DE10144955A1

DE10144955A1 - Arrangement for supplying microsystems has transport container with removable lid for connection to transition station lock gate and for movement with gate to open position

Info

Publication number: DE10144955A1
Application number: DE2001144955
Authority: DE
Inventors: Klaus Huegler
Original assignee: Asys GmbH; Asys Automatic Systems GmbH and Co KG
Current assignee: Asys GmbH; Asys Automatic Systems GmbH and Co KG
Priority date: 2001-09-12
Filing date: 2001-09-12
Publication date: 2003-03-27
Anticipated expiration: 2021-09-13
Also published as: DE10144955B4

Abstract

The arrangement has a closed transport container (5) for plate elements (10) for docking with a transition station (2) for transferring the elements between the transition station and container after opening the container and a lock in the station, especially using a handling device. The container has a removable lid (7) for connection to the lock gate (6) for movement with the gate to an open position.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Beschicken von Mikrosystemen, die sich insbesondere durch die Erleichterung des Beschickungsvorganges auszeichnen, auch bei größeren plattenförmigen Elementen (300 mm Wafern), und die auch geeignet ist, unterschiedlichen und gegebenenfalls hohen Anförderung an die jeweils aufrecht zu erhaltenden atmosphärischen Bedingungen zu genügen. The invention relates to a device for loading Microsystems, which are particularly facilitated by the Characterize the loading process, even with larger ones plate-shaped elements (300 mm wafers), and which is also suitable different and possibly high promotion to the maintainable atmospheric conditions suffice.

Bei der Erfindung wird für den Transport der plattenförmigen Elemente, beispielsweise in Form von Wafern, Bauteilträgern, Werkstücken oder Werkstückträgern von einem geschlossenen Transportbehälter ausgegangen, der es seinerseits ermöglicht, einen geschützten Transport für die plattenförmigen Elemente bei vorgegebenen atmosphärischen Bedingungen durchzuführen und der an eine Übergabestation anzudocken ist, auf die die plattenförmigen Elemente nach Öffnen des Transportbehälters und einer der Übergabestation zugeordneten Schleuse zwischen der Übergabestation und dem Transportbehälter zu verlagern sind, wobei die Übergabe bevorzugt über ein Handhabungsgerät vorgenommen wird, das der Übergabestation zugeordnet ist oder die Übergabestation von einer nachgeordneten Station aus durchgreift, so dass die Übergabestation gegebenenfalls auch ein Zwischenspeicher sein kann. In the invention is used for the transport of the plate Elements, for example in the form of wafers, component carriers, Workpieces or workpiece carriers from a closed one Out of the transport container, which in turn enables protected transport for the plate-shaped elements to perform at given atmospheric conditions and which is to be docked to a transfer station to which the plate-shaped elements after opening the transport container and a lock assigned to the transfer station between the Transfer station and the transport container are to be relocated, the transfer preferably via a handling device that is assigned to the transfer station or the Transfer station from a subordinate station reaches through, so that the transfer station may also be a Can be cache.

Für die Übergabe wird der dem Transportbehälter zugeordnete und in der Andockposition dem geschlossenen Schleusentor zugewandte frontseitige Deckel des Transportbehälters von diesem entfernt, und zwar dadurch, dass er zunächst mit dem geschlossenen Schleusentor verbunden und anschließend, getragen von dem Schleusentor, mit diesem in eine die Übergabeöffnung freigebende Öffnungslage überführt wird. Es wird also erfindungsgemäß bei angedocktem Transportbehälter Schleusentor und frontseitiger Deckel des Transportbehälters quasi zu einer Toreinheit, die gemeinsam zu handhaben ist. The one assigned to the transport container is used for the transfer and in the docking position the closed lock gate facing front cover of the transport container of this removed, by first using the closed lock gate connected and then carried by the lock gate, with this into a the transfer opening releasing opening position is transferred. So it will according to the invention with docked transport container lock gate and front cover of the transport container quasi to one Gate unit that is to be handled together.

Eine derartige Verbindung von Deckel und Schleusentor lässt sich in einfacher Weise schaffen, wenn in der angedockten Lage des Transportbehälters das Schleusentor und der Deckel einander flächig gegenüberliegen und Deckel und Schleusentor durch wechselseitige Verlagerung flächig zusammengeführt werden, wobei die flächige Zusammenführung bevorzugt durch Verlagerung des Schleusentores zum Deckel erfolgt, so dass seitens des Transportbehälters bezüglich dieser Zusammenführung keine besonderen Maßnahmen zu treffen sind, zumal erfindungsgemäß im Rahmen der Zusammenführung auch ein selbsttätiges Lösen einer etwaigen Verriegelung des Deckels gegenüber dem Transportbehälter erfolgen kann. Such a connection between the cover and the lock gate leaves create yourself in a simple manner when in the docked position of the transport container, the lock gate and the lid face each other flat and cover and lock gate through mutual relocation are merged flat whereby the surface merging is preferred by relocation of the lock gate to the lid, so that the Transport container regarding this merge none special measures are to be taken, especially since according to the invention As part of the merge, an automatic release of one any locking of the lid against the Transport container can be done.

Die Ausgestaltung im Rahmen der Erfindung sieht desweiteren vor, dass das Schleusentor mit dem Deckel in Richtung der Ebene der Übergabeöffnung verfahrbar ist, so dass sich ein flacher Aufbau ergibt, wobei Deckel und Schleusentor bevorzugt in Hochrichtung verfahrbar sind, entsprechend dem Handhabungsgerät zur Erfassung der in Hochrichtung übereinander angeordneten plattenförmigen Elemente im Transportbehälter, wobei diese Elemente gestapelt gegeneinander abgestützt oder beabstandet zueinander über randseitige Auflagen getragen sind und wobei die Anordnung unmittelbar im Transportbehälter oder unter Vermittlung einer Stapelbox als Zwischenträger erfolgen kann. The configuration within the scope of the invention also provides before that the lock gate with the lid towards the Level of the transfer opening is movable, so that a flat construction results, with lid and lock gate preferably in Are vertically movable, according to the Handling device for the detection of one another in the vertical direction arranged plate-shaped elements in the transport container, these Elements stacked against each other or spaced apart are carried to each other over edge supports and where the arrangement directly in the transport container or under A stack box can be arranged as an intermediate carrier.

Die Verbindung zwischen Deckel und Schleusentor kann im Rahmen der vorgesehenen flächigen Zuordnung mit geringen Kräften magnetisch oder auch über Unterdruck erfolgen. The connection between the cover and the lock gate can be made in the frame the planned area allocation with low forces done magnetically or via negative pressure.

Im Rahmen der Erfindung kann das Schleusentor über ein Hubwerk verfahrbar sein, das isoliert der Betätigung des Schleusentores, gegebenenfalls mit getragenem Deckel, oder zusätzlich auch anderen Zwecken dient, so beispielsweise der Hubverstellung des Handhabungsgerätes, wobei die quer zur Hubverstellung des Schleusentores erfolgende Relativbewegung von Schleusentor zu Deckel bevorzugt über einen gesonderten längenverstellbaren Hubarm erfolgen kann. Der Hubarm ist bevorzugt im Übergang zwischen Schleusentor und Hubwerk angeordnet. Die Querverstellung zwischen Deckel und Schleusentor kann im Rahmen der Erfindung aber auch durch einen Querversatz des Schleusentores in Verbindung mit einer Hubbewegung desselben erfolgen, oder über eine vom Hubwerk unabhängige Betätigungsvorrichtung. In the context of the invention, the lock gate can be lifted be movable, which isolates the actuation of the Lock gates, possibly with a worn lid, or in addition also serves other purposes, such as the Stroke adjustment of the handling device, the transverse to the stroke adjustment of the lock gate relative movement of the lock gate to cover preferably via a separate adjustable length Lift arm can be done. The lifting arm is preferably in transition arranged between the lock gate and hoist. The Transverse adjustment between the cover and the lock gate can be carried out as part of the Invention but also by a transverse offset of the lock gate in connection with a lifting movement of the same, or via an actuation device that is independent of the hoist.

Bevorzugt ist der Hubarm als Hubzylinder ausgebildet, womit auf gebräuchliche Bauelemente zurückgegriffen werden kann und wobei eine solche Lösung auch eine einfache Verrastung des Hubarmes gegen das Schleusentor ermöglicht, was zweckmäßig ist, wenn der Hubarm die Tragverbindung zwischen Hubwerk und Schleusentor darstellt, aber auch, wenn der Hubarm ein eigenständiges, vom Hubwerk unabhängiges Betätigungselement bildet, das nur für den erforderlichen Querversatz zwischen Schleuse und Deckel mit dem Hubarm verkuppelt wird. The lifting arm is preferably designed as a lifting cylinder, with which can be used on common components and such a solution also a simple latching of the Lift arm against the lock gate allows, which is useful if the lifting arm is the supporting connection between the lifting gear and Lock gate represents, but also when the lifting arm is on forms an independent actuating element that is independent of the hoist, that only for the necessary transverse offset between the lock and the cover is coupled to the lifting arm.

Insbesondere ermöglicht die Verwendung eines Hubzylinders als Hubarm auch eine einfache Lösung für eine Unterdruckverbindung zum Schleusentor, beispielsweise durch Verwendung einer hohlen, als Leitung dienenden Kolbenstange, sowie eine einfache Lösung einer Verriegelungsverbindung zwischen Hubarm und Schleuse durch Drehen der Kolbenstange bzw. des Zylinders um die Zylinderachse. In particular, the use of a lifting cylinder enables Lift arm also a simple solution for a vacuum connection to the lock gate, for example by using a hollow piston rod serving as a line, as well as a simple one Solution of a locking connection between the lifting arm and Lock by turning the piston rod or the cylinder the cylinder axis.

Im Rahmen der Erfindung liegt es auch, die tragende Verbindung zwischen Schleusentor und Deckel in anderer Weise, beispielsweise magnetisch oder auch mechanisch herzustellen, wobei es auch im Rahmen der Erfindung liegt, die Distanz zwischen Schleusentor und Deckel durch dem Schleusentor zugeordnete, ausfahrbare Elemente beispielsweise in Form von Magnet- oder Sauggreifern zu überbrücken und den Deckel über diese Greifer gegen das Schleusentor zu verlagern und/oder zu fixieren. The load-bearing connection is also within the scope of the invention between the lock gate and cover in a different way, for example, magnetically or mechanically, it also within the scope of the invention, the distance between Lock gate and cover through the lock gate assigned, extendable elements, for example in the form of magnetic or Bridge suction cups and cover the grippers to shift and / or fix against the lock gate.

Ebenso wie für den Hubarm erweist sich auch für das Schleusentor ein Linearantrieb als zweckmäßig, der in Form eines Hubzylinders oder auch in Form eines Spindeltriebes ausgebildet sein kann, so dass auch diesbezüglich auf gebräuchliche Elemente zurückgegriffen werden kann. Just like for the lifting arm, it also turns out to be the case Lock gate a linear drive as appropriate, which is in the form of a Lift cylinder or in the form of a spindle drive can be, so that also in this regard to common Elements can be used.

Bei Verwendung eines derartigen Linearantriebes kann ein nahezu linearer Querversatz des Schleusentores gegen den Deckel auch mit einer schwenkbaren Verbindung des Schleusentores zum Linearantrieb realisiert werden, da nur kleine Wege zu überbrücken sind, wobei es sich als zweckmäßig erweist, mit einem Schwenkarm zu arbeiten, der mit dem Linearantrieb verbunden ist und bevorzugt zum Linearantrieb eine zu dessen Hubrichtung parallele Schwenkachse aufweist. When using such a linear drive, a almost linear transverse offset of the lock gate against the lid also with a swiveling connection of the lock gate to the Linear drive can be realized because there are only small ways to are bridged, it proving to be expedient, with a Swivel arm to work, which is connected to the linear drive is and preferably to the linear drive one to its stroke direction has parallel pivot axis.

Insbesondere in Verbindung mit im Rahmen der Erfindung liegenden Lösungen, bei denen dem Schleusentor Einrichtungen zugeordnet sind, die unter Überbrückung des Abstandes zum Deckel in den Deckel eingreifend, oder am Deckel angreifend diesen vom Transportbehälter abheben und mit dem Schleusentor kuppeln, können auch besonders einfache, durch Hubzylinder gebildete Hubwerke zur Betätigung des Schleusentores Verwendung finden, wobei die Hubwerke als Linearantriebe, beispielsweise in Form von Stellzylindern oder Stellspindeln ausgebildet sind, die in der Verbindung zur Schleuse eine Querbeweglichkeit ermöglichen, wobei diese Querbeweglichkeit dazu genutzt werden kann, die Schleuse bei Verrastung in ihrer Schließlage beispielsweise in ein der Übergabestation zugeordnetes Spannmaul einzufahren, das nur einen geringen Übergriffsbereich zur Schleuse hat, so dass die Schleuse ansonsten, insbesondere nach Freigabe durch das Spannmaul, weitgehend reibungsfrei, beispielsweise über eine Rollenführung, und somit nahezu berührungsfrei geführt werden kann. In particular in connection with within the scope of the invention lying solutions where the lock gate facilities are assigned, bridging the distance to the lid engaging in the lid or engaging the lid Lift off the transport container and use the lock gate couple, can also be particularly simple, thanks to lifting cylinders Formed hoists to operate the lock gate use find, the hoists as linear drives, for example in the form of actuating cylinders or adjusting spindles are one in the connection to the lock Enable transverse mobility, this transverse mobility used for this the lock can be locked in its closed position for example in one assigned to the transfer station Retract jaw that only a small area of overlap Lock has, so the lock otherwise, in particular after approval by the jaw, largely without friction, for example via a roller guide, and thus almost can be performed without contact.

Eine diesbezügliche Rollenführung kann insbesondere im Bereich der dem Spannmaul gegenüberliegenden, quer zum Linearantrieb verlaufenden Seite der Übergabeöffnung liegen, wobei eine solche Rollenführung in Verbindung mit der Anlenkung des Schleusentores am als Linearantrieb ausgebildeten Hubwerk eine Führungsebene für die Schleuse bestimmen kann, die durch entsprechende Schwenkverbindung von Schleusentor zu Linearantrieb beim Einfahren in das Spannmaul durch Querversatz eine dichtende Anlage des Schleusentores zum die Übergabeöffnung umschließenden Bereich der Übergabestation ermöglicht. A relevant role management can be particularly in the area the opposite of the jaw, across the linear drive extending side of the transfer opening, one such role leadership in connection with the articulation of the Lock gates on the hoist designed as a linear drive Management level for the lock can be determined by Corresponding swivel connection from lock gate to linear drive when entering the jaw by a transverse offset sealing system of the lock gate to the transfer opening surrounding area of the transfer station.

Als besonders vorteilhaft zum Verbringen des Transportbehälters in eine das Andocken an die Übergabestation ermöglichende Position erweist sich eine Lösung, die auch im Rahmen der Erfindung mit Vorteil zu nutzen ist, bei der der Aufnahmebehälter in eine die Übergabeöffnung umschließende, der Übergabestation vorgelagerte Aufnahme einsetzbar ist, die auskragend zur Übergabestation angeordnet als geschlossener und aufklappbarer Kasten ausgebildet ist, wobei der Kasten zweckmäßigerweise so zu öffnen ist, dass der Transportbehälter von oben in diesen einsetzbar ist. As particularly advantageous for spending the Transport container in a the docking to the transfer station Position proves a solution that is also within the scope of Invention is to be used with advantage, in which the Receiving container in a, the Transfer station upstream recording can be used, the cantilever arranged to the transfer station as a closed and hinged box is formed, the box It is expedient to open the transport container from above this can be used.

Hierfür ist eine Teilung des Kastens in einer etwa diagonal verlaufenden Kastenebene besonders zweckmäßig, wobei die Schwenkachse für den ausklappbaren Kastenteil bevorzugt nahe dieser Diagonalebene und der Ebene der Übergabeöffnung dem Bodenbereich des Kastens zugeordnet ist. Hierdurch bildet der Aufnahmeteil in seiner aufgeklappten, geöffneten Lage eine schräg nach oben geöffnete Lade, die durch den Boden und die Rückwand des Kastens begrenzt ist, so dass auch schwerere Transportbehälter leicht einzusetzen sind und, als weiterer Vorteil, durch Einschwenken der Lade die Andockposition für den Transportbehälter gegenüber der Übergabestation anschlagbegrenzt mit geringem Kraftaufwand anfahrbar ist. For this is a division of the box in an approximately diagonal running box level particularly useful, the Swivel axis for the fold-out box part preferably close this diagonal plane and the plane of the transfer opening Floor area of the box is assigned. This forms the Receiving part in its opened, open position Drawer opened diagonally upwards, through the bottom and the Back wall of the box is limited, making it heavier Transport containers are easy to use and, as another Advantage, by swiveling the drawer into the docking position for the transport container opposite the transfer station can be approached with little effort.

Eine derartige Lösung macht es möglich, über den Transportbehälter sowohl während des Transportes vorgegebene atmosphärische Bedingungen aufrechtzuerhalten, wie auch, bei geringen schädlichen Volumina, über die der Übergabestation vorgelagerte Aufnahmekammer diese atmosphärischen Bedingungen für die Übergabe zu gewährleisten, gegebenenfalls in der Übergabestation gegebene, verschärfte atmosphärische Bedingungen, so insbesondere Rein- oder Reinstraumbedingungen, auch für den Beschickungsvorgang schon herzustellen, wozu es zweckmäßig ist, auch für die Aufnahmekammer, insbesondere unabhängig von der Übergabestation, Rein- oder Reinstraumbedingungen aufzubauen. Such a solution makes it possible to Transport container specified both during transport maintain atmospheric conditions, as well, at low harmful volumes above that of the transfer station upstream receiving chamber these atmospheric conditions for the Ensure delivery, if necessary in the Transfer station given, tightened atmospheric conditions, see above especially clean or clean room conditions, also for the Already manufacture the loading process, for which it is useful also for the reception chamber, especially regardless of the Transfer station to set up clean or clean room conditions.

Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen. Ferner wird die Erfindung nachstehend anhand eines Ausführungsbeispieles erläutert. Es zeigen: Further details and features of the invention emerge from the claims. Furthermore, the invention is as follows explained using an exemplary embodiment. Show it:

Fig. 1 eine Schnittdarstellung, vereinfacht, einer Vorrichtung zum Beschicken von Mikrosystemen mit über von einem Transportbehälter aufgenommenen plattenförmigen Elementen, wobei für den Transportbehälter eine einer Übergabestation zugeordnete Aufnahme vorgesehen ist, die zur Übergabestation eine über ein Schleusentor verschließbare Übergabeöffnung aufweist, wobei die Aufnahme geöffnet gezeigt ist, Fig. 1 is a sectional view, simplified, of a device for loading microsystems with plate-shaped elements accommodated by a transport container, wherein a receptacle assigned to a transfer station is provided for the transport container, which receptacle has a transfer opening that can be closed by a lock gate, the receptacle being opened, the receptacle being opened is shown

Fig. 2 eine der Fig. 1 entsprechende Darstellung bei geschlossener Aufnahme, Fig. 2 shows one of Fig. 1 representation corresponding closed receptacle,

Fig. 3 eine Teildarstellung, in der die Aufnahme nur bereichsweise gezeigt ist und das Schleusentor bei geschlossener Aufnahme gegen den Deckel des Transportbehälters herangerückt ist, zur tragenden Übernahme des Deckels, Fig. 3 is a partial view in which the receptacle is only partially shown and the lock gate is moved up in the closed receptacle against the lid of the transport container, for supporting the acquisition of the lid,

Fig. 4 eine der Fig. 3 entsprechende Darstellung, in der das Schleusentor mit dem von ihm getragenen Deckel in eine die Übergabeöffnung freigebende Stellung verfahren ist, Fig. 4 is a FIG. 3 corresponding representation in which the sluice gate is moved to the lid carried by it in the transfer opening a releasing position,

Fig. 5 und 6 einander entsprechende Ausschnittsdarstellungen, die die Halterung des Deckels des Transportbehälters durch Unterdruckbeaufschlagung zur Fixierung des Deckels und den Anschluss an die Atmosphäre zur Freigabe des Deckels zeigen, sowie Figures 5 and 6 mutually corresponding segment representations., Showing the mounting of the lid of the transport container by means of vacuum pressure for fixing of the lid and the connection to the atmosphere for the release of the lid, and

Fig. 7 und 8 eine eigenständige, die Betätigung eines Schleusentores zum Öffnen und Schließen einer Übergabeöffnung veranschaulichende Lösung. FIGS. 7 and 8 an independent actuation of a lock gate for opening and closing a transfer opening illustrative solution.

Ausgehend von den Darstellungen gemäß Fig. 1 bis 4 ist mit 1 eine Wand einer ansonsten nicht dargestellten Übergabestation 2 bezeichnet, in der beispielsweise eines der in Verbindung mit Mikrosystemen bekannten Handhabungsgeräte angeordnet ist. Der Übergabestation 2 ist außenseitig auskragend in Überdeckung zu einer Übergabeöffnung 3 eine Aufnahme 4 für einen Transportbehälter 5 zugeordnet. Die Aufnahme 4 ist in Fig. 1 geöffnet und in Fig. 2 geschlossen dargestellt, und der von der Aufnahme 4 im geschlossenen Zustand umschlossene Raum ist gegen die Übergabestation 2 über ein die Übergabeöffnung 3 überdeckendes, verfahrbares Schleusentor 6 - als Ventilelement zwischen Übergabestation 2 und Aufnahme 4 - absperrbar. Das Schleusentor 6 ist über ein nicht dargestelltes Hubwerk in Hochrichtung verfahrbar und liegt in seiner geschlossenen Position gemäß Fig. 1 flächig mit Abstand dem Deckel 7 des in der geschlossenen Aufnahme 4 liegenden Transportbehälters 5 gegenüber. Letzteres lassen insbesondere Fig. 2 und 3 erkennen. Based on the illustrations according to FIGS. 1 to 4, 1 denotes a wall of a transfer station 2 is otherwise not illustrated, in the example of the known systems in connection with micro-handling equipment is arranged. The transfer station 2 is cantilevered on the outside in overlap with a transfer opening 3, a receptacle 4 for a transport container 5 . The receptacle 4 is open in FIG. 1 and shown closed in FIG. 2, and the space enclosed by the receptacle 4 in the closed state is against the transfer station 2 via a movable lock gate 6 covering the transfer opening 3 - as a valve element between the transfer station 2 and Recording 4 - lockable. The lock gate 6 can be moved in a vertical direction by means of a lifting mechanism (not shown) and, in its closed position according to FIG. 1, lies flat against the cover 7 of the transport container 5 lying in the closed receptacle 4 . The latter can be seen in particular in FIGS. 2 and 3.

Der Transportbehälter 5 ist, wie Fig. 1 und 2 erkennen lassen, bei aufgesetztem Deckel 7 allseitig geschlossen, wobei über den Deckel 7 die Eintrittsöffnung 8 freigegeben werden kann, über die, wie im Ausführungsbeispiel angedeutet, eine Stapelbox 9 mit darin gestapelt übereinander liegenden, flächigen Elementen 10 angeordnet ist, wobei diese flächigen Elemente 10 Wafer, Bauteilträger, Werkstückträger oder Werkstücke sein können, die durch entsprechende Ausbildung, bzw. durch jeweilige Zuordnung zu einem Tragrahmen, wie in der Zeichnung angedeutet, gestapelt übereinander und gegeneinander abgestützt angeordnet sein können. Abweichend vom Gezeigten ist es auch möglich, den Transportbehälter selbst als Stapelbox auszubilden oder mit Auflagen zu versehen, in denen flächige Elemente magaziniert mit Abstand zueinander abzulegen sind. The transportation container 5 is, as shown in FIG. 1 and reveal 2, closed on all sides with the cover 7, wherein can be released via the lid 7, the entrance opening 8 through which, as indicated in the exemplary embodiment, a stacking box 9 stacked therein one above the other, flat elements 10 is arranged, which flat elements 10 can be wafers, component carriers, workpiece carriers or workpieces, which can be stacked one above the other and supported against each other by appropriate training, or by respective assignment to a support frame, as indicated in the drawing. In deviation from what is shown, it is also possible to design the transport container itself as a stacking box or to provide it with supports in which flat elements are to be stored in a magazine with a spacing from one another.

Die dargestellte Lösung mit Stapelbox 9 ermöglicht, was hier allerdings nicht gezeigt ist, die Fixierung der Stapelbox 9 innerhalb des Transportbehälters 5, so dass, ausgehend von einer entsprechenden Festlegung des Transportbehälters 5 in der geschlossenen Aufnahme 4, die Stapelbox 9 eine vorgegebene Lage zur Übergabestation 2 einnimmt. The solution shown with the stacking box 9 enables, but is not shown here, the fixing of the stacking box 9 within the transport container 5 , so that, based on a corresponding fixing of the transport container 5 in the closed receptacle 4 , the stacking box 9 has a predetermined position for the transfer station 2 occupies.

Fig. 1 und 2 veranschaulichen, dass die Aufnahme 4 bevorzugt als die Stapelbox 9 dichtend umschließender Kasten ausgebildet ist, der aufklappbar ist, wobei der Boden 11 und die der Übergabeöffnung 3 gegenüberliegende Rückwand 12 mit den zugeordneten Teilen der Seitenwände eine Klapplade 13 bilden. Die Klapplade 13 ist um eine Schwenkachse 14 schwenkbar, wobei die Schwenkachse 14 benachbart zur Übergabeöffnung 3 außenseitig zur Übergabestation 2 wandnah liegt, und zwar benachbart zur etwa diagonal verlaufenden Teilebene 15 der kastenförmigen Aufnahme 4. Die diagonal verlaufende Teilebene 15 verbindet den oberen, von der Übergabestation 2 abgelegenen Eckbereich zwischen der Oberwand 16 und der Rückwand 12 der Aufnahme 4 mit der Schnittebene des Deckels 7 und des Bodens 11, und die Schwenkachse 14 ist zum Boden 11 nach unten versetzt der Ebene des Deckels 7 benachbart. Aufgeklappt (Fig. 1) nimmt die Lade 13 eine Öffnungsstellung ein, in der die Rückwand 12 etwa parallel zur Teilebene 15 schräg nach oben verläuft, so dass der Transportbehälter 5 entlang der Rückwand 12 gleitend in die Lade 13 eingesetzt werden kann, was insbesondere bei größeren Transportbehältern und entsprechendem Gewicht derselben - z. B. bei plattenförmigen Elementen mit einem Durchmesser von 300 mm - die Beschickung wesentlich erleichtert, zumal in der Offenstellung die obere Kante 17 der Rückwand 12 deutlich unterhalb der Oberwand 16 der Aufnahme 2 liegt, mit einem entsprechend großen Eintrittsquerschnitt beim Einschieben in die Lade 13. In der Teilebene 15 liegt eine bei geschlossener Aufnahme 4 den über die ausklappbare Klapplade 13 freizugebenden Öffnungsquerschnitt umschließende, bei 53 angedeutete Dichtungsanordnung. Fig. 1 and 2 illustrate that the receiver 4 preferably 9 sealingly enclosing box is formed as the stacking box, which is hinged with the bottom 11 and the transfer opening with the associated parts of the side walls 3 form opposite rear wall 12, a folding drawer 13. The folding drawer 13 can be pivoted about a pivot axis 14 , the pivot axis 14 lying adjacent to the transfer opening 3 on the outside close to the transfer station 2 , specifically adjacent to the approximately diagonally extending sub-plane 15 of the box-shaped receptacle 4 . The diagonally running sub-plane 15 connects the upper corner area, remote from the transfer station 2, between the upper wall 16 and the rear wall 12 of the receptacle 4 with the cutting plane of the cover 7 and the bottom 11 , and the pivot axis 14 is offset from the bottom 11 of the plane of the lid 7 adjacent. When opened ( FIG. 1), the drawer 13 assumes an open position in which the rear wall 12 runs obliquely upward approximately parallel to the partial plane 15 , so that the transport container 5 can be slid into the drawer 13 along the rear wall 12 , which is particularly the case with larger transport containers and corresponding weight of the same - z. B. with plate-shaped elements with a diameter of 300 mm - the loading is much easier, especially since in the open position the upper edge 17 of the rear wall 12 is clearly below the upper wall 16 of the receptacle 2 , with a correspondingly large inlet cross-section when inserted into the drawer 13 . In the sub-plane 15 there is a seal arrangement, indicated at 53, when the receptacle 4 is closed and encloses the opening cross section to be released via the fold-out folding drawer 13 .

Der Schwenkweg der Klapplade 13 in Öffnungsrichtung ist durch einen Anschlag 18 begrenzt, und bevorzugt ist die Klapplade 13 auch über ein längenveränderliches, elastisches Abstützelement 19, beispielsweise einen Stützzylinder, eine Luftfeder oder dergleichen in Richtung auf die Schließlage gemäß Fig. 2 zumindest entlastend abgestützt. Im Rahmen der Erfindung liegt selbstverständlich auch eine gesteuerte, fremdkraftbetätigte Stellvorrichtung. Fig. 1 zeigt, dass der Transportbehälter 5 bevorzugt auch mit einer Handhabe 20 versehen sein kann, die abklappbar oder abnehmbar ist, so dass die Handhabung des Transportbehälters 5 ohne Beeinträchtigung von dessen Raumbedarf in der Aufnahme 4 erleichtert ist. The pivoting path of the folding drawer 13 in the opening direction is limited by a stop 18 , and the folding drawer 13 is preferably also supported at least in a relieving manner by a variable-length, elastic support element 19 , for example a support cylinder, an air spring or the like, in the direction of the closed position according to FIG. 2. Of course, a controlled, externally powered actuating device is also within the scope of the invention. Fig. 1 shows that the transport container 5 preferably can also be provided with a handle 20 which is foldable or detachable, so that the handling of the transport container 5 without affecting the space requirement in the receptacle 4 is facilitated.

Zur Anordnung des Transportbehälters 5 in der Aufnahme 4 zeigen Fig. 1 und 2 desweiteren, dass der Rückwand 12 bevorzugt eine Gleitbahn, insbesondere eine Gleitleiste 21 zugeordnet sein kann, die das Absenken des Transportbehälters 5 in die Lade 13 erleichtert, wobei die Gleitleiste 21 zweckmäßigerweise federnd - Federn 22 - gegen die Rückwand 12 abgestützt ist. Hierdurch ist der Transportbehälter 4 bei Öffnungslage der Lade 13 vorgespannt abgestützt, so dass beim Verschwenken der Lade 13 in die Schließlage - und entsprechender Gewichtsverlagerung - eine Beaufschlagung des Transportbehälters 5 in Richtung einer Verschiebung gegen das Schleusentor 6 gegeben ist. Der diesbezügliche Verschiebeweg ist anschlagbegrenzt, wobei der entsprechende Anschlag durch die vordere Begrenzungskante 23 des Bodens 24 des Transportbehälters und eine etwa in Flucht zur vorderen, dem Schleusentor 6 zugewandten Fläche des Deckels 7 liegende, dem zur Übergabestation 2 festen Teil der Aufnahme 4 zugehörige Gegenfläche 25 gebildet ist. For the arrangement of the transport container 5 in the receptacle 4 , FIGS . 1 and 2 further show that the rear wall 12 can preferably be assigned a slide track, in particular a slide rail 21 , which facilitates the lowering of the transport container 5 into the drawer 13 , the slide rail 21 expediently resilient - springs 22 - is supported against the rear wall 12 . In this way, the transport container is supported 4 biased in opening position of the drawer 13, so that upon pivoting of the drawer 13 in the closed position - and the appropriate weight shift - a loading of the transport container is placed in the direction of displacement against the sluice gate 6. 5 The relevant displacement path is limited by the stop, the corresponding stop being provided by the front boundary edge 23 of the bottom 24 of the transport container and a counter surface 25 associated with the part of the receptacle 4 which is fixed to the transfer station 2 and which is approximately aligned with the front surface of the cover 7 facing the lock gate 6 is formed.

Fig. 1 und 2 veranschaulichen desweiteren schematisiert eine federbelastete, mechanische Verriegelung 26 des Deckels 7, die, wie die Darstellungen 1 bis 4 im Vergleich erkennen lassen, beim Schließen der Aufnahme 4 durch Einschwenken der Klapplade 13 und Auflaufen auf eine der Oberwand 16 der Aufnahme 4 zugeordnete Gegenfläche zumindest soweit gelöst wird, dass nur noch eine Vorverriegelung gegeben ist. Hierzu ist die Verriegelung 26 durch eine in Richtung auf seine Verriegelungslage federnd belastete Klinke 54 gebildet, die im überdeckenden Eingriffsbereich zum Deckel 7 schneidenartig angeschrägt ist, so dass entsprechende Auflaufflächen gebildet sind, über die die Klinke 54 beim Abnehmen des Deckels 7 aus der Vorverriegelungsstellung abgedrängt wird, bzw. beim Aufsetzen des Deckels 7 soweit gegen ihre Federabstützung angehoben wird, dass ein die Vorverriegelung sichernder Rastanschlag überfahren wird. Furthermore, FIGS. 1 and 2 illustrate schematically a spring loaded mechanical lock 26 of the lid 7, which, as the representations 1 reveal in comparison to 4, when closing the holder 4 by pivoting the hinged drawer 13 and runs onto one of the top wall 16 of the receptacle 4 assigned counter surface is at least solved so far that there is only a pre-locking. For this purpose, the locking mechanism 26 is formed by a pawl 54 which is resiliently loaded in the direction of its locking position and which is beveled in a cutting-like manner in the overlapping engagement area to the cover 7 , so that corresponding run-up surfaces are formed, via which the pawl 54 is pushed out of the pre-locking position when the cover 7 is removed is, or when placing the cover 7 so far against its spring support that a locking stop securing the pre-locking is run over.

Ausgehend von Fig. 1 zeigt der Vergleich zur Fig. 3, dass das Schleusentor 6, das in der Schließlage der Aufnahme 4 ebenenparallel zum Deckel 7 liegt, zum Abnehmen des Deckels 7 gegen diesen verfahrbar und an diesen anzulegen ist (Fig. 3), so dass sich eine tragende Verbindung zwischen Deckel 7 und Schleusentor 6 ergibt. Starting from Fig. 1 of the comparison shows the Fig. 3 in that the sluice gate 6 and situated in the closed position of the receptacle 4 on the ground parallel to the cover 7, to be applied for removing the lid 7 against this movable and to this (Fig. 3), so that there is a load-bearing connection between cover 7 and lock gate 6 .

Im Ausführungsbeispiel wird diese tragende Verbindung durch Unterdruck sichergestellt, wobei Schleusentor 6 und Deckel 7, aneinander anliegend (Fig. 3) eine Unterdruckkammer 27 umgrenzen. Unabhängig davon, oder ergänzend, kann auch eine magnetische Anbindung vorgesehen werden, wobei die Magneten umfangsseitig zur angedeuteten Dichtung 55 angeordnet sein sollten. Zusätzlich kann zur Sicherung der tragenden Verbindung mit Tragstiften 28 gearbeitet werden. Ist der Deckel 7 an das Schleusentor 6 angelegt und tragend mit diesem verbunden, so wird das Schleusentor 6 mit dem Deckel 7 gegen die Übergabestation 2 zurückgefahren und erreicht damit gemäß Fig. 2 und 4 eine Lage, in der für das Schleusentor 6 mit dem Deckel 7 eine die Übergabeöffnung 3 freigebende Stellung (Fig. 4) erreichbar ist. Damit kann der Beschickungsvorgang im Sinne des End- und Beladens des Transportbehälters 5 durchgeführt werden. In the exemplary embodiment, this load-bearing connection is ensured by negative pressure, lock gate 6 and cover 7 , adjoining one another ( FIG. 3), delimiting a negative pressure chamber 27 . Irrespective of this, or in addition, a magnetic connection can also be provided, the magnets should be arranged on the circumferential side of the indicated seal 55 . In addition, support pins 28 can be used to secure the load-bearing connection. If the cover 7 is placed on the lock gate 6 and connected to it in a load-bearing manner, the lock gate 6 with the cover 7 is moved back against the transfer station 2 and thus reaches a position in accordance with FIGS. 2 and 4 in which the lock gate 6 with the cover 7 a position opening the transfer opening 3 ( FIG. 4) can be reached. The loading process can thus be carried out in the sense of the end and loading of the transport container 5 .

Zum Verfahren des Schleusentores in Hochrichtung - Pfeil 29 - ist ein nicht dargestelltes Hubwerk vorgesehen, das beispielsweise durch einen Linearantrieb in Form eines Zylinders oder eines Spindelantriebes gebildet sein kann. Der Hubversatz kann aber auch über die Hubverstellung des nicht dargestellten, beispielsweise in der Übergabestation 2 angeordneten Handhabungsgerätes vorgenommen werden. To move the lock gate in the vertical direction - arrow 29 - a lifting mechanism, not shown, is provided, which can be formed, for example, by a linear drive in the form of a cylinder or a spindle drive. The stroke offset can, however, also be carried out via the stroke adjustment of the handling device, not shown, for example arranged in the transfer station 2 .

Mit dem nicht dargestellten Hubwerk kann zweckmäßigerweise die Verstellvorrichtung für den Versatz des Schleusentores 6 in Richtung auf den Deckel 7 - Pfeil 30 - verbunden sein, wobei diese Verstellvorrichtung im Ausführungsbeispiel durch einen Hubarm in Form eines Verstellzylinders 31 veranschaulicht ist, der eine Kolbenstange 32 aufweist. Die Kolbenstange 32 ist hohlgebohrt und bildet im Ausführungsbeispiel gleichzeitig einen Teil der Anschlussverbindung für die Unterdruckversorgung des Unterdruckraumes 27. Desweiteren ist die Kolbenstange 32, gegebenenfalls aber auch die Kolbenstange 32 zusammen mit dem Verstellzylinder 31 um die Zylinderachse drehbar, so dass über einen radialen, als Schwenkfinger ausgebildeten Ansatz 33 der Kolbenstange 32 durch Hintergreifen einer hakenförmigen Aufnahme 34 am Schleusentor 6 eine lösbare Verbindung zwischen dem Verstellzylinder 31 als Hubarm und dem Schleusentor 6 hergestellt werden kann. Eine solche lösbare Anordnung ist erforderlich, wenn das nicht dargestellte Hubwerk Zusatzfunktionen wahrzunehmen hat, so beispielsweise bei Nutzung der Höhenverstellbarkeit des Handhabungsgerätes als Hubwerk, um Schleusentor 6 und Hubwerk zu verkuppeln. The adjusting device for displacing the lock gate 6 in the direction of the cover 7 - arrow 30 - can expediently be connected to the lifting mechanism (not shown), this adjusting device being illustrated in the exemplary embodiment by a lifting arm in the form of an adjusting cylinder 31 which has a piston rod 32 . The piston rod 32 is drilled hollow and, in the exemplary embodiment, at the same time forms part of the connection for the vacuum supply of the vacuum space 27 . Furthermore, the piston rod 32 , but possibly also the piston rod 32, together with the adjusting cylinder 31, can be rotated about the cylinder axis, so that a radial connection, designed as a pivot finger 33 of the piston rod 32, by engaging behind a hook-shaped receptacle 34 on the lock gate 6, provides a releasable connection between the Adjusting cylinder 31 as a lifting arm and the lock gate 6 can be produced. Such a releasable arrangement is required if the lifting mechanism (not shown) has to perform additional functions, for example when using the height adjustability of the handling device as lifting mechanism in order to couple lock gate 6 and lifting mechanism.

In der Druckversorgung der Kammer 27 sind Anschlüsse 35 und 36 gezeigt, die als Sauganschluss 35 und als Druckanschluss 36 jeweils in Gegenrichtung sperren. In the pressure supply to chamber 27 , connections 35 and 36 are shown, which block in the opposite direction as suction connection 35 and as pressure connection 36 .

Fig. 5 und 6 zeigen eine analoge Lösung für die Halterung des Deckels 7 des Transportbehälters 5, in dem der Aufnahmeraum 37 des Transportbehälters 5 wahlweise mit einer Unterdruckquelle verbunden wird (Fig. 5) oder atmosphärisch beaufschlagt wird (Fig. 6), wobei auch hier im jeweiligen Anschluss 38 bzw. 39 eine Rückschlagsicherung vorgesehen ist. FIGS. 5 and 6 show an analogous solution for the mounting of the cover 7 of the transport container 5, in which the receiving space 37 of the transport container 5 selectively connected to a vacuum source (Fig. 5) is acted upon or atmospheric (Fig. 6), wherein also A kickback protection is provided here in the respective connection 38 or 39 .

Nicht dargestellt ist in den Fig. 1 bis 4, dass der Deckel 7 ebenfalls, gegebenenfalls magnetisch, zum Transportbehälter und/oder zum Schleusentor 6 festgelegt werden kann, während für das Schleusentor 6 in seiner Schließlage eine Sicherung über Magnete 40 veranschaulicht ist, in entsprechender Weise aber auch - gegebenenfalls zusätzlich - über Unterdruck eine entsprechende Lagesicherung für das Schleusentor 6 realisiert werden könnte. Soweit eine atmosphärische Abgrenzung erforderlich, sind zusätzlich entsprechende Dichtungsanordnungen vorzusehen, so auch zwischen Schleusentor 6 und Wand 1, wenn das Schleusentor als Ventilplatte die Übergabeöffnung 3 abdeckt und gegebenenfalls durch in der Übergabestation 2 herrschenden Unterdruck in seiner Schließlage gehalten wird, bis eine Druckangleichung durch entsprechende Beaufschlagung der Aufnahme 4 erreicht ist. It is not shown in FIGS. 1 to 4 that the cover 7 can also, optionally magnetically, be fixed to the transport container and / or to the lock gate 6 , while for the lock gate 6 in its closed position a securing via magnets 40 is illustrated in a corresponding manner However, a corresponding position securing for the lock gate 6 could also be implemented - if necessary additionally - via negative pressure. If an atmospheric delimitation is required, appropriate sealing arrangements must also be provided, including between the lock gate 6 and wall 1 , if the lock gate as the valve plate covers the transfer opening 3 and, if necessary, is held in its closed position by the negative pressure prevailing in the transfer station 2 until a pressure equalization by appropriate Actuation of the recording 4 is reached.

Fig. 7 und 8 zeigen eine weitere Möglichkeit für das Abdecken einer Öffnung 41 durch ein Schleusentor 42, wobei das Schleusentor 42 mit einem Linearantrieb in Form eines Stellzylinders in Hubrichtung - Pfeil 44 - verstellbar ist. Das Schleusentor 42 wird bei dieser Lösung in seiner die Öffnung 41 überdeckenden, in Fig. 7 dargestellten Schließlage über eine Spannaufnahme 45 in dieser Schließlage gehalten, wobei die Spannaufnahme 45 ein das Schleusentor 42 hakenförmig übergreifendes Spannelement 46 aufweist, in das das Schleusentor 42 beim Schließen über den Stellzylinder 43 mit seinem angeschrägten stirnseitigen Randbereich 47 einfährt und dadurch in Richtung auf die schließende Anlagestellung zur Umgrenzung 48 der Öffnung 41 verspannt wird. Bevorzugt ist dem Spannelement im Auflaufbereich zum angeschrägten Randbereich eine Andrückrolle 49 zugeordnet. FIGS. 7 and 8 show a further possibility for covering an opening 41 through a lock gate 42, the lock gate 42 to a linear drive in the form of an actuating cylinder in the stroke direction - arrow 44 - is adjustable. The lock gate 42 is overlapping with this solution in its opening 41, held in FIG. Closed position illustrated 7 via a clamping receptacle 45 in this closed position, whereby the chip receiver 45 a comprises the lock gate 42 of hook-shaped cross-clamping element 46, in which the lock gate 42 when closing retracts via the actuating cylinder 43 with its bevelled end edge region 47 and is thereby braced in the direction of the closing contact position to delimit 48 of the opening 41 . A pressure roller 49 is preferably assigned to the tensioning element in the run-up area to the beveled edge area.

Gegenüberliegend zur Spannaufnahme 45 ist bevorzugt seitlich zur Öffnung 41 eine weitere Rollenführung 50 für das Schleusentor 42 vorgesehen, die für das Schleusentor 42 eine gegenüber der Umgrenzung 48 abgehobene Verfahrlage bestimmt. Hierzu weist das Schleusentor 42 im Übergang auf den Stellzylinder 43 bzw. dessen Kolbenstange 51 einen quer zu seiner Ebene leicht abgekröpften Schwenkarm 52 auf, der bei geschlossenem Schleusentor 42 im Bereich der Rollenführung 50 liegt und der bezogen auf die Achse des Stellzylinders 43 bzw. der Kolbenstange 51 schwenkbar ist, und zwar bevorzugt um diese Achse, so dass sich beim Einlaufen des Schwenkarmes 52 aufgrund von dessen Abkröpfung jeweils eine Verlagerung des Schleusentores 42 quer zur Ebene der Öffnung 41 ergibt. Opposite the chip receiver 45 a further roller guide 50 is provided for the lock gate 42 preferably laterally to the opening 41 that determines a relative to the boundary 48 for the lock gate lifted Verfahrlage 42nd For this purpose, the lock gate 42 in the transition to the actuating cylinder 43 or its piston rod 51 has a swivel arm 52 which is slightly bent transversely to its plane, which, when the lock gate 42 is closed, lies in the region of the roller guide 50 and which is related to the axis of the actuating cylinder 43 or Piston rod 51 can be pivoted, preferably about this axis, so that when the swivel arm 52 comes in, the lock gate 42 is displaced transversely to the plane of the opening 41 due to its offset.

Eine derartige Lösung für die Betätigung eines Schleusentores zeichnet sich durch besondere Einfachheit aus und ermöglicht, beispielsweise in Verbindung mit entsprechenden Saugstellern, die quer zur Ebene des Schleusentores 42 ausfahrbar sind, auch die Übernahme des Deckels 7. Zweckmäßigerweise liegen die Rollenführungen 50 im Randbereich des Schleusentores 42, während die gegenüberliegende Spannaufnahme 45 auch durch eine in Querrichtung des Schleusentores 42 mittig liegende Spannaufnahme 45 gebildet sein kann. Such a solution for the actuation of a lock gate is characterized by particular simplicity and also enables the cover 7 to be taken over, for example in conjunction with corresponding suction actuators which can be extended transversely to the plane of the lock gate 42 . The roller guides 50 are expediently located in the edge region of the lock gate 42 , while the opposite clamping receptacle 45 can also be formed by a clamping receptacle 45 located centrally in the transverse direction of the lock gate 42 .

Im Rahmen der Erfindung liegt auch eine weitere Ausgestaltung, bei der der Querschnitt der über das Schleusentor 6 abzudeckenden Übergabeöffnung 3 in Hochrichtung 29 kleiner ist als der für den Zugriff auf die in der Stapelbox 9 angeordneten Elemente 10 notwendige Höhenversatz des Handhabungsgerätes. Dies wird dadurch ermöglicht, dass der Transportbehälter 5 seinerseits in der Aufnahme 4 höhenverstellbar angeordnet wird. Hierzu muß die Aufnahme 4 in ihrer lichten Innenhöhe - was nicht gezeigt ist - ein entsprechendes Übermaß gegenüber dem Transportbehälter 5 aufweisen, so dass dieser bezüglich der jeweils zu überführenden Elemente 10 in Überdeckung zur Übergabeöffnung 3, bzw. zu den möglichen Arbeitsebenen des Handhabungsgerätes gebracht werden kann. Insbesondere ist es hierfür zweckmäßig, den Transportbehälter 5 seinerseits über eine Hubverstellvorrichtung abzustützen die - bei abgedichteter Verbindung zur Aufnahme 4 beispielsweise über einen Faltenbalg - außerhalb der Aufnahme 4 liegt. Besonders in Verbindung mit einer derartigen Lösung ist es zweckmäßig, die atmosphärischen Bedingungen in der Aufnahme 4 durch entsprechende Anschlüsse unabhängig gestalten zu können, so dass beispielsweise in Vorbereitung auf den Anschluss an die Übergabestation eine Anpassung vorgenommen werden kann. Dem Transportbehälter 5 ist bei einer derartigen Lösung bevorzugt ein höhenverstellbarer, über die Hubverstellvorrichtung beaufschlagter, insbesondere mit dieser verbundener Boden zugeordnet, wobei die Beschichtung grundsätzlich in einer Position erfolgen kann, die der im Ausführungsbeispiel gezeigten Position entspricht. A further embodiment is also within the scope of the invention, in which the cross section of the transfer opening 3 to be covered via the lock gate 6 in the vertical direction 29 is smaller than the height offset of the handling device necessary for access to the elements 10 arranged in the stacking box 9 . This is made possible by the fact that the transport container 5 is in turn arranged vertically adjustable in the receptacle 4 . For this purpose, the receptacle 4 in its clear internal height - which is not shown - has a corresponding oversize with respect to the transport container 5 , so that it is brought into overlap with respect to the elements 10 to be transferred in each case to the transfer opening 3 or to the possible working levels of the handling device can. In particular, it is expedient for this purpose to support the transport container 5 in turn by means of a stroke adjustment device which, in the case of a sealed connection to the receptacle 4, for example via a bellows, lies outside the receptacle 4 . Particularly in connection with such a solution, it is expedient to be able to independently design the atmospheric conditions in the receptacle 4 by means of appropriate connections, so that, for example, an adjustment can be made in preparation for the connection to the transfer station. In the case of such a solution, the transport container 5 is preferably assigned a height-adjustable floor which is acted upon by the stroke adjustment device and in particular is connected to it, wherein the coating can in principle be carried out in a position which corresponds to the position shown in the exemplary embodiment.

Claims

1. Device for loading microsystems, in which a closed transport container ( 5 ) for plate-shaped elements ( 10 ) is to be docked to a transfer station ( 2 ) and in which the plate-shaped elements ( 10 ) after opening the transport container ( 5 ) and one of the transfer station ( 2 ) assigned lock, in particular via a handling device, between the transfer station ( 2 ) and the transport container ( 5 ) are to be moved, the transport container ( 5 ) opening towards the transfer station ( 2 ) and facing it when the lock gate ( 6 ) is closed Front has a removable cover ( 7 ) which is to be connected to the lock gate ( 6 ) and, carried over the lock gate ( 6 ), with it into an opening position releasing a transfer opening ( 3 ) between the transport container ( 5 ) and transfer station ( 2 ) is convicted.

2. Device according to claim 1, characterized in that when the transport container ( 5 ) is docked, the lock gate ( 6 ) and the cover ( 7 ) of the transport container ( 5 ) face each other flat and that the lock gate ( 6 ) by displacement against the cover ( 7 ) is to be connected to it.

3. Device according to claim 2, characterized in that the lock gate ( 6 ) is to be placed on the cover ( 7 ).

4. The device according to claim 2 or 3, characterized in that the lock gate ( 6 ) with the lid ( 7 ) in the direction of the transfer opening ( 3 ) can be moved.

5. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the cover ( 7 ) is held magnetically in flat contact with the lock gate ( 6 ).

6. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the cover ( 7 ) is held in flat contact with the lock gate ( 6 ) by negative pressure.

7. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the lock gate ( 6 ) can be moved via a lifting mechanism assigned to the transfer station ( 2 ).

8. The device according to claim 7, characterized in that the lock gate ( 6 ) is to be connected to the lifting mechanism via a length-adjustable lifting arm (adjusting cylinder 31 ) which extends transversely to the lock gate ( 6 ).

9. The device according to claim 8, characterized in that the lifting arm is designed as an adjusting cylinder ( 31 ).

10. The device according to claim 9, characterized in that the piston rod ( 32 ) of the adjusting cylinder ( 31 ) against the lock gate ( 6 ) is to be coupled.

11. The device according to claim 9 or 10, characterized in that the adjusting cylinder ( 31 ) or the piston rod ( 32 ) are rotatable or pivotable axially parallel to their extension and, engaging behind part of the lock gate ( 6 ), to couple against this are.

12. The device according to claim 11, characterized in that the piston rod ( 32 ) has a pivot finger (shoulder 33 ) which can be pivoted into a hook-shaped receptacle ( 34 ) associated with the lock gate ( 6 ) behind.

13. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the supply connection for the vacuum connection to be produced between the cover ( 7 ) and lock gate ( 6 ) runs via the length-adjustable lifting arm (adjusting cylinder 31 ).

14. The apparatus according to claim 13, characterized in that the piston rod ( 32 ) is hollow drilled in the vacuum connection.

15. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the lock gate ( 6 ) is held magnetically and / or by negative pressure and / or mechanically in its closed position to the transfer station ( 2 ).

16. The device, in particular according to one of the preceding claims, characterized in that the lock gate ( 6 ) against the transfer station ( 2 ) is assigned a sliding guide, in particular a link guide.

17. The device, in particular according to one of claims 1 to 15, characterized in that the lifting mechanism of the lock gate ( 6 ) is assigned a sliding guide, in particular a link guide relative to the transfer station ( 2 ).

18. The device, in particular according to one of claims 1 to 17, characterized in that the lock gate ( 42 ) in its closed position can be moved into a clamping receptacle ( 45 ) assigned to the transfer station ( 2 ).

19. The apparatus according to claim 18, characterized in that the clamping receptacle ( 45 ) is assigned to the front end face of the lock gate ( 42 ) in the closing direction of the lock gate ( 6 ).

20. The apparatus according to claim 19, characterized in that the end face of the lock gate ( 42 ) is chamfered.

21. The apparatus according to claim 19 or 20, characterized in that the tensioning receptacle ( 45 ) comprises a tensioning roller which engages over the lock gate ( 6 ) in the closed position.

22. Device according to one of claims 18 to 21, characterized in that in the area of the clamping receptacle ( 45 ) opposite side of the transfer opening ( 41 ), the lock gate ( 42 ) runs through a guide, in particular a roller guide ( 50 ), one for Determined the closed position of the lock gate ( 42 ) lifted management level.

23. Clamping device, in particular according to one of claims 19 to 22, characterized in that the lifting mechanism is formed by a linear drive, in particular an actuating cylinder ( 43 ).

24. The device according to claim 23, characterized in that in the connection of the linear drive to the lock gate ( 42 ) there is a pivot connection with a pivot axis parallel to the axis of the linear drive.

25. The device according to claim 24, characterized in that the lock gate ( 42 ) is connected to the linear drive via a swivel arm ( 52 ).

26. The apparatus according to claim 25, characterized in that the swivel arm ( 52 ) with closed lock gate ( 42 ) lies in the overlap region to the roller guide ( 50 ) determining a raised guide level.

27. The device, in particular according to one of the preceding claims, characterized in that the transport container ( 5 ) can be inserted into a receptacle ( 4 ) for docking to the transfer station ( 2 ) which, enclosing the transfer opening ( 3 ), is used to transfer the transfer station ( 2 ) is upstream.

28. The apparatus according to claim 27, characterized in that the receptacle ( 4 ) is designed as a closed box projecting from the transfer station ( 2 ).

29. The device according to claim 28, characterized in that the receptacle ( 4 ) is divisible and has a receptacle part (folding drawer 13 ) which can be moved into an open position for the transport container ( 5 ) to be docked to the transfer station ( 2 ).

30. The device according to claim 29, characterized in that the receiving part (folding drawer 13 ) can be pivoted open.

31. The device according to claim 30, characterized in that the receiving part (folding drawer 13 ) can be pivoted about a lying axis ( 14 ).

32. Device according to claim 30 or 31, characterized in that the receiving part (folding drawer 13 ) can be pivoted out about a pivot axis ( 14 ) assigned to the bottom side of the receptacle ( 4 ).

33. Device according to one of claims 29 to 32, characterized in that the partial plane ( 15 ) of the receptacle ( 4 ) runs obliquely from above in the direction of the transfer station ( 2 ) against the floor, in particular in the region of the pivot axis provided on the floor.

34. Device according to one of claims 29 to 33, characterized in that the partial plane ( 15 ) of the receptacle ( 4 ) passes through it almost diagonally.

35. Device according to one of claims 29 to 34, characterized in that the partial plane ( 15 ) of the receptacle ( 4 ) passes through it in the region of the upper edge remote from the transfer station ( 2 ).

36. Device according to one of claims 28 to 35, characterized in that the receiving part (fold-out tray 13) at least the predominant part of the bottom and covered by the remote to the transfer station back wall (12) and a fold, in particular by swiveling the bottom tray (13 ) forms.

37. Apparatus according to claim 36, characterized in that the swivel path of the drawer ( 13 ) which can be swung downward is stop-limited.

38. Device according to claim 36 or 37, characterized in that the drawer ( 13 ) is supported in the closing direction, in particular resiliently and / or fluidly.

39. Device according to one of claims 28 to 38, characterized in that the transport container ( 5 ), inserted into the receiving part (folding drawer 13 ), is biased towards its docking position.

40. Device according to one of claims 28 to 39, characterized in that the docking position of the transport container ( 5 ) is a stop position against an end stop of the receptacle ( 4 ).

41. Device according to claim 39 or 40, characterized in that the transport container ( 5 ) is loaded against the stop position, in particular is spring-loaded.

42. Device according to one of claims 39 to 41, characterized in that the resilient support of the transport container ( 5 ) against the receiving part (folding drawer 13 ) is assigned to the rear wall of the receptacle ( 4 ).

43. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the cover ( 7 ) of the transport container ( 5 ) in its closed position to the transport container ( 5 ) is held magnetically and / or by vacuum and / or mechanically.

44. Apparatus according to claim 43, characterized in that the mounting of the cover (7) is solved to the transport container (5) for docking the transport container (5).

45. Apparatus according to claim 44, characterized in that the holder of the lid ( 7 ) of the transport container ( 5 ) is released when the receiving part (folding drawer 13 ) of the receiving box is closed.