DE10102578A1 - Resonanter Mikrowellensensor - Google Patents
Resonanter MikrowellensensorInfo
- Publication number
- DE10102578A1 DE10102578A1 DE10102578A DE10102578A DE10102578A1 DE 10102578 A1 DE10102578 A1 DE 10102578A1 DE 10102578 A DE10102578 A DE 10102578A DE 10102578 A DE10102578 A DE 10102578A DE 10102578 A1 DE10102578 A1 DE 10102578A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sensor
- microwave
- waveguide
- microwave sensor
- spiral conductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N22/00—Investigating or analysing materials by the use of microwaves or radio waves, i.e. electromagnetic waves with a wavelength of one millimetre or more
Abstract
Ein resonanter Mikrowellensensor (1) zur Bestimmung von Eigenschaften eines zu untersuchenden Materials (3) mittels der hochfrequenten Messung eines Reflexionsfaktors (r) eines hochfrequenten Resonanzsignals als Messgröße zur Bestimmung von Eigenschaften eines zu untersuchenden Stoffes mit DOLLAR A - einem Mikrowellenzuleiter (4) zur Zuleitung des hochfrequenten Signals, DOLLAR A - einem Sensor-Wellenleiter (2), der mit dem Mikrowellenzuleiter (4) gekoppelt ist, DOLLAR A hat einen Wendelleiter (5), der innerhalb des Sensor-Wellenleiters (2) angeordnet ist.
Description
Die Erfindung betrifft einen resonanten Mikrowellensensor zur Bestimmung von
Eigenschaften eines zu untersuchenden Materials mittels der hochfrequenten
Messung eines Reflexionsfaktors mit
- - einem Mikrowellenzuleiter zur Zuleitung des hochfrequenten Signals, und
- - einem Sensor-Wellenleiter, der mit dem Mikrowellenzuleiter gekoppelt ist.
Die Messung von Stoffeigenschaften mit Mikrowellensensoren durch Auswer
tung von Resonanzfrequenzen und der Güte einer Resonanzkurve, die durch Be
aufschlagen des Mikrowellensensors mit einem gewobbelten hochfrequenten Si
gnal aufgenommen wird, ist hinreichend bekannt. Hierbei wird das Signal mit
veränderlicher Frequenz in den Mikrowellensensor eingekoppelt und die Reso
nanzfrequenz und gegebenenfalls die Güte bestimmt.
So ist in dem deutschen Gebrauchsmuster 297 16 639 U1 ein Mikrowellen-
Streufeldsensor zur Feuchte und/oder Dichtemessung beschrieben, bei dem ein
feuchtes dielektrisches Material in den Resonator eingeführt und durch Verschie
bung der Resonanzfrequenz die Dichte und Feuchtigkeit des Materials bestimmt
wird. Zur Vermeidung von Streuverlusten, die das Messergebnis verfälschen,
wird vorgeschlagen, dass die Wellenlänge am Ort der Erzeugung des Resonanzsi
gnals wesentlich geringer als im freien Raum des Resonators ist.
Der Resonator ist als Drahtschlaufe ausgebildet, die von einem dünnen Dielektri
kum umgeben ist. In einer anderen Ausführungsform wird der Resonator aus ei
nem kreisrunden dielektrischen Keramikkörper gebildet, wobei die Mikrowellen
über Koaxialleitungen und kapazitiv wirksamen Koppelstiften in den Resonator
eingekoppelt werden.
Diese Ausführungsformen sind gleichermaßen in der EP 0 908 718 A1 offenbart.
In dem US-Patent 3,946,308 ist ein Mikrowellensensor zur Feuchtemessung
beschrieben, der einen dielektrischen Resonator mit einem metallischen Leiter
einem festen dielektrischen Material, sowie einer Einlass- und einer Auslassan
tenne besteht.
Weiterhin ist aus der DE-OS 24 54 788 A1 ein Verfahren und eine Vorrichtung
zur Feuchtigkeitsbestimmung eines gasförmigen Mediums offenbart. Dieser
Druckschrift ist das grundlegende Verfahren zu Feuchtigkeitsmessung eines Me
diums mit Hilfe der Kreisgüte einer Resonanzkurve zu entnehmen. Bei diesem
Verfahren wird in den Resonator eine Mikrowellenschwingung veränderlicher
Frequenz, das heißt ein gewobbeltes Signal, eingekoppelt und getrennt davon
wieder ausgekoppelt. Die Amplituden der ausgekoppelten Schwingungen werden
als Funktion der Frequenz bei konstanten Amplituden der eingekoppelten
Schwingungen gemessen und aufgezeichnet.
Neben diesen Verfahren, bei denen die Messinformation aus der Reflexion an
dem zu untersuchenden Material gewonnen wird, sind Verfahren bekannt, bei
denen die Veränderung elektromagnetischer Wellen bei der Transmission durch
ein Material ausgewertet werden.
Das Problem der bekannten resonanten Mikrowellensensoren, die auf dem Refle
xionsverfahren beruhen, besteht in Streuverlusten, Breitbandigkeit und der Grö
ße. Die bekannten Mikrowellensensoren sind zudem nicht optimal in Bauwerke
zur in-situ-Messung der charakteristischen Materialeigenschaften integrierbar.
Aufgabe der Erfindung war es daher, einen verbesserten gattungsgemäßen reso
nanten Mikrowellensensor zu schaffen.
Die Aufgabe wird durch einen Wendelleiter gelöst, der innerhalb des Sensor-
Wellenleiters angeordnet ist.
Die Verwendung des Wendelleiters als resonante metallische Helix erlaubt den
Aufbau eines kompakten Sensor-Wellenleiters als Resonator. Mit dem Wendellei
ter kann die Resonanzfrequenz des Mikrowellensensors zudem eingestellt wer
den.
Der Sensor-Wellenleiter als Resonator ist vorzugsweise ein zylindrisches Rohr,
wobei der Mikrowellenzuleiter zum Beispiel als koaxialer Hohlleiter an einer ersten
Stirnfläche des Sensor-Wellenleiters angeordnet ist. Die zweite Stirnfläche des
Sensor-Wellenleiters ist offen, so dass das zu untersuchende Material in den Re
sonator eindringen kann. Hierdurch verändern sich die dielektrischen Eigenschaf
ten der Füllung in dem Sensor-Wellenleiter und die charakteristischen Größen
des Resonators, das heißt die Resonanzfrequenz und Güte werden verstimmt.
Mit diesen charakteristischen Größen können dann die Eigenschaften des zu un
tersuchenden Materials, wie zum Beispiel die relative Luftfeuchtigkeit, in bekann
ter Weise ermittelt werden.
Die Resonanzfrequenz und Güte des Sensor-Wellenleiters werden aus dem Re
flexionsfaktor R berechnet.
Der Wendelleiter erstreckt sich vorzugsweise in Längsrichtung des Sensor-Wel
lenleiters.
Der Wendelleiter wird vorzugsweise durch einen Träger gehalten und in dem
Sensor-Wellenleiter zentriert.
Zur Kopplung ist vorteilhafterweise zwischen der ersten Stirnfläche des Sensor-
Wellenleiters und dem Wendelleiter eine Zwischenschicht vorgesehen. Die Dicke
der Zwischenschicht bestimmt den Kopplungsfaktor. Mit der Zwischenschicht
kann die Güte des Sensors eingestellt werden. Zur Erhöhung der Messdynamik
sollte die Dicke der Zwischenschicht so gewählt werden, das eine möglichst gro
ße Verkopplung erzielt wird.
Die Resonanzfrequenz des Mikrowellensensors wird maßgeblich durch die Di
mension des Wendelleiters bestimmt.
Es ist weiterhin vorteilhaft, wenn zwischen dem Wendelleiter und dem zu unter
suchenden Stoff bzw. einer sensitiven Schicht im Bereich der zweiten Stirnfläche
des Sensor-Wellenleiters eine zusätzliche Koppelschicht vorgesehen ist. Die Dic
ke der Koppelschicht bestimmt die Ankoppelung des Wendelleiters an das zu un
tersuchende Material und damit die Messempfindlichkeit.
Bei dem Verfahren zur Messung von Eigenschaften eines Stoffes mit einem vor
stehend beschriebenen resonanten Mikrowellensensor sollte die Frequenz des
gewobbelten Signals zum Anregen des Mikrowellensensors kleiner als die Grenz
frequenz des Mikrowellensensors sein.
Die Länge des Sensor-Wellenleiters sollte in diesem Fall ausreichend groß sein,
um eine Abstrahlung nach außen und damit Streuverluste zu vermeiden.
Der Träger und die Zwischenschicht sind vorzugsweise einstückig ausgeführt.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Zwischenschicht und/oder der Träger aus
Teflon besteht.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von in den beigefügten Zeichnungen dar
gestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 Schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Mikrowellensen
sors;
Fig. 2 schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Mikrowellensen
sors mit Zwischenschicht und Koppelschicht;
Fig. 3 Querschnittsansicht des erfindungsgemäßen Mikrowellensensors;
Fig. 4 Diagramm des Reflexionsfaktorbetrages für verschiedene gemessene
relative Luftfeuchtigkeiten;
Fig. 5 Diagramm der Resonanzverschiebung in Abhängigkeit von der relati
ven Luftfeuchtigkeit als Kalibrierkurve für den Mikrowellensensor.
Die Fig. 1 lässt einen erfindungsgemäßen resonanten Mikrowellensensor 1
erkennen, der mit einem Sensor-Wellenleiter 2 als Resonator in das zu unter
suchende Material 3 eingebaut ist. Der Mikrowellensensor 1 besteht im wesentli
chen aus einem Mikrowellenzuleiter 4 in Form eines koaxialen Hohlleiters und
dem Sensor-Wellenleiter 2 als Resonator. In den Sensor-Wellenleiter 2 ist ein
Wendelleiter 5 angeordnet, der sich in Längsrichtung des Sensor-Wellenleiters 2
erstreckt. Der Wendelleiter 5 ist eine resonante leitfähige Helix.
Der Sensor-Wellenleiter 2 ist mit einem Material 6 gefüllt, der für die nachzuwei
sende Substanz oder Eigenschaft des zu untersuchenden Materials 3 sensitiv ist.
Über den Mikrowellenzuleiter 4 wird der Mikrowellensensor 1 mit einem gewob
belten hochfrequenten Signal in einem an das zu untersuchende Material 3 und
den Mikrowellensensor 1 angepassten Frequenzbereich beaufschlagt und es wird
in bekannterweise der Reflexionsfaktor r gemessen.
Der Sensor-Wellenleiter 2 ist an einer ersten Stirnfläche 7 mit dem Mikrowellen
zuleiter 4 gekoppelt und an der zweiten Stirnfläche 8 offen. Durch die offene
zweite Stirnfläche 8 können die nachzuweisenden Substanzen zum Beispiel
durch Diffusion oder durch die Gasphase in den Sensor-Wellenleiter 2 eindrin
gen. Dabei werden die dielektrischen Eigenschaften der sensitiven Füllung des
Sensor-Wellenleiters 2 verändert und die charakteristischen Größen des Resona
tors, das heißt die Resonanzfrequenz und Güte, verstimmt.
Die Abmaße des Sensor-Wellenleiters 2 als Resonator sind bei konventionellen
Rundhohlleiter-Resonatoren im wesentlichen durch die Grenzfrequenzen fG der
Eigenwellen des Rundhohlleiters (E- oder H-Wellen) und die Dielektrizitätzahl und
Permeabilität der Füllung des Sensor-Wellenleiters 2, festgelegt. Für die E-Wellen
kann die Länge des Sensor-Wellenleiters 2 variabel sein. Der Radius des Sensor-
Wellenleiters 2 bestimmt sich näherungsweise nach der Gleichung
Für die H-Wellen bestimmt sich der Radius des Sensor-Wellenleiters 2 nähe
rungsweise nach der Gleichung
Der Sensor-Wellenleiter 2 kann durch das Anbringen des Wendelleiters 5 in den
Sensor-Wellenleiter 2 wesentlich kompakter ausgeführt werden. Die Resonanz
frequenz des Resonators wird hierbei im Wesentlichen durch die Abmessungen,
das heißt durch die Drahtlänge, den Radius und die Steigung des Wendelleiters 5
bestimmt.
Die Fig. 2 lässt eine weitere Ausführungsform des Mikrowellensensors erken
nen, bei der zwischen der ersten Stirnfläche 7 des Sensor-Wellenleiters 2 und
dem Wendelleiter 5 eine Zwischenschicht a vorzugsweise aus Teflon angeordnet
ist. Diese Zwischenschicht a dient zur Einstellung des Abstandes und damit der
Kopplung zwischen dem Mikrowellenzuleiter 4 und dem Wendelleiter 5. Mit der
Zwischenschicht a kann im wesentlichen die Güte des Mikrowellensensors 1 ein
gestellt werden. Die Dicke der Zwischenschicht sollte so gewählt werden, dass
eine möglichst große Verkopplung erzielt wird. Hierdurch kann die Messdynamik
erhöht werden.
Der Wendelleiter 5 kann auf der Zwischenschicht a mit einem Träger zentral in
dem Sensor-Wellenleiter 2 gehalten werden. Der Träger kann hierbei integral mit
der Zwischenschicht a ausgebildet sein. Die zweite Schicht b wird im wesentli
chen durch die Höhe des Wendelleiters 5 bestimmt und legt die Resonanzfre
quenz maßgeblich fest. Oberhalb des Wendelleiters 5 ist eine Koppelschicht c
vorgesehen, die die Ankopplung des Wendelleiters 5 an das sensitive Material 9
zum Nachweis der zu messenden Substanz und damit die Messempfindlichkeit
bestimmt.
Die Dicke c der Koppelschicht und die Dicke d des sensitiven Materials 9 müssen
ausreichend groß gewählt werden, um eine Abstrahlung, d. h. Streuung, aus dem
Sensor-Wellenleiter 2 zu vermeiden.
Der Aufbau des Mikrowellensensors 1 ist nochmals in der Fig. 3 im Querschnitt
gezeigt. Hierbei ist zu erkennen, dass der Mikrowellenzuleiter 4 in Form eines
flexiblen koaxialen Hohlleiters in den Sensor-Wellenleiter 2, der mit einem Mi
krowellenstecker versehen ist, eingeschraubt wird. Es ist weiterhin die Zwischenschicht
a mit dem integral damit verbundenen Träger für den Wendelleiter
5 sowie der Wendelleiter 5 zu erkennen.
Der Mikrowellensensor 1 wird in einem Frequenzbereich vorzugsweise von 1 bis
6 GHz eingesetzt. Der Drahtdurchmesser des Wendelleiters 5 beträgt vorzugs
weise etwa 0,2 mm und das Verhältnis des Durchmessers zur Steigung des
Wendelleiters 5 liegt im Bereich von etwa 75.
Die Fig. 4 lässt ein Diagramm des Reflexionsfaktorbetrages für verschiedene
relative Luftfeuchtigkeiten in Abhängigkeit von der Frequenz erkennen. Es wird
deutlich, dass die Resonanzfrequenzen sich in Abhängigkeit von der relativen
Luftfeuchtigkeit verschieben, wobei sich bei einer Erhöhung der relativen Luft
feuchtigkeit eine Verringerung der Resonanzfrequenz ergibt. Es ist weiterhin zu
erkennen, dass die Güte des Resonators mit steigender relativer Luftfeuchtigkeit
abnimmt.
Aus den gemessenen Reflexionsfaktoren kann eine Kalibrierkurve für den
Mikrowellensensor bestimmt werden, der in der Fig. 5 als Resonanzverschie
bung in Abhängigkeit von der relativen Luftfeuchtigkeit aufgetragen ist. Unter
Verwendung der Kalibrierkurve kann bei nachfolgenden Messungen aus der
Resonanzfrequenz direkt auf eine relative Luftfeuchtigkeit geschlossen werden.
Der Einsatz des Mikrowellensensors 1 ist nicht auf die Anwendung als Feuchte
sensor beschränkt. Er kann gleichermaßen zur Messung von Stoffeigenschaften
verwendet werden, die zur Änderung der dielektrischen Eigenschaften des sensi
tiven Materials in dem Sensor-Wellenleiter 2 führen.
Claims (9)
1. Resonanter Mikrowellensensor (1) zur Bestimmung von Eigenschaften
eines zu untersuchenden Materials (3) mittels der hochfrequenten
Messung eines Reflexionsfaktors (r) mit
einem Mikrowellenzuleiter (4) zur Zuleitung des hochfrequenten Signals,
einem Sensor-Wellenleiter (2), der mit dem Mikrowellenzuleiter (4) gekoppelt ist,
gekennzeichnet durch
einem Wendelleiter (5), wobei der Wendelleiter (5) innerhalb des Sensor-Wellenleiters (2) angeordnet ist.
einem Mikrowellenzuleiter (4) zur Zuleitung des hochfrequenten Signals,
einem Sensor-Wellenleiter (2), der mit dem Mikrowellenzuleiter (4) gekoppelt ist,
gekennzeichnet durch
einem Wendelleiter (5), wobei der Wendelleiter (5) innerhalb des Sensor-Wellenleiters (2) angeordnet ist.
2. Resonanter Mikrowellensensor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, dass der Sensor-Wellenleiter (2) ein zylindrisches Rohr haben,
der
Mikrowellenzuleiter (4) an einer ersten Stirnfläche (7) des Sensor-Wellen
leiters (2) angeordnet ist und die zweite Stirnfläche (8) offen ist.
3. Resonanter Mikrowellensensor (1) nach Anspruch 2, dadurch gekenn
zeichnet, dass der Wendelleiter (5) sich in Längsrichtung des Sensor-Wel
lenleiters (2) erstreckt.
4. Resonanter Mikrowellensensor (1) nach einem der vorhergehenden An
sprüche, gekennzeichnet durch einen Träger für den Wendelleiter (5) zum
Zentrieren des Wendelleiters (5) in dem Sensor-Wellenleiter (2).
5. Resonanter Mikrowellensensor (1) nach einem der Ansprüche 2 bis 4, ge
kennzeichnet durch eine Zwischenschicht (a) zwischen der ersten Stirnflä
che (7) des Sensor-Wellenleiters (2) und dem Wendelleiter (5).
6. Resonanter Mikrowellensensor (1) nach Anspruch 4 und 5, dadurch ge
kennzeichnet dass der Träger und die Zwischenschicht (a) einstückig sind.
7. Resonanter Mikrowellensensor (1) nach allem der Ansprüche 4 bis 6, da
durch gekennzeichnet, dass die Zwischenschicht (a) und/oder der Träger
aus Teflon besteht.
8. Resonanter Mikrowellensenssor (1) nach einem der Ansprüche 2 bis 7 ge
kennzeichnet durch eine Koppelschicht (b) zwischen dem Wendelleiter (5)
und dem zu untersuchenden Material (3), der sich im Bereich der zweiten
Stirnfläche (8) des Sensor-Wellenleiters (2) befindet.
9. Verfahren zur Messung von Eigenschaften eines Materials (3) mit einem
resonanten Mikrowellensensor (1) nach einem der vorhergehenden An
sprüche, wobei der Mikrowellensensor (1) mit gewobbelten hochfrequen
ten Signalen angeregt und der Reflexionsfaktor (r) als Messgröße zur Bestimmung
von Eigenschaften des zu untersuchenden Materials (3) be
stimmt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Frequenz des gewobbelten
Signals zum Anregen des Mikrowellensensors (1) kleiner als die Grenzfre
quenz des Mikrowellensensors (1) ist.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10102578A DE10102578C2 (de) | 2001-01-20 | 2001-01-20 | Resonanter Mikrowellensensor |
US10/240,595 US6798216B2 (en) | 2001-01-20 | 2002-01-10 | Resonant microwave sensor |
EP02700148A EP1352233A2 (de) | 2001-01-20 | 2002-01-10 | Resonant microwave sensor |
PCT/DE2002/000054 WO2002057762A2 (de) | 2001-01-20 | 2002-01-10 | Resonanter mikrowellensensor |
AU2002233155A AU2002233155A1 (en) | 2001-01-20 | 2002-01-10 | Resonant microwave sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10102578A DE10102578C2 (de) | 2001-01-20 | 2001-01-20 | Resonanter Mikrowellensensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10102578A1 true DE10102578A1 (de) | 2002-08-01 |
DE10102578C2 DE10102578C2 (de) | 2003-01-09 |
Family
ID=7671242
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10102578A Expired - Fee Related DE10102578C2 (de) | 2001-01-20 | 2001-01-20 | Resonanter Mikrowellensensor |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6798216B2 (de) |
EP (1) | EP1352233A2 (de) |
AU (1) | AU2002233155A1 (de) |
DE (1) | DE10102578C2 (de) |
WO (1) | WO2002057762A2 (de) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6917726B2 (en) * | 2001-09-27 | 2005-07-12 | Cornell Research Foundation, Inc. | Zero-mode clad waveguides for performing spectroscopy with confined effective observation volumes |
GB2423819B (en) * | 2004-09-17 | 2008-02-06 | Pacific Biosciences California | Apparatus and method for analysis of molecules |
US7170050B2 (en) * | 2004-09-17 | 2007-01-30 | Pacific Biosciences Of California, Inc. | Apparatus and methods for optical analysis of molecules |
US7836910B2 (en) | 2004-12-29 | 2010-11-23 | Rain Bird Corporation | Soil moisture sensor and controller |
DE102006036188B4 (de) * | 2006-08-01 | 2011-06-16 | Franz Ludwig Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH | Resonanter Mikrowellensensor |
DE102006036190A1 (de) * | 2006-08-01 | 2008-02-14 | Technische Universität Braunschweig Carolo-Wilhelmina | Schaltungsanordenung zur Erzeugung eines mit einer Oszillationsfrequenz oszillierenden elektromagnetischen Signals |
RU2331894C1 (ru) * | 2007-02-14 | 2008-08-20 | Открытое акционерное общество Научно-производственная Компания "Высокие Технологии" | Способ измерения диэлектрических характеристик материальных тел и устройство для его реализации |
MX2010010600A (es) | 2008-03-28 | 2011-03-30 | Pacific Biosciences California Inc | Composiciones y metodos para secuenciacion de acidos nucleicos. |
IT1391515B1 (it) * | 2008-09-26 | 2011-12-30 | Giuseppe Cristini S P A Sa | Dispositivo e metodo per la misura della permeabilita' all'acqua di un materiale |
US8829924B2 (en) * | 2012-08-20 | 2014-09-09 | Smart Autonomous Solutions, Inc. | Method and apparatus for monitoring physical properties |
NL1041088B1 (en) * | 2013-12-16 | 2016-05-19 | Stichting Wetsus Centre Of Excellence For Sustainable Water Tech | Method and device for measuring dielectric properties of a fluidum in a modified coaxial stub resonator. |
RU2559840C1 (ru) * | 2014-04-29 | 2015-08-10 | Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Военный учебно-научный центр Военно-воздушных сил "Военно-воздушная академия имени профессора Н.Е. Жуковского и Ю.А. Гагарина" (г. Воронеж) Министерства обороны Российской Федерации | Свч-способ определения осажденной влаги в жидких углеводородах |
FI127021B (fi) | 2014-06-02 | 2017-09-29 | Senfit Oy | Anturi, mittalaite ja mittausmenetelmä |
NO20140689A1 (no) * | 2014-06-03 | 2015-12-04 | Roxar Flow Measurement As | Cutoff regulator |
CN113740353B (zh) * | 2021-07-31 | 2022-10-14 | 西南大学 | 一种基于衬底集成波导双重入式谐振腔的差分湿度传感器 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2917471C2 (de) * | 1979-04-30 | 1987-11-19 | Bruker Analytische Messtechnik Gmbh, 7512 Rheinstetten, De | |
DE69202616T2 (de) * | 1991-03-29 | 1995-09-21 | Alcatel Nv | Gerät zum fortlaufenden und berührungslosen Messen der Dicke einer dünnen, leitenden Schicht auf einem isolierenden Träger, zum Beispiel einer vorbeilaufenden Fiber oder Folie. |
DE3915477C2 (de) * | 1988-05-11 | 1996-05-02 | Hitachi Ltd | Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas mit Mikrowellen |
DE19650112C1 (de) * | 1996-12-03 | 1998-05-20 | Wagner Int | Einrichtung und Verfahren zum Messen eines Pulver-Massestromes |
DE69315208T2 (de) * | 1992-04-21 | 1998-06-10 | Thermedics Inc | Vorrichtung und methode für die in situ messung der elektromagnetischen eigenschaften verschiedener prozessmaterialen unter verwendung der charakteristischen grenzfrequenz |
DE4447767C2 (de) * | 1994-09-14 | 2000-11-16 | Karlsruhe Forschzent | Feuchtesensor und dessen Verwendung |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5718136B2 (de) * | 1973-11-27 | 1982-04-15 | ||
SU1171704A1 (ru) * | 1982-02-08 | 1985-08-07 | Государственный Научно-Исследовательский Энергетический Институт Им.Г.М.Кржижановского | Устройство дл измерени влажности материалов |
FI844061L (fi) * | 1984-10-16 | 1986-04-17 | Kemira Oy | Foerfarande och anordning foer maetning av fukthalten eller torrsubstanshalten av aemnen. |
US5334941A (en) * | 1992-09-14 | 1994-08-02 | Kdc Technology Corp. | Microwave reflection resonator sensors |
RU2084877C1 (ru) * | 1993-04-28 | 1997-07-20 | Производственно-коммерческая фирма "Вест компани лимитед" | Способ измерения влажности на свч (варианты) |
DE29716639U1 (de) | 1997-09-16 | 1999-01-21 | Tews Elektronik | Mikrowellen-Streufeldsensor zur Feuchte- und/oder Dichtemessung |
US6031436A (en) * | 1998-04-02 | 2000-02-29 | Space Systems/Loral, Inc. | Single and dual mode helix loaded cavity filters |
-
2001
- 2001-01-20 DE DE10102578A patent/DE10102578C2/de not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-01-10 WO PCT/DE2002/000054 patent/WO2002057762A2/de not_active Application Discontinuation
- 2002-01-10 AU AU2002233155A patent/AU2002233155A1/en not_active Abandoned
- 2002-01-10 US US10/240,595 patent/US6798216B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-01-10 EP EP02700148A patent/EP1352233A2/de not_active Withdrawn
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2917471C2 (de) * | 1979-04-30 | 1987-11-19 | Bruker Analytische Messtechnik Gmbh, 7512 Rheinstetten, De | |
DE3915477C2 (de) * | 1988-05-11 | 1996-05-02 | Hitachi Ltd | Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas mit Mikrowellen |
DE69202616T2 (de) * | 1991-03-29 | 1995-09-21 | Alcatel Nv | Gerät zum fortlaufenden und berührungslosen Messen der Dicke einer dünnen, leitenden Schicht auf einem isolierenden Träger, zum Beispiel einer vorbeilaufenden Fiber oder Folie. |
DE69315208T2 (de) * | 1992-04-21 | 1998-06-10 | Thermedics Inc | Vorrichtung und methode für die in situ messung der elektromagnetischen eigenschaften verschiedener prozessmaterialen unter verwendung der charakteristischen grenzfrequenz |
DE4447767C2 (de) * | 1994-09-14 | 2000-11-16 | Karlsruhe Forschzent | Feuchtesensor und dessen Verwendung |
DE19650112C1 (de) * | 1996-12-03 | 1998-05-20 | Wagner Int | Einrichtung und Verfahren zum Messen eines Pulver-Massestromes |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU2002233155A1 (en) | 2002-07-30 |
EP1352233A2 (de) | 2003-10-15 |
WO2002057762A2 (de) | 2002-07-25 |
WO2002057762A3 (de) | 2002-12-05 |
US6798216B2 (en) | 2004-09-28 |
US20030137313A1 (en) | 2003-07-24 |
DE10102578C2 (de) | 2003-01-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE10102578A1 (de) | Resonanter Mikrowellensensor | |
DE102006052637B4 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung zumindest eines Parameters eines Mediums | |
DE19705260B4 (de) | Anordnung zum Erfassen mindestens einer dielektrischen Eigenschaft eines Stoffes | |
EP2848133B1 (de) | Anordnung und Verfahren zur Überprüfung von stabförmigen Artikeln der Tabak verarbeitenden Industrie | |
DE2928487A1 (de) | Verfahren zur messung der relativen feuchte eines messgutes mit hilfe von mikrowellen im ghz-bereich | |
EP3158325B1 (de) | Mikrowellenmessvorrichtung, anordnung und verfahren zur überprüfung von stabförmigen artikeln oder eines materialstrangs der tabak verarbeitenden industrie sowie maschine der tabak verarbeitenden industrie | |
JP2001066264A (ja) | 湿度及び密度センサー用マイクロ波共振器 | |
DE19625944A1 (de) | Vorrichtung zur Messung der komplexen Dielektrizitätskonstanten von Tabak | |
DE2454788A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur feuchtigkeitsbestimmung eines gasfoermigen mediums | |
EP2251679B9 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Messung einer Produkteigenschaft mittels einer Mikrowellen-Streufeldsensoranordnung | |
DE102006034884A1 (de) | Messgerät zur Bestimmung der elektromagnetischen Eigenschaften eines Fluids | |
DE112006001212T5 (de) | Verfahren und Messgerät zur Messung von Wassergehalt | |
DE102015119722A1 (de) | Anordnung, Maschine, Verfahren und Verwendung zum Überprüfen einer Zigarettenkopfqualität | |
DE19729730C1 (de) | Vorrichtung zur Messung und/oder Abbildung elektrischer, magnetischer und mittelbar daraus ableitbarer Materialeigenschaften | |
DE102006036188B4 (de) | Resonanter Mikrowellensensor | |
EP1799473B1 (de) | Mikrowellensensor zur hochgenauen niveaumessung in einer luftfeder | |
EP1884767A2 (de) | Resonanter Mikrowellensensor and Frequenzbestimmungs-Schaltungsanordnung | |
DE102009024203B4 (de) | Mikrowellensensor und Verfahren zur Bestimmung dielektrischer Materialeigenschaften | |
DE19500559A1 (de) | Sensorelement zur Umsetzung dielektrischer Materialeigenschaften in elektrisch meßbare Größen | |
EP2998723B1 (de) | Mikrowellenstrangmessvorrichtung, verfahren und verwendung | |
DE102017122809B3 (de) | Filtereinrichtung mit Mikrowellenresonator | |
AT403322B (de) | Sensor zur drahtlosen fernmessung von temperaturen | |
WO2023117258A1 (de) | Mikrowellenmessvorrichtung | |
DE102023117163A1 (de) | Gerät zur messung mindestens einer elektromagnetischen eigenschaft einer materialprobe | |
EP0911628A1 (de) | Sensor zur Wassergehaltsbestimmung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20140801 |