DE10115577A1 - Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung und optisches Bauteil für ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung - Google Patents

Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung und optisches Bauteil für ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung

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DE10115577A1
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Abstract

Es ist ein Scanmikroskop offenbart, durch das eine Probe (14) beleuchtbar und detektierbar ist. Ein Beleuchtungs- und Detektionspinhole (10, 16) ist jeweils im Beleuchtungs- bzw. im Detektionsstrahlengang (8, 15) angeordnet, wobei im Beleuchtungsstrahlengang (8) ein optisches Bauelement (4) vorgesehen ist, das ein zumindest teilweise spektral verbreitertes Beleuchtungslicht erzeugt. Ein polarisations- und wellenlängenunabhängiger Strahlleiter (11) ist im Beleuchtungs- und Detektionsstrahlengang (8, 15) ortsfest angeordnet.

Description

Die Erfindung betrifft ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung. Im besonderen betrifft die Erfindung ein Scanmikroskop mit einem Objektiv, durch das eine Probe beleuchtbar und detektierbar ist, wobei das Objektiv sowohl in einem Beleuchtungs- als auch einem Detektionsstrahlengang angeordnet ist, und dass ein Beleuchtungs- und Detektionspinhole jeweils im Beleuchtungs- bzw. im Detektionsstrahlengang angeordnet ist.
Ferner betrifft die Erfindung ein optisches Bauteil für ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung.
In dem europäischen Patent EP-0 495 930 ist ein konfokales Mikroskopsystem für die Mehrfarbenfluoreszenz offenbart. Im Detektions- und Beobachtungsstrahlengang des Mikroskopsystems ist ein dichroitischer Spiegel vorgesehen, der mehrere Wellenlängenbereiche passieren lässt. Der hier offenbarte dichroitische Spiegel ist jedoch nur für bestimmte Wellenlängenbereiche ausgelegt. Sollte das Bedürfnis bestehen, mit einer anderen Kombination von Wellenlängenbereichen Untersuchungen durchführen zu wollen, so ist es notwendig, den dichroitischen Spiegel gegen einen für diese Kombination von Wellenlängenbereichen geeigneten auszutauschen. Dies schränkt die flexible Einsetzbarkeit des Gerätes erheblich ein.
Die deutsche Offenlegungsschrift 198 29 954 offenbart einen Strahlteiler in einem Laser-Scanning-Mikroskop. Der Strahlteiler im Strahlengang des Laser- Scanning-Mikroskops dient zur Trennung des Anregungs- und Emissionsstrahlengangs. Der Strahlteiler besteht vorzugsweise aus Farbgläsern, die auswechselbar sind. Zum Auswechseln der Farbgläser sind diese auf einem Teilerevolver angeordnet und werden je nach Verwendung in den Strahlengang gedreht. Diese Vorrichtung hat jedoch den Nachteil, dass bei auswechselbaren optischen Elementen im Strahlengang eines Laser- Scanning-Mikroskops, oftmals eine Nachjustierung erforderlich ist.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Scanmikroskop zu schaffen, das die Untersuchung einer Probe mit verschiedenen Wellenlängen und/oder Wellenlängenbereichen erlaubt und dabei eine Nachjustierung von wellenlängenspezifischen Elementen im Strahlengang überflüssig macht. Die Aufgabe wird gelöst durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1.
Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, ein optisches Bauteil zu schaffen, das alle hinsichtlich einer Justierung empfindlichen Elemente fest montiert enthält, um somit einen einfachen Austausch zu ermöglichen.
Die Aufgabe wird durch ein optisches Bauteil gelöst, das die Merkmale des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 11 umfasst.
Es ist von Vorteil ein optisches Bauteil mit einem Gehäuse zusammenzufassen und als Modul in den Strahlengang einen Mikroskops, vorzugsweise eines Scanmikroskops, einzubringen. Das optische Bauteil umfasst einen Strahlteiler, ein Beleuchtungspinhole, ein Detektionspinhole und einen Referenzdetektor. Das optische Bauteil ist derart im Beleuchtungs- und Detektionsstrahlengang des Scanmikroskops angeordnet, dass das Beleuchtungslicht bezüglich der Senkrechten des Strahlteilers unter einem derartigen Winkel auftrifft, dass Polarisationseffekte minimal sind.
Weiter ist von Vorteil, wenn dem Strahlteiler, dem Beleuchtungspinhole und dem Detektionspinhole jeweils mindestens ein Justagemittel zugeordnet ist.
Hinzu kommt, dass das optisches Bauelement in ein Scanmikroskop eingesetzt werden kann. Das Scanmikroskop umfasst eine Lichtquelle, die aus mindestens einem Laser und einem mikrostrukturiertem Material besteht, in das das Licht des Lasers einkoppelbar ist. Es hat sich gezeigt, dass es besonders vorteilhaft ist, wenn ein Referenzdetektor in einem durch den Strahlteiler hindurchtretendes Licht definierten Referenzstrahl angeordnet ist. Der Referenzdetektor ermittelt aus dem Licht des Referenzstrahls eine elektronische Größe, die an eine Regelungselektronik überführbar ist. Entsprechend der elektronischen Größe wird die Intensität der Lichtquelle derart geregelt, dass an einer Probe immer eine konstante Lichtleistung herrscht.
Ein weiterer Vorteil ist, dass das optisches Bauelement von einem Gehäuse umschlossen ist. Dadurch ist eine Verstellung und/oder Beschädigung der einzelnen Elemente im Gehäuse weitestgehend unterbunden. Das Gehäuse umfasst eine erste Öffnung zum Eintritt des Beleuchtungslichts, eine zweite Öffnung zum Austritt des Beleuchtungslichts und zum Eintritt des Detektionslichts und eine dritte Öffnung zum Austritt des Detektionslichts. Das Beleuchtungspinhole ist der ersten Öffnung und das Detektionspinhole der dritten Öffnung zugeordnet. Ferner ist der Strahlteiler ortsfest bezüglich des Beleuchtungs- und Detektionsstrahlenganges angeordnet.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung können den Unteransprüchen entnommen werden.
In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben. Dabei zeigen:
Fig. 1 eine schematische Ansicht eines Konfokalmikroskops mit der erfindungsgemäßen Anordnung;
Fig. 2 eine Ansicht der räumlichen Anordnung des Strahlteilers bezüglich des Beleuchtungslichts und des Detektionslichts; und
Fig. 3 eine schematische Darstellung eines Strahlteilermoduls gemäß der gegenwärtigen Erfindung.
Fig. 1 zeigt ein Konfokalmikroskop, das ein optisches Bauelement 4 zur spektralen Aufweitung eines von einem Pulslaser 1 erzeugten Laserimpulses verwendet. Der Pulslaser 1 definiert einen gepulsten Laserstrahl 2, der durch das optische Bauelement 4 geleitet wird. Das optische Bauelement 4 ist ein "photonic-band-gap-material" bzw. eine entsprechend mikrostrukturierte Faser oder eine konventionelle getaperte Faser. Bei Verwendung einer Faser wird der Laserstrahl 2 mittels einer Einkoppeloptik 3 in die Faser eingekoppelt. Aus dem optischen Bauelement 4 tritt ein spektral breitbandiges Beleuchtungslicht 6 aus, das von einer ersten Optik 5 einem wellenlängen- und/oder intensitätsselektierenden Mittel 7 zugeführt wird. Die ausgewählten Wellenlängen oder Wellenlängenbereiche werden als Beleuchtungslicht 8 durch eine zweite Optik 9 auf ein Beleuchtungspinhole 10 abgebildet. Das Beleuchtungslicht 8 trifft dann auf einen Strahlteiler 11. Vom Strahlteiler 11 gelangt das spektral breitbandige Beleuchtungslicht 8 auf einen Scanspiegel 12. Dem Scanspiegel 12 ist ein Objektiv 13 nachgeschaltet, dass das Beleuchtungslicht 8 auf eine Probe 14 abbildet. Das von der Probe 14 reflektierte oder ausgesendete Licht definiert ein Beobachtungsstrahlengang bzw. ein Detektionslicht 15. Das Detektionslicht 15 wird auf ein Detektionspinhole 16 abgebildet, das vor einem Detektor 17 sitzt. Durch das optische Bauelement 4 ist es möglich, das für die Untersuchung der Probe 14 notwendige Laserlicht entsprechend dem gewünschten Spektrum bzw. Wellenlängenbereich zu erzeugen. Das wellenlängen- und/oder intensitätsselektierendes Mittel 7 kann z. B. als SP-Modul oder als Kombination aus zwei Prismen mit verschieb- und breitenverstellbaren Spalten ausgestaltet sein. Dadurch kann vom Benutzer auf einfache Weise die zur Untersuchung der Probe 14 erforderliche Wellenlänge oder der erforderliche Wellenlängenbereich ausgewählt werden.
Wie bereits oben erwähnt, lenkt der Strahlteiler 11 das Licht auf den Scanspiegel 12. Ein Teil des Lichts tritt durch den Strahlteiler 11 hindurch und definiert einen Lichtverlust. Dieser Anteil des Lichts ist für die Beobachtung oder Messung verloren. Aus diesem Grunde ist ein Referenzdetektor 18 dem durch den Strahlteiler 11 hindurchtretenden Beleuchtungslicht 8 zugeordnet. Der Referenzdetektor 18 bestimmt das Verlustlicht und ermittelt daraus eine elektronische Größe, die an eine Regelungselektronik 20 geleitet wird. Die Regelungselektronik 20 ist mit dem wellenlängen- und/oder intensitätsselektierendes Mittel 7 verbunden. Die Regelungselektronik 20 regelt die Intensität des Beleuchtungslichts 8 in der Weise, dass an der Probe 14 immer eine konstante Lichtleistung auftrifft. Beispielsweise kann eine Regelschleife zur Lichtleistungsstabilisierung derart vorgesehen sein, dass sie parasitär die Lichtleistung im Strahlengang des Mikroskops misst und beispielsweise mit Hilfe eines akusto- oder elektrooptischen Elements, als intensitätsselektierendes Mittel 7, die Probenbeleuchtungslichtleistung konstant hält. Zu diesem Zweck könnten auch LCD-Abschwächer verwendet werden.
Der Strahlteiler 11 wirkt auf das Beleuchtungslicht 8 und das Detektionslicht 15 und ist als polarisations- und wellenlängenunabhängiger Strahlteiler ausgebildet und ortsfest angeordnet. In Fig. 2 ist die räumliche Lage des Strahlteilers 11 bezüglich des Beleuchtungspinholes 10 und des Detektionspinholes 16 gezeigt. Der Strahlteiler 11 besteht aus einem Substrat 30, das auf einer Seite eine Beschichtung 31 aufgebracht hat. Das Substrat 30 besteht z. B. aus Glass oder Quarz. Das Substrat besitzt ein Dicke von einigen Millimetern, damit, wie nachstehend erwähnt, die sekundären Reflexe 35, 36 durch Blenden 32, 33 eindeutig eliminiert werden. Ferner sollten die Substratflächen möglichst parallel sein, um Prismeneffekte und damit verbundene Farbfehler zu vermeiden. Die Beschichtung 31 kann z. B. aus Silber oder Aluminium bestehen und evtl. mit einer Schutzschicht (nicht dargestellt) versehen sein. Der Strahlteiler 11 ist derart im Strahlengang angeordnet, dass das Beleuchtungslicht 8 zuerst auf die Beschichtung 31 des Strahlteilers 11 trifft. Bezüglich der Senkrechten 29 auf den Strahlteiler 11 weist das Beleuchtungslicht 8 einen kleinen Winkel α/2 auf. Der Winkel α/2 liegt im Bereich zwischen 1° und 30°, was ausreicht, um die Polarisationseffekte zu vermeiden. Der größte Anteil des Beleuchtungslichts 8 wird von der Beschichtung ebenfalls unter dem Winkel α/2 reflektiert, wodurch das Beleuchtungslicht 8 in Richtung der Probe 14 umgelenkt wird. Ein kleiner Anteil des Beleuchtungslichts 8 tritt durch den Strahlteiler 11 hindurch und definiert einen Referenzstrahl 39, der nach dem Austritt aus dem Strahlteiler 11 auf den Referenzdetektor 18 trifft. Der Referenzdetektor 18 wird in der oben (Fig. 1) beschriebenen Weise verwendet. Vor dem Referenzdetektor 18 ist eine Blende 33 vorgesehen. Da Teile des in den Strahlteiler 11 eintretenden Beleuchtungslichts 8 erst nach ein- oder mehrfacher Reflexion aus dem Strahlteiler 11 austreten, treten zum Referenzstrahl 39 parallel versetzte Reflexe 35 auf. Diese Reflexe 35 werden durch die Blende 33 vom Referenzdetektor 18 abgehalten. In gleicher Weise treten an der die Beschichtung 31 aufweisenden Seite des Strahlteilers 11 Reflexe 36 auf, die zum Beleuchtungslicht 8 parallel versetzt sind. Diese Reflexe 36 werden ebenfalls durch eine Blende 32 aus dem Beleuchtungslicht 8 entfernt. Auf dem gleichen Weg, den das Beleuchtungslicht 8 zur Probe nimmt, kehrt das Detektionslicht 15 zurück, tritt durch die Beschichtung 31 und das Substrat 30 hindurch und trifft nach dem Austritt aus dem Strahlteiler 11 auf das Detektionspinhole 16. Wie bereits vorstehend beschrieben, treten auch hier durch den Strahlteiler 11 Reflexe 37 auf, die zum Detektionslicht 15 parallel versetzt sind. Diese Reflexe 37 werden durch das Detektionspinhole 16 ausgeblendet bevor sie auf den Detektor 17 (siehe Fig. 1) gelangen würden.
Fig. 3 zeigt den Strahlteiler 11 mit den zusätzlichen bereits in Fig. 2 beschriebenen Komponenten als ein einziges optisches Bauteil 40, das in den Strahlengang eines konfokalen Scanmikroskops eingefügt werden kann. Das Bauteil 40 besteht aus einem Gehäuse 41, das den Strahlteiler 11, das Beleuchtungspinhole 10, das Detektionspinhole 16, den Referenzdetektor 18 mit zugeordneter Blende 33 und die Blende 32 im Beleuchtungslicht 8 nach der Reflexion an der Beschichtung 31, umschließt. Das Gehäuse 41 umfasst eine erste Öffnung 48, durch die das Beleuchtungslicht 8 in das Bauteil 40 gelangt. Eine zweite Öffnung 49 ist im Gehäuse 41 vorgesehen, durch die das von der Beschichtung 31 des Substrats 30 reflektierte Beleuchtungslicht 8 aus dem Gehäuse 41 austritt und zur Probe 14 gelangt. Durch die zweite Öffnung 49 gelangt das von der Probe 14 reflektierte und/oder ausgesendete Detektionslicht 15 wieder in das Gehäuse 41. Durch eine dritte Öffnung 50 im Gehäuse 41 gelangt das den Strahlteiler 11 passierende Detektionslicht 15 über das Detektionspinhole 16 zu dem Detektor 17 (siehe Fig. 1). Der Referenzdetektor 18 ist ortsfest in Bezug auf den Strahlteiler 11 im Gehäuse 41 angeordnet. Der Strahlteiler 11 ist mit einer Halterung 42 im Gehäuse 41 montiert. Auf die Halterung 42 des Strahlteilers 11 wirkt mindestens ein Justagemittel 46, womit eine genaue Justierung oder Positionierung des Strahlteilers 11 möglich ist. Das Beleuchtungspinhole 10 und das Detektionspinhole 16 sind jeweils mit einer Halterung 44 im Gehäuse 41 montiert. Auf beide Halterungen 44 wirkt ebenfalls jeweils ein Justagemittel 46, wodurch die genaue Ausrichtung des Beleuchtungspinholes 10 bzw. des Detektionspinholes 16 einstellbar ist. Die Justagemittel 46 können z. B. von Hand durch den Benutzer verstellbar ausgestaltet sein. Ferner ist es möglich, dass die Justagemittel 46 elektromechanisch oder durch andere Mittel automatisch verstellbar ausgestaltet sind. Die Kontrolle und Steuerung der Justagemittel 46 kann durch einen Computer (nicht dargestellt) erfolgen. Die Zusammenfassung der für die Aufteilung eines Lichtstrahls erforderlichen Mittel zu dem optischen Bauteil 40 ist besonders vorteilhaft, da dieses Bauteil je nach der Konfiguration des vom Benutzer verwendeten Scanmikroskops in das Scanmikroskop eingesetzt werden kann. Ferner sind die verschiedenen Elemente, wie Strahlteiler 11, Beleuchtungspinhole 10 und Detektionspinhole 16, durch das Gehäuse 41 umschlossen, so dass eine unachtsame Verstellung der Ausrichtung der Elemente unmöglich ist.
Die Erfindung wurde in bezug auf eine besondere Ausführungsform beschreiben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.
Bezugszeichenliste
1
Pulslaser
2
Laserstrahl
3
Einkoppeloptik
4
optisches Bauelement
5
erste Optik
6
breitbandiges Beleuchtungslicht
7
wellenlängen- und/oder intensitätsselektierendes Mittel
8
Beleuchtungslicht
9
zweite Optik
10
Beleuchtungspinhole
11
Strahlteiler
12
Scanspiegel
13
Objektiv
14
Probe
15
Detektionslicht
16
Detektionspinhole
17
Detektor
18
Referenzdetektor
20
Regelungselektronik
29
Senkrechte auf den Strahlteiler
30
Substrat
31
Beschichtung
32
Blende
33
Blende
35
Reflex
36
Reflex
38
dritter Strahlteiler
39
Referenzstrahl
40
optisches Bauteil
41
Gehäuse
42
Halterung
44
Halterung
46
Justagemittel
48
erste Öffnung
49
zweite Öffnung
50
dritte Öffnung
α/2 Winkel

Claims (18)

1. Scanmikroskop mit einem Objektiv (13), durch das eine Probe (14) beleuchtbar und detektierbar ist, wobei das Objektiv (13) sowohl in einem Beleuchtungs- als auch einem Detektionsstrahlengang (8, 15) angeordnet ist, und dass ein Beleuchtungs- und Detektionspinhole (10, 16) jeweils im Beleuchtungs- bzw. im Detektionsstrahlengang (8, 15) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass im Beleuchtungsstrahlengang (8) ein optisches Bauelement (4) vorgesehen ist, das ein zumindest teilweise spektral verbreitertes Beleuchtungslicht erzeugt, und dass ein im wesentlichen polarisations- und wellenlängenunabhängiger Strahlteiler (11) im Beleuchtungs- und Detektionsstrahlengang (8, 15) ortsfest angeordnet ist.
2. Scanmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Lichtquelle mindestens einen Laser (1) umfasst, dessen Licht in das optische Bauelement (4) einkoppelbar ist, und dass das optische Bauelement (4) aus mikrostrukturiertem Material besteht.
3. Scanmikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser (1) ein gepulster Laser ist.
4. Scanmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der polarisations- und wellenlängenunabhängige Strahlteiler (11) derart angeordnet ist, dass das Beleuchtungslicht (8) bezüglich der Senkrechten (29) des Strahlteilers (11) unter einem derartigen Winkel (α/2) auftrifft, dass Polarisationseffekte minimal sind.
5. Scanmikroskop nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel (α/2) bezüglich der Senkrechten (29) des Strahlteilers (11) im Bereich von 1 bis 30 Grad liegt.
6. Scanmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Referenzdetektor (18) in einem durch den Strahlteiler (11) hindurchtretenden Licht definierten Referenzstrahl (39) angeordnet ist, der aus dem Licht des Referenzstrahls (39) eine elektronische Größe ermittelt, die an eine Regelungselektronik (20) überführbar ist.
7. Scanmikroskop nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Regelungselektronik 20 mit dem wellenlängen- und/oder intensitätsselektierendes Mittel 7 verbunden ist, wobei die Regelungselektronik 20 die Intensität des Beleuchtungslichts 8 derart regelt, dass an der Probe 14 immer eine konstante Lichtleistung herrscht.
8. Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der polarisations- und wellenlängenunabhängige Strahlteiler (11), das Beleuchtungspinhole (10), das Detektionspinhole (16) und der Referenzdetektor (18) in einem Gehäuse (41) angeordnet sind.
9. Scanmikroskop nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass dem Strahlteiler (11), dem Beleuchtungspinhole (10) und dem Detektionspinhole (16) jeweils mindestens ein Justagemittel (46) zugeordnet ist.
10. Optisches Bauteil (40) zum Einsetzen in einen Beleuchtungs- und Detektionsstrahlengang (8, 15) eines Scanmikroskops, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Bauteil (40) einen polarisations- und wellenlängenunabhängigen Strahlteiler (11), ein Beleuchtungspinhole (10), ein Detektionspinhole (16) und einen Referenzdetektor (18) umfasst.
11. Optisches Bauteil (40) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass ein Gehäuse (41) vorgesehen ist, das den Strahlteiler (11), das Beleuchtungspinhole(10), das Detektionspinhole (16) und den Referenzdetektor (18) beinhaltet, und derart im Beleuchtungs- und Detektionsstrahlengang (8, 15) des Scanmikroskops angeordnet ist, dass das Beleuchtungslicht bezüglich der Senkrechten (29) des Strahlteilers (11) unter einem derartigen Winkel α/2 auftrifft, dass Polarisationseffekte minimal sind.
12. Optisches Bauteil (40) nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass dem Strahlteiler (11), dem Beleuchtungspinhole (10) und dem Detektionspinhole (16) jeweils mindestens ein Justagemittel (46) zugeordnet ist.
13. Optisches Bauelement (40) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Scanmikroskop eine Lichtquelle umfasst, die aus mindestens einem Laser (1) und einem mikrostrukturiertem Material (4) besteht, in dass das Licht des Lasers (1) einkoppelbar ist.
14. Optisches Bauelement (40) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Strahlteiler (11) aus einem Substrat (30) und einer reflektierenden Beschichtung (31) besteht.
15. Optisches Bauelement (40) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Referenzdetektor (18) in einem durch den Strahlteiler (11) hindurchtretendes Licht definierten Referenzstrahl (39) angeordnet ist, der aus dem Licht des Referenzstrahls (39) eine elektronische Größe ermittelt, die an eine Regelungselektronik (20) überführbar ist.
16. Optisches Bauelement (40) nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Regelungselektronik (20) mit dem wellenlängen- und/oder intensitätsselektierendes Mittel 7 verbunden ist, wobei die Regelungselektronik 20 die Intensität des Beleuchtungslichts 8 derart regelt, dass an der Probe 14 immer eine konstante Lichtleistung herrscht.
17. Optisches Bauelement (40) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass im Gehäuse (41) eine erste Öffnung (48) zum Eintritt des Beleuchtungslichts (8), eine zweite Öffnung (49) zum Austritt des Beleuchtungslichts (8) und zum Eintritt des Detektionslichts (15) und eine dritte Öffnung (50) zum Austritt des Detektionslichts (15) vorgesehen ist, wobei das Beleuchtungspinhole (10) der ersten Öffnung (48) und das Detektionspinhole (16) der dritten Öffnung (50) zugeordnet ist.
18. Optisches Bauelement (40) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass bei dem in den Beleuchtungs- und Detektionsstrahlengang (8, 15) eingebrachten Gehäuse (41) der Strahlteiler (11) ortsfest bezüglich des Beleuchtungs- und Detektionsstrahlenganges (8, 15) angeordnet ist.
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US09/881,047 US6654166B2 (en) 2000-06-17 2001-06-15 Scanning microscope with multiband illumination and optical component for a scanning microscope with multiband illumination
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7257289B2 (en) 2002-06-17 2007-08-14 Leica Microsystems Cms Gmbh Spectral microscope and method for data acquisition using a spectral microscope
DE102010026205A1 (de) * 2010-07-06 2012-01-12 Carl Zeiss Microlmaging Gmbh Mikroskop, insbesondere Fluoreszenzmikroskop, dichroitischer Strahlteiler und dessen Verwendung

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003060610A1 (de) * 2002-01-16 2003-07-24 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren und anordnungen zur mikroskopischen abbildung
DE10211458A1 (de) * 2002-03-12 2003-09-25 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur Erhöhung der Auflösung in einem Mikroskop
DE10221365A1 (de) * 2002-05-08 2003-11-27 Jenoptik Laser Optik Sys Gmbh Optische Anordnung zur Erzeugung eines Breitbandspektrums
DE10313987B4 (de) * 2003-03-27 2007-07-12 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Beleuchtung eines Objekts
DE10314750A1 (de) * 2003-03-31 2004-11-04 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Rastermikroskop zur Detektion eines Objekts
DE10324478B3 (de) 2003-05-30 2004-12-09 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Vorrichtung zum Ermitteln der Lichtleistung eines Lichtstrahles und Scanmikroskop
DE10331906B4 (de) * 2003-07-15 2005-06-16 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Lichtquelle mit einem Mikrostruktuierten optischen Element und Mikroskop mit Lichtquelle
DE10340964A1 (de) 2003-09-05 2005-03-31 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Lichtquelle mit einem mikrostrukturierten optischen Element
DE102004032463B4 (de) * 2004-06-30 2011-05-19 Jenoptik Laser Gmbh Verfahren und optische Anordnung zur Erzeugung eines Breitbandspektrums mittels modengekoppelter Picosekunden-Laserimpulse
AU2005313736A1 (en) * 2004-12-08 2006-06-15 Thomas Buehrer Optical device for producing lines of light from quasi-point sources of light by means of slit-like cavities
DE102005010887A1 (de) * 2005-03-09 2006-09-14 Leica Microsystems (Schweiz) Ag Beleuchtungseinrichtung
DE102006004075B4 (de) * 2006-01-28 2008-01-03 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Verringerung des Intensitätsrauschens und Mikroskop mit Vorrichtung zur Verringerung des Intensitätsrauschens
DE102006053187A1 (de) 2006-11-09 2008-05-15 Leica Microsystems Cms Gmbh Akustooptisches Bauteil
DE102007024075B4 (de) 2007-05-22 2022-06-09 Leica Microsystems Cms Gmbh Durchstimmbares akusto-optisches Filterelement, einstellbare Lichtquelle, Mikroskop und akusto-optischer Strahlteiler
DE102007028337B4 (de) * 2007-06-15 2019-08-29 Leica Microsystems Cms Gmbh Strahlvereiniger und eine Lichtquelle mit einem derartigen Strahlvereiniger
DE102007039498B4 (de) 2007-08-21 2017-08-03 Leica Microsystems Cms Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung und/oder Bestrahlung eines Objekts oder einer Probe
DE102007053199A1 (de) 2007-11-06 2009-05-14 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Ansteuerung eines akustooptischen Bauteils
GB0800936D0 (en) 2008-01-19 2008-02-27 Fianium Ltd A source of optical supercontinuum generation having a selectable pulse repetition frequency
DE202009007789U1 (de) 2009-06-03 2009-08-20 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Breitbandige Lichtquelle und Mikroskop
DE102009056092B4 (de) 2009-11-30 2013-02-28 PicoQuant GmbH. Unternehmen für optoelektronische Forschung und Entwicklung Lichtquelle mit einem Diodenlaser
US9229294B2 (en) 2010-05-06 2016-01-05 Leica Microsystems Cms Gmbh Apparatus and method for operating an acousto-optical component
US8385699B2 (en) 2010-07-29 2013-02-26 Jian Liu Amplified broadband fiber laser source
DE102011000905A1 (de) 2011-02-24 2012-08-30 Leica Microsystems Cms Gmbh Pulsvereiniger für die verschiedenen Spektralfarben eines Superkontinuum-Lasers
DE102013008075A1 (de) * 2013-05-10 2014-11-13 Volkswagen Aktiengesellschaft Leuchtvorrichtung mit nichtlinearem Lichtleiter für ein Kraftfahrzeug

Family Cites Families (80)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US659074A (en) * 1899-08-24 1900-10-02 Hippolyte Joseph La Force Journal-box.
US3720822A (en) 1971-01-29 1973-03-13 Xenotech Inc Xenon photography light
US4011403A (en) * 1976-03-30 1977-03-08 Northwestern University Fiber optic laser illuminators
US4063106A (en) * 1977-04-25 1977-12-13 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Optical fiber Raman oscillator
CA1325537C (en) 1988-08-01 1993-12-28 Timothy Peter Dabbs Confocal microscope
DE3912914A1 (de) * 1989-04-20 1990-10-25 Douw Serge Vorrichtung zur definierten farb- und richtungsbeeinflussung eines weisslicht-laserstrahls
US5034613A (en) * 1989-11-14 1991-07-23 Cornell Research Foundation, Inc. Two-photon laser microscopy
JP2516859Y2 (ja) 1990-04-23 1996-11-13 三菱電線工業株式会社 光ファイバ増幅器
US5127730A (en) 1990-08-10 1992-07-07 Regents Of The University Of Minnesota Multi-color laser scanning confocal imaging system
US5288998A (en) * 1990-11-19 1994-02-22 At&T Bell Laboratories Manufacturing method including photoresist processing using a near-field optical probe
US5272330A (en) * 1990-11-19 1993-12-21 At&T Bell Laboratories Near field scanning optical microscope having a tapered waveguide
US5286970A (en) * 1990-11-19 1994-02-15 At&T Bell Laboratories Near field optical microscopic examination of a biological specimen
US5784162A (en) * 1993-08-18 1998-07-21 Applied Spectral Imaging Ltd. Spectral bio-imaging methods for biological research, medical diagnostics and therapy
US5155792A (en) * 1991-06-27 1992-10-13 Hughes Aircraft Company Low index of refraction optical fiber with tubular core and/or cladding
JP2777505B2 (ja) * 1992-07-29 1998-07-16 株式会社日立製作所 自動分析電子顕微鏡および分析評価方法
US5283433A (en) 1992-10-05 1994-02-01 The Regents Of The University Of California Scanning confocal microscope providing a continuous display
US5394268A (en) * 1993-02-05 1995-02-28 Carnegie Mellon University Field synthesis and optical subsectioning for standing wave microscopy
US5764845A (en) * 1993-08-03 1998-06-09 Fujitsu Limited Light guide device, light source device, and liquid crystal display device
US5537247A (en) * 1994-03-15 1996-07-16 Technical Instrument Company Single aperture confocal imaging system
DE4414940C2 (de) 1994-04-28 1998-07-02 Pekka Haenninen Lumineszenz-Rastermikroskop mit zwei Photonen Anregung
DE4446185C2 (de) 1994-08-25 1997-03-27 Leica Lasertechnik Vorrichtung zum Einkoppeln eines UV-Laserstrahls in ein konfokales Laser-Scanmikroskop
EP0734539B1 (de) * 1994-08-25 2002-11-13 Leica Microsystems Heidelberg GmbH Vorrichtung zum einkoppeln des lichtstrahls eines uv-lasers in ein laser-scanmikroskop
US5541613A (en) * 1994-11-03 1996-07-30 Hughes Aircraft Company, Hughes Electronics Efficient broadband antenna system using photonic bandgap crystals
JPH08211296A (ja) 1995-02-03 1996-08-20 Shimadzu Corp 共焦点走査型光学顕微鏡
US5784152A (en) 1995-03-16 1998-07-21 Bio-Rad Laboratories Tunable excitation and/or tunable detection microplate reader
US5861984A (en) * 1995-03-31 1999-01-19 Carl Zeiss Jena Gmbh Confocal scanning microscope and beamsplitter therefor
KR100209608B1 (ko) * 1995-09-15 1999-07-15 구자홍 광 출력검지 장치
CA2231222C (en) * 1995-09-19 2001-12-11 Cornell Research Foundation, Inc. Multi-photon laser microscopy
US5802236A (en) * 1997-02-14 1998-09-01 Lucent Technologies Inc. Article comprising a micro-structured optical fiber, and method of making such fiber
DE19622359B4 (de) * 1996-06-04 2007-11-22 Carl Zeiss Jena Gmbh Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang
US6005709A (en) * 1996-06-05 1999-12-21 Marine Biological Laboratory Microscope system for using transmitted light to observe living organisms
US6002522A (en) * 1996-06-11 1999-12-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Optical functional element comprising photonic crystal
DE69630025T2 (de) * 1996-07-16 2004-04-01 Perkin-Elmer Ltd., Beaconsfield Kontrolle eines Infrarotmikroskops
US5862287A (en) * 1996-12-13 1999-01-19 Imra America, Inc. Apparatus and method for delivery of dispersion compensated ultrashort optical pulses with high peak power
DE19702753C2 (de) * 1997-01-27 2003-04-10 Zeiss Carl Jena Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop
JPH10293094A (ja) * 1997-02-24 1998-11-04 Olympus Optical Co Ltd サイトメータ
US5796477A (en) * 1997-02-27 1998-08-18 Trustees Of Boston University Entangled-photon microscopy, spectroscopy, and display
US5995281A (en) * 1997-04-09 1999-11-30 Carl Zeiss Jena Gmbh Device for coupling the radiation of short-pulse lasers in an optical beam path of a microscope
US6108127A (en) * 1997-05-15 2000-08-22 3M Innovative Properties Company High resolution confocal microscope
EP0886174A3 (de) * 1997-06-18 2001-03-07 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Gepulste Weisslichtquelle
GB9713422D0 (en) * 1997-06-26 1997-08-27 Secr Defence Single mode optical fibre
US5973316A (en) * 1997-07-08 1999-10-26 Nec Research Institute, Inc. Sub-wavelength aperture arrays with enhanced light transmission
DE19733195B4 (de) 1997-08-01 2006-04-06 Carl Zeiss Jena Gmbh Hoch-Kompaktes Laser Scanning Mikroskop mit integriertem Kurzpuls Laser
US6356088B1 (en) * 1997-08-01 2002-03-12 Carl Zeiss Jena Gmbh Highly compact laser scanning microscope with integrated short-pulse laser
US5967653A (en) * 1997-08-06 1999-10-19 Miller; Jack V. Light projector with parabolic transition format coupler
US6154310A (en) * 1997-11-21 2000-11-28 Imra America, Inc. Ultrashort-pulse source with controllable multiple-wavelength output
US6744555B2 (en) * 1997-11-21 2004-06-01 Imra America, Inc. Ultrashort-pulse source with controllable wavelength output
JPH11174332A (ja) 1997-12-11 1999-07-02 Nikon Corp レーザ顕微鏡
US6108474A (en) 1997-12-11 2000-08-22 Lucent Technologies Inc. Optical pulse compressor for optical communications systems
DE19906757B4 (de) 1998-02-19 2004-07-15 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Mikroskop
JP4406108B2 (ja) 1998-03-11 2010-01-27 オリンパス株式会社 多光子励起レーザ顕微鏡
US6404966B1 (en) * 1998-05-07 2002-06-11 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Optical fiber
DE19861383B4 (de) * 1998-06-18 2008-03-27 Carl Zeiss Jena Gmbh Laserscanmikroskop
DE19829981C2 (de) 1998-07-04 2002-10-17 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur konfokalen Mikroskopie
DE19829954A1 (de) 1998-07-04 2000-01-05 Zeiss Carl Jena Gmbh Strahlteiler in einem Laser-Scanning-Mikroskop
DE19829944C2 (de) * 1998-07-04 2002-03-28 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur Gerätekonfiguration eines Fluoreszenz-Laserscanmikroskops
KR100328291B1 (ko) 1998-07-14 2002-08-08 노베라 옵틱스 인코포레이티드 능동제어된파장별이득을갖는광증폭기및변화가능한출력스펙트럼을갖는광섬유광원
DE19835068A1 (de) 1998-08-04 2000-02-10 Zeiss Carl Jena Gmbh Mikroskop, insbesondere Laser-Scanning-Mikroskop
DE19840926B4 (de) 1998-09-08 2013-07-11 Hell Gravure Systems Gmbh & Co. Kg Anordnung zur Materialbearbeitung mittels Laserstrahlen und deren Verwendung
JP2000199855A (ja) * 1998-11-02 2000-07-18 Olympus Optical Co Ltd 走査型光学顕微鏡装置
US6243522B1 (en) * 1998-12-21 2001-06-05 Corning Incorporated Photonic crystal fiber
GB9903918D0 (en) * 1999-02-19 1999-04-14 Univ Bath Improvements in and relating to photonic crystal fibres
US6424665B1 (en) * 1999-04-30 2002-07-23 The Regents Of The University Of California Ultra-bright source of polarization-entangled photons
US6097870A (en) 1999-05-17 2000-08-01 Lucent Technologies Inc. Article utilizing optical waveguides with anomalous dispersion at vis-nir wavelenghts
US6252665B1 (en) * 1999-05-20 2001-06-26 California Institute Of Technology Lithography using quantum entangled particles
US6236779B1 (en) * 1999-05-24 2001-05-22 Spectra Physics Lasers, Inc. Photonic crystal fiber system for sub-picosecond pulses
GB0010950D0 (en) * 2000-05-05 2000-06-28 Univ Bath A nonlinear optical device
US6885683B1 (en) * 2000-05-23 2005-04-26 Imra America, Inc. Modular, high energy, widely-tunable ultrafast fiber source
DE20122782U1 (de) * 2000-06-17 2007-11-15 Leica Microsystems Cms Gmbh Beleuchtungseinrichtung
DE20122791U1 (de) * 2000-06-17 2007-11-29 Leica Microsystems Cms Gmbh Scanmikroskop
EP1164402B1 (de) * 2000-06-17 2010-04-28 Leica Microsystems CMS GmbH Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung und optisches Bauelement für ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung
DE50108370D1 (de) * 2000-06-17 2006-01-19 Leica Microsystems Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop
EP1164401B1 (de) * 2000-06-17 2005-03-09 Leica Microsystems Heidelberg GmbH Verschränkte-Photonen-Mikroskop
EP1164406B1 (de) * 2000-06-17 2019-04-17 Leica Microsystems CMS GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung eines Objekts
US6898367B2 (en) * 2000-06-17 2005-05-24 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Method and instrument for microscopy
US6514784B1 (en) * 2000-09-01 2003-02-04 National Research Council Of Canada Laser-induced bandgap shifting for photonic device integration
US6658183B1 (en) * 2000-10-20 2003-12-02 Lucent Technologies Inc. Process for fabricating tapered microstructured fiber system and resultant system
US6369928B1 (en) * 2000-11-01 2002-04-09 Optical Biopsy Technologies, Inc. Fiber-coupled, angled-dual-illumination-axis confocal scanning microscopes for performing reflective and two-photon fluorescence imaging
DE10139754B4 (de) * 2001-08-13 2004-07-08 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Beleuchtungsverfahren für ein Scanmikroskop und Scanmikroskop
US6721476B2 (en) * 2001-12-03 2004-04-13 Honeywell International Inc. Optical demultiplexer based on three-dimensionally periodic photonic crystals

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7257289B2 (en) 2002-06-17 2007-08-14 Leica Microsystems Cms Gmbh Spectral microscope and method for data acquisition using a spectral microscope
DE10227111B4 (de) * 2002-06-17 2007-09-27 Leica Microsystems Cms Gmbh Spektralmikroskop und Verfahren zur Datenaufnahme mit einem Spektralmikroskop
DE102010026205A1 (de) * 2010-07-06 2012-01-12 Carl Zeiss Microlmaging Gmbh Mikroskop, insbesondere Fluoreszenzmikroskop, dichroitischer Strahlteiler und dessen Verwendung

Also Published As

Publication number Publication date
DE10115488A1 (de) 2001-12-20
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US7679822B2 (en) 2010-03-16
DE50114275D1 (de) 2008-10-16
JP2010102345A (ja) 2010-05-06
DK1184701T3 (da) 2009-01-26
DE10115590B4 (de) 2020-11-05
DE10115486A1 (de) 2001-12-20
US20090086315A1 (en) 2009-04-02
DE10115589B4 (de) 2020-07-30

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