DE10101632A1 - Oszilloskoptastkopf mit faseroptischen Sensor zur potentialfreien Erfassung elektrischer Größen - Google Patents

Oszilloskoptastkopf mit faseroptischen Sensor zur potentialfreien Erfassung elektrischer Größen

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Abstract

Der Oszilloskoptastkopf mit faseroptischem Sensor zur potentialfreien Erfassung elektrischer Größen moduliert im Sensorkopf (TX) das über einen Lichtleiter zugeführte Licht konstanter Intensität mit dem elektrischen Meßsignal mittels einer spannungsgesteuerten integrierten optischen Interferometeranordnung, die in einem elektrooptisch aktiven Kristall realisiert wurde. DOLLAR A Für den Sensorkopf (TX) wird keine elektrische Hilfsenergie benötigt. Am Ausgang des Sensorkopfes steht ein analoges optisches Signal zur Verfügung. Dieses optische Signal wird über eine Lichtleitfaser zu einer Empfängerbaugruppe (RX) übertragen, die das optische Signal wieder in ein äquivalentes elektrisches Signal umwandelt und einem Oszilloskop zuführt. DOLLAR A Alle Komponenten des Sensorkopfes (TX) sind in einem allseitig geschlossenen metallischen Gehäuse untergebracht.

Description

Stand der Technik
Oszilloskoptastköpfe üblicher Bauart bestehen aus einer Tastspitze zur Adaptierung an den Prüfling, einer elektrischen Verbindungsleitung zum Oszilloskop, sowie einer Baugruppe zur Anpassung der zu messenden Spannungen an den Meßbereich des Oszilloskops (Widerstandsteiler oder Verstärker).
Für die Messung von Spannungen auf einem zum Oszilloskop unterschiedlichen Bezugspotential werden aktive Differenztastköpfe benutzt.
Der damit maximal zu überbrückende Potentialunterschied (zwischen Bezugspotential Oszilloskop und Bezugspotential Meßobjekt) wird durch den max. Gleichtakteingangsspannungsbereich des verwendeten Meßverstärkers bestimmt. Messungen auf sehr hohen Spannungspotential sind damit nicht möglich. Ändert sich diese Potentialdifferenz mit hoher Geschwindigkeit (hohe Spannungs­ anstiegsgeschwindigkeit) führt dies zu Störeinkopplungen über die elektrische Verbindungsleitung zum Oszilloskop (z. B. an Schalttransistoren in Stromversorgungen und in der Antriebstechnik). Die Messung von elektrischen Signalen in einer stark mit elektromagnetischen Störfeldern verseuchten Umgebung führt zu Störeinkopplungen in die Meßkabelanordnung.
"Erdschleifen", die durch den Erdschluß des Prüflings mit dem Oszilloskop über die Meßleitung gebildet werden, führen ebenfalls zu einer Verfälschung der Meßergebnisse, bzw. machen eine Messung unmöglich.
Probleme treten ebenfalls auf, wenn z. B. im Rahmen einer Störfestigkeitsuntersuchung ein Prüfling gezielt mit genormten Störimpulsen beaufschlagt wird (z. B. Burst-Test). Durch die räumliche Nähe, bzw. durch die elektrische Verbindungsleitung zum Oszilloskop kommt es zu unerwünschten Störeinkopplungen in den Meßaufbau, so daß eine sinnvolle Messung unmöglich sein kann.
Messungen am Prüfling im Rahmen einer Untersuchung zur Störeinstrahlungsfestigkeit (HF-Bestrahlung) sind mit herkömmlichen Tastköpfen ebenfalls nicht möglich, da es zu Störeinkopplungen in die Meßkabelanordnung kommt.
Optoelektronische Oszilloskoptastköpfe mit aktiven elektronischen Komponenten (Verstärker, LED, Laserdiode) im Sensorkopf benötigen elektrische Energie für ihren Betrieb, die aus einer Batterie/Akkumulator bereitgestellt werden muß.
Die Betriebsdauer dieser Stromquelle ist zeitlich begrenzt, d. h. es muß in regelmäßigen Abständen eine neue Batterie in den Sensor eingesetzt werden.
Dieser Batteriewechsel erschwert Langzeitmessungen bzw. macht diese unmöglich (kontinuierliche Messungen).
Problem
Der im Patentanspruch angegebenen Erfindung liegt das Problem zugrunde, eine Vorrichtung zu schaffen, mit der ein gegen oben beschriebene elektrische Störung sicherer und potentialfreier Abgriff analoger oder digitaler elektrischer Signale von einem Prüfling möglich ist und dabei für den Betrieb des Sensorkopfes keine elektrische Hilfsenergie benötigt wird.
Lösung
Dieses Problem wird mit den im Patentanspruch aufgeführten Merkmalen gelöst.
Der Oszilloskoptastkopf mit faseroptischen Sensor zur potentialfreien Erfassung elektrischer Größen ist dadurch gekennzeichnet, daß
  • - dem Sensorkopf (TX) über einen Lichtleiter (19) Energie in Form von Licht konstanter Intensität zugeführt wird, welches in einem elektrooptisch aktiven Kristall (6) entsprechend dem angelegten elektrischen Meßsignal in seiner Intensität moduliert wird.
  • - dieses modulierte Meßsignals über eine Lichtleitfaser (14) zum Empfänger übertragen wird.
  • - anschließend in der Empfängerbaugruppe (RX) das optische Signal wieder in ein äquivalentes elektrisches Signal gewandelt und einem Oszilloskop zugeführt wird.
  • - für den Sensorkopf (TX) keine elektrische Hilfsenergie benötigt wird.
  • - die Modulation der in den Sensorkopf eingespeisten Lichtwellen mittels einer spannungsgesteuerten integrierten optischen Interferometeranordnung realisiert wird.
  • - das Meßsignal in der gesamten Anordnung analog übertragen wird.
  • - das alle Komponenten des Sensorkopfes (TX) in einem allseitig geschlossenen metallischen Gehäuse untergebracht sind.
Erreichte Vorteile
Mit der Erfindung wird erreicht, daß elektrische Meßsignale in Verbindung mit einem Oszilloskop, auch in stark elektromagnetisch gestörter Umgebung, störungsfrei erfasst werden können.
Auf Grund der optischen Signalübertragung über eine Lichtleitfaser und der Energieversorgung des Sensorkopfes mittels unmodulierten Lichts, ist es problemlos möglich elektrische Signale auf unterschiedlichen Bezugspotentialen zu messen. Diese Bezugspotentiale können sich dabei auch mit sehr hohen Spannungsanstiegsgeschwindigkeiten ändern, ohne daß es zu Verfälschungen des Meßsignals kommt.
Da für den Sensorkopf keine elektrische Hilfsenergie benötigt wird, sind beliebig lange Meßzeiten möglich. Außerdem ist ein sehr kleiner und kompakter Aufbau des Sensorkopfes möglich, da Batterie und Stromversorgungsbaugruppe nicht benötigt werden.
Auf Grund dessen, daß im Sensorkopf keine aktiven elektronischen Komponenten (Verstärker, Transistoren, . . .) eingesetzt werden, verbessert sich die Störfestigkeit der Anordnung erheblich.
Die Signalübertragung kann problemlos über sehr große Entfernungen erfolgen, ohne daß es zu Störeinkopplungen kommt.
Damit sind auch ungefährliche, sichere und störungsfreie Messungen in Hochspannungsanlagen möglich.
Durch die galvanisch getrennte Anordnung des Sensorkopfes und die Übertragung des Meßsignals mittels Lichtleitfaser wird die Entstehung von "Erdschleifen" in der Meßanordnung vermieden.
Auf Grund der geschlossenen metallischen Abschirmung des Sensorkopfes, sowie der Signalübertragung mittels Lichtleiter, sind auch störungsfreie Messungen unter dem Einfluß extrem starker elektromagnetischer Störfelder möglich.
Die gewählte Anordnung gestattet die Erfassung analoger und digitaler Meßsignale, damit ist ein universeller Einsatz in der Oszilloskopmeßtechnik möglich.
Durch das gewählte analoge Übertragungsverfahren ergibt sich eine hohe Übertragungsbandbreite, sowie die Möglichkeit kürzeste Impulse zu erfassen und zu übertragen.
Die nahezu leistungslose Ansteuerung des faseroptischen Sensors (rein kapazitiv) verursacht äußerst geringe Belastungen des Meßobjekts.
Der Einsatz eines integriert-optischen Modulators auf der Basis einer spannungsgesteuerten Interferometeranordnung hat den Vorteil, daß für die Modulation nur sehr kleine Steuerspannungen benötigt werden. Damit kann auf den Einsatz von Vorverstärkern zur Anpassung des Meßsignals an den Sensor verzichtet werden.
Höhere zu messende Spannungen können bei Bedarf mit einem Widerstandsteiler angepaßt werden.
Beschreibung eines Ausführungsbeispiel
Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist in den Abbildungen Fig. 1 und Fig. 2 dargestellt.
Das zu messende Signal wird an die Eingangsbuchse (1) des Sensorkopfes (TX) gelegt und anschließend in einem passiven Widerstandsteiler (3) so angepaßt, daß es zur Ansteuerung des elektrooptischen Wandlers (6) (Interferometer) geeignet ist.
Der von der Laserdiode (18) in die Single-Mode-Faser (19) eingekoppelte Laserstrahl wird über die Lichtleitfaser (Single-Mode) (19), die LWL-Steckverbinder (20) und die Faser (21) in die Interferometeranordnung (6) eingespeist. Die Lichtwellen werden anschließend gleichmäßig auf die beiden integrierten Lichtwellenleiter (5) des elektrooptisch aktiven Kristalls (z. B. LiNbO3 oder KTP) (6) aufgeteilt.
Durch Anlegen des angepaßten Meßsignals an die Elektroden (4) wird der Brechungsindex in den beiden integrierten optischen Wellenleitern (5) unterschiedlich in Abhängigkeit der Spannung verändert. Dies führt zu unterschiedlichen Signallaufzeiten und damit zu einer Phasenverschiebung der Lichtwellen gegeneinander. Nach dem Zusammenführen der beiden Wellenleiter (5) kommt es zu Interferenzen, d. h. es liegt in Abhängigkeit vom Meßsignal helligkeitsmoduliertes Licht am Ausgang des elektrooptischen Modulators an.
Dieses modulierte Licht wird in die Faser (22) eingekoppelt und über die Steckverbinder (15) und Lichtleiterkabel (14) zur Empfängerbaugruppe (RX) geleitet.
Alle Komponenten (1, 3, 4, 5, 6, 21, 22) des Sensorkopfes (TX) sind in einem geschlossenen metallischen Gehäuse (2) untergebracht. Die Lichtleitfaser (14) wird mittels Steckverbinder (15) an dem elektrooptischen Wandler (6) des Sensorkopfes (TX), sowie an dem optoelektronischen Wandler (8) der Empfängerbaugruppe (RX) angeschlossen und stellt damit die Verbindung zur Übertragung des Meßsignals her.
Das über den Lichtleiter (14) dem optoelektronischen Wandler (8) zugeführte optische Signal wird wieder in ein elektrisches Signal umgewandelt und nach Anpassung im Verstärker (7) dem Oszilloskop (16) über einen Steckverbinder (13) zugeführt.
Die in der Empfängerbaugruppe (RX) benötigten Versorgungsspannungen werden von einem separaten Steckernetzteil (17) oder vom Oszilloskop bereitgestellt und von der Stromversorgungsbaugruppe (11) angepaßt.
Für die Eichung der gesamten Meßanordnung steht ein Kalibriergenerator (10), dessen Signal an der Buchse (12) abgegriffen werden kann, zur Verfügung.
Die Komponenten der Empfängerbaugruppe (RX) sind in einem geschlossenen metallischen Gehäuse (9) untergebracht.

Claims (1)

  1. Der Oszilloskoptastkopf mit faseroptischen Sensor zur potentialfreien Erfassung elektrischer Größen ist dadurch gekennzeichnet, daß
    dem Sensorkopf (TX) über einen Lichtleiter Energie in Form von Licht konstanter Intensität zugeführt wird, welches in einem elektrooptisch aktiven Kristall entsprechend dem angelegten elektrischen Meßsignal in seiner Intensität moduliert wird,
    dieses modulierte Meßsignals über eine Lichtleitfaser (14) zum Empfänger übertragen wird,
    anschließend in der Empfängerbaugruppe (RX) das optische Signal wieder in ein äquivalentes elektrisches Signal gewandelt und einem Oszilloskop zugeführt wird,
    für den Sensorkopf (TX) keine elektrische Energie benötigt wird,
    die Modulation der in den Sensorkopf eingespeisten Lichtwellen mittels einer spannungsgesteuerten integrierten optischen Interferometeranordnung realisiert wird,
    das Meßsignal in der gesamten Anordnung analog übertragen wird,
    das alle Komponenten des Sensorkopfes (TX) in einem allseitig geschlossenen metallischen Gehäuse untergebracht sind.
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Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7221813B2 (en) 2004-03-10 2007-05-22 Tektronix, Inc. Signal acquisition probing and voltage measurement systems using an electro-optical cavity
US7310455B2 (en) * 2004-03-10 2007-12-18 Tektronix, Inc. Variable attenuation signal acquisition probing and voltage measurement systems using an electro-optical cavity
US7548675B2 (en) * 2004-09-29 2009-06-16 Finisar Corporation Optical cables for consumer electronics
US7706692B2 (en) * 2004-09-29 2010-04-27 Finisar Corporation Consumer electronics with optical communication interface
US7504841B2 (en) * 2005-05-17 2009-03-17 Analog Devices, Inc. High-impedance attenuator
US7729618B2 (en) * 2005-08-30 2010-06-01 Finisar Corporation Optical networks for consumer electronics
US7860398B2 (en) * 2005-09-15 2010-12-28 Finisar Corporation Laser drivers for closed path optical cables
DE102005061683B4 (de) 2005-12-21 2011-12-08 Forschungsverbund Berlin E.V. Vorrichtung, Tastkopf und Verfahren zur galvanisch entkoppelten Übertragung eines Messsignals
US7876989B2 (en) 2006-04-10 2011-01-25 Finisar Corporation Active optical cable with integrated power
US8083417B2 (en) 2006-04-10 2011-12-27 Finisar Corporation Active optical cable electrical adaptor
US7445389B2 (en) * 2006-04-10 2008-11-04 Finisar Corporation Active optical cable with integrated eye safety
US7712976B2 (en) * 2006-04-10 2010-05-11 Finisar Corporation Active optical cable with integrated retiming
US7401985B2 (en) * 2006-04-10 2008-07-22 Finisar Corporation Electrical-optical active optical cable
US7499616B2 (en) * 2006-04-10 2009-03-03 Finisar Corporation Active optical cable with electrical connector
US7778510B2 (en) 2006-04-10 2010-08-17 Finisar Corporation Active optical cable electrical connector
US20070275588A1 (en) * 2006-05-29 2007-11-29 International Business Machines Corporation Isolated signal probe
US8769171B2 (en) * 2007-04-06 2014-07-01 Finisar Corporation Electrical device with electrical interface that is compatible with integrated optical cable receptacle
US8244124B2 (en) 2007-04-30 2012-08-14 Finisar Corporation Eye safety mechanism for use in optical cable with electrical interfaces
WO2009038572A1 (en) * 2007-09-17 2009-03-26 Finisar Corporation Active optical cable with electrical connector
US8253784B2 (en) * 2008-11-13 2012-08-28 Honeywell International Inc. Image capturing device assembly for use with test probe
WO2011030306A1 (en) * 2009-09-09 2011-03-17 Thinkeco Power Inc. Method and system of aggregating and delivering electrical power using fiber optic cables
DE102011052969A1 (de) 2010-11-02 2012-07-12 Mf Instruments Gmbh Messgerät mit galvanischer Trennung durch Laser
EP2664900B1 (de) * 2012-05-18 2016-08-31 Sick AG Metallisches Sensorgehäuse und Verfahren zu dessen Herstellung
US11573249B2 (en) 2019-12-23 2023-02-07 Keysight Technologies, Inc. Apparatus for providing a test signal from a device under test (DUT) to a measurement instrument
JP2022115726A (ja) * 2021-01-28 2022-08-09 住友電気工業株式会社 光変調器の製造方法、試験方法、および試験プログラム、ならびに光送信装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1989009413A1 (en) * 1988-03-25 1989-10-05 Princeton Applied Research Corporation Electro-optic probe
US5465043A (en) * 1992-07-28 1995-11-07 Hewlett-Packard Company Non-contact type probe and non-contact type voltage measuring apparatus, wherein the probe's irradiation surface is coated with a conductive film having a pinhole

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5267336A (en) * 1992-05-04 1993-11-30 Srico, Inc. Electro-optical sensor for detecting electric fields
GB2342161B (en) * 1998-09-30 2000-12-20 Ando Electric Electro-optic probe
US6388434B1 (en) * 2000-01-17 2002-05-14 Bechtel Bwxt Idaho, Llc Electro-optic high voltage sensor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1989009413A1 (en) * 1988-03-25 1989-10-05 Princeton Applied Research Corporation Electro-optic probe
US5465043A (en) * 1992-07-28 1995-11-07 Hewlett-Packard Company Non-contact type probe and non-contact type voltage measuring apparatus, wherein the probe's irradiation surface is coated with a conductive film having a pinhole

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Publication number Publication date
US6603891B2 (en) 2003-08-05
DE20011084U1 (de) 2000-10-05
DE10101632B4 (de) 2004-02-26
US20020018609A1 (en) 2002-02-14

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