DE10115589A1 - Beleuchtungseinrichtung - Google Patents

Beleuchtungseinrichtung

Info

Publication number
DE10115589A1
DE10115589A1 DE10115589A DE10115589A DE10115589A1 DE 10115589 A1 DE10115589 A1 DE 10115589A1 DE 10115589 A DE10115589 A DE 10115589A DE 10115589 A DE10115589 A DE 10115589A DE 10115589 A1 DE10115589 A1 DE 10115589A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
lighting device
light
optical element
spectrally broadened
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE10115589A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10115589B4 (de
Inventor
Rafael Storz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leica Microsystems CMS GmbH
Original Assignee
Leica Microsystems Heidelberg GmbH
Leica Microsystems CMS GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=7646174&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE10115589(A1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Leica Microsystems Heidelberg GmbH, Leica Microsystems CMS GmbH filed Critical Leica Microsystems Heidelberg GmbH
Priority to DE10115589.1A priority Critical patent/DE10115589B4/de
Priority to DE20122782U priority patent/DE20122782U1/de
Priority to US09/881,049 priority patent/US6898367B2/en
Priority to EP01114437A priority patent/EP1184701B1/de
Priority to DE50114278T priority patent/DE50114278D1/de
Priority to DK01114437T priority patent/DK1184701T3/da
Priority to US09/881,046 priority patent/US6611643B2/en
Priority to AT01114437T priority patent/ATE407381T1/de
Priority to EP08163492A priority patent/EP2045641A3/de
Priority to JP2001183694A priority patent/JP4533561B2/ja
Publication of DE10115589A1 publication Critical patent/DE10115589A1/de
Priority to US10/964,034 priority patent/US7110645B2/en
Publication of DE10115589B4 publication Critical patent/DE10115589B4/de
Application granted granted Critical
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02295Microstructured optical fibre
    • G02B6/02314Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes
    • G02B6/02342Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes characterised by cladding features, i.e. light confining region
    • G02B6/02376Longitudinal variation along fibre axis direction, e.g. tapered holes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0218Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using optical fibers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/10Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/1256Generating the spectrum; Monochromators using acousto-optic tunable filter
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0032Optical details of illumination, e.g. light-sources, pinholes, beam splitters, slits, fibers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052Optical details of the image generation
    • G02B21/0056Optical details of the image generation based on optical coherence, e.g. phase-contrast arrangements, interference arrangements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052Optical details of the image generation
    • G02B21/0064Optical details of the image generation multi-spectral or wavelength-selective arrangements, e.g. wavelength fan-out, chromatic profiling
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052Optical details of the image generation
    • G02B21/0076Optical details of the image generation arrangements using fluorescence or luminescence
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/008Details of detection or image processing, including general computer control
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/06Means for illuminating specimens
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/255Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding
    • G02B6/2552Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding reshaping or reforming of light guides for coupling using thermal heating, e.g. tapering, forming of a lens on light guide ends
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/35Non-linear optics
    • G02F1/353Frequency conversion, i.e. wherein a light beam is generated with frequency components different from those of the incident light beams
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y20/00Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02295Microstructured optical fibre
    • G02B6/02314Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes
    • G02B6/02342Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes characterised by cladding features, i.e. light confining region
    • G02B6/02366Single ring of structures, e.g. "air clad"
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02295Microstructured optical fibre
    • G02B6/02314Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes
    • G02B6/02342Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes characterised by cladding features, i.e. light confining region
    • G02B6/02371Cross section of longitudinal structures is non-circular
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/35Non-linear optics
    • G02F1/3528Non-linear optics for producing a supercontinuum
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2202/00Materials and properties
    • G02F2202/32Photonic crystals
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/14Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
    • H01S3/16Solid materials
    • H01S3/1601Solid materials characterised by an active (lasing) ion
    • H01S3/162Solid materials characterised by an active (lasing) ion transition metal
    • H01S3/1625Solid materials characterised by an active (lasing) ion transition metal titanium
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/14Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
    • H01S3/16Solid materials
    • H01S3/163Solid materials characterised by a crystal matrix
    • H01S3/1631Solid materials characterised by a crystal matrix aluminate
    • H01S3/1636Al2O3 (Sapphire)

Abstract

Die Erfindung offenbart eine Beleuchtungseinrichtung (1) mit einem Laser (3), der einen Lichtstrahl (7) emittiert, der auf ein mikrostrukturiertes optisches Element (13) gerichtet ist, das das Licht des Lasers spektral verbreitert. Der Laser (3) und das mikrostrukturierte optische Elemente (13) sind zu einem Modul zusammengefasst.

Description

Die Erfindung betrifft eine Beleuchtungseinrichtung mit einem Laser, der einen Lichtstrahl emittiert, der auf ein mikrostrukturiertes optisches Element gerichtet ist, das das Licht des Lasers spektral verbreitert.
Aus der Offenlegungsschrift DE 198 53 669 A1 ist eine Ultrakurzpulsquelle mit steuerbarer Mehrfachwellenlängenausgabe offenbart, die insbesondere in einem Multiphotonenmikroskop Anwendung findet. Das System weist einen Ultrakurzimpulslaser zur Erzeugung ultrakurzer optischer Impulse einer festen Wellenlänge und zumindest einen Wellenlängenumwandlungskanal auf.
Die Patentschrift US 6.097.870 offenbart eine Anordnung zur Generierung eines Breitbandspektrum im sichtbaren und infraroten Spektralbereich. Die Anordnung basiert auf einer mikrostrukturierten Faser, in die das Licht eines Pumplasers eingekoppelt wird. Das Pumplicht wird in der mikrostrukturierten Faser durch nichtlineare Effekte verbreitert. Als mikrostrukturierte Faser findet auch sog. Photonic-Band-Gap-Material oder "photonic crystal fibres", "holey fibers" oder "microstructured fibers" Verwendung. Es sind auch Ausgestaltungen als sog. "Hollow fiber" bekannt.
Eine weitere Anordnung zur Generierung eines Breitbandspektrums ist in der Veröffentlichung von Birks et al.: "Supercontinuum generation in tapered fibers", Opt. Lett. Vol. 25, p. 1415 (2000), offenbart. In der Anordnung wird eine herkömmliche Lichtleitfaser mit einem Faserkern, die zumindest entlang eines Teilstücks eine Verjüngung aufweist verwendet. Lichtleitfasern dieser Art sind als sog. "tapered fibers" bekannt.
Aus der PCT-Anmeldung mit der Publikationsnummer WO 00/04613 ist ein optischer Verstärker bekannt, dessen Verstärkung in Abhängigkeit von der Wellenlänge einstellbar ist. Ferner ist in der genannten Publikation eine auf diesem Prinzip beruhende Faserlichtquelle offenbart.
Bogenlampen sind als breitbandige Lichtquellen bekannt und werden in vielen Bereichen verwendet. Exemplarisch sei hier die US-Patentschrift 3,720,822 "XENON PHOTOGRAPHY LIGHT" genannt, die eine Xenon-Bogenlampe zur Beleuchtung in der Photografie offenbart.
Insbesondere in der Mikroskopie sind zur Beleuchtung mikroskopischer Präparate universelle Beleuchtungseinrichtungen mit hoher Leuchtdichte wichtig. In der Scanmikroskopie wird eine Probe mit einem Lichtstrahl abgerastert. Hierzu werden oft Laser als Lichtquelle eingesetzt. Aus der EP 0 495 930: "Konfokales Mikroskopsystem für Mehrfarbenfluoreszenz" ist beispielsweise ein Anordnung mit einem einzelnen mehrere Laserlinien emittierenden Laser bekannt. Derzeit werden hierfür meist Mischgaslaser, insbesondere ArKr-Laser, eingesetzt. Als Probe werden beispielsweise mit Fluoreszenzfarbstoffen präparierte, biologische Gewebe oder Schnitte untersucht. Im Bereich der Materialuntersuchung wird oft das von der Probe reflektierte Beleuchtungslicht detektiert. Auch Festkörperlaser und Farbstofflaser, sowie Faserlaser und Optisch-Parametrische-Oszillatoren (OPO), denen ein Pumplaser vorgeordnet ist, werden häufig verwendet.
Die aus dem Stand der Technik bekannten Beleuchtungseinrichtungen haben mehrere Nachteile. Die bekannten breitbandigen Beleuchtungseinrichtungen weisen meist eine im Vergleich zu faserbasierenden Beleuchtungseinrichtungen geringe Leuchtdichte auf, während diese dem Benutzer nur diskrete Wellenlängenlinien zur Verfügung stellen, deren spektrale Lage und Breite, wenn überhaupt, nur in geringem Maße einstellbar ist. Durch diese Begrenzung des Arbeitsspektrums sind die bekannten Beleuchtungseinrichtungen nicht flexibel einsetzbar.
Durch die Verwendung von mikrostrukturierten Fasern, wie es in der bereits erwähnten US-Patentschrift 6,097,870 beschrieben ist, wird ein breites kontinuierliches Wellenlängenspektrum zugänglich. Anordnungen der offenbarten Art sind jedoch insbesondere auf Grund der Komplexität der einzelnen optischen Komponenten und deren Justierung zueinander umständlich zu handhaben, unflexibel und störungsanfällig.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Beleuchtungseinrichtung zu schaffen, die die aufgezeigten Nachteile und Probleme vermeidet bzw. löst.
Die objektive Aufgabe wird durch eine Anordnung gelöst, die die Merkmale des kennzeichnenden Teils des Patentanspruchs 1 beinhaltet.
Die Erfindung hat den Vorteil, dass sie universell einsetzbar, leicht zu handhaben und flexibel ist und darüber hinaus Licht aus einem breiten Wellenlängenbereich bietet.
In einer bevorzugten Ausgestaltung weist die Beleuchtungseinrichtung ein Gehäuse mit einer Lichtaustrittsöffnung auf, aus der das spektral verbreiterte Licht austritt. Dies hat den Vorteil, dass insbesondere die optischen Komponenten vor äußeren Einflüssen und insbesondere vor Verschmutzung geschützt sind.
Von besonderem Vorteil ist eine Ausgestaltungsvariante, in der dem mikrostrukturierten optischen Element eine Optik nachgeordnet ist, die das spektral verbreiterte Licht zu einem Strahl formt. Diese Optik befindet sich vorzugsweise innerhalb des Gehäuses unmittelbar vor oder in der Lichtaustrittsöffnung. Hinsichtlich der Strahlensicherheit ist eine, vorzugsweise am Gehäuse angebrachte, Warnlampe vorgesehen, die dem Benutzer die Aktivität der Beleuchtungseinrichtung anzeigt.
Als Laser sind alle gängigen Lasertypen verwendbar. In einer bevorzugten Ausgestaltung ist der Laser ein Kurzpulslaser, beispielsweise ein modenverkoppelter oder modengekoppelter Festkörperlaser, der Lichtpulse einer Dauer von 100 fs bis 10 ps emittiert.
Besonders bevorzugt ist eine Ausführungsform der Beleuchtungseinrichtung, die eine Vorrichtung zur Variierung der Leistung des spektral verbreiterten Lichtes beinhaltet. Ganz besonders vorteilhaft ist es, hierbei die Beleuchtungseinrichtung derart auszugestalten, dass die Leistung des spektral verbreiterten Lichtes bezüglich mindestens einer auswählbaren Wellenlänge oder mindestens eines auswählbaren Wellenlängenbereichs variierbar oder vollständig ausblendbar ist.
Als Vorrichtung zur Variierung der Leistung des spektral verbreiterten Lichtes sind vorzugsweise akustooptische oder elektrooptische Elemente, wie beispielsweise akustooptische, einstellbare Filter (acusto optical tunable filter, AOTF), einsetzbar. Ebenso sind dielektrische Filter oder Farbfilter verwendbar, die vorzugsweise kaskadiert angeordnet sind. Eine besondere Flexibilität wird dadurch erreicht, dass die Filter in Revolvern oder in Schiebefassungen angebracht sind, die ein leichtes Einbringen in den Strahlengang des spektral verbreiterten Lichtes ermöglichen.
In einer anderen Ausgestaltungsform ist vorgesehen, das spektral verbreiterte Licht räumlich spektral aufzuspalten, um mit einer geeigneten variablen Blendenanordnung oder Filteranordnung spektrale Anteile zu unterdrücken oder ganz auszublenden und anschließend die verbliebenen Spektralanteile wieder zu einem Strahl zu vereinigen. Zur räumlich spektralen Aufspaltung ist beispielsweise ein Prisma oder ein Gitter verwendbar.
Zur Variierung der Leistung des spektral verbreiterten Lichtes ist in einer weiteren Ausführungsvariante ein Fabry-Perot-Filter vorgesehen. Auch LCD- Filter sind einsetzbar.
Besonders vorteilhaft ist eine Ausführungsform, die direkt am Gehäuse Bedienelemente zur Einstellung der Lichtleistung und der spektralen Zusammensetzung des spektral verbreiterten Lichtes aufweist. In einer anderen Ausführungsform werden diese Parameter an einem externen Bedienpult oder an einem PC eingestellt und die Einstelldaten in Form von elektrischen Signalen an die Beleuchtungseinrichtung bzw. an die Vorrichtung zur Variierung der Leistung des spektral verbreiterten Lichtes übertragen. Besonders anschaulich ist die Einstellung über Schieber (Slider), die auf einem Display angezeigt sind und beispielsweise mit einer Computermaus bedient werden.
Erfindungsgemäß ist erkannt worden, dass die Divergenz und der Durchmesser des Lichtstrahles, der von dem Laser emittiert und auf das mikrostrukturierte optische Element gerichtet ist, erheblichen Einfluss auf die spektrale Verteilung innerhalb des spektral verbreiterten Lichtes hat. In einer besonders bevorzugten und flexiblen Ausgestaltung beinhaltet die Beleuchtungseinrichtung eine Fokussieroptik, die den Lichtstrahl des Lasers auf das mikrostrukturierte optische Element fokussiert. Besonders vorteilhaft ist eine Ausführung der Fokussieroptik als Variooptik, beispielsweise als Zoomoptik.
In der Beleuchtungseinrichtung ist vorzugsweise eine Vorrichtung vorgesehen, die eine Analyse des in der Wellenlänge verbreiterten Lichtes insbesondere hinsichtlich der spektralen Zusammensetzung und der Lichtleistung ermöglicht. Die Analysevorrichtung ist derart angeordnet, dass ein Teil des spektral verbreiterten Lichtes beispielsweise mit Hilfe eines Strahlteilers abgespalten und der Analysevorrichtung zugeführt wird. Die Analysevorrichtung ist vorzugsweise ein Spektrometer. Sie enthält beispielsweise ein Prisma oder ein Gitter zur räumlich spektralen Aufspaltung und ein CCD-Element oder einen Mehrkanalphotomultiplier als Detektor. In einer Anderen Variante beinhaltet die Analsysevorrichtung einen Multibanddetektor. Auch Halbleiterspektrometer sind verwendbar.
Zur Feststellung der Leistung des spektral verbreiterten Lichtes sind die Detektoren derart ausgestaltet, dass ein zur Lichtleistung proportionales elektrisches Signal erzeugt wird, das von einer Elektronik oder einem Computer auswertbar ist.
Ganz besonders vorteilhaft ist die Ausführungsform, die eine Anzeige für die Leistung des spektral verbreiterten Lichtes und/oder für die spektrale Zusammensetzung des spektral verbreiterten Lichtes beinhaltet. Die Anzeige ist vorzugsweise direkt an dem Gehäuse oder dem Bedienpult angebracht. In einer anderen Ausführungsform dient der Monitor eines PCs zur Anzeige der Leistung bzw. der spektralen Zusammensetzung.
Das mikrostrukturierte optische Element ist in einer bevorzugten Ausgestaltung des Scanmikroskops aus einer Vielzahl von mikrooptischen Strukturelementen aufgebaut, die zumindest zwei unterschiedliche optische Dichten aufweisen. Ganz besonders bevorzugt ist eine Ausgestaltung, bei der das optische Element einen ersten Bereich und einen zweiten Bereich beinhaltet, wobei der erste Bereich eine homogene Struktur aufweist und in dem zweiten Bereich eine mikroskopische Struktur aus mikrooptischen Strukturelementen gebildet ist. Von Vorteil ist es außerdem, wenn der erste Bereich den zweiten Bereich umschließt. Die mikrooptischen Strukturelemente sind vorzugsweise Kanülen, Stege, Waben, Röhren oder Hohlräume.
Das mikrostrukturierte optische Element besteht in einer anderen Ausgestaltung aus nebeneinander angeordnetem Glas- oder Kunststoffmaterial und Hohlräumen. Besonders zu bevorzugen ist die Ausführungsvariante, bei der das mikrostrukturierte optische Element aus Photonic-Band-Gap-Material besteht und als Lichtleitfaser ausgestaltet ist, wobei vorzugsweise eine optische Diode zwischen dem Laser und der Lichtleitfaser vorgesehen ist, die eine Rückreflexion des Lichtstrahles des Lasers, die von den Enden der Lichtleitfaser herrührt, unterdrückt.
Eine ganz besonders bevorzugte und einfach zu realisierende Ausführungsvariante beinhaltet als mikrostrukturiertes optisches Element eine herkömmliche Lichtleitfaser mit einem Faserkerndurchmesser von ca. 9 µm, die zumindest entlang eines Teilstücks eine Verjüngung aufweist. Lichtleitfasern dieser Art sind als sog. "tapered fibers" bekannt. Vorzugsweise ist die Lichtleitfaser insgesamt 1 m lang und weist eine Verjüngung auf einer Länge von 30 mm bis 90 mm auf. Der Durchmesser der Lichtleitfaser beträgt in einer bevorzugten Ausgestaltung im Bereich der Verjüngung ca. 2 µm. Der Faserkerndurchmesser liegt entsprechend im Nanometerbereich.
Die Beleuchtungseinrichtung ist ganz besonders für die Beleuchtung einer mikroskopischen Probe, insbesondere in einem Scanmikroskop oder konfokalen Scanmikroskop, einsetzbar.
In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben. Dabei zeigen:
Fig. 1 eine erfindungsgemäße Beleuchtungseinrichtung,
Fig. 2 eine weitere erfindungsgemäße Beleuchtungseinrichtung,
Fig. 3 eine erfindungsgemäße Beleuchtungseinrichtung mit einem Spektrometer und einer Anzeige,
Fig. 4 eine erfindungsgemäße Beleuchtungseinrichtung mit einem Leistungsmesser und einer Anzeige,
Fig. 5 eine erfindungsgemäße Beleuchtungseinrichtung mit einer Vorrichtung zur Variierung der Leistung,
Fig. 6 eine Ausführung des mikrostrukturierten optischen Elements,
Fig. 7 schematisch ein konfokales Scanmikroskop und
Fig. 8 eine weitere Ausführung des mikrostrukturierten optischen Elements.
Fig. 1 zeigt eine Beleuchtungseinrichtung 1, die einen Laser 3 beinhaltet, der als diodenlasergepumpter, modengekoppelter Ti : Saphir-Laser 5 ausgeführt ist und der einen gepulsten Lichtstrahl 7, der gestrichelt gezeichnet ist, emittiert. Die Dauer der Lichtpulse beträgt ca. 100 fs bei einer Repetitionsrate von ca. 80 MHz. Der Lichtstrahl 7 wird mit der Fokussieroptik 9, die als Zoomoptik 11 ausgestaltet und entlang der Fortpflanzungsrichtung des Lichtstrahles verschiebbar angeordnet ist, auf ein mikrostrukturiertes optisches Element 13, das aus einem Kristall 15 aus Photonic-band-Gap-Material besteht, fokussiert. In dem mikrostrukturierten optischen Element wird das Licht des Lasers spektral verbreitert. Alle Komponenten befinden sich in einen Gehäuse 17 mit einer Lichtaustrittsöffnung 19, durch die das spektral verbreiterte Licht 21, als divergent verlaufender Strahl, das Gehäuse verlässt. Das Spektrum des spektral verbreiterten Lichts 21 reicht von ca. 300 nm bis 1600 nm, wobei die Lichtleistung über das gesamte Spektrum weitgehend konstant ist.
Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel analog zu der in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform. In der Lichtaustrittsöffnung 19 befindet sich eine Optik 23, die das spektral verbreiterte Licht 21 derart zu einem spektral verbreiterten Lichtstrahl 25 formt, dass dieser kollimiert verläuft. Die Optik 23 ist als Variooptik ausgeführt.
Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel analog zu der in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform. Das mikrostrukturierte optische Element 13 besteht aus Photonic-band-Gap-Material und ist als Lichtleitfaser 27 ausgebildet. Das aus der Lichtleitfaser 27 austretende, spektral verbreiterte Licht 21, wird mit Hilfe der Optik 29 zu einem kollimierten, spektral verbreiterten Lichtstrahl 25 geformt. Mit dem Strahlteiler 31 wird ein Teillichtstrahl 33 des spektral verbreiterten Lichtstrahls 25 abgespalten und auf eine Analysevorrichtung 35 gelenkt. Diese beinhaltet ein Prisma 37, das den Teillichtstrahl 33 räumlich spektral zu einem in der Auffächerungsebene divergent verlaufenden Lichtbündel 39 auffächert und auf eine Photodiodenzeile 41 zur Detektion des Lichtes richtet. Die Photodiodenzeile 41 erzeugt zur Leistung des Lichtes des jeweiligen Spektralbereichs proportionale elektrische Signale, die einer Verarbeitungseinheit 43 zugeführt werden. Dort werden die Signale aufbereitet und an eine Anzeige 44 weitergeleitet. Diese besteht aus einem am Gehäuse angebrachten LCD-Display 45 auf dem in Form eines Graphen 47 innerhalb eines Koordinatensystems mit zwei Achsen 49, 51 die Zusammensetzung des spektral verbreiterten Lichtes 21 angezeigt wird. An der Achse 49 ist die Wellenfänge aufgetragen und an der Achse 51 die Leistung des Lichtes. Die gezeigte Beleuchtungseinrichtung beinhaltet ein Bedienpult 53 mit einem Regelknopf 55, der zur Einstellung der Ausgangsleistung des Ti : Saphir-Laser 5 dient. Durch Einstellung der Leistung des Lichtstrahles 7 ist es möglich die Leistung des spektral verbreiterten Lichtes 21 zu variieren.
Fig. 4 zeigt eine Beleuchtungseinrichtung 1, die im Grundaufbau der in Fig. 3 dargestellten Beleuchtungseinrichtung entspricht. Das mikrostrukturierte optische Element 13 besteht aus eine, eine Verjüngung 59 aufweisenden Lichtleitfaser 57. Als Bedienpult ist ein Computer 63 eingesetzt. Als Anzeige 44 für die spektrale Zusammensetzung dient der Monitor 61 des Computers 63, dem die aufbereiteten elektrischen Signale der Verarbeitungseinheit zugeführt werden. Die Darstellung erfolgt analog zur der in Fig. 3 gezeigten Koordinatendarstellung. Der Computer 63 steuert entsprechend der Benutzervorgabe eine Vorrichtung zur Variierung der Leistung 67 des spektral verbreiterten Lichtes 21. Diese ist als AOTF 69 (acousto optical tunable filter) ausgeführt. Außerdem ist eine Steuerung der Ausgangsleistung des Lasers 3 übr den Computer vorgesehen. Der Benutzer nimmt Einstellungen mit Hilfe der Computermaus 65 vor. Auf dem Monitor 61 ist ein Slider 71 dargestellt, der zur Einstellung der Gesamtleistung des spektral veränderten Lichtes 21 dient. Durch anklicken des Graphen 47 bei gleichzeitigem Verschieben der Computermaus 65 wird ein gestrichelter Graph 73 erzeugt, der entsprechend der Bewegung der Computermaus 65 verformbar ist. Im Augenblick eines erneuten Klickens mit der Computermaus 65 wird über den Computer 63 die Vorrichtung zur Variierung der Leistung 67 derart angesteuert, daß sich die mit dem gestrichelten Graphen 73 vorgewählte spektrale Zusammensetzung ergibt.
Fig. 5 zeigt eine Beleuchtungseinrichtung wie in Fig. 1, die zusätzlich eine Anzeige 75 für die Leistung des spektral verbreiterten Lichtes 21 beinhaltet, die als reine Zahlendarstellungsanzeige ausgeführt ist. Mit dem Strahlteiler 31 wird ein Teilstrahl 33 von dem spektral verbreiterten Licht 21 abgespalten und auf einen Photomultiplier 77 gelenkt, der ein zur Leistung des auftreffenden Teilstrahles 33 proportionales elektrisches Signal erzeugt. Dieses wird in der Verarbeitungseinheit 79 aufbereitet und an die Anzeige 75 übermittelt.
Fig. 6 zeigt eine Ausführung des mikrostrukturierten optischen Elements 13. Dieses besteht aus Photonic-Band-Gap-Material, die eine besondere wabenförmige Mikrostruktur 81 aufweist. Die gezeigte Wabenstruktur ist für die Generierung von breitbandigem Licht besonders geeignet. Der Durchmesser der Glasinnenkanüle 83 beträgt ca. 1,9 µm. Die innere Kanüle 83 ist von Glassteegen 85 umgeben. Die Glasstege 85 formen wabenförmige Hohlräume 87. Diese mikrooptischen Strukturelemente bilden gemeinsam einen zweiten Bereich 89, der von einem ersten Bereich 91, der Glasmantel ausgeführt ist, umgeben ist.
Fig. 7 zeigt schematisch ein konfokales Scanmikroskop 93. Der von der Beleuchtungseinrichtung 1 kommende Lichtstrahl 25 wird von einem Strahlteiler 95 zum Scanmodul 97 reflektiert, das einen kardanisch aufgehängten Scanspiegel 99 beinhaltet, der den Lichtstrahl 25 durch die Mikroskopoptik 101 hindurch über bzw. durch das Präparat 103 führt. Der Lichtstrahl 25 wird bei nicht transparenten Präparaten 103 über die Objektoberfläche geführt. Bei biologischen Präparaten 103 oder transparenten Präparaten 103 kann der Lichtstrahl 25 auch durch das Präparat 103 geführt werden. Dies bedeutet, dass aus verschiedenen Fokusebenen des Präparats 103 nacheinander durch den Lichtstrahl 25 abgetastet werden. Die nachträgliche Zusammensetzung ergibt dann ein dreidimensionales Bild des Präparates. Der von der Beleuchtungseinrichtung 1 kommende Lichtstrahl 25 ist in der Abbildung als durchgezogene Linie dargestellt. Das vom Präparat 103 ausgehende Licht 105 gelangt durch die Mikroskopoptik 101 und über das Scanmodul 97 zum Strahlteiler 95, passiert diesen und trifft auf Detektor 107, der als Photomultiplier ausgeführt ist. Das vom Präparat 103 ausgehende Licht 105 ist als gestrichelte Linie dargestellt. Im Detektor 107 werden elektrische, zur Leistung des vom Präparat 103 ausgehenden Lichtes 105 proportionale Detektionssignale erzeugt und weiterverarbeitet. Das bei einem konfokalen Scanmikroskop üblicherweise vorgesehene Beleuchtungspinhole 109 und das Detektionspinhole 111 sind der Vollständigkeit halber schematisch eingezeichnet. Weggelassen sind wegen der besseren Anschaulichkeit hingegen einige optische Elemente zur Führung und Formung der Lichtstrahlen. Diese sind einem auf diesem Gebiet tätigen Fachmann hinlänglich bekannt.
Fig. 8 zeigt schematisch eine Ausführung des mikrostrukturierten optischen Elements 13. In dieser Ausführung besteht das mikrostrukturierte optische Element 13 aus einer herkömmlichen Lichtleitfaser 113 mit einem Außendurchmesser von 125 µm und einem Faserkern 115, der einen Durchmesser von 6 µm aufweist. Im Bereich einer 300 mm langen Verjüngung 117 ist der Aussendurchmesser der Lichtleitfaser 113 auf 1,8 µm reduziert. In diesem Bereich beträgt der Durchmesser des Faserkerns 115 nur noch Bruchteile von Mikrometern.
Die Erfindung wurde in Bezug auf eine besondere Ausführungsform beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.
Bezugzeichenliste
1
Beleuchtungseinrichtung
3
Laser
5
Ti : Saphir-Laser
7
Lichtstrahl
9
Fokussieroptik
11
Zoomoptik
13
mikrostrukturiertes optisches Element
15
Kristall
17
Gehäuse
19
Lichtaustrittsöffnung
21
spektral verbreitertes Licht
23
Optik
25
spektral verbreiterter Lichtstrahl
27
Lichtleitfaser
29
Optik
31
Strahlteiler
33
Teillichtstrahl
35
Analysevorrichtung
37
Prisma
39
Lichtbündel
41
Photodiodenzeile
43
Verarbeitungseinheit
44
Anzeige
45
LCD-Display
47
Graph
49
Achse
51
Achse
53
Bedienpult
55
Regelknopf
57
Lichtleitfaser
59
Verjüngung
61
Monitor
63
Computer
65
Computermaus
67
Vorrichtung zur Variierung der Leistung
69
AOTF
71
Slider
73
Graph
75
Anzeige
77
Photomultiplier
79
Verarbeitungseinheit
81
Mikrostruktur
83
Glasinnenkanüle
85
Glassteege
87
Hohlräume
89
zweiter Bereich
91
erster Bereich
93
konfokales Scanmikroskop
95
Strahlteiler
97
Scanmodul
99
Scanspiegel
101
Mikroskopoptik
103
Präparat
105
vom Präparat ausgehendes Licht
107
Detektor
109
Beleuchtungspinhole
111
Detektionspinhole
113
Lichtleitfaser
115
Faserkern
117
Verjüngung

Claims (24)

1. Beleuchtungseinrichtung (1) mit einem Laser (3), der einen Lichtstrahl (7) emittiert, der auf ein mikrostrukturiertes optischen Element (13) gerichtet ist, das das Licht des Lasers spektral verbreitert, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser (3) und das mikrosturkurierte optische Element (13) zu einem Modul zusammengefasst sind.
2. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinrichtung (1) ein Gehäuse (17) mit einer Lichtaustrittsöffnung (19) aufweist, aus der das spektral verbreiterte Licht (21) austritt.
3. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass dem mikrostrukturierten optischen Element (13) eine Optik (23) nachgeordnet ist, die das spektral verbreiterte Licht zu einem Strahl formt.
4. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinrichtung (1) eine Vorrichtung zur Variierung der Leistung (67) des spektral verbreiterten Lichtes (21) beinhaltet.
5. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinrichtung (1) eine Vorrichtung zur Variierung der Leistung (67) des spektral verbreiterten Lichtes mindestens einer auswählbaren Wellenlänge oder mindestens eines auswählbaren Wellenlängenbereichs beinhaltet.
6. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das spektral verbreiterte Licht (21) innerhalb auswählbarer Wellenlängen oder auswählbarer Wellenlängenbereiche vollständig ausblendbar ist.
7. Beleuchtungseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass ein Bedienpult (53) zur Auswahl der Leistung des spektral verbreiterten Lichtes vorgesehen ist.
8. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinrichtung (1) eine Fokussieroptik (9) beinhaltet, die den Lichtstrahl (7) des Lasers (3) auf das mikrostrukturierte optische Element (13) fokussiert.
9. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Fokussieroptik (9) eine Variooptik ist.
10. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Strahlteiler (31) vorgesehen ist, der einen Teilstrahl (33) des spektral verbreiterten Lichtes (21) auf eine Analysevorrichtung (35) richtet.
11. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Analysevorrichtung (35) ein Spektrometer ist.
12. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Analysevorrichtung (35) ein Leistungsmesser ist.
13. Beleuchtungseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass eine Anzeige (44) für die Leistung des spektral verbreiterten Lichtes (21) vorgesehen ist.
14. Beleuchtungseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass eine Anzeige (44) für die spektrale Zusammensetzung des spektral verbreiterten Lichtes (21) vorgesehen ist.
15. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mikrosturkurierte optische Element (13) aus einer Vielzahl von mikrooptischen Strukturelementen aufgebaut ist, die zumindest zwei unterschiedliche optische Dichten aufweisen.
16. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das mikrosturkurierte optische Element (13) einen ersten Bereich (91) und einen zweiten Bereich (89) beinhaltet, wobei der erste Bereich (91) eine homogene Struktur aufweist und in dem zweiten Bereich (89) eine Mikrostruktur (81) aus mikrooptischen Strukturelementen gebildet ist.
17. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Bereich (91) den zweiten Bereich (89) umschließt.
18. Beleuchtungseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass das mikrostrukturierte optische Element (13) aus nebeneinander angeordnetem Glas- oder Kunststoffmaterial und Hohlräumen (87) besteht.
19. Beleuchtungseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die mikrooptischen Strukturelemente Kanülen (83), Stege (85), Waben, Röhren oder Hohlräume (87) sind.
20. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das mikrosturkurierte optische Element aus Photonic- Band-Gap-Material besteht.
21. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das mikrosturkurierte optische Element als Lichtleitfaser (27, 57) ausgestaltet ist.
22. Beleuchtungseinrichtung (1) nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtleitfaser (27, 57) eine Verjüngung (59) aufweist.
23. Beleuchtungseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinrichtung (1) in einem Mikroskop zur Beleuchtung eines Präparats (103) verwendbar ist.
24. Beleuchtungseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinrichtung (1) in einem konfokalen Scanmikroskop (93) zur Beleuchtung eines Präparats (103) verwendbar ist.
DE10115589.1A 2000-06-17 2001-03-29 Konfokales Scanmikroskop Expired - Lifetime DE10115589B4 (de)

Priority Applications (11)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10115589.1A DE10115589B4 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Konfokales Scanmikroskop
DE20122782U DE20122782U1 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Beleuchtungseinrichtung
US09/881,046 US6611643B2 (en) 2000-06-17 2001-06-15 Illuminating device and microscope
EP01114437A EP1184701B1 (de) 2000-06-17 2001-06-15 Beleuchtungseinrichtung
DE50114278T DE50114278D1 (de) 2000-06-17 2001-06-15 Beleuchtungseinrichtung
DK01114437T DK1184701T3 (da) 2000-06-17 2001-06-15 Belysningsindretning
US09/881,049 US6898367B2 (en) 2000-06-17 2001-06-15 Method and instrument for microscopy
AT01114437T ATE407381T1 (de) 2000-06-17 2001-06-15 Beleuchtungseinrichtung
EP08163492A EP2045641A3 (de) 2000-06-17 2001-06-15 Beleuchtungseinrichtung
JP2001183694A JP4533561B2 (ja) 2000-06-17 2001-06-18 照明装置
US10/964,034 US7110645B2 (en) 2000-06-17 2004-10-13 Method and instrument for microscopy

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10030013 2000-06-17
DE10030013.8 2000-06-17
DE10115589.1A DE10115589B4 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Konfokales Scanmikroskop

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10115589A1 true DE10115589A1 (de) 2001-12-20
DE10115589B4 DE10115589B4 (de) 2020-07-30

Family

ID=7646174

Family Applications (13)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10115590.5A Expired - Lifetime DE10115590B4 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Scanmikroskop
DE10115577A Ceased DE10115577A1 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung und optisches Bauteil für ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung
DE10115487A Ceased DE10115487A1 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop
DE10115589.1A Expired - Lifetime DE10115589B4 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Konfokales Scanmikroskop
DE10115509A Ceased DE10115509A1 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop und Beleuchtungseinrichtung für ein Scanmikroskop
DE10115488A Ceased DE10115488A1 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung eines Objekts
DE10115486A Withdrawn DE10115486A1 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Verschränkte-Photonen-Mikroskop
DE50114274T Expired - Lifetime DE50114274D1 (de) 2000-06-17 2001-06-01 Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop und Beleuchtungseinrichtung für ein Scanmikroskop
DE50115456T Expired - Lifetime DE50115456D1 (de) 2000-06-17 2001-06-01 Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung und optisches Bauelement für ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung
DE50115464T Expired - Lifetime DE50115464D1 (de) 2000-06-17 2001-06-01 Scanmikroskop zum Untersuchen mikroskopischer Präparate und Beleuchtungseinrichtung für ein Scanmikroskop
DE50105513T Expired - Lifetime DE50105513D1 (de) 2000-06-17 2001-06-01 Verschränkte-Photonen-Mikroskop
DE50114275T Expired - Lifetime DE50114275D1 (de) 2000-06-17 2001-06-09 Scanmikroskop
DE50114278T Expired - Lifetime DE50114278D1 (de) 2000-06-17 2001-06-15 Beleuchtungseinrichtung

Family Applications Before (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10115590.5A Expired - Lifetime DE10115590B4 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Scanmikroskop
DE10115577A Ceased DE10115577A1 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung und optisches Bauteil für ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung
DE10115487A Ceased DE10115487A1 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop

Family Applications After (9)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10115509A Ceased DE10115509A1 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop und Beleuchtungseinrichtung für ein Scanmikroskop
DE10115488A Ceased DE10115488A1 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung eines Objekts
DE10115486A Withdrawn DE10115486A1 (de) 2000-06-17 2001-03-29 Verschränkte-Photonen-Mikroskop
DE50114274T Expired - Lifetime DE50114274D1 (de) 2000-06-17 2001-06-01 Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop und Beleuchtungseinrichtung für ein Scanmikroskop
DE50115456T Expired - Lifetime DE50115456D1 (de) 2000-06-17 2001-06-01 Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung und optisches Bauelement für ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung
DE50115464T Expired - Lifetime DE50115464D1 (de) 2000-06-17 2001-06-01 Scanmikroskop zum Untersuchen mikroskopischer Präparate und Beleuchtungseinrichtung für ein Scanmikroskop
DE50105513T Expired - Lifetime DE50105513D1 (de) 2000-06-17 2001-06-01 Verschränkte-Photonen-Mikroskop
DE50114275T Expired - Lifetime DE50114275D1 (de) 2000-06-17 2001-06-09 Scanmikroskop
DE50114278T Expired - Lifetime DE50114278D1 (de) 2000-06-17 2001-06-15 Beleuchtungseinrichtung

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7679822B2 (de)
EP (3) EP2045643B2 (de)
JP (1) JP5111480B2 (de)
AT (1) ATE407381T1 (de)
DE (13) DE10115590B4 (de)
DK (1) DK1184701T3 (de)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10221365A1 (de) * 2002-05-08 2003-11-27 Jenoptik Laser Optik Sys Gmbh Optische Anordnung zur Erzeugung eines Breitbandspektrums
DE10324478B3 (de) * 2003-05-30 2004-12-09 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Vorrichtung zum Ermitteln der Lichtleistung eines Lichtstrahles und Scanmikroskop
US7257289B2 (en) 2002-06-17 2007-08-14 Leica Microsystems Cms Gmbh Spectral microscope and method for data acquisition using a spectral microscope
DE102007024075A1 (de) 2007-05-22 2008-11-27 Leica Microsystems Cms Gmbh Durchstimmbares akusto-optisches Filterelement
DE102007039498A1 (de) 2007-08-21 2009-02-26 Leica Microsystems Cms Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung bzw. Bestrahlung eines Objekts, einer Probe oder dgl.
DE102013008075A1 (de) * 2013-05-10 2014-11-13 Volkswagen Aktiengesellschaft Leuchtvorrichtung mit nichtlinearem Lichtleiter für ein Kraftfahrzeug
US9020000B2 (en) 2008-01-19 2015-04-28 Fianium Ltd. Flexible and stable supercontinuum source

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003060610A1 (de) * 2002-01-16 2003-07-24 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren und anordnungen zur mikroskopischen abbildung
DE10211458A1 (de) * 2002-03-12 2003-09-25 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur Erhöhung der Auflösung in einem Mikroskop
DE10313987B4 (de) * 2003-03-27 2007-07-12 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Beleuchtung eines Objekts
DE10314750A1 (de) * 2003-03-31 2004-11-04 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Rastermikroskop zur Detektion eines Objekts
DE10331906B4 (de) * 2003-07-15 2005-06-16 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Lichtquelle mit einem Mikrostruktuierten optischen Element und Mikroskop mit Lichtquelle
DE10340964A1 (de) 2003-09-05 2005-03-31 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Lichtquelle mit einem mikrostrukturierten optischen Element
DE102004032463B4 (de) * 2004-06-30 2011-05-19 Jenoptik Laser Gmbh Verfahren und optische Anordnung zur Erzeugung eines Breitbandspektrums mittels modengekoppelter Picosekunden-Laserimpulse
AU2005313736A1 (en) * 2004-12-08 2006-06-15 Thomas Buehrer Optical device for producing lines of light from quasi-point sources of light by means of slit-like cavities
DE102005010887A1 (de) * 2005-03-09 2006-09-14 Leica Microsystems (Schweiz) Ag Beleuchtungseinrichtung
DE102006004075B4 (de) * 2006-01-28 2008-01-03 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Verringerung des Intensitätsrauschens und Mikroskop mit Vorrichtung zur Verringerung des Intensitätsrauschens
DE102006053187A1 (de) 2006-11-09 2008-05-15 Leica Microsystems Cms Gmbh Akustooptisches Bauteil
DE102007028337B4 (de) * 2007-06-15 2019-08-29 Leica Microsystems Cms Gmbh Strahlvereiniger und eine Lichtquelle mit einem derartigen Strahlvereiniger
DE102007053199A1 (de) 2007-11-06 2009-05-14 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Ansteuerung eines akustooptischen Bauteils
DE202009007789U1 (de) 2009-06-03 2009-08-20 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Breitbandige Lichtquelle und Mikroskop
DE102009056092B4 (de) 2009-11-30 2013-02-28 PicoQuant GmbH. Unternehmen für optoelektronische Forschung und Entwicklung Lichtquelle mit einem Diodenlaser
US9229294B2 (en) 2010-05-06 2016-01-05 Leica Microsystems Cms Gmbh Apparatus and method for operating an acousto-optical component
DE102010026205A1 (de) * 2010-07-06 2012-01-12 Carl Zeiss Microlmaging Gmbh Mikroskop, insbesondere Fluoreszenzmikroskop, dichroitischer Strahlteiler und dessen Verwendung
US8385699B2 (en) 2010-07-29 2013-02-26 Jian Liu Amplified broadband fiber laser source
DE102011000905A1 (de) 2011-02-24 2012-08-30 Leica Microsystems Cms Gmbh Pulsvereiniger für die verschiedenen Spektralfarben eines Superkontinuum-Lasers

Family Cites Families (80)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US659074A (en) * 1899-08-24 1900-10-02 Hippolyte Joseph La Force Journal-box.
US3720822A (en) 1971-01-29 1973-03-13 Xenotech Inc Xenon photography light
US4011403A (en) * 1976-03-30 1977-03-08 Northwestern University Fiber optic laser illuminators
US4063106A (en) * 1977-04-25 1977-12-13 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Optical fiber Raman oscillator
CA1325537C (en) 1988-08-01 1993-12-28 Timothy Peter Dabbs Confocal microscope
DE3912914A1 (de) * 1989-04-20 1990-10-25 Douw Serge Vorrichtung zur definierten farb- und richtungsbeeinflussung eines weisslicht-laserstrahls
US5034613A (en) * 1989-11-14 1991-07-23 Cornell Research Foundation, Inc. Two-photon laser microscopy
JP2516859Y2 (ja) 1990-04-23 1996-11-13 三菱電線工業株式会社 光ファイバ増幅器
US5127730A (en) * 1990-08-10 1992-07-07 Regents Of The University Of Minnesota Multi-color laser scanning confocal imaging system
US5272330A (en) * 1990-11-19 1993-12-21 At&T Bell Laboratories Near field scanning optical microscope having a tapered waveguide
US5286970A (en) * 1990-11-19 1994-02-15 At&T Bell Laboratories Near field optical microscopic examination of a biological specimen
US5288998A (en) * 1990-11-19 1994-02-22 At&T Bell Laboratories Manufacturing method including photoresist processing using a near-field optical probe
US5784162A (en) * 1993-08-18 1998-07-21 Applied Spectral Imaging Ltd. Spectral bio-imaging methods for biological research, medical diagnostics and therapy
US5155792A (en) * 1991-06-27 1992-10-13 Hughes Aircraft Company Low index of refraction optical fiber with tubular core and/or cladding
JP2777505B2 (ja) * 1992-07-29 1998-07-16 株式会社日立製作所 自動分析電子顕微鏡および分析評価方法
US5283433A (en) 1992-10-05 1994-02-01 The Regents Of The University Of California Scanning confocal microscope providing a continuous display
US5394268A (en) * 1993-02-05 1995-02-28 Carnegie Mellon University Field synthesis and optical subsectioning for standing wave microscopy
US5764845A (en) * 1993-08-03 1998-06-09 Fujitsu Limited Light guide device, light source device, and liquid crystal display device
US5537247A (en) * 1994-03-15 1996-07-16 Technical Instrument Company Single aperture confocal imaging system
DE4414940C2 (de) 1994-04-28 1998-07-02 Pekka Haenninen Lumineszenz-Rastermikroskop mit zwei Photonen Anregung
US5903688A (en) * 1994-08-25 1999-05-11 Leica Lasertechnik Gmbh Device for feeding a UV laser into a confocal laser scanning microscope
DE4446185C2 (de) 1994-08-25 1997-03-27 Leica Lasertechnik Vorrichtung zum Einkoppeln eines UV-Laserstrahls in ein konfokales Laser-Scanmikroskop
US5541613A (en) * 1994-11-03 1996-07-30 Hughes Aircraft Company, Hughes Electronics Efficient broadband antenna system using photonic bandgap crystals
JPH08211296A (ja) 1995-02-03 1996-08-20 Shimadzu Corp 共焦点走査型光学顕微鏡
US5784152A (en) 1995-03-16 1998-07-21 Bio-Rad Laboratories Tunable excitation and/or tunable detection microplate reader
US5861984A (en) * 1995-03-31 1999-01-19 Carl Zeiss Jena Gmbh Confocal scanning microscope and beamsplitter therefor
KR100209608B1 (ko) * 1995-09-15 1999-07-15 구자홍 광 출력검지 장치
DE852716T1 (de) * 1995-09-19 2001-07-19 Cornell Res Foundation Inc Multiphoton lasermikroskopie
US5802236A (en) * 1997-02-14 1998-09-01 Lucent Technologies Inc. Article comprising a micro-structured optical fiber, and method of making such fiber
DE19622359B4 (de) * 1996-06-04 2007-11-22 Carl Zeiss Jena Gmbh Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang
US6005709A (en) * 1996-06-05 1999-12-21 Marine Biological Laboratory Microscope system for using transmitted light to observe living organisms
US6002522A (en) * 1996-06-11 1999-12-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Optical functional element comprising photonic crystal
EP0819963B1 (de) * 1996-07-16 2003-09-17 Perkin-Elmer Limited Kontrolle eines Infrarotmikroskops
US5862287A (en) * 1996-12-13 1999-01-19 Imra America, Inc. Apparatus and method for delivery of dispersion compensated ultrashort optical pulses with high peak power
DE19758745C5 (de) * 1997-01-27 2008-09-25 Carl Zeiss Jena Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop
JPH10293094A (ja) * 1997-02-24 1998-11-04 Olympus Optical Co Ltd サイトメータ
US5796477A (en) * 1997-02-27 1998-08-18 Trustees Of Boston University Entangled-photon microscopy, spectroscopy, and display
US5995281A (en) * 1997-04-09 1999-11-30 Carl Zeiss Jena Gmbh Device for coupling the radiation of short-pulse lasers in an optical beam path of a microscope
US6108127A (en) * 1997-05-15 2000-08-22 3M Innovative Properties Company High resolution confocal microscope
US5999548A (en) * 1997-06-18 1999-12-07 Nippon Telegraph And Telephone Corporation White optical pulse source and applications
GB9713422D0 (en) * 1997-06-26 1997-08-27 Secr Defence Single mode optical fibre
US5973316A (en) * 1997-07-08 1999-10-26 Nec Research Institute, Inc. Sub-wavelength aperture arrays with enhanced light transmission
DE19733195B4 (de) 1997-08-01 2006-04-06 Carl Zeiss Jena Gmbh Hoch-Kompaktes Laser Scanning Mikroskop mit integriertem Kurzpuls Laser
US6356088B1 (en) * 1997-08-01 2002-03-12 Carl Zeiss Jena Gmbh Highly compact laser scanning microscope with integrated short-pulse laser
US5967653A (en) * 1997-08-06 1999-10-19 Miller; Jack V. Light projector with parabolic transition format coupler
US6744555B2 (en) * 1997-11-21 2004-06-01 Imra America, Inc. Ultrashort-pulse source with controllable wavelength output
US6154310A (en) * 1997-11-21 2000-11-28 Imra America, Inc. Ultrashort-pulse source with controllable multiple-wavelength output
US6108474A (en) 1997-12-11 2000-08-22 Lucent Technologies Inc. Optical pulse compressor for optical communications systems
JPH11174332A (ja) 1997-12-11 1999-07-02 Nikon Corp レーザ顕微鏡
DE19906757B4 (de) 1998-02-19 2004-07-15 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Mikroskop
JP4406108B2 (ja) 1998-03-11 2010-01-27 オリンパス株式会社 多光子励起レーザ顕微鏡
US6404966B1 (en) * 1998-05-07 2002-06-11 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Optical fiber
DE19827140C2 (de) * 1998-06-18 2002-12-12 Zeiss Carl Jena Gmbh Laserscanmikroskop mit AOTF
DE19829944C2 (de) * 1998-07-04 2002-03-28 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur Gerätekonfiguration eines Fluoreszenz-Laserscanmikroskops
DE19829981C2 (de) 1998-07-04 2002-10-17 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur konfokalen Mikroskopie
DE19829954A1 (de) 1998-07-04 2000-01-05 Zeiss Carl Jena Gmbh Strahlteiler in einem Laser-Scanning-Mikroskop
KR100328291B1 (ko) 1998-07-14 2002-08-08 노베라 옵틱스 인코포레이티드 능동제어된파장별이득을갖는광증폭기및변화가능한출력스펙트럼을갖는광섬유광원
DE19835068A1 (de) 1998-08-04 2000-02-10 Zeiss Carl Jena Gmbh Mikroskop, insbesondere Laser-Scanning-Mikroskop
DE19840926B4 (de) 1998-09-08 2013-07-11 Hell Gravure Systems Gmbh & Co. Kg Anordnung zur Materialbearbeitung mittels Laserstrahlen und deren Verwendung
JP2000199855A (ja) * 1998-11-02 2000-07-18 Olympus Optical Co Ltd 走査型光学顕微鏡装置
US6243522B1 (en) * 1998-12-21 2001-06-05 Corning Incorporated Photonic crystal fiber
GB9903918D0 (en) * 1999-02-19 1999-04-14 Univ Bath Improvements in and relating to photonic crystal fibres
US6424665B1 (en) * 1999-04-30 2002-07-23 The Regents Of The University Of California Ultra-bright source of polarization-entangled photons
US6097870A (en) 1999-05-17 2000-08-01 Lucent Technologies Inc. Article utilizing optical waveguides with anomalous dispersion at vis-nir wavelenghts
US6252665B1 (en) * 1999-05-20 2001-06-26 California Institute Of Technology Lithography using quantum entangled particles
US6236779B1 (en) * 1999-05-24 2001-05-22 Spectra Physics Lasers, Inc. Photonic crystal fiber system for sub-picosecond pulses
GB0010950D0 (en) * 2000-05-05 2000-06-28 Univ Bath A nonlinear optical device
US6885683B1 (en) * 2000-05-23 2005-04-26 Imra America, Inc. Modular, high energy, widely-tunable ultrafast fiber source
EP1164406B1 (de) * 2000-06-17 2019-04-17 Leica Microsystems CMS GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung eines Objekts
DE20122782U1 (de) * 2000-06-17 2007-11-15 Leica Microsystems Cms Gmbh Beleuchtungseinrichtung
EP1164401B1 (de) * 2000-06-17 2005-03-09 Leica Microsystems Heidelberg GmbH Verschränkte-Photonen-Mikroskop
EP1164402B1 (de) * 2000-06-17 2010-04-28 Leica Microsystems CMS GmbH Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung und optisches Bauelement für ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung
US6898367B2 (en) * 2000-06-17 2005-05-24 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Method and instrument for microscopy
DK1186929T4 (da) * 2000-06-17 2010-01-25 Leica Microsystems Arrangement til undersøgelse af mikroskopiske præparater med et scanningsmikroskop
DE20122791U1 (de) * 2000-06-17 2007-11-29 Leica Microsystems Cms Gmbh Scanmikroskop
US6514784B1 (en) * 2000-09-01 2003-02-04 National Research Council Of Canada Laser-induced bandgap shifting for photonic device integration
US6658183B1 (en) * 2000-10-20 2003-12-02 Lucent Technologies Inc. Process for fabricating tapered microstructured fiber system and resultant system
US6369928B1 (en) * 2000-11-01 2002-04-09 Optical Biopsy Technologies, Inc. Fiber-coupled, angled-dual-illumination-axis confocal scanning microscopes for performing reflective and two-photon fluorescence imaging
DE10139754B4 (de) * 2001-08-13 2004-07-08 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Beleuchtungsverfahren für ein Scanmikroskop und Scanmikroskop
US6721476B2 (en) * 2001-12-03 2004-04-13 Honeywell International Inc. Optical demultiplexer based on three-dimensionally periodic photonic crystals

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10221365A1 (de) * 2002-05-08 2003-11-27 Jenoptik Laser Optik Sys Gmbh Optische Anordnung zur Erzeugung eines Breitbandspektrums
US7257289B2 (en) 2002-06-17 2007-08-14 Leica Microsystems Cms Gmbh Spectral microscope and method for data acquisition using a spectral microscope
DE10227111B4 (de) * 2002-06-17 2007-09-27 Leica Microsystems Cms Gmbh Spektralmikroskop und Verfahren zur Datenaufnahme mit einem Spektralmikroskop
DE10324478B3 (de) * 2003-05-30 2004-12-09 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Vorrichtung zum Ermitteln der Lichtleistung eines Lichtstrahles und Scanmikroskop
US7428043B2 (en) 2003-05-30 2008-09-23 Leica Microsystems Cms Gmbh Apparatus for ascertaining the light power level of a light beam, and scanning microscope
DE102007024075A1 (de) 2007-05-22 2008-11-27 Leica Microsystems Cms Gmbh Durchstimmbares akusto-optisches Filterelement
US8718414B2 (en) 2007-05-22 2014-05-06 Leica Microsystems Cms Gmbh Acousto-optical tunable filter element
DE102007024075B4 (de) 2007-05-22 2022-06-09 Leica Microsystems Cms Gmbh Durchstimmbares akusto-optisches Filterelement, einstellbare Lichtquelle, Mikroskop und akusto-optischer Strahlteiler
US9400404B2 (en) 2007-05-22 2016-07-26 Leica Microsystems Cms Gmbh Acousto-optical tunable filter element
DE102007039498A1 (de) 2007-08-21 2009-02-26 Leica Microsystems Cms Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung bzw. Bestrahlung eines Objekts, einer Probe oder dgl.
US8913317B2 (en) 2007-08-21 2014-12-16 Leica Microsystems Cms Gmbh Method and device for illuminating a sample in a laser microscope
DE102007039498B4 (de) * 2007-08-21 2017-08-03 Leica Microsystems Cms Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung und/oder Bestrahlung eines Objekts oder einer Probe
US9531153B2 (en) 2008-01-19 2016-12-27 Fianium Ltd. Apparatus and method for the generation of supercontinuum pulses
US9564731B2 (en) 2008-01-19 2017-02-07 Fianium Ltd. Method for illuminating a sample with supercontinuum pulses
US9570878B2 (en) 2008-01-19 2017-02-14 Fianium Ltd. Method and apparatus for providing supercontinuum pulses
US9020000B2 (en) 2008-01-19 2015-04-28 Fianium Ltd. Flexible and stable supercontinuum source
US9774163B2 (en) 2008-01-19 2017-09-26 Nkt Photonics A/S Variable repetition rate and wavelength optical pulse source
US10074957B2 (en) 2008-01-19 2018-09-11 Nkt Photonics A/S Variable repetition rate supercontinuum pulses
DE102013008075A1 (de) * 2013-05-10 2014-11-13 Volkswagen Aktiengesellschaft Leuchtvorrichtung mit nichtlinearem Lichtleiter für ein Kraftfahrzeug

Also Published As

Publication number Publication date
JP5111480B2 (ja) 2013-01-09
DE50114274D1 (de) 2008-10-16
JP2010102345A (ja) 2010-05-06
DE10115577A1 (de) 2001-12-20
DE10115589B4 (de) 2020-07-30
DE50115456D1 (de) 2010-06-10
DK1184701T3 (da) 2009-01-26
EP2045643A1 (de) 2009-04-08
DE10115488A1 (de) 2001-12-20
DE10115590B4 (de) 2020-11-05
DE10115590A1 (de) 2001-12-20
DE50105513D1 (de) 2005-04-14
EP2045643B2 (de) 2013-10-30
DE10115509A1 (de) 2001-12-20
EP2045642A1 (de) 2009-04-08
US7679822B2 (en) 2010-03-16
DE50114278D1 (de) 2008-10-16
DE10115486A1 (de) 2001-12-20
DE10115487A1 (de) 2001-12-20
EP2045641A3 (de) 2009-10-28
US20090086315A1 (en) 2009-04-02
ATE407381T1 (de) 2008-09-15
EP2045643B1 (de) 2010-04-28
DE50115464D1 (de) 2010-06-10
DE50114275D1 (de) 2008-10-16
EP2045641A2 (de) 2009-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1184701B1 (de) Beleuchtungseinrichtung
DE10115589B4 (de) Konfokales Scanmikroskop
EP1164406B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung eines Objekts
EP1714187B1 (de) Mikroskop mit einer lichtquelle mit mehreren mikrostrukturierten optischen elementen
DE10243449B4 (de) CARS-Mikroskop und Verfahren zur CARS-Mikroskopie
DE10137155B4 (de) Optische Anordnung und Scanmikroskop
EP1255105A1 (de) Verfahren zur Untersuchung einer Probe und Scanmikroskop
EP1164403B1 (de) Scanmikroskop
EP1164400B1 (de) Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop und Beleuchtungseinrichtung für ein Scanmikroskop
EP1668394A1 (de) Mikroskop mit evaneszenter beleuchtung
DE10137158B4 (de) Verfahren zur Scanmikroskopie und Scanmikroskop
DE10227111A1 (de) Spektralmikroskop und Verfahren zur Datenaufnahme mit einem Spektralmikroskop
DE10004233A1 (de) Mikroskop-Aufbau
DE10150542B4 (de) Verfahren zur Fluoreszenzmikroskopie
DE10021379A1 (de) Optische Messanordnung insbesondere zur Schichtdickenmessung
DE4005878C2 (de)
DE102006047911A1 (de) Anordnung zur Aufteilung von Detektionslicht
EP1644765A1 (de) Lichtquelle mit einem mikrostrukturierten optischen element und mikroskop mit lichtquelle
DE20122785U1 (de) Vorrichtung zur Beleuchtung eines Objekts

Legal Events

Date Code Title Description
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: LEICA MICROSYSTEMS CMS GMBH, 35578 WETZLAR, DE

8110 Request for examination paragraph 44
R082 Change of representative

Representative=s name: SCHAUMBURG & PARTNER PATENTANWAELTE GBR, DE

Representative=s name: SCHAUMBURG & PARTNER PATENTANWAELTE MBB, DE

Representative=s name: SCHAUMBURG UND PARTNER PATENTANWAELTE MBB, DE

R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R071 Expiry of right
R020 Patent grant now final