DE10143175A1

DE10143175A1 - Spannfutter zum Halten einer zu testenden Vorrichtung

Info

Publication number: DE10143175A1
Application number: DE10143175A
Authority: DE
Inventors: John Dunklee
Original assignee: Cascade Microtech Inc
Current assignee: FormFactor Beaverton Inc
Priority date: 2000-09-05
Filing date: 2001-09-04
Publication date: 2002-04-18
Also published as: US7423419B2; US20060028200A1; US20020027433A1; US20080048647A1; US7969173B2; US20080054883A1; US7352168B2; KR100745667B1; US20080054884A1; US7514915B2; US6965226B2; JP2002170867A; DE20114545U1; KR20020019407A; US7518358B2; US20080048648A1; US20100109695A1; US20080042642A1; US20080042374A1; US20080054885A1

Abstract

Ein Spannfutter für eine Meßstation umfaßt ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen; und einen Spannfutterbeabstandungsmechanismus, welcher mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement verbunden ist. Der Spannfutterbeabstandungsmechanismus umfaßt genau drei voneinander unabhängige Auflagen. Die Auflagen legen den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und einem weiteren Spannfuttervorrichtungselement fest.

Description

Hintergrund der Erfindung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein verbessertes Spannfutter.

Mit Bezugnahme auf die Fig. 1, 2 und 3 wird eine Meßstation erläutert, welche eine Basis 10 (teilweise gezeigt) umfaßt, die eine Gegendruckplatte 12 mittels einer Anzahl von Hebebockelementen 14a, 14b, 14c, 14d trägt, die die Gegendruckplatte jeweils individuell relativ zu der Basis um eine geringe Strecke (ungefähr ein Zehntel eines Zolls = 2,5 mm) für im folgenden näher erläuterte Zwecke vertikal anheben oder absenken. Ebenfalls durch die Basis 10 der Meßstation wird eine motorangetriebene Positioniervorrichtung 16 mit einem rechteckförmigen Stößel 18 getragen, welcher eine bewegliche Spannfuttervorrichtung 20 stützt, die einen Wafer oder andere zu testende Vorrichtungen aufnimmt. Die Spannfuttervorrichtung 20 kann ungestört durch eine große Öffnung 22 in der Gegendruckplatte 12 hindurchgehen, was es erlaubt, daß die Spannfuttervorrichtung unabhängig von der Gegendruckplatte durch die Positioniervorrichtung 16 längs einer X-, Y- und Z-Achse verschiebbar ist, das heißt, horizontal längs zweier zueinander senkrecht stehender X- und Y-Achsen und vertikal längs der Z-Achse. Auf dieselbe Weise bewegt sich die Gegendruckplatte 12, wenn sie durch die Hebebockelemente 14 vertikal bewegt wird, unabhängig vom Spannfutteraufbau 20 und der Positioniervorrichtung 16.

Auf der Gegendruckplatte 12 sind mehrere individuelle Sondenpositioniervorrichtungen aufgebracht, wie die mit 24 bezeichnete (es ist nur eine gezeigt), von denen eine jede ein vorstehendes Element 26 aufweist, auf welchem ein Sondenhalter 28 aufgebracht ist, welcher wiederum eine jeweilige Sonde 30 zum Kontaktieren von Wafern und anderen zu testenden Vorrichtungen stützt, welche auf der Spannfuttervorrichtung 20 aufgebracht sind. Die Sondenpositioniervorrichtung 24 hat Mikrometerstellvorrichtungen 34, 36 bzw. 38 zum Anpassen der Position des Sondenhalters 28 und somit der Sonde 30 längs der X-, Y- und Z- Achse, relativ zur Spannfuttervorrichtung 20. Bei der Z-Achse handelt es sich beispielhaft um eine Achse, welche im folgenden allgemein als "Annäherungsachse" zwischen dem Sondenhalter 28 und der Spannfuttervorrichtung 20 bezeichnet wird, wobei mit dem Begriff der "Annäherungsachse" auch solche Annäherungsrichtungen gemeint sein sollen, welche weder vertikal noch linear sind, und längs derer die Sondenspitze und der Wafer oder andere Testvorrichtungen in Kontakt miteinander gebracht werden. Eine weitere Mikrometerstellvorrichtung 40 verkippt in anpaßbarer Weise den Sondenhalter 28, um eine Planarität der Sonde relativ zum Wafer oder einer anderen durch die Spannfuttervorrichtung 20 gestützten Testvorrichtung zu ermöglichen. Bis zu zwölf einzelne Sondenpositioniervorrichtungen 24, von denen jede jeweils eine Sonde trägt, können auf der Gegendruckplatte 12 um die Spannfuttervorrichtung 20 angebracht sein, um radial hin zu der Spannfuttervorrichtung zusammenzulaufen, ähnlich wie die Speichen eines Rades. Mit solch einer Anordnung kann eine jede einzelne Positioniervorrichtung 24 unabhängig ihre jeweilige Sonde in der X-, Y- und Z-Richtung ausrichten, während die Hebebockelemente 14 betätigt werden können, um die Gegendruckplatte 12 und damit all die Positioniervorrichtungen 24 und ihre jeweiligen Sonden in ihrer Gesamtheit anzuheben oder abzusenken.

Ein Gehäuse zur Abschirmung von Umwelteinflüssen besteht aus einem oberen Gehäusebereich 42, welcher starr mit der Gegendruckplatte 12 verbunden ist, und einem unterem Gehäusebereich 44, welcher starr mit der Basis 10 verbunden ist. Beide Teile bestehen aus Stahl oder einem anderen passenden elektrisch leitenden Material, um eine EMI-Abschirmung zu ergeben. Um bei Betätigung der Hebebockelemente 14 kleine vertikale Verschiebungen zwischen den beiden Gehäuseteilen 42 und 44 auszugleichen, und um die Gegendruckplatte 12 anzuheben oder abzusenken, ist eine elektrisch leitende elastische Schaumdichtung 46 vorgesehen, welche bevorzugterweise aus einem mit Silber oder Kohlenstoff imprägnierten Silikon besteht und welche längs des Umfangs an der Paßlinie an der Vorderseite des Gehäuses und zwischen dem unteren Bereich 44 und der Gegendruckplatte 12 eingebracht ist, so daß eine im wesentlichen hermetisch abdichtende, eine EMI- und Licht-Abschirmung bewirkende Dichtung sich trotz der vertikalen Relativbewegung zwischen den beiden Gehäuseteilen 42 und 44 ergibt. Obwohl der äußere Gehäusebereich 42 mit der Gegendruckplatte 12 starr verbunden ist, ist eine ähnliche Dichtung 47 bevorzugterweise zwischen dem Teil 42 und der Oberseite der Gegendruckplatte eingebracht, um einen Dichtungseffekt zu maximieren.

In Fig. 5A und 5B ist gezeigt, daß die Oberseite des oberen Gehäuseteils 42 einen achtförmigen Stahlkasten 48 umfaßt, welcher acht Seitenwände aufweist, wie zum Beispiel 49a und 49b, durch welche sich die vorstehenden Elemente 26 der jeweiligen Sondenpositioniervorrichtung 24 hindurch bewegen können. Eine jede Seitenwand umfaßt ein hohles Gehäuse, in welchem jeweils eine entsprechende Folie 50 aus elastischem Schaum eingebracht ist, welche ähnlich sein kann zu dem oben erwähnten Dichtungsmaterial.

Schlitze, wie zum Beispiel 52, sind teilweise vertikal in den Schaum in Ausrichtung mit den Schlitzen 54 eingebracht, welche an der inneren und äußeren Oberfläche eines jeden Seitenwandgehäuses ausgebildet sind und durch welche ein jeweils vorstehendes Element 26 einer zugehörigen Sondenpositioniervorrichtung 24 bewegt werden kann. Der aufgeschlitzte Schaum ermöglicht Verschiebungen des vorstehenden Elements 26 einer jeden Sondenpositioniervorrichtung in X-, Y- und Z-Richtung, während eine EMI-Abschirmung sowie die im wesentlichen hermetische Abdichtung durch das Gehäuse gegeben ist. In vier der Seitenwände ist die Schaumfolie 50 zwischen einem Paar von Stahlplatten 55 und Schlitzen darin eingeschlossen, damit eine größere Reichweite der X- und Y-Verschiebung möglich ist, wobei diese Platten in Querrichtung innerhalb des Seitenwandgehäuses verschiebbar sind und zwar in einem Verschiebungsbereich, welcher durch die größeren Schlitze 56 in den inneren und äußeren Oberflächen des Seitenwandgehäuses festgelegt ist.

Auf dem achteckförmigen Kasten 48 ist eine kreisförmige Sichtöffnung 58 vorgesehen, mit einem darin eingelassenen kreisförmigen durchsichtigen Dichtungsfenster 60. Eine Klammer 62 hält eine mit einer Öffnung versehene verschiebbare Abdeckblende 64, um den Durchtritt von Licht wahlweise zu ermöglichen oder zu verhindern. Ein Stereoskop (nicht gezeigt), welches mit einem Kathodenstrahlröhrenmonitor verbunden ist, kann auf das Fenster aufgesetzt werden, um eine vergrößerte Anzeige des Wafers oder der zu vermessenden Vorrichtung und der Sondenspitze bereitzustellen, damit sich eine ordnungsgemäße Ausrichtung der Sondenspitze während des Einrichtvorgangs oder des Betriebs ergibt. Alternativ kann das Fenster 60 entfernt werden und eine Mikroskoplinse (nicht gezeigt), welche von einer Schaumdichtung umgeben ist, kann durch die Sichtöffnung 58 eingeführt werden, wobei der Schaum eine hermetisch dichte EMI- und Licht-Abschirmung darstellt. Der obere Gehäuseteil 42 des Gehäuses zur Abschirmung von Umwelteinflüssen umfaßt auch eine angelenkte Stahltür 68, welche sich um die Drehachse eines Gelenks 70 dreht, wie in Fig. 2A gezeigt. Das Gelenk drängt die Tür nach unten zur Oberseite des oberen Gehäuseteils 42 hin, so daß sich eine enganliegende, überlappende und verschiebbare Umfangsabdichtung 68a mit der Oberseite des oberen Gehäuses ergibt. Wenn die Tür geöffnet wird, und die Spannfuttervorrichtung 20 durch die Positioniervorrichtung 16 unterhalb der Türöffnung bewegt wird, wie in Fig. 2A gezeigt, ist die Spannfuttervorrichtung zum Beladen und Entladen zugänglich.

Fig. 3 und 4 veranschaulichen, daß die Funktionsfähigkeit der Abdichtung des Gehäuses auch dann erhalten wird, wenn Positionierbewegungen durch die motorangetriebene Positioniervorrichtung 16 durchgeführt werden, und zwar aufgrund der Bereitstellung einer Reihe von vier Dichtungsplatten 72, 74, 76 und 78, welche verschiebbar übereinander gestapelt sind. Die Größen der Platten vergrößern sich schrittweise von der oberen zur unteren, wie dies auch hinsichtlich der jeweiligen Größen der mittigen Öffnungen 72a, 74a, 76a und 78a der Fall ist, welche in den jeweiligen Platten 72, 74, 76 und 78 ausgebildet sind, sowie der Öffnung 79a, welche an der Unterseite 44a des unteren Gehäuseteils 44 ausgebildet ist. Die mittige Öffnung 72a in der oberen Platte 72 paßt dicht um das Lagergehäuse 18a des vertikal verschiebbaren Stößels 18. Die nächste Platte in nach unten gehender Richtung, nämlich die Platte 74, hat einen nach oben vorstehenden Umfangsrand 74b, welcher das Ausmaß der Verschiebung der Platte 72 über die Oberseite der Platte 74 beschränkt. Die mittige Öffnung 74a in der Platte 74 ist von solch einer Größe, daß sie es ermöglicht, daß die Positioniervorrichtung 16 den Stößel 18 sowie sein Lagergehäuse 18a quer längs der X- und Y-Achsen bewegt, bis die Kante der oberen Platte 72 gegen den Rand 74b der Platte 74 stößt. Die Größe der Öffnung 74a ist jedoch zu klein, als daß sie nicht durch die obere Platte 72 abgedeckt würde, wenn ein solches Anstoßen auftritt. Deshalb wird eine Abdichtung zwischen den Platten 72 und 74 unabhängig von den Bewegungen des Stößels 18 und seines Lagergehäuses längs der X- und Y-Achse eingehalten. Eine weitere Bewegung des Stößels 18 und des Lagergehäuses in Richtung des Anschlags der Platte 72 mit dem Rand 74b führt zu einer Verschiebung der Platte 74 hin zum Umfangsrand 76b der nächsten darunterliegenden Platte 76. Wiederum ist die mittige Öffnung 76a in der Platte 76 groß genug, um ein Anstoßen der Platte 74 am Rand 76b zu ermöglichen, jedoch klein genug, um die Platte 74 daran zu hindern, die Öffnung 76a freizulegen, wodurch ebenfalls wiederum die Abdichtung zwischen den Platten 74 und 76 eingehalten wird. Eine noch weitere Verschiebung des Stößels 18 und des Lagergehäuses in derselben Richtung führt zu einer ähnlichen Verschiebung der Platten 76 und 78 relativ zu ihren darunterliegenden Platten bis zu einem Anstoßen am Rand 78b und der Seite des Gehäusebereichs 74b, ohne daß die Öffnungen 78a und 79a freigelegt werden. Diese Kombination von verschiebbaren Platten und mittigen Öffnungen mit fortschreitend sich vergrößernder Größe erlaubt es, einen Gesamtbereich der Verschiebung des Stößels 18 längs der X- und Y-Achsen durch die Positioniervorrichtung 16 zu ermöglichen, während das Gehäuse trotz einer solchen Positionierbewegung in einem abgedichteten Zustand bleibt. Die EMI-Abschirmung, welche durch diesen Aufbau bereitgestellt ist, ist selbst gegenüber den Elektromotoren der Positioniervorrichtung 16 wirksam, da sie sich unterhalb der verschiebbaren Platten befindet.

Insbesondere in den Fig. 3, 6 und 7 ist erkennbar, daß die Spannfuttervorrichtung 20 einen modularen Aufbau hat, welcher entweder mit oder ohne das Gehäuse zur Abschirmung von Umwelteinflüssen verwendbar ist. Der Stößel 18 trägt eine Anpassungsplatte 79, welche wiederum erste, zweite und dritte Spannfuttervorrichtungselemente 80, 81 und 83 trägt, die bei zunehmend größeren Abständen von der/den Sonde(n) längs der Annäherungsachse angebracht sind. Das Element 83 ist eine leitende rechteckförmige Bühne oder Abschirmung 83, welche leitende Elemente 80 und 81 von kreisförmiger Gestalt in ablösbarer Weise trägt. Das Element 80 hat eine planare, nach oben zeigende, einen Wafer aufnehmende Oberfläche 82 mit einer Anordnung von vertikalen Öffnungen 84 darin. Diese Öffnungen stehen in Verbindung mit jeweiligen Kammern, welche durch O-Ringe 88 getrennt sind, wobei die Kammern wiederum separat mit verschiedenen Vakuumleitungen 90a, 90b, 90c (Fig. 6) verbunden sind, welche mittels separat steuerbaren Vakuumventilen (nicht gezeigt) mit einer Vakuumquelle in Verbindung stehen. Die jeweiligen Vakuumleitungen verbinden die jeweiligen Kammern sowie ihre Öffnungen selektiv mit der Vakuumquelle, um den Wafer zu halten, oder alternativ isolieren sie die Öffnungen von der Vakuumquelle, um einen Wafer in bekannter Weise freizugeben. Da die verschiedenen Kammern und ihre entsprechenden Öffnungen separat voneinander betreibbar sind, ist es möglich, daß das Spannfutter Wafer von verschiedenen Durchmessern hält.

Zusätzlich zu den kreisförmigen Elementen 80 und 81 sind Hilfsspannfutter wie zum Beispiel 92 und 94 lösbar an den Ecken des Elements 83 mittels Schrauben (nicht gezeigt) angebracht, und zwar unabhängig von den Elementen 80 und 81, und dienen dazu, daß Kontaktunterlagen sowie Kalibrierungsunterlagen getragen werden, während ein Wafer oder eine zu testende Vorrichtung gleichzeitig durch das Element 80 getragen wird. Eine jede Hilfsspannfuttervorrichtung 92, 94 weist ihre eigene nach oben weisende planare Oberfläche 100 bzw. 102 auf und ist parallel zur Oberfläche 82 des Elements 80 ausgerichtet. Vakuumöffnungen 104 treten aufgrund der Verbindung mit jeweiligen Kammern innerhalb des Körpers einer jeden Hilfsspannfuttervorrichtung durch die Oberflächen 100 und 102 hindurch. Eine jede der Kammern ist wiederum durch eine separate Vakuumleitung und ein separates, unabhängig bedienbares Vakuumventil (nicht gezeigt) mit einer Vakuumquelle in Verbindung, wobei ein jedes dieser Ventile die jeweiligen Sätze von Öffnungen 104 selektiv mit der Vakuumquelle verbindet oder von dieser isoliert, und zwar unabhängig vom Betrieb der Öffnungen 84 des Elements 80, so daß ein Kontaktsubstrat oder Kalibrierungssubstrat, welches auf den jeweiligen Oberflächen 100 bzw. 102 angebracht ist, unabhängig vom Wafer oder der zu testenden Vorrichtung gehalten oder gelöst wird. Eine optionale Metallabschirmung 106 kann sich nach oben von den Kanten des Elements 83 erheben, um die anderen Elemente 80, 81 und die Hilfsspannfuttervorrichtungen 92, 94 zu umfassen.

Eine jede der Spannfuttervorrichtungen 80, 81 und 83 sowie die zusätzlichen Spannfuttervorrichtungselemente 79 sind voneinander elektrisch isoliert, obwohl sie aus elektrisch leitendem Metall konstruiert sind und lösbar miteinander durch metallische Schrauben wie zum Beispiel 96 verbunden sind. Die Fig. 3 und 3A zeigen, daß die elektrische Isolierung darauf beruht, daß zusätzlich zu den elastischen dielektrischen O-Ringen 88, dielektrische Abstandshalter 85 und dielektrische Unterlagscheiben 86 bereitgestellt sind. Dadurch, verbunden mit der Tatsache, daß die Schrauben 96 durch überdimensionierte Öffnungen in dem unteren der beiden Elemente durchgeführt werden, welche jeweils durch die Schrauben miteinander verbunden sind, wird ein elektrischer Kontakt zwischen dem Schaft der Schraube und dem unteren Element verhindert, was zu der gewünschten Isolation führt. Wie sich aus Fig. 3 ergibt, erstrecken sich die dielektrischen Abstandshalter 85 nur über geringere Bereiche der gegenüberliegenden Oberflächen der miteinander verbundenen Spannfuttervorrichtungselemente, wodurch sich Luftschlitze zwischen gegenüberliegenden Oberflächen über große Bereiche der jeweiligen Flächen ergeben. Diese Luftschlitze minimieren die dielektrische Konstante in den Räumen zwischen den jeweiligen Spannfuttervorrichtungselementen, wodurch in entsprechender Weise die Kapazität zwischen ihnen reduziert wird, ebenso wie die Möglichkeit, daß elektrischer Strom von einem Element zum anderen übertritt. Bevorzugterweise sind die Abstandshalter und Unterlagscheiben 85 bzw. 86 aus einem Material mit einer niedrigst möglichen Dielektrizitätskonstante hergestellt, die kompatibel ist zu einer hohen Abmessungsgenauigkeit und einer hohen Volumenbeständigkeit. Ein passendes Material für die Abstandshalter und Unterlagscheiben ist Epoxidglas oder Acetylhomopolymer, welches von E. I. DuPont unter der Marke Delrin vertrieben wird.

Fig. 6 und 7 zeigen, daß die Spannfuttervorrichtung 20 auch ein Paar von lösbaren elektrischen Verbindungsvorrichtungen umfaßt, welche im allgemeinen mit 108 und 110 bezeichnet werden, wobei eine jede zumindest zwei leitende Verbindungselemente 108a, 108b und 110a bzw. 110b umfaßt, die elektrisch voneinander isoliert sind, und wobei die Verbindungselemente 108b und 110b bevorzugterweise die Verbindungselemente 108a und 110a koaxial als Schutzvorrichtungen umgeben. Falls gewünscht, können die Verbindungsvorrichtungen 108a und 110 triaxial angeordnet sein, so daß jeweils äußere Abschirmungen 108c, 110c vorgesehen sind, welche die jeweiligen Verbindungselemente 108b und 110b umgeben, wie in Fig. 7 gezeigt. Die äußeren Abschirmungen 108c und 110c können, falls gewünscht, elektrisch durch ein Abschirmungsgehäuse 112 sowie durch eine Verbindungsstützklammer 113 mit dem Spannfuttervorrichtungselement 83 verbunden sein, sowie durch eine Verbindungsstützklammer 113 mit dem Spannfuttervorrichtungselement 83. Jedoch ist eine solche elektrische Verbindung insbesondere mit Hinblick auf die umgebenden EMI-Abschirmungsgehäuse 42, 44 optional. Auf jeden Fall sind die entsprechenden Verbindungselemente 108a und 110a elektrisch in paralleler Weise mit einer Verbindungsplatte 114 verbunden, welche längs einer gekrümmten Kontaktoberfläche 114a im Paßsitz, jedoch lösbar, mit der gekrümmten Kante des Spannfuttervorrichtungselements 80 verbunden ist. Entsprechend sind die Verbindungselemente 108a und 110b parallel mit einer Verbindungsplatte 116 verbunden, welche in ähnlicher Weise im Paßsitz, jedoch lösbar mit dem Element 81 verbunden ist. Die Verbindungselemente können frei durch eine rechteckförmige Öffnung 112a im Gehäuse 112 hindurchgeführt werden und sind elektrisch vom Gehäuse 112 und somit vom Element 83 isoliert. Weiterhin sind sie voneinander elektrisch isoliert. Fixierschrauben, wie zum Beispiel 118, verbinden die Verbindungselemente lösbar mit den jeweiligen Verbindungsplatten 114 und 116.

Koaxiale oder, wie gezeigt, triaxiale Kabel 118 und 120 bilden Abschnitte der jeweiligen lösbaren elektrischen Verbindungsvorrichtungen 108 und 110, wie dies auch bei ihren jeweiligen triaxialen Verbindungselementen 122 und 124 der Fall ist, welche eine Wand des unteren Bereichs 44 des Gehäuses zur Abschirmung von Umwelteinflüssen durchstoßen, so daß die äußeren Abschirmungen der triaxialen Verbindungselemente 122, 124 elektrisch mit dem Gehäuse verbunden sind. Weitere triaxiale Kabel 122a, 124a sind lösbar verbunden mit den Verbindungselementen 122 und 124 einer passenden Testvorrichtung wie zum Beispiel einer modularen Gleichstromquelle/Überwachungsvorrichtung vom Typ Hewlett-Packard 4142B oder einer Hewlett-Packard 4284A Präzisions-LCR-Meßvorrichtung, und zwar abhängig von der Meßanwendung. Falls es sich bei den Kabeln 118 und 120 nur um Koaxialkabel oder andere Arten von Kabeln mit nur zwei Leitern handelt, so verbindet ein Leiter das innere (Signal) Verbindungselement mit einem entsprechenden Verbindungselement 122 oder 124 sowie einem entsprechenden Verbindungselement 108a oder 110a, während der andere Leiter das dazwischenliegende (Schutz)Verbindungselement eines entsprechenden Leiters 122 oder 124 mit einem entsprechenden Verbindungselement 108b, 110b verbindet. Das US-Patent Nr. 5,532,609 offenbart eine Meßstation und ein Spannfutter und wird hiermit unter Bezugnahme eingeschlossen.

Die Spannfuttervorrichtung 20 mit entsprechenden vertikalen Öffnungen 84 und entsprechenden Kammern, welche durch O-Ringe 88 voneinander getrennt sind, ermöglicht es, selektiv ein Vakuum innerhalb drei verschiedener Zonen zu erzeugen. Das Einbringen der drei O-Ringe 88 und der dielektrischen Abstandshalter 85, welche die metallischen Schrauben 96 umgeben, ermöglicht es die nebeneinanderliegenden ersten, zweiten und dritten Spannfuttervorrichtungselemente 80, 81 und 83 fest zusammenzufügen. Die konzentrischen O-Ringe 88 werden durch die ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselemente zusammengedrückt und dienen dazu, die Kraft zwischen der oberen Oberfläche der Spannfuttervorrichtung 20 zu verteilen, um eine flache Oberfläche zu erhalten. Jedoch haben die O-Ringe und die dielektrischen Abstandshalter 85 eine größere Dielektrizitätskonstante als die umgebende Luft, was zu Leckströmen führt. Weiterhin verringert das zusätzliche Material zwischen den aneinanderliegenden Spannfuttervorrichtungselementen 80, 81 und 83 die Kapazität zwischen den aneinanderliegenden Spannfuttervorrichtungselementen. Weiterhin führt das dielektrische Material der O-Ringe und der dielektrischen Abstandshalter 85 zum Aufbau einer Ladung darin während des Testvorgangs, was die dielektrische Absorption erhöht. Die O-Ringe und dielektrischen Abstandshalter 85 sorgen für eine mechanische Stabilität gegen ein Verziehen des Spannfutters, wenn ein Wafer darauf getestet wird, so daß dünnere Spannfuttervorrichtungselemente 80, 81 und 83 verwendet werden können. Die Höhe der unterschiedlichen O-Ringe und dielektrischen Abstandshalter 85 ist geringfügig unterschiedlich, was dazu führt, daß es zu einer Nicht-Planarität an der oberen Oberfläche kommt, wenn die ersten, zweiten und dritten Spannfuttervorrichtungselemente 80, 81 und 83 fest miteinander verbunden werden.

Die vorstehenden sowie weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden leichter verständlich unter Berücksichtigung der nachfolgenden ausführlichen Beschreibung der Erfindung in Verbindung mit den beigefügten Figuren.

Kurze Beschreibung der verschiedenen Ansichten der Figuren

Fig. 1 ist eine Teilansicht von vorne auf eine beispielhafte Ausführungsform einer gemäß der vorliegenden Erfindung aufgebauten Wafermeßstation.

Fig. 2 ist eine Draufsicht auf die in Fig. 1 gezeigte Wafermeßstation.

Fig. 2A ist eine teilweise Draufsicht auf die in Fig. 1 gezeigte Wafermeßstation, wobei die Tür des Gehäuses teilweise geöffnet ist.

Fig. 3 ist eine teilweise Schnittansicht und teilweise schematische Vorderansicht der in Fig. 1 gezeigten Meßstation.

Fig. 3A ist eine vergrößerte Schnittansicht längs der Linie 3A-3A in Fig. 3.

Fig. 4 ist eine Draufsicht auf die Dichtungsvorrichtung, wobei die motorangetriebene Positioniervorrichtung sich durch die Unterseite des Gehäuses hindurcherstreckt.

Fig. 5A ist eine vergrößerte Detailansicht von oben längs der Linie 5A-5A in Fig. 1.

Fig. 5B ist eine vergrößerte Schnittansicht von oben längs der Linie 5B-5B in Fig. 1.

Fig. 6 ist eine schematische Teilansicht von oben auf die Spannfuttervorrichtung, längs der Linie 6-6 in Fig. 3.

Fig. 7 ist eine teilweise Schnittansicht von vorne auf die in Fig. 6 gezeigte Spannfuttervorrichtung.

Fig. 8 ist eine perspektivische Ansicht eines Spannfutters, welche einen Satz von Abstandshaltern und Vakuumverbindungen zeigt.

Fig. 9 ist eine plane Darstellung der Unterseite des oberen Spannfuttervorrichtungselements.

Fig. 10 ist eine plane Darstellung der oberen Oberfläche des oberen Spannfuttervorrichtungselements.

Fig. 11 ist ein Querschnitt durch ein aus mehreren Lagen bestehendes Spannfutter.

Fig. 12 ist ein vergrößerter Querschnitt der Verbindung zwischen einem Paar von Spannfuttervorrichtungselementen des in Fig. 11 gezeigten Spannfutters.

Fig. 13 ist ein vergrößerter Querschnitt der Verbindung zwischen einem Paar von Spannfuttervorrichtungselementen des in Fig. 11 gezeigten Spannfutters, wobei ein minimaler Abstand für einen elektrischen Durchbruch durch die Luft gezeigt ist.

Ausführliche Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform

Herkömmlicherweise verwenden die Hersteller von Spannfuttern dünne Spannfuttervorrichtungselemente und viele radial angeordnete Schrauben, um es zu ermöglichen, daß die Schrauben fest angezogen werden, ohne daß eines der Spannfuttervorrichtungselemente verzogen wird und insbesondere nicht das obere Spannfuttervorrichtungselement. Es wichtig, daß ein planes oberes Spannfuttervorrichtungselement vorliegt, um einen genauen Meßvorgang am Wafer zu ermöglichen und zu verhindern, daß es zu einem Bruch oder einer anderen Schädigung des Wafers während des Meßvorgangs kommt. Bei einem Spannfutter aus mehreren Schichten wird das untere Spannfuttervorrichtungselement mit dem mittleren Spannfuttervorrichtungselement verbunden und das mittlere Spannfuttervorrichtungselement ist wiederum mit dem oberen Spannfuttervorrichtungselement verbunden, was dazu führt, daß Nichtgleichmäßigkeiten hinsichtlich geringfügig unterschiedlicher Dicken der Spannfuttervorrichtungselemente und dazwischenliegender dielektrischer Elemente zusammen zu einer Nichtplanarität führen. Zum Beispiel können eine Nichtgleichmäßigkeit in der Planarität des unteren Spannfuttervorrichtungselements und Unterschiede in der Dicke der dielektrischen Abstandselemente dazu führen, daß das mittlere Spannfuttervorrichtungselement leicht verformt wird, wenn es hieran befestigt wird. Eine Nichtgleichmäßigkeit in der Planarität des mittleren Spannfuttervorrichtungselements, die geringfügige Verformung des mittleren Spannfuttervorrichtungselements und die Unterschiede in der Dicke der dielektrischen Abstandshalter und O-Ringe können zu einer bedeutsamen Verformung des oberen Spannfuttervorrichtungselements führen, wenn dieses am mittleren Spannfuttervorrichtungselement befestigt wird. Dementsprechend müssen die Dicken und die Planarität von (1) einem jeden Spannfuttervorrichtungselement, (2) den dielektrischen Abstandshaltern und (3) den O-Ringen genau eingehalten werden, um eine planare obere Oberfläche des oberen Spannfuttervorrichtungselements zu erzielen.

Nach Betrachtung der dünnen Elemente einer Spannfuttervorrichtung und aufgrund des Wunsches, die Verformung des oberen Spannfuttervorrichtungselements zu minimieren, gelangten die Erfinder der vorliegenden Erfindung zur Einsicht, daß ein Dreipunktsicherungssystem, welches zum Beispiel drei Stifte umfaßt, es erlaubt, die Orientierung des oberen Spannfuttervorrichtungselements festzulegen, ohne daß eine Spannung in das obere Spannfuttervorrichtungselement 180 eingebracht wird, wie in Fig. 8 gezeigt. Bevorzugterweise sind die Stifte im wesentlichen im selben Abstand voneinander angebracht. Veränderungen in dem Abstand der Höhe irgendeines der Stifte 200, 202, 204 führt zu einem Verkippen des oberen Spannfuttervorrichtungselements 180 um die beiden verbleibenden Stifte und zwar auf eine Weise, welche eine zusätzliche Spannung einführt und somit eine Nichtplanarität der oberen Oberfläche 198 des oberen Spannfuttervorrichtungselements. Mit Ausnahme der Stifte 200, 202, 204 gibt es bevorzugterweise keine dielektrischen Abstandshalter, welche den Abstand zwischen dem oberen und mittleren Spannfuttervorrichtungselement festlegen. Das Weglassen dielektrischer Abstandshalter, wie zum Beispiel O-Ringe, verhindert eine Spannungsbeaufschlagung des oberen Spannfuttervorrichtungselements, wenn es an das mittlere Spannfuttervorrichtungselement angepreßt wird. Ein weiterer Vorteil der mit einem Dreipunktsystem erzielt werden kann, besteht darin, daß die Orientierung der oberen Oberfläche des oberen Spannfuttervorrichtungselements relativ zu der Meßbühne festgelegt und mit minimaler, falls überhaupt irgendeiner, Planarisierung der dazwischen greifenden Schichten gemessen werden kann. Mit anderen Worten heißt das, daß falls die Planarität des mittleren und unteren Spannfuttervorrichtungselements nicht genau kontrolliert wird, die Planarität des oberen Spannfuttervorrichtungselements nicht beeinflußt wird. Normalerweise ist der Abstand zwischen dem oberen und mittleren sowie den mittleren und unteren Spannfuttervorrichtungselement relativ gleichmäßig, um eine relativ gleichmäßige Kapazität zwischen den jeweiligen Spannfuttervorrichtungselementen zu erzielen. Es leuchtet ein, daß jede passende Verbindungsvorrichtung, welche drei diskrete Punkte oder Bereiche der Spannfuttervorrichtungselemente beinhaltet, verwendet werden kann.

Die Minimierung der Abstandselemente, wie zum Beispiel O-Ringe, zwischen den oberen und mittleren Spannfuttervorrichtungselementen verringert die kapazitive Kopplung zwischen dem oberen und mittleren Spannfuttervorrichtungselement auf weniger als es der Fall wäre mit einem zusätzlichen dielektrischen Schichtmaterial zwischen den beiden. Die Eliminierung zusätzlicher Abstandselemente erhöht ebenfalls den Widerstand zwischen an einander angrenzenden Spannfuttervorrichtungselementen.

Verbindet man eine jede einzelne Vakuumleitung direkt mit der Mitte des oberen Spannfuttervorrichtungselements 180, so erfordert dies normalerweise, daß zumindest ein entsprechendes Loch radial in das obere Spannfuttervorrichtungselement gebohrt wird, von dem sich vertikal erstreckende Vakuumkammern ausgehen und ein Vakuum an der oberen Oberfläche 198 des oberen Spannfuttervorrichtungselements bereitstellen. Die maschinelle Erstellung der Kombination von radialen und vertikalen Löchern erfordert eine hochgenaue maschinelle Bearbeitung, was schwierig, zeitaufwendig und teuer ist. Die maschinelle Herstellung solcher Löcher wird zunehmend schwieriger, wenn sich die Größe der Spannfutter vergrößert.

Nach Betrachtung der Schwierigkeiten, die mit der maschinellen Herstellung paßgenauer Löcher in der Seite des oberen Spannfuttervorrichtungselements 180 verbunden sind, haben die Erfinder der vorliegenden Erfindung beschlossen, daß die maschinelle Herstellung eines Satzes von Luftkanälen 210a-210e in der unteren Oberfläche 208 des Spannfutters leichter und genauer ist, wie in Fig. 9 gezeigt. Zusätzlich können die Luftkanäle 210a-210e in der unteren Oberfläche 208 des Spannfutters in einfacher Weise von Staub und Schmutz gereinigt werden. Die untere Oberfläche 208 des oberen Spannfuttervorrichtungselements ist mit einer Deckplatte 212 (siehe Fig. 11) bedeckt, welche bevorzugterweise dünn ist. Die Deckplatte 212 wird bevorzugterweise an der oberen Spannfuttervorrichtung mit Klebstoff (nicht gezeigt) und einer dünnen Schicht von Vakuumfett befestigt, um eine Dichtung dazwischen bereitzustellen. Bevorzugterweise besteht die Deckplatte 212 aus leitendem Material, welches elektrisch mit dem oberen Spannfuttervorrichtungselement verbunden ist. Es versteht sich, daß die Deckplatte aus einem beliebigen Material mit beliebiger gewünschter Dicke sein kann. Fig. 10 zeigt, daß eine Vielzahl von "Zonen", welche durch Vakuumlöcher 214a-214e in der oberen Oberfläche 198 festgelegt sind, erzielt werden kann, wobei eine jede bevorzugterweise konzentrisch ausgelegt ist, so daß eine jede "Zone" individuell festgelegt und, falls gewünscht, mit einem Vakuum beaufschlagt werden kann. Dies führt zu einer sehr genauen Druckkontrolle für verschiedene Wafergrößen. Zum Beispiel können die Durchmesser der konzentrischen Ringe 2-1/2", 5-1/2", 7.1/2" und 1-1/2" betragen, um Wafer mit Größen von 3", 6", 8" und 12" zu umfassen. Dies erlaubt, daß das System selektiv festgelegt werden kann, um die Größe zu prüfenden Wafers aufzunehmen, so daß nicht bedeckte Vakuumlöcher nicht zur Bildung eines Vakuums beitragen, was den vorliegenden Vakuumdruck reduzieren kann, und verschmutzte Luft durch das System preßt. Staub und anderer Schmutz in verunreinigter Luft können zu einer dünnen Staubschicht in den Vakuumzwischenverbindungen führen, welche später beschrieben werden, was zu einer Verringerung in der elektrischen Isolation zwischen dem oberen und mittleren Spannfuttervorrichtungselement führt. Es versteht sich von selbst, daß eine jegliche passende Struktur verwendet werden kann, um eine Reihe von Luftkanälen zwischen aneinandergrenzenden Schichten von Material festzulegen, wobei es sich bei diesen Materialien bevorzugterweise um leitende Materialien handelt, die Stirnseite an Stirnseite liegen. Die Festlegung der Luftkanäle kann selbst dann verwendet werden, wenn Spannfutter vorliegen, bei denen die Vakuumleitungen mit dem oberen Spannfuttervorrichtungselement verbunden sind, zusammen mit der Festlegung des Luftkanals.

Die Eliminierung der O-Ringe zwischen dem oberen und mittleren Spannfuttervorrichtungselement führt zu folgendem Dilemma: wie soll ein Vakuum an der oberen Oberfläche des oberen Spannfuttervorrichtungselements bereitgestellt werden, falls dies erwünscht ist.? Die Erfinder der vorliegenden Erfindung ermittelten, daß es normalerweise nicht gewünscht ist, eine Vakuumröhre direkt mit dem oberen Spannfuttervorrichtungselement zu verbinden, da die äußere leitende Oberfläche der Vakuumröhre normalerweise mit einem Abschirmungspotential verbunden ist. Das Abschirmungspotential des äußeren Bereichs der Vakuumröhre, welches sich direkt an das obere Spannfuttervorrichtungselement anschließt, würde zu einem ungeschützten Leckstrom zwischen dem oberen Spannfuttervorrichtungselement und der Vakuumleitung führen.

Um einen Vakuumpfad zwischen dem mittleren Spannfuttervorrichtungselement und dem oberen Spannfuttervorrichtungselement bereitzustellen, verbindet ein Vakuumstift 206 entsprechende Vakuumleitungen und insbesondere Vakuumlöcher (zum Beispiel "Zonen") auf der oberen Oberfläche des oberen Spannfuttervorrichtungselements, wie in Fig. 11 gezeigt. Normalerweise werden eine Vakuumleitung und ein Vakuumstift fiu eine jede "Zone" bereitgestellt. Die Vakuumstifte sind bevorzugterweise in entsprechende Öffnungen 220a und 220b in den sich gegenüberliegenden Oberflächen 208 und 224 des oberen und mittleren Spannfuttervorrichtungselements eingelassen. Ein jeder Vakuumstift umfaßt ein Paar von O-Ringen 222a und 222b, welche eine Abdichtung zwischen jeweiligen Öffnungen 220a und 220b bereitstellen und es ebenfalls erlauben, daß die Vakuumstifte 206 in diese Öffnungen eindringen. Der Abstand zwischen den sich gegenüberliegenden Oberflächen 208 und 224, die Tiefe der Öffnungen 220a und 220b und die Länge der Vakuumstifte 206 werden bevorzugterweise so festgelegt, daß die Änderungen im Abstand zwischen den Oberflächen es immer ermöglichen, daß sich die Vakuumstifte 206 innerhalb der Öffnungen 220a und 220b etwas bewegen. Dementsprechend "schwimmen" die Vakuumstifte innerhalb der Öffnungen und legen den Abstand zwischen den oberen und mittleren Spannfutterverbindungselementen nicht fest. Weithin sind die Vakuumstifte nicht klar mit den oberen und mittleren Spannfuttervorrichtungselementen verbunden. Alternativ können die Vakuumstifte mit entweder dem oberen oder mittleren Spannfuttervorrichtungselement starr verbunden sein, falls dies gewünscht ist. Die Vakuumstifte bestehen bevorzugterweise aus einem guten dielektrischen Material, wie zum Beispiel Teflon oder PCTFE. Bevorzugterweise befinden sich die Vakuumstifte an Stellen außerhalb der Stifte 200, 201, 204 (zum Beispiel ist der Abstand von der Mitte des Spannfutters zu den Stiften geringer als der Abstand von der Mitte des Spannfutters zu den Vakuumstiften), um Rauschen zu minimieren. Es sei angemerkt, daß jeglicher nicht starr verbundener Satz (ein oder mehrere) von Vakuumpfaden, welche den Abstand zwischen einem Paar von Spannfuttervorrichtungselementen nicht festlegen, angebracht sein kann.

Der Stift, welcher das mittlere Spannfuttervorrichtungselement 182 mit dem oberen Spannfuttervorrichtungselement 180 verbindet, umfaßt einen Bereich an seiner Unterseite, welcher zu dem unteren Spannfuttervorrichtungselement hin offen ist, welches normalerweise mit der Abschirmung verbunden ist. Genauer gesagt stellt der Stift 204, welcher elektrisch mit dem oberen Spannfuttervorrichtungselement 180 verbunden ist, einen nicht abgeschirmten Leckpfad durch das mittlere Spannfuttervorrichtungselement 182 hin zum unteren Spannfuttervorrichtungselement 184 bereit. Bei bestehenden Aufbauten ist eine kleine Platte über der Öffnung angebracht, um eine Abschirmung bereitzustellen. Ein praktischerer Abschirmungsaufbau besteht darin, eine untere Deckplatte 230 über den Stiftöffnungen anzubringen, welche bevorzugterweise ein Hauptteil des mittleren Spannfuttervorrichtungselements 182 abdeckt. Die untere Deckplatte 230 ist elektrisch von den Stiften isoliert. Zusätzlich legt die Platte 230 zusammen mit dem mittleren Spannfuttervorrichtungselement 182 die Vakuumpfade fest.

Fig. 12 zeigt, daß der Stiftaufbau sowohl mechanische Stabilität als auch elektrische Isolierung bereitstellt. Eine mit einem Gewinde versehene Schraube 240 wird durch das mittlere Spannfuttervorrichtungselement 182 eingeführt, und in eine mit einem Gewinde versehene Öffnung 242 in der unteren Oberfläche des oberen Spannfuttervorrichtungselements 180 eingeschraubt. Ein leitendes kreisförmiges, im wesentlichen U-förmig ausgebildetes Element 244 trennt das obere und mittlere Spannfuttervorrichtungselement und ist an das obere Spannfuttervorrichtungselement angepreßt. Das leitende U-förmige Element 244 ist elektrisch mit der Schraube 240 verbunden und erstreckt sich radial von der Schraube 240 nach außen. Das leitende U-förmige Element sorgt für seitliche Stabilität der Spannfuttervorrichtung. Ein isolierendes kreisförmiges, im wesentlichen U-förmiges Element 245, welches bevorzugterweise aus PCTFE besteht, liegt dem leitenden U-förmigen Element 244 gegenüber und wird an das mittlere Spannfuttervorrichtungselement angepreßt. Das isolierende kreisförmige U-förmige Element 246 ist mit dem leitenden U-förmigen Element 244 in dessen nach oben aufstehenden Bereichen selbstzentriert ausgerichtet. Ein kreisförmiger isolierender Einsatz 248 umgibt die mit einem Gewinde versehene Schraube 240 innerhalb der Öffnung 250 im mittleren Spannfuttervorrichtungselement und stützt den geneigten Kopfbereich 252, der mit einem Gewinde versehenen Schraube 240. Falls die Schraube 240 keinen geneigten Bereich aufweist, kann der isolierende Einsatz den Kopfbereich der Schraube stützen. Ein isolierender Deckel 254 wird bevorzugterweise über das Ende der mit einem Gewinde versehenen Schraube 240 plaziert und bevorzugterweise beabstandet davon angebracht. Über das Ende der Schraube wird die Deckplatte 230 angebracht, welche bevorzugterweise mit einem Abschirmungspotential verbunden ist. Falls dies gewünscht ist, kann der Stiftaufbau in ähnlicher Weise zwischen weiteren angrenzenden Platten der Spannfuttervorrichtung verwendet werden.

Werden Messungen bei hohen Spannungen durchgeführt, so kommt es zu einem Funkendurchbruch zwischen den beiden Leitern, das heißt einer Bogenentladung, falls die Leiter nahe genug zueinander gebracht worden sind. Wird zum Beispiel eine Messung bei 5000 Volt durchgeführt, so sollte der Abstand zwischen den beiden Leitern mehr als ungefähr 0,2 Zoll betragen. Betrachtet man Fig. 13, ebenso wie Fig. 12, so kann man feststellen, daß alle Pfade durch die Luft von der Schraube und dem leitenden kreisförmigen U-förmigen Element (Signalpotential) zu einem anderen Leiter auf Abschirmungspotential mehr als 0,2 Zoll betragen, wie durch die "-----"-Zeilen gezeigt. Zum Beispiel können die Rippen des U-förmigen isolierenden Elements 246 den Kriechabstand auf mehr als ungefähr 0,2 Zoll vergrößern.

Nach weiteren Überlegungen ist ein sich stark auswirkender Faktor das Verbindungsmaterial als solches. Bevorzugterweise ist das leitende Element zumindest dreimal so dick wie das Isolationsmaterial zwischen den aneinandergrenzenden Spannfuttervorrichtungselementen und insbesondere bevorzugterweise zumindest sechsmal so dick. Auf diese Weise besteht ein Großteil des Abstandhaltermaterials aus starrem leitenden Material, welches wesentlich weniger anfällig ist gegenüber einer Kompression als das isolierende Material, welches unter Druck steht.

Nach ausführlichen Messungen kam dem Erfinder der vorliegenden Erfindung die weitere Erkenntnis, daß die dielektrische Absorption des dielektrischen Materials dazu neigt, schneller abzuklingen, wenn beide Seiten des dielektrischen Materials Seite an Seite in Kontakt mit den elektrischen Leitern stehen. Im Gegensatz hierzu gilt, daß wenn nur eine Seite des dielektrischen Materials Seite an Seite in Kontakt mit dem elektrischen Leiter steht, die dielektrische Absorption langsam mit Änderungen im elektrischen Potential abklingt und sich somit negativ auf die elektrischen Eigenschaften auswirkt. Fig. 12 zeigt, daß dementsprechend beobachtet werden kann, daß im wesentlichen das gesamte (oder zumindest ein Großteil) des isolierenden Materials in Kontakt mit einem Leiter einen gegenüberliegenden Leiter aufweist. Zum Beispiel ist der obere Bereich des mittig angebrachten Isolationsbereichs nicht in Kontakt mit der leitenden Schraube, da es schwierig wäre, einen gegenüberliegenden Leiter bereitzustellen, und es weiterhin kompliziert wäre, falls ein passender Abstandshalter notwendig wäre.

Die Begriffe und Ausdrücke, welche in der vorstehenden Beschreibung verwendet worden sind, dienen lediglich der Erläuterung und nicht der Beschränkung und es besteht keine Absicht, daß durch die Verwendung solcher Begriffe und Ausdrücke Äquivalente der gezeigten und beschriebenen Merkmale oder Teile hiervon ausgenommen sein sollen, wobei Wert darauf gelegt wird, daß der Schutzbereich der Erfindung nur durch die nachfolgenden Ansprüche definiert und beschränkt sein sollen.

Claims

1. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:

a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen; und
b) einen Spannfutterbeabstandungsmechanismus, welcher mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement verbunden ist und genau drei voneinander unabhängige Auflagen zeigt, welche den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und einem weiteren Spannfuttervorrichtungselement festlegen.

2. Spannfutter nach Anspruch 1, wobei der Spannfutterbeabstandungsmechanismus das erste Spannfuttervorrichtungselement und das weitere Spannfuttervorrichtungselement in starrer Anordnung relativ zueinander hält.

3. Spannfutter nach Anspruch 1, wobei die Auflagen im wesentlichen im jeweils selben Abstand voneinander angebracht sind.

4. Spannfutter nach Anspruch 1, wobei eine jede der Auflagen nicht direkt im elektrischen Kontakt mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und dem weiteren Spannfuttervorrichtungselement steht.

5. Spannfutter nach Anspruch 1, wobei das erste Spannfuttervorrichtungselement elektrisch mit einem Signalpfad verbunden ist.

6. Spannfutter nach Anspruch 5, wobei das weitere Spannfuttervorrichtungselement elektrisch mit einem Abschirmungspfad verbunden ist.

7. Spannfutter nach Anspruch 1, welches weiterhin umfaßt:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche, wobei das Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftpfad hierin hin zur oberen Oberfläche festgelegt;
b) wobei das andere Spannfuttervorrichtungselement einer obere Oberfläche aufweist, welche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt, und wobei das zweite Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen zweiten Luftkanal hierin festlegt; und
c) ein Zwischenverbindungselement, welches den ersten Luftkanal und den zweiten Luftkanal auf solch einer Weise miteinander verbindet, daß ein Vakuum bereitgestellt zwischen dem ersten Luftkanal und dem zweiten Luftkanal werden kann, wobei das Zwischenverbindungselement bewegbar ist relativ zu entweder dem ersten Spannfuttervorrichtungselement oder dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement oder beiden.

8. Spannfutter nach Anspruch 1, welches weiterhin umfaßt:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche, welche zumindest eine Ausnehmung hierin festlegt; und
b) eine Deckplatte, welche die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements übergreift und zusammen mit diesem zumindest einen Teil eines Luftkanals hin zur oberen Oberfläche festlegt, welcher in der Lage ist, ein Vakuum an den Wafer anzulegen, welcher auf der oberen Oberfläche aufliegt.

9. Spannfutter nach Anspruch 1, welches umfaßt:

a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche, wobei das erste Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal hierin hin zur oberen Oberfläche festlegt;
b) wobei das weitere Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche aufweist, welche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt, wobei die zweite Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal hierin festlegt; und
c) ein Zwischenverbindungselement, welches den ersten Luftkanal und den zweiten Luftkanal auf solch eine Weise verbindet, daß ein Vakuum zwischen dem ersten Luftkanal und dem zweiten Luftkanal bereitgestellt wird.

10. Spannfutter nach Anspruch 9, wobei das Zwischenverbindungselement näher am Umfang des Spannfuttervorrichtungselements angebracht ist, als ein nächstliegendes Element, wodurch zumindest zum Teil der Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und dem weiteren Spannfuttervorrichtungselement festgelegt wird.

11. Spannfutter nach Anspruch 1, welches umfaßt:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche;
b) das weitere Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt; und
c) eine Deckplatte, welche zumindest einen Hauptteil der unteren Oberfläche des weiteren Spannfuttervorrichtungselements überdeckt und in der Nähe des Spannfutterabstandsmechanismuselement liegt.

12. Spannfutter nach Anspruch 1, welches umfaßt:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche;
b) das weitere Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt; und
c) zumindest eine Auflage, welche einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, welches zumindest einen Teil von zumindest einer Auflage zwischen der oberen und unteren Oberfläche des weiteren Spannfuttervorrichtungselements umgibt, wobei zumindest ein erster Bereich der ersten Oberfläche des Isolators an einem weiteren Spannfuttervorrichtungselement angepreßt ist, und zumindest ein zweiter Bereich einer zweiten Oberfläche des Isolators an zumindest einer weiteren Auflage angepreßt ist.

13. Spannfutter nach Anspruch 1, wobei der erste Bereich der ersten Oberfläche und der zweite Bereich der zweiten Oberfläche einander überlappen und zwar zumindest größeren Teil von entweder dem ersten Bereich oder dem zweiten Bereich oder beiden.

14. Spannfutter nach Anspruch 1, welches umfaßt:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche;
b) das weitere Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt; und
c) wobei zumindest eine der Auflagen einen im wesentlichen U-förmig ausgebildeten Isolator umfaßt, welcher eine erste Oberfläche aufweist, die an die obere Oberfläche des weiteren Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist und eine zweite Oberfläche, welche an eine erste Oberfläche eines im wesentlichen U-förmigen leitenden Abstandshalters angepreßt ist, wobei eine zweite Oberfläche des U-förmigen leitenden Abstandshalters an der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist.

15. Spannfutter nach Anspruch 1, welches umfaßt:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche;
b) das weitere Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
c) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und das zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen den ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselementen festlegt; und
d) wobei zumindest eine der Auflagen einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche mit der Oberfläche des weiteren Spannfuttervorrichtungselements in Preßkontakt steht, und einer zweiten Oberfläche, welche mit einer ersten Oberfläche eines ersten Abstandshalters in Preßkontakt steht, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters in Preßkontakt steht mit der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche mit der oberen Oberfläche in Preßkontakt steht, im wesentlichen der zweiten Oberfläche gegenüberliegt und sich ebenso weit wie diese erstreckt und zwar im Preßkontakt mit dem leitenden Abstandshalter.

16. Spannfutter nach Anspruch 1, welches weiter umfaßt:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche;
b) das weitere Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt; und
c) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche an die obere Oberfläche des weiteren Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist und einer zweiten Oberfläche, welche an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters angepreßt ist, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators angepreßt ist an die untere Oberfläche mit weniger als einem Drittel der Dicke des leitenden Abstandshalters, welcher an die zweite Oberfläche angepreßt ist.

17. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:

a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche, welche geeignet ist, einen Wafer aufzunehmen, wobei das Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal darin hin zur oberen Oberfläche festlegt;
b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche, welche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt, wobei die Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal darin festlegt; und
c) ein Verbindungselement, welches den ersten Luftkanal und den zweiten Luftkanal auf solch eine Weise miteinander verbindet, daß ein Vakuum zwischen dem ersten Luftkanal und dem zweiten Luftkanal angelegt werden kann, wobei das Verbindungselement bewegbar ist relativ zu entweder dem ersten Spannfuttervorrichtungselement oder dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement oder beiden.

18. Spannfutter nach Anspruch 17, welches weiter umfaßt:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement, welches eine erste Öffnung in der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements festlegt; und
b) wobei das Verbindungselement mit der ersten Öffnung verbunden ist.

19. Spannfutter nach Anspruch 17, wobei:

a) das zweite Spannfuttervorrichtungselement eine zweite Öffnung in der oberen Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements aufweist; und
b) das Verbindungselement mit der zweiten Öffnung verbunden ist.

20. Spannfutter nach Anspruch 18, wobei:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement eine erste Öffnung in der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements aufweist; und
b) das Verbindungselement mit der ersten Öffnung verbunden ist.

21. Spannfutter nach Anspruch 20, wobei das Zwischenelement mit der ersten und der zweiten Öffnung auf solch eine Weise verbunden ist, daß eine Vakuumabdichtung vorliegt.

22. Spannfutter nach Anspruch 21, wobei das Verbindungselement eine längliche Öffnung aufweist, welche mit dem ersten Luftkanal und dem zweiten Luftkanal auf solch eine Weise verbunden ist, daß ein Vakuum vom ersten Luftkanal hin zum zweiten Luftkanal angelegt werden kann.

23. Spannfutter nach Anspruch 17, welches weiterhin einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus umfaßt, welcher mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement verbunden ist mit genau drei voneinander unabhängigen Auflagen, welche den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegen.

24. Spannfutter nach Anspruch 17, wobei:

a) die untere Oberfläche des Spannfuttervorrichtungselements zumindest eine Ausnehmung darin festlegt; und
b) eine Deckplatte in übergreifender Weise mit der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements zusammen zumindest einen Teil eines Luftkanals hin zur oberen Oberfläche festlegt, welcher geeignet ist, ein Vakuum an einen Wafer anzulegen, welcher auf der oberen Oberfläche aufgesetzt ist.

25. Spannfutter nach Anspruch 17, wobei:

a) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
b) eine Deckplatte in übergreifender Weise zumindest den Hauptteil der unteren Oberfläche der zweiten Spannfuttervorrichtung in der Nähe des Spannfutterabstandshalterungsmechanismus überdeckt.

26. Spannfutter nach Anspruch 16, welches weiterhin umfaßt:

a) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
b) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen ersten Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, welche zumindest einen Teil des Spannfutterabstandshalterungsmechanismus umfassen zwischen der oberen und unteren Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements, und wobei zumindest ein erster Bereich einer ersten Oberfläche des Isolators an das zweite Spannfuttervorrichtungselement angepreßt ist, wobei zumindest ein zweiter Teil einer zweiten Oberfläche des Isolators an den Spannfutterabstandshalterungsmechanismus angepreßt ist, wobei der erste Teil der ersten Oberfläche und der zweite Teil der zweiten Oberfläche zumindest einen Hauptteil von entweder dem ersten Bereich oder dem zweiten Bereich oder beiden überlappen.

27. Spannfutter nach Anspruch 17, welches weiterhin umfaßt:

a) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
b) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen im wesentlichen U-förmigen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist und eine zweite Oberfläche, welche an eine erste Oberfläche eines im wesentlichen U-förmigen leitenden Abstandshalters angepreßt ist, wobei eine zweite Oberfläche des U-förmigen leitenden Abstandshalters an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist.

28. Spannfutter nach Anspruch 17, welches weiterhin umfaßt:

a) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
b) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements und eine zweite Oberfläche, welche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche, im wesentlichen der zweiten Oberfläche des Isolators direkt gegenüberliegt und sich ebenso weit wie dieser erstreckt, wobei der Isolator an den leitenden Abstandshalter angepreßt ist.

29. Spannfutter nach Anspruch 17, welches weiterhin umfaßt:

a) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
b) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist und eine zweite Oberfläche, welche an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters angepreßt ist, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche an die obere Oberfläche angepreßt ist weniger als ein Drittel der Dicke des leitenden Abstandshalters umfaßt, welche an die zweite Oberfläche angepreßt ist.

30. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:

a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche,
b) wobei die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements zumindest eine Ausnehmung aufweist; und
c) eine Deckplatte, welche die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements übergreift, wobei die Deckplatte und das erste Spannfuttervorrichtungselement zusammen zumindest einen Teil eines Luftkanals hin zur oberen Oberfläche festlegen, welcher geeignet ist, ein Vakuum an den Wafer anzulegen, welcher auf der oberen Oberfläche aufliegt.

31. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei die obere Oberfläche geeignet ist, einen Wafer aufzunehmen.

32. Spannfutter nach Anspruch 30, welches weiterhin ein zweites Spannfuttervorrichtungselement umfaßt, wobei das zweite Spannfuttervorrichtungselement geeignet ist, einen Wafer darauf aufzunehmen.

33. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei die Deckplatte wesentlich dünner ist als das erste Spannfuttervorrichtungselement.

34. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei die Deckplatte im wesentlichen koplanar ist mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement.

35. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei die Deckplatte einen Hauptteil der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements übergreift.

36. Spannfutter nach Anspruch 30, welches weiterhin umfaßt eine untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, welche eine Vielzahl von Ausnehmungen aufweist, wobei eine jede konzentrisch relativ zu den anderen angeordnet ist.

37. Spannfutter nach Anspruch 30, welches weiterhin umfaßt:

a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche darauf, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen; und
b) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement bei genau drei Auflagen verbunden ist, welche den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und einem weiteren Spannfuttervorrichtungselement festlegen.

38. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche aufweist, welche geeignet ist, einen Wafer aufzunehmen, wobei das erste Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal darin hin zur oberen Oberfläche festlegt;
b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche, welches der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt, wobei die zweite Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal darin festlegt; und
c) ein Verbindungselement, welches den ersten Luftkanal und den zweiten Luftkanal auf solche Weise verbindet, daß ein Vakuum angelegt werden kann vom ersten Luftkanal zum zweiten Luftkanal, wobei das Verbindungselement bewegbar ist hin zu entweder dem ersten Spannfuttervorrichtungselement oder dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement oder beiden.

39. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche aufweist, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche auf weist, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
c) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
d) eine Deckplatte zumindest einen Hauptteil der unteren Oberfläche der zweiten Spannfuttervorrichtung in der Nähe des Spannfutterabstandshalterungsmechanismuselements übergreift.

40. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche aufweist, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche aufweist, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
c) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
d) der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, welche zumindest einen Teil des Spannfutterabstandshalterungsmechanismus zwischen der oberen und unteren Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements umgibt, wobei zumindest ein erster Teil der ersten Oberfläche des Isolators angepreßt ist an das zweite Spannfuttervorrichtungselement, wobei ein zweiter Teil einer zweiten Oberfläche des Isolators angepreßt ist an den Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, wobei der erste Bereich der ersten Oberfläche und der zweite Bereich der zweiten Oberfläche zumindest den Hauptteil von entweder dem ersten Bereich oder dem zweiten Bereich oder beiden übergreifen.

41. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche aufweist, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche aufweist, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
c) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
d) der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen im wesentlichen U-förmigen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements, und eine zweite Oberfläche, welche an die erste Oberfläche eines im wesentlichen U-förmigen leitenden Abstandshalters angepreßt ist, wobei eine zweite Oberfläche des U-förmigen leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements.

42. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche aufweist, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche aufweist, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
c) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
d) der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements, und eine zweite Oberfläche, welche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche angepreßt ist an die zweite Oberfläche des Isolators, dieser im wesentlichen direkt gegenüberliegt und sich genauso weit erstreckt wie diese, und wobei die zweite Oberfläche des Isolators angepreßt ist an den leitenden Abstandshalter.

43. Spannfutter nach Anspruch 30, wobei:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche darauf aufweist, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche aufweist, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
c) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus vorgesehen ist, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
d) der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements und eine zweite Oberfläche, welche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators angepreßt ist an die obere Oberfläche und weniger als ein Drittel der Dicke des leitenden Abstandshalters umfaßt, welcher an die zweite Oberfläche angepreßt ist.

44. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:

a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen, wobei das erste Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal hin zur oberen Oberfläche festlegt;
b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche, welche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt, wobei die zweite Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal darin einschließt; und
c) ein Zwischenverbindungselement, welches den ersten Luftkanal mit dem zweiten Luftkanal auf so verbindet, das ein Vakuum vom ersten Luftkanal hin zum zweiten Luftkanal bereitgestellt werden kann, wobei das Zwischenverbindungselement näher am Umfang des ersten Spannfuttervorrichtungselements angebracht ist als ein nächstliegendes Element, welches zumindest teilweise den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt.

45. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:

a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche darin, welche dazu geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
c) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
d) eine Deckplatte, welche zumindest den größten Teil der unteren Oberfläche der zweiten Spannfuttervorrichtung übergreift und dem Spannfutterabstandshalterungsmechanismuselement benachbart ist.

46. Spannfutter nach Anspruch 45, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement verbunden ist und exakt drei voneinander unabhängige Auflagen umfaßt, welche den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und einem weiteren Spannfuttervorrichtungselement festlegen.

47. Spannfutter nach Anspruch 45, wobei:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal darin hin zur oberen Oberfläche umfaßt;
b) die zweite Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal darin festlegt; und
c) ein Zwischenverbindungselement den ersten Luftkanal mit dem zweiten Luftkanal auf solch eine Weise verbindet, daß ein Vakuum vom ersten Luftkanal hin zum zweiten Luftkanal bereitgestellt wird, wobei das Zwischenverbindungselement relativ zu entweder dem ersten Spannfuttervorrichtungselement oder dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement oder beiden bewegbar ist.

48. Spannfutter nach Anspruch 45, wobei:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal darin hin zur oberen Oberfläche festlegt;
b) die zweite Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal darin festlegt; und
c) ein Zwischenverbindungselement den ersten Luftkanal mit dem zweiten Luftkanal auf solch eine Weise verbindet, daß ein Vakuum bereitgestellt werden kann vom ersten Luftkanal hin zum zweiten Luftkanal, wobei das Zwischenverbindungselement näher am Umfang des ersten Spannfuttervorrichtungselements angebracht ist als ein nächstliegendes Element, welches zumindest teilweise den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt.

49. Spannfutter nach Anspruch 45, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, welche zumindest einen Teil des Spannfutterabstandshalterungsmechanismus zwischen der oberen Oberfläche und der unteren Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements umfaßt, wobei zumindest ein erster Teil einer ersten Oberfläche des Isolators angepreßt ist an das zweite Spannfuttervorrichtungselement, und wobei zumindest ein zweiter Teil einer zweiten Oberfläche des Isolators angepreßt ist an den Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, wobei der erste Teil der ersten Oberfläche und der zweite Teil der zweiten Oberfläche zumindest einen Hauptteil von entweder dem ersten Bereich oder dem zweiten Bereich oder beiden übergreifen.

50. Spannfutter nach Anspruch 45, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen im wesentlichen U-förmigen Isolator umfaßt, der eine erste Oberfläche aufweist, die angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements, und eine zweite Oberfläche, welche angepreßt ist an eine erste Oberfläche des im wesentlichen U-förmigen leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des U-förmigen leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements.

51. Spannfutter nach Anspruch 45, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements und eine zweite Oberfläche, welche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, die angepreßt ist an die obere Oberfläche im wesentlichen der zweiten Oberfläche des Isolators direkt gegenüberliegt und sich ebenso weit wie diese erstreckt, wobei der Isolator angepreßt ist an den leitenden Abstandshalter.

52. Spannfutter nach Anspruch 45, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements und eine zweite Oberfläche, welche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei die zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche weniger als ein Drittel der Dicke des leitenden Abstandshalters umfaßt, welche an die zweite Oberfläche angepreßt ist.

53. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:

a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche darin, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
c) ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten dem und zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
d) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, welche zumindest einen Teil des Spannfutterabstandshalterungsmechanismus zwischen der oberen und unteren Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements umfaßt, wobei zumindest ein erster Teil einer ersten Oberfläche des Isolators angepreßt ist an das zweite Spannfuttervorrichtungselement, und wobei zumindest ein zweiter Teil einer zweiten Oberfläche des Isolators angepreßt ist an den Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, wobei der erste Bereich der ersten Oberfläche und der zweite Bereich der zweiten Oberfläche zumindest den Hauptteil von entweder dem ersten Bereich oder dem zweiten Bereich oder beiden übergreifen.

54. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei der Bereich des Isolators zwischen der oberen und unteren Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements nicht in Kontakt steht mit dem Spannfutterabstandshalterungsmechanismus und im wesentlichen eine gegenüberliegende Oberfläche umfaßt, welche nicht mit dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement in Kontakt steht.

55. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin ein Spannfutterabstandshalterungsmechanismus verbunden ist mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und genau drei unabhängige Auflagen umfaßt, welche den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und einem weiteren Spannfuttervorrichtungselement festlegt.

56. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal darin hin zur oberen Oberfläche festlegt;
b) die zweite Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal darin festlegt; und
c) ein Zwischenverbindungselement den ersten Luftkanal mit dem zweiten Luftkanal auf solch eine Weise verbindet, daß ein Vakuum vom ersten Luftkanal zum zweiten Luftkanal hin angelegt werden kann, wobei das Zwischenverbindungselement bewegbar ist relativ zu entweder dem ersten Spannfuttervorrichtungselement oder dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement oder beiden.

57. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin:

a) die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements zumindest eine Ausnehmung darin festlegt; und
b) eine Deckplatte, welche die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements übergreift und gemeinsam mit diesem zumindest einen Teil eines Luftkanals zu der oberen Oberfläche hin festlegt, welcher geeignet ist zum Anlegen eines Vakuums an den Wafer, welcher auf der oberen Oberfläche aufliegt.

58. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin:

a) das erste Spannfuttervorrichtungselement zumindest einen ersten Luftkanal darin hin zur oberen Oberfläche festlegt;
b) die zweite Spannfuttervorrichtung zumindest einen zweiten Luftkanal darin festlegt; und
c) ein Zwischenverbindungselement den ersten Luftkanal mit dem zweiten Luftkanal so verbindet, daß ein Vakuum vom ersten Luftkanal an den zweiten Luftkanal angelegt werden kann, wobei das Zwischenverbindungselement näher am Umfang des ersten Spannfuttervorrichtungselements angebracht ist als ein nächstgelegenes Element, welches zumindest teilweise, den Abstand zwischen dem ersten Spannfuttervorrichtungselement und dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt.

59. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin eine Deckplatte zumindest einen Hauptteil der unteren Oberfläche der zweiten Spannfuttervorrichtung in der Nähe des Spannfutterabstandshalterungsmechanismuselements übergreift.

60. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen im wesentlichen U-förmigen Isolator umfaßt, der eine erste Oberfläche aufweist, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements, und eine zweite Oberfläche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines im wesentlichen U-förmigen leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des U-förmigen leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements.

61. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, die angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements, und ein zweite Oberfläche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche an die obere Oberfläche angepreßt, der zweiten Oberfläche des Isolators direkt gegenüberliegt und sich genauso weit wie diese ausdehnt, und wobei der Isolator an den leitenden Abstandshalter angepreßt ist.

62. Spannfutter nach Anspruch 53, wobei weiterhin der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt, welcher eine erste Oberfläche aufweist, die an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist, und eine zweite Oberfläche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche an die obere Oberfläche angepaßt ist, weniger als ein Drittel der Dicke des leitenden Abstandshalters umfaßt, der an die zweite Oberfläche angepreßt ist.

63. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:

a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
c) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und das zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
d) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen im wesentlichen U-förmigen Isolator umfaßt, der eine erste Oberfläche hat, die an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist, und eine zweite Oberfläche, welche an eine erste Oberfläche eines im wesentlichen U-förmigen leitenden Abstandshalters angepreßt ist, wobei eine zweite Oberfläche des U-förmigen leitenden Abstandshalters an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist.

64. Spannfutter nach Anspruch 63, wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus ein zentrales Element umfaßt, welches sich durch ihn hindurch erstreckt.

65. Spannfutter nach Anspruch 64, wobei das zentrale Element starr verbindbar ist mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement.

66. Spannfutter nach Anspruch 65, wobei das zentrale Element vom zweiten Spannfuttervorrichtungselement elektrisch isoliert ist.

67. Spannfutter nach Anspruch 66, wobei das zentrale Element das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement mit dem U-förmigen Isolator sowie dem U-förmigen leitenden Abstandshalter fest verbindet, wobei der U-förmige leitende Abstandshalter den Abstand festlegt.

68. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:

a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche darauf, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegend angebracht ist;
c) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
d) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements, und eine zweite Oberfläche, welche angepreßt ist an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche angepreßt ist an die obere Oberfläche der zweiten Oberfläche des Isolators im wesentlichen direkt gegenüberliegt und sich genauso weit erstreckt wie diese, und wobei der Isolator an den leitenden Abstandshalter angepreßt ist.

69. Spannfutter nach Anspruch 68, wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus ein zentrales Element umfaßt, welches sich direkt durch ihn hindurch erstreckt.

70. Spannfutter nach Anspruch 69, wobei das zentrale Element starr verbindbar ist mit dem ersten Spannfuttervorrichtungselement.

71. Spannfutter nach Anspruch 70, wobei das zentrale Element elektrisch isoliert ist vom zweiten Spannfuttervorrichtungselement.

72. Spannfutter nach Anspruch 71, wobei das zentrale Element das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement mit dem Isolator und dem den Abstand festlegenden leitenden Abstandshalter fest verbindet.

73. Spannfutter für eine Meßstation, welches umfaßt:

a) ein erstes Spannfuttervorrichtungselement mit einer unteren Oberfläche und einer oberen Oberfläche darin, welche geeignet ist, einen Wafer zu stützen;
b) ein zweites Spannfuttervorrichtungselement mit einer oberen Oberfläche und einer unteren Oberfläche, wobei die obere Oberfläche der unteren Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements gegenüberliegt;
c) einen Spannfutterabstandshalterungsmechanismus, welcher das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement miteinander verbindet und den Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten Spannfuttervorrichtungselement festlegt; und
d) wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus einen Isolator umfaßt mit einer ersten Oberfläche, welche an die obere Oberfläche des zweiten Spannfuttervorrichtungselements angepreßt ist und eine zweite Oberfläche, welche an eine erste Oberfläche eines leitenden Abstandshalters angepreßt ist, wobei eine zweite Oberfläche des leitenden Abstandshalters angepreßt ist an die untere Oberfläche des ersten Spannfuttervorrichtungselements, wobei die erste Oberfläche des Isolators, welche an die obere Oberfläche angepreßt ist, weniger als ein Drittel der Dicke des leitenden Abstandshalters umfaßt, wobei der leitende Abstandshalter an die zweite Oberfläche angepreßt ist.

74. Spannfutter nach Anspruch 73, wobei der Spannfutterabstandshalterungsmechanismus ein zentrales Element umfaßt, welches sich durch ihn hindurch erstreckt.

75. Spannfutter nach Anspruch 74, wobei das zentrale Element starr an dem ersten Spannfuttervorrichtungselement anbringbar ist.

76. Spannfutter nach Anspruch 75, wobei das zentrale Element elektrisch vom zweiten Spannfuttervorrichtungselement isoliert ist.

77. Spannfutter nach Anspruch 76, wobei das zentrale Element das erste und zweite Spannfuttervorrichtungselement mit dem Isolator und dem den Abstand festlegenden leitenden Abstandshalter fest verbindet.