Deckel 7, aneinander
anliegend (3) eine Unterdruckkammer 27 umgrenzen.
Unabhängig
davon, oder ergänzend,
kann auch eine magnetische Anbindung vorgesehen werden, wobei die
Magneten umfangsseitig zur angedeuteten Dichtung 55 angeordnet
sein sollten. Zusätzlich
kann zur Sicherung der tragenden Verbindung mit Tragstiften 28 gearbeitet
werden. Ist der Deckel 7 an das Schleusentor 6 angelegt
und tragend mit diesem verbunden, so wird das Schleusentor 6 mit
dem Deckel 7 gegen die Übergabe station 2 zurückgefahren
und erreicht damit gemäß 2 und 4 eine
Lage, in der für das
Schleusentor 6 mit dem Deckel 7 eine die Übergabeöffnung 3 freigebende
Stellung (4) erreichbar ist. Damit kann
der Beschickungsvorgang im Sinne des End- und Beladens des Transportbehälters 5 durchgeführt werden.In the exemplary embodiment, this supporting connection is ensured by negative pressure, with lock gate 6 and lid 7 , juxtaposed ( 3 ) a vacuum chamber 27 circumscribe. Regardless, or in addition, a magnetic connection can be provided, the magnets circumferentially to the indicated seal 55 should be arranged. In addition, to secure the bearing connection with support pins 28 to be worked. Is the lid 7 to the floodgate 6 created and carrying connected with this, so will the lock gate 6 with the lid 7 against the handover station 2 moved back and reached in accordance with 2 and 4 a situation in which for the floodgate 6 with the lid 7 one the transfer opening 3 releasing position ( 4 ) is reachable. Thus, the loading process in the sense of loading and unloading the transport container 5 be performed.
Zum
Verfahren des Schleusentores in Hochrichtung – Pfeil 29 – ist ein
nicht dargestelltes Hubwerk vorgesehen, das beispielsweise durch
einen Linearantrieb in Form eines Zylinders oder eines Spindelantriebes
gebildet sein kann. Der Hubversatz kann aber auch über die
Hubverstellung des nicht dargestellten, beispielsweise in der Übergabestation 2 angeordneten
Handhabungsgerätes
vorgenommen werden.To move the lock gate in the vertical direction - arrow 29 - An unillustrated lifting mechanism is provided, which may be formed for example by a linear drive in the form of a cylinder or a spindle drive. But the stroke offset can also on the stroke adjustment of the not shown, for example in the transfer station 2 arranged handling device can be made.
Mit
dem nicht dargestellten Hubwerk kann zweckmäßigerweise die Verstellvorrichtung
für den Versatz
des Schleusentores 6 in Richtung auf den Deckel 7 – Pfeil 30 – verbunden
sein, wobei diese Verstellvorrichtung im Ausführungsbeispiel durch einen
Hubarm in Form eines Verstellzylinders 31 veranschaulicht
ist, der eine Kolbenstange 32 aufweist. Die Kolbenstange 32 ist
hohlgebohrt und bildet im Ausführungsbeispiel
gleichzeitig einen Teil der Anschlussverbindung für die Unterdruckversorgung
des Unterdruckraumes 27. Desweiteren ist die Kolbenstange 32,
gegebenenfalls aber auch die Kolbenstange 32 zusammen mit
dem Verstellzylinder 31 um die Zylinderachse drehbar, so
dass über
einen radialen, als Schwenkfinger ausgebildeten Ansatz 33 der Kolbenstange 32 durch
Hintergreifen einer hakenförmigen
Aufnahme 34 am Schleusentor 6 eine lösbare Verbindung
zwischen dem Verstellzylinder 31 als Hubarm und dem Schleusentor 6 hergestellt
werden kann. Eine solche lösbare
Anordnung ist erforderlich, wenn das nicht dargestellte Hubwerk
Zusatzfunktionen wahrzunehmen hat, so beispielsweise bei Nutzung
der Höhenverstellbarkeit
des Handhabungsgerätes
als Hubwerk, um Schleusentor 6 und Hubwerk zu verkuppeln.With the lifting mechanism, not shown, advantageously the adjusting device for the displacement of the lock gate 6 towards the lid 7 - arrow 30 - Be connected, said adjusting device in the embodiment by a lifting arm in the form of an adjusting cylinder 31 which illustrates a piston rod 32 having. The piston rod 32 is hollow drilled and forms in the embodiment at the same time a part of the connection connection for the vacuum supply of the vacuum chamber 27 , Furthermore, the piston rod 32 , but possibly also the piston rod 32 together with the adjusting cylinder 31 rotatable about the cylinder axis, so that via a radial, designed as a pivot finger approach 33 the piston rod 32 by engaging behind a hook-shaped receptacle 34 at the floodgate 6 a detachable connection between the adjusting cylinder 31 as a lifting arm and the lock gate 6 can be produced. Such a detachable arrangement is required if the hoist, not shown, has to perform additional functions, such as when using the height adjustment of the handling device as a hoist to lock gate 6 and to connect the hoist.
In
der Druckversorgung der Kammer 27 sind Anschlüsse 35 und 36 gezeigt,
die als Sauganschluss 35 und als Druckanschluss 36 jeweils
in Gegenrichtung sperren.In the pressure supply of the chamber 27 are connections 35 and 36 shown as a suction port 35 and as a pressure connection 36 each lock in the opposite direction.
5 und 6 zeigen
eine analoge Lösung
für die
Halterung des Deckels 7 des Transportbehältes 5,
in dem der Aufnahmeraum 37 des Transportbehälters 5 wahlweise
mit einer Unterdruckquelle verbunden wird (5) oder
atmosphärisch
beaufschlagt wird (6), wobei auch hier im jeweiligen Anschluss 38 bzw. 39 eine
Rückschlagsicherung
vorgesehen ist. 5 and 6 show an analogous solution for holding the lid 7 of the transport container 5 in which the recording room 37 of the transport container 5 optionally connected to a vacuum source ( 5 ) or atmospherically ( 6 ), whereby here also in the respective connection 38 respectively. 39 a kickback is provided.
Nicht
dargestellt ist in den 1 bis 4, dass
der Deckel 7 ebenfalls, gegebenenfalls magnetisch, zum
Transportbehälter
und/oder zum Schleusentor 6 festgelegt werden kann, während für das Schleusentor 6 in
seiner Schließlage
eine Sicherung über
Magnete 40 veranschaulicht ist, in entsprechender Weise
aber auch – gegebenenfalls
zusätzlich – über Unterdruck
eine entsprechende Lagesicherung für das Schleusentor 6 realisiert
werden könnte.
Soweit eine atmosphärische
Abgrenzung erforderlich, sind zusätzlich entsprechende Dichtungsanordnungen
vorzusehen, so auch zwischen Schleusentor 6 und Wand 1,
wenn das Schleusentor als Ventilplatte die Übergabeöffnung 3 abdeckt und
gegebenenfalls durch in der Übergabestation 2 herrschenden
Unterdruck in seiner Schließlage
gehalten wird, bis eine Druckangleichung durch entsprechende Beaufschlagung
der Aufnahme 4 erreicht ist.Not shown in the 1 to 4 that the lid 7 also, if necessary magne table, to the transport container and / or to the lock gate 6 can be set while for the floodgate 6 in its closed position a fuse over magnets 40 is illustrated, in a corresponding manner but also - optionally in addition - via vacuum a corresponding position assurance for the lock gate 6 could be realized. Insofar as an atmospheric demarcation is required, appropriate sealing arrangements shall be provided in addition, including between the lock gate 6 and wall 1 when the floodgate as a valve plate the transfer opening 3 covering and, where appropriate, in the transfer station 2 prevailing negative pressure is maintained in its closed position until a pressure equalization by appropriate action on the recording 4 is reached.
7 und 8 zeigen
eine weitere Möglichkeit
für das
Abdecken einer Öffnung 41 durch
ein Schleusentor 42, wobei das Schleusentor 42 mit
einem Linearantrieb in Form eines Stellzylinders in Hubrichung – Pfeil 44 – verstellbar
ist. Das Schleusentor 42 wird bei dieser Lösung in
seiner die Öffnung 41 überdeckenden,
in 7 dargestellten Schließlage über eine Spannaufnahme 45 in
dieser Schließlage
gehalten, wobei die Spannaufnahme 45 ein das Schleusentor 42 hakenförmig übergreifendes Spannelement 46 aufweist,
in das das Schleusentor 42 beim Schließen über den Stellzylinder 43 mit
seinem angeschrägten stirnseitigen
Randbereich 47 einfährt
und dadurch in Richtung auf die schließende Anlagestellung zur Umgrenzung 48 der Öffnung 41 verspannt
wird. Bevorzugt ist dem Spannelement im Auflaufbereich zum angeschrägten Randbereich eine
Andrückrolle 49 zugeordnet. 7 and 8th show another way to cover an opening 41 through a floodgate 42 , where the lock gate 42 with a linear drive in the form of an actuating cylinder in stroke direction - arrow 44 - is adjustable. The floodgate 42 in this solution in his the opening 41 covering, in 7 shown closed position via a clamping receptacle 45 held in this closed position, wherein the tension receptacle 45 a lock gate 42 hook-shaped clamping element 46 in which the lock gate 42 when closing on the actuating cylinder 43 with its bevelled frontal edge area 47 enters and thereby towards the closing investment position for the boundary 48 the opening 41 is strained. Preferably, the clamping element in the overflow area to the beveled edge region is a pressure roller 49 assigned.
Gegenüberliegend
zur Spannaufnahme 45 ist bevorzugt seitlich zur Öffnung 41 eine
weitere Rollenführung 50 für das Schleusentor 42 vorgesehen, die
für das
Schleusentor 42 eine gegenüber der Umgrenzung 48 abgehobene
Verfahrlage bestimmt. Hierzu weist das Schleusentor 42 im Übergang
auf den Stellzylinder 43 bzw. dessen Kolbenstange 51 einen
quer zu seiner Ebene leicht abgekröpften Schwenkarm 52 auf,
der bei geschlossenem Schleusentor 42 im Bereich der Rollenführung 50 liegt
und der bezogen auf die Achse des Stellzylinders 43 bzw. der
Kolbenstange 51 schwenkbar ist, und zwar bevorzugt um diese
Achse, so dass sich beim Einlaufen des Schwenkarmes 52 aufgrund
von dessen Abkröpfung
jeweils eine Verlagerung des Schleusentores 42 quer zur
Ebene der Öffnung 41 ergibt.Opposite to the clamping fixture 45 is preferred laterally to the opening 41 another role leadership 50 for the floodgate 42 provided for the lock gate 42 one opposite the boundary 48 lifted traversing determined. For this purpose, the lock gate 42 in the transition to the actuating cylinder 43 or its piston rod 51 a slightly bent transversely to its plane arm 52 on, the closed lock gate 42 in the area of roller guidance 50 is located and related to the axis of the actuating cylinder 43 or the piston rod 51 is pivotable, and preferably around this axis, so that when entering the pivot arm 52 due to its bend each a shift of the lock gate 42 across the plane of the opening 41 results.
Eine
derartige Lösung
für die
Betätigung
eines Schleusentores zeichnet sich durch besondere Einfachheit aus
und ermöglicht,
beispielsweise in Verbindung mit entsprechenden Saugstellern, die quer
zur Ebene des Schleusentores 42 ausfahrbar sind, auch die Übernahme
des Deckels 7. Zweckmäßigerweise
liegen die Rollenführungen 50 im
Randbereich des Schleusentores 42, während die gegenüberliegende
Spannaufnahme 45 auch durch eine in Querrichtung des Schleusentores 42 mittig
liegende Spannaufnahme 45 gebildet sein kann.Such a solution for the operation of a sluice gate is characterized by particular simplicity and allows, for example, in conjunction with corresponding suction plates, transversely to the level of the sluice gate 42 extendable, including the acquisition of the lid 7 , Conveniently, the roller guides 50 in the edge area of the lock gate 42 while the opposite tension mount 45 also by a transversely of the lock gate 42 central clamping fixture 45 can be formed.
Im
Rahmen der Erfindung liegt auch eine weitere Ausgestaltung, bei
der der Querschnitt der über
das Schleusentor 6 abzudeckenden Übergabeöffnung 3 in Hochrichtung 29 kleiner
ist als der für
den Zugriff auf die in der Stapelbox 9 angeordneten Elemente 10 notwendige
Höhenversatz
des Handhabungsgerätes.
Dies wird dadurch ermöglicht,
dass der Transportbehälter 5 seinerseits
in der Aufnahme 4 höhenverstellbar
angeordnet wird. Hierzu muß die Aufnahme 4 in
ihrer lichten Innenhöhe – was nicht
gezeigt ist – ein
entsprechendes Übermaß gegenüber dem
Transportbehälter 5 aufweisen,
so dass dieser bezüglich
der jeweils zu überführenden
Elemente 10 in Überdeckung
zur Übergabeöffnung 3,
bzw. zu den möglichen
Arbeitsebenen des Handhabungsgerätes gebracht
werden kann. Insbesondere ist es hierfür zweckmäßig, den Transportbehälter 5 seinerseits über eine
Hubverstellvorrichtung abzustützen
die – bei
abgedichteter Verbindung zur Aufnahme 4 beispielsweise über einen
Faltenbalg – außerhalb
der Aufnahme 4 liegt. Besonders in Verbindung mit einer derartigen
Lösung
ist es zweckmäßig, die
atmosphärischen
Bedingungen in der Aufnahme 4 durch entsprechende Anschlüsse unabhängig gestalten
zu können,
so dass beispielsweise in Vorbereitung auf den Anschluss an die Übergabestation
eine Anpassung vorgenommen werden kann. Dem Transportbehälter 5 ist
bei einer derartigen Lösung
bevorzugt ein höhenverstellbarer, über die
Hubverstellvorrichtung beaufschlagter, insbesondere mit dieser verbundener
Boden zugeordnet, wobei die Beschichtung grundsätzlich in einer Position erfolgen
kann, die der im Ausführungsbeispiel
gezeigten Position entspricht.In the context of the invention is also another embodiment in which the cross section of the lock gate 6 Covering transfer opening 3 in the vertical direction 29 smaller than the one for access to the one in the stacking box 9 arranged elements 10 necessary height offset of the handling device. This is made possible by the fact that the transport container 5 in turn, in the recording 4 is arranged adjustable in height. For this purpose, the recording 4 in their clear inner height - which is not shown - a corresponding oversize relative to the transport container 5 have, so that this with respect to the respective elements to be transferred 10 in overlap to the transfer opening 3 , or can be brought to the possible working levels of the handling device. In particular, it is expedient for the transport container 5 in turn support it via a Hubverstellvorrichtung - when sealed connection for receiving 4 for example, via a bellows - outside the recording 4 lies. Especially in connection with such a solution, it is appropriate to the atmospheric conditions in the recording 4 be able to design independently by appropriate connections, so that for example in preparation for the connection to the transfer station an adjustment can be made. The transport container 5 is in such a solution preferably associated with a height adjustable, acted upon by the Hubverstellvorrichtung, especially associated with this ground, the coating can in principle be carried out in a position corresponding to the position shown in the embodiment.
