CN1617789A - 平板状物的传送用平面多关节型机器人及平板状物的处理系统 - Google Patents

平板状物的传送用平面多关节型机器人及平板状物的处理系统 Download PDF

Info

Publication number
CN1617789A
CN1617789A CNA02827623XA CN02827623A CN1617789A CN 1617789 A CN1617789 A CN 1617789A CN A02827623X A CNA02827623X A CN A02827623XA CN 02827623 A CN02827623 A CN 02827623A CN 1617789 A CN1617789 A CN 1617789A
Authority
CN
China
Prior art keywords
aforementioned
arm body
humanoid robot
toggle
wafer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA02827623XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN1329167C (zh
Inventor
前田彰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rorze Corp
Original Assignee
Rorze Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rorze Corp filed Critical Rorze Corp
Publication of CN1617789A publication Critical patent/CN1617789A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1329167C publication Critical patent/CN1329167C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/06Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/1005Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements comprising adjusting means
    • B25J9/101Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements comprising adjusting means using limit-switches, -stops
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00Arms
    • B25J18/02Arms extensible
    • B25J18/04Arms extensible rotatable
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766Mechanical parts of transfer devices

Abstract

一种平面多关节型机器人,包括末端在水平面内可转动地与基部(11)连结且可水平屈伸之臂体(14)、与臂体的另一末端在水平面内可转动地进行连结且固定有用于平板状物(7)的保持用的机械手指部(16a)、(16b)的肘节部(15a)、(15b)、用于前述臂体及肘节部的驱动装置。前述驱动装置可使连结前述肘节部和前述臂体的转动部、使前述臂体屈伸的转动部、连结前述臂体和前述基部的转动部彼此独立地进行转动,使保持平板状物的前述机械手指部可沿彼此大致平行的多数个略呈直线状的路径进行移动,且可使这些转动部中的至少一个转动一圈以上,并具有将前述可转动一圈以上之转动部的转动限制在一圈以上的一定转动角度之限制器(21a、21b)。藉此,使固定在肘节部并保持平板状物的机械手指部相对目标机器的正面入口面进行大致垂直方向的移动,并且可以防止因过度旋转而扭断臂体内的配线与配管。

Description

平板状物的传送用平面多关节型机器人及平板状物的处理系统
技术领域
本发明关于一种传送平板状物的平面多关节型机器人,特别是关于一种在半导体晶圆、液晶显示板用透明基板、印刷电路基板等平板状物的移送、搬运中所使用的机器人。而且,本发明也关于一种组装有该平面多关节型机器人的平板状物处理系统。
背景技术
在将半导体晶圆和液晶基板从传送用盒取出并交给各种处理装置,且在那里完成处理后,再次返回盒中等而向下一工程进行移送时,一般使用平面多关节型机器人。所谓平面关节(SCARA)型,是取SelectiveCompliance Assembly Robot Arm(驯服的装配机器人臂)的开头字母而形成的略语,平面多关节型机器人是藉由各机械臂在水平面内进行转动而实现臂体的屈伸进而为机械手的水平移动的,多在厌尘性环境下使用,初期是使用具有与躯体连接并使机械手直线移动之一个臂体的机器人。
此后,为了提高晶圆等的移送效率,开发出了一种例如专利2739413号所记述的,在可旋转的躯体上安装二个臂体,并由两臂体使二个机械手沿同一方向交互进行直线运动,而以二倍的效率传送晶圆等的平面多关节型机器人。
而且,在日本专利早期公开之特开平11-163090号公报中,提出了一种如图14所示,虽然臂体为一个,但该臂体14由三条机械臂构成,且存在于该臂体顶端的二个机械手部16打开120°角配置并固定在一个肘节部15上之平面多关节型机器人。藉此,可实现由一个机械手部16传送未处理的晶圆,由另一个机械手部接收加工、处理后的晶圆等动作,提高传送效率。另外,由于臂体14有三条机械臂,所以也具有使机械手部16可到达远处之优点。
但是,习知的平面多关节型机器人中的前者,采用二个臂体使二个机械手沿同一方向进行直线运动的构成,所以在向晶圆处理装置和晶圆盒等目的机器进行晶圆的传入和传出时,机器人必须位于它们的正面,如果晶圆盒和处理装置等排成一横列,则必须沿它们的排列设置轨道,使机器人主体横向移动。而且,当采用设置轨道的方法时,不只是其自身要耗费成本,还需要机器人可进行移动动作的面积,使高价的净室内的使用面积增大,并不合适。
因此,提出了如图14所示的后者的习知例那样,为了削减成本并提高传送效率,在一个臂体的顶端设有固定了二个机械手的肘节部之平面多关节型机器人,在该习知的机器人中,藉由可转动的肘节部和可使其直线运动的臂体的组合,可使机器人主体不用横向移动而将晶圆在与斜前方的目的机器之间自由地传入、传出,但是因为二个机械手指被一体安装在一个肘节部上,所以在目的机器面前,需要一个用于在搭载二个晶圆的状态下使肘节部旋转的区域,而且当目的机器的入口小时,另一机械手指会形成障碍,出现与目的机器无法交接等问题。
而且,在后者的习知例中,用于使安装有二个机械手指的肘节部转动驱动之沉重的电动机被安装在臂体的顶端,而且臂体为三条机械臂构成,长度长,所以出于保持刚性的需要而使各机械臂变粗,使臂体运动之场合的惯性大,不只需要大的臂体驱动力,在使臂体停止时也难以精度良好地进行定位。
另外,在后者的习知例中,由于没有限制臂体和肘节部之转动角度的限制器,所以也存在对肘节部上所安装的电动机和传感器之电气配线、对机械手顶端的吸附孔之真空配管等过度扭转而被切断的可能性,假如在转动部上设置由止动销和制动面构成之众所周知的限制器,则这次只能转动不足360°(转动一圈),产生无法连续进行机器人前面侧的交接作业和背面侧的交接作业等方向差别很大的作业之问题。
发明内容
本发明者为了解决上述这样的习知的平面多关节型机器人的课题,专心地反复进行了研讨,结果开发了一种平面多关节型机器人,为平板状物的传送用平面多关节型机器人,包括基部、一末端在水平面内可转动地与前述基部连结且可水平屈伸之二条机械臂构成的臂体、与前述臂体的另一末端在水平面内可转动地进行连结且固定有用于平板状物的保持之机械手指部的肘节部、用于前述臂体及肘节部的驱动装置;其特征在于:前述驱动装置可使连结前述肘节部和前述臂体的转动部、使前述臂体屈伸的转动部、连结前述臂体和前述基部的转动部彼此独立地进行转动,使前述机械手部可沿彼此大致平行的多数个略呈直线状的路径进行移动,且可使这些转动部中的至少一个转动一圈以上,并具有将前述可转动一圈以上之转动部的转动限制在一圈以上的一定转动角度之限制器。
另外,该发明的平面多关节型机器人可具有二个前述肘节部,并使这些肘节部可彼此独立转动,且彼此配置在同一转动轴线上,而且也可在前述臂体的二条机械臂中的,连结有前述肘节部的一机械臂之两末端间的部分内,组入用于该肘节部的前述驱动装置。
如利用本发明的平面多关节型机器人,为了使机械手指部可沿彼此大致平行的多数个略呈直线状的路径进行移动,驱动装置可使连结肘节部和臂体的转动部、使臂体屈伸的转动部、连结臂体和基部的转动部彼此独立地进行转动,且可使这些转动部中的至少一个转动一圈以上,所以藉由组合在使臂体屈伸的转动部(关节部)、使臂体向基部及肘节部连结的各转动部进行的转动运动,可使固定在肘节部上并保持平板状物之机械手部,对用于收纳平板状物的容器、加工,处理,检查平板状物的机械、定位平板状物的机械等目的机器的正面入口,略呈垂直方向进行移动。
另外,使载置有平板状物之状态下的机械手指部,以不使该平板状物触及目的机器的侧面之形态,对正面入口沿垂直方向呈直线状移动,或象画出大的弧形一样进行旋转并沿略垂直方向略呈直线状移动即可,而不载置平板状物之状态下的机械手指部对目的机器的插入和拔出,也可沿正面入口的倾斜方向。
而且,如利用本发明的平面多关节型机器人,可使转动部中的至少一个转动一圈以上,并具有将该可旋转一圈以上之转动部的转动限制在一圈以上的一定转动角度之限制器,所以可将例如晶圆的从清净容器的获取、向晶圆定位装置的交接和获取、向晶圆处理装置的交接和获取、向处理后的清净容器的交接这些各动作间所积留之角度的修正,在一系列的动作之后统一进行,特别是在具有多数个机械手指部而连续地处理多数个晶圆的情况下是有利的。为了该角度的修正,通常最好是可转动接近二圈,如能转动三圈则更加合适,根据富余情况如为可容许转动四圈的限制器就已经足够了。
在本发明中,也可将固定了臂体的一末端之躯体由基部进行支持,并在躯体内设置使该躯体对基部进行转动的驱动部、使该躯体对基部进行上下(Z轴方向)移动的驱动部。
驱动装置所使用的电动机只要为能够利用控制装置进行旋转角度控制的电动机即可,可为伺服电动机、步进电动机、直接驱动电动机等众所周知的任一种电动机。这里,作为旋转角度的测定装置通常使用编码器(encoder),但是在步进电动机的情况下,如果没有需要也可不用。
作为用于降低电动机旋转速度的减速机构,可利用使皮带轮和同步皮带组合的皮带式减速机、在内部具有固定轴齿轮的独立的减速机、行星齿轮型减速机、偏芯行星齿轮型减速机(商品名harmonic driver(选频驱动)等)、电动机和变速机的框体相同之减速机一体型电动机等众所周知的技术。这里,如果与转动轴在同一轴线上将直接驱动电动机进行二级直接连结配置,就没有必要设置减速机。
为了确认传送对象的平板状物或传送目的地的目的机器的存在和位置,也可在本发明的机器人的机械手指部或肘节部中设置传感器,该传感器可使用透过型光传感器、反射型传感器等众所周知的类型。而且,肘节部并不限定为平面状且在其上载置平板状物的类型,也可为抓住平板状物的末端之边缘夹紧型。
而且,本发明之平板状物的处理系统的特征在于:前述本发明的平面多关节型机器人与平板状物的传出传入场所、平板状物的处理装置邻接配置,如利用该处理系统,平面多关节型机器人可沿彼此大致平行的多数个略呈直线状路径,即直线状路径和与直线接近的圆弧形路径而使机械手指部移动,所以在向晶圆处理装置和晶圆盒等目的机器进行晶圆的传入和传出时,机器人没有必要位于它们的正面,因此即使在晶圆盒和晶圆处理装置等排成一横列的情况下,也没有必要沿它们的排列设置轨道而使机器人横向移动,从而可节省设置轨道的成本,且不需要机器人可进行移动动作的面积,能够减少高价净室内的机器人的使用面积。
附图说明
图1所示为配置了本发明的平面多关节型机器人的一个实施例的,作为本发明的平板状物处理系统的一个实施例之晶圆处理系统的部分缺口斜视图。
图2所示为上述实施例之平面多关节型机器人的外观的斜视图。
图3所示为上述实施例之平面多关节型机器人的臂体及上侧机械手指部的动作例的平面图。
图4所示为上述实施例之平面多关节型机器人的内部机构的纵断面图。
图5A所示为上述实施例的平面多关节型机器人之限制器的一个例子的侧面图。
图5B、图5C为分别沿图5A的A-A线及B-B线的断面图。
图6所示为上述限制器之动作的说明图。
图7A所示为可取代上述限制器之另一例子的限制器的侧面图。
图7B、图7C、图7D为分别沿图7A的C-C线、D-D线及E-E线的断面图。
图8所示为上述限制器之动作的说明图。
图9A所示为上述实施例的平面多关节型机器人的限制器之另一例子的部分缺口分解斜视图。
图9B所示为该限制器的二个滚珠承接环的一个和滚珠的平面图。
图9C所示为该限制器的断面图。
图10A所示为可取代上述限制器之另一例子的限制器的分解侧面图。
图10B及C所示为该限制器的分解平面图及分解斜视图。
图11所示为用于肘节部的驱动部之另一配置例的平面配置图。
图12A、图12B为分别沿图11的F-F线及G-G线的断面图。
图13所示为上述实施例的平面多关节型机器人之边缘夹紧型机械手指部的一个例子的平面配置图。
图14所示为习知的平面多关节型机器人的平面图。
具体实施方式
下面利用实施例,并根据图示对本发明的实施形态进行详细地说明。这里,图1所示为配置了本发明的平面多关节型机器人的一个实施例的,作为本发明的平板状物处理系统的一个实施例之晶圆处理系统的部分缺口斜视图。设置有上述实施例的平面多关节型机器人1的房间,在上侧设置具有风扇过滤单元之未图示的顶板,并在靠近观察者一侧设置未图示的墙壁,形成高清净区域。而且,在该实施例处理系统的,图1中的左侧壁上,设置有3处用于在外侧放置晶圆7的收纳用清净容器3之装入孔2,各装入孔2的孔门2a在图中是打开的。而且,与内侧壁接触设置有晶圆定位装置10。
图2所示为上述实施例的平面多关节型机器人1之外观的斜视图。该机器人1在地面上所固定的基部11上配备有对该基部11可转动的躯体12,该躯体12具有在臂体14的第1机械臂14a上所固定的躯体罩12a、与第1机械臂14a的基端部一体结合的躯体框12b,且在该第1机械臂14a的顶端部可转动地连接有臂体14的第2机械臂14b的基端部。而且,在第2机械臂14b的顶端部,分别固定有上侧及下侧的二个机械手指部16a、16b之二个肘节部15a、15b彼此以同一转动轴线状可转动地被支持。但是,在图1的这些机械手指部中,下侧机械手指部16b在等待获取处理后的晶圆7,上侧机械手指部16a将未处理的晶圆7从内侧的清净容器3取出。
在图1中的右侧壁的右侧,配置有具有多数个晶圆处理机5的晶圆处理装置4,并在图1的右侧壁上,设置有该晶圆处理装置4的晶圆7的传入用窗8和传出用窗9,且这些传出传入用窗8、9的二个门8a、9a在图中是打开的。而且,在图示的晶圆处理装置4中,传送机6获取由晶圆处理机5所处理的晶圆7,并等待交接到通过右边内侧的传出用窗9所插入之机器人1的下侧机器手16b上。该晶圆处理装置4安装有未图示的盖,并从上述风扇过滤单元通过传入用窗9及传出用窗8而送入高清净空气,使内部形成高清净区域。另外,在晶圆处理装置4上,在机器人1侧采用使空气不产生倒流之构成,且也可设置其它的风扇过滤单元。
图3为将上述实施例的平面多关节型机器人1的臂体14,以及被设定为专门处理例如加工和处理前的晶圆7之上侧机械手指部16a的动作例,以使下侧机械手指部16b和肘节部15b一起省略之状态进行表示的平面图,如图所示,载置了晶圆7的上侧机械手指部16a,在清净容器的、使对载入孔2所连结的入口面沿垂直方向延伸之直线状路径和与其接续之圆弧状路径进行组合的移动路径P上进行移动。这里,未图示的下侧机械手指部可设定为专门处理例如加工和处理后的晶圆7,如果这样,可更加提高在处理装置4的加工和处理前之晶圆7的清净度,并更加提高加工和处理的精度。另外,虽然在这里并未图示,但当上侧机械手指部16a和下侧机械手指部16b分别载置晶圆7时,需要组入动作程序以在一方的动作中使另一方以不干涉目的机器之角度而彼此离开。
如上述动作例所示,该实施例的机器人1使机械手指部16a、16b在它们处于任一个清净容器3内的期间,都沿对清净容器3的入口面呈垂直方向延伸之直线状的路径进行移动。当使处于机器人1的斜前方之清净容器3为取出放入晶圆7的目的机器时,使肘节部15a,15b、臂体14的关节部、躯体部12适当进行转动,并使机械手指部16a、16b进而为晶圆7,沿对清净容器3的入口面垂直的直线状路径和与其接续的曲线状路径进行移动。当使中央的清净容器3为取出放入晶圆7的目的机器时,只需使晶圆7沿直线状的路径移动即可。藉由象这样使多数条彼此大致平行的直线状的路径和曲线状的路径适当组合,机械手指部16a、16b可以置有三个清净容器3之前面侧的三个位置、设有晶圆处理装置4的传入用窗8和传出用窗9之背面侧的二个位置为目的进行动作。
另外,本发明的平面多关节型机器人也可与上述实施例不同,只具有一个机械手指部,这种情况下的机器人,依据上述之机械手指部为二个的实施例进行动作。
图4所示为图3所示的上述实施例之平面多关节型机器人1的内部机构的纵断面图。当利用固定在基部11上且设有旋转角度检测用的编码器20d之电动机17d被驱动,并设在基部11上之滚珠螺丝23进行旋转时,与该滚珠螺丝23拧合的滚珠螺母22进行升降,并通过与该滚珠螺母22一体结合之基部11的升降台11b,使躯体12以上的所有机构上下(Z轴方向)移动,且编码器20d输出表示其移动量的信号。在基部11的升降台11b的下面固定设置有第1机械臂驱动用电动机17a和其旋转角度检测用的编码器20a,电动机17a可通过具有多数个同步皮带19和皮带轮18a之三段式减速传动机构,使躯体12及第1机械臂14a一起对基部11转动一圈以上。
位于躯体12的中心部之皮带轮的支持轴的轴芯,为了穿通配线31而形成中空,而且在使第1机械臂14a一体结合之躯体框12b和基部11的升降台11b之间,装入有滚柱轴承或滚珠轴承25a,且如图5及图6所示设置有限制器21a,该限制器21a在第1机械臂14a对基部11的转动角度达到接近2圈时即制止其继续转动,防止配线31过度扭转。另外,为了从躯体罩12a和基部罩11a之间取入清净空气,并将躯体12a及基部11附近的尘埃与气流一起排出,在基部11的底部设有排气扇24。
图5A所示为上述限制器21a的侧面图,图5B、图5C所示为分别沿图5A的A-A线及B-B线的断面图,图6所示为上述限制器21a之动作的说明图。该限制器21a藉由可旋转90°的在这里为L字状的限制器构件40和止动销41的组合,可使躯体12对基部11的转动在差一点满2圈的角度被制止,且限制构件40的转动位置可由二个传感器42的任一个是否检测到传感器压板43而检测得知。
即,该限制器21a形成一种在升降台11b上设置L字状的止动构件40、止动滚子46,并在躯体框12b上朝下突出设置止动销41之构成,其中该止动构件40沿周方向离开90度,并在L字的角部配置设有二条轴线方向沟47的支持轴且可转动地进行支持,止动滚子46由弹簧45被施力并嵌合在该支持轴的轴线方向沟47中,且将止动构件40在图6A,图6C所示的位置进行保持;如果如图6A所示,使止动销41从止动构件40的L字的内侧进入,则如图6B所示,将止动构件40推倒,且躯体框12b进行转动,当如图6C所示又转动一圈时,止动销41与止动构件40的L字的外侧抵接而停止。
图7A所示为可取代上述L字型的限制器21a使用之T字型的限制器的侧面图,图7B、图7C、图7D为分别沿图7A的C-C线、D-D线及E-E线的断面图,图8所示为该T字型的限制器之动作的说明图,该限制器是藉由如图8A~图8C所示可旋转近半圈之T字状的止动构件40和止动销41的组合,从而可在差一点满三圈的角度制止转动的,且限制构件40的转动位置可由二个传感器42的任一个是否检测到传感器压板43而检测得知。
如图4所示,在第1机械臂14a的下部,固定设置有用于通过具有多数个皮带轮18b和同步皮带19之三段式减速传动机构及皮带轮传动机构而驱动第2机械臂14b的电动机17b、其旋转角度检测用的编码器20b,而且,第1机械臂14a和第2机械臂14b由利用轴承25b可转动地被支持之皮带轮18b的支持轴进行连结,藉此,电动机17b可使第2机械臂14b对第1机械臂14a转动1圈以上。而且,在为了穿通配线31而使轴芯形成中空的该支持轴上,设置有限制器21b,且该限制器21b将第2机械臂14b对第1机械臂14a的转动角度限制在差一点满2圈的角度以下,防止配线31过度扭转。
图9A所示为上述限制器21b的部分缺口分解斜视图,图9B所示为该限制器21b的2个滚珠承接环50中的一个和滚珠51的平面图,图9C所示为该限制器21b的断面图。该限制器21b是在重合的二个滚珠承接环50的彼此对向的平面上,分别设有以转动轴线为中心的滚珠沟50a,且在这些滚珠沟50a中分别设有1处间隔部50b,并将1个滚珠51配置于上述彼此对向的滚珠沟50a内而形成的;该滚珠式的限制器21b容许在滚珠沟50a内因滚珠51的转动而造成的2个滚珠承接环50的差一点满二圈之角度的相对转动,并由滚珠51和间隔部50b的抵接而制止继续转动,使上述配线31不会被扭断。
图10A所示为可取代上述限制器21b使用之另一滚珠式的限制器的分解侧面图,图10B及图10C所示为该滚珠式限制器的分解平面图及分解斜视图。该限制器是在圆柱状的滚珠承接鼓53的外周面,呈螺旋状在一圈以上四圈以下的一定转动角度范围内设有滚珠沟53a,而且,在与该滚珠承接鼓53相接之轴承的内面所配置的滚珠承接杆52上,设有相当于上述4圈以下的一定转动角度量的螺旋间距之长度的纵沟状的滚珠沟52a,并在这二个滚珠沟内配置滚珠51而形成的;该滚珠式的限制器藉由使利用纵沟状的滚珠沟52a而限制位置,并在螺旋状的滚珠沟53a内进行转动之滚珠51与其螺旋状的滚珠沟53a的末端抵接,可制止超出上述4圈以下的一定转动角度量的转动,使上述配线31不会被扭断。另外,纵沟状的滚珠沟52a也可直接设置在轴承上,而且,也可与上述相反,将螺旋状沟设置在轴承的内侧面,而将纵沟设置在支持沟的外侧面。
另外,如图4所示,在第2机械臂14b内设置有通过具有皮带轮18c、18c’和同步皮带19c、19c’的二个减速传动机构而驱动二个肘节部15a、15b之电动机18c、18c’,并分别与编码器20c、20c’连结。在该实施例中,在第2机械臂14b和可对其向下移动向上转动的各肘节部15a、15b之间没有限制器,但也可依据需要如上述各图示例那样安装限制器。
分别固定有上侧及下侧机械手指部16a、16b的二个肘节部15a、15b,彼此在同一转动轴线上由滚珠轴承25c而在第2机械臂14b上可转动地被支持,并利用上述二个电动机17c、17c’被驱动,且彼此独立地对第2机械臂14b进行转动。
作为用于臂体14及肘节部15a、15b的驱动装置之上述电动机17a、17b、17c、17c’、17d全都如图4所示,设于机器人1的外部,并从内置有通常的计算机之控制装置13供给驱动电力,且藉由使控制装置13接收与各电动机对应的编码器20a、20b、20c、20c’、20d所发出的输出信号,而利用控制装置13对转动角度进行反馈控制。而且,控制装置13根据预先所设定的程序,使这些电动机动作,并使上侧及下侧机械手指部16a、16b沿所需的路径进行移动。
而且,控制装置13和各电动机及编码器间的配线31、用于机械手指部16a,16b的吸附口26之未图示的负压配管,穿过上述躯体12和第1机械臂14a之间的中空的轴,与第1机械臂14a和第2机械臂14b之间的中空的轴,且为了能够对应伴随臂体14的转动所进行的伸缩而设有线圈状的卷线部等,并在限制器21a、21b所容许的范围内给以足够的长度。
图11所示为用于肘节部15a、15b的驱动部(驱动装置)之另一配置例的平面配置图,图12A、图12B为分别沿图11的F-F线及G-G线的断面图,它们详细表示了特别是第2机械臂14b的两末端间的中央部内所收纳之二个电动机17c、17c’及二个编码器20c、20c’的配置。即,在该配置例中,将二个电动机17c、17c’及二个编码器20c、20c’沿第2机械臂14b的宽度方向横向并列配置。
图13所示为边缘夹型机械手指部,即具有不与晶圆7的背面接触而把持周边部之机构的机械手指部的平面配置图,在肘节部15a内,由气缸33被驱动且由弹簧34被连结之一对晶圆边缘夹32进行按压,以使在晶圆导向器35上载置周边部的晶圆7不会滑落。在图示例中,除了一个边缘夹型机械手指部16a以外,还具有一个如图2及图11所示那样的背面接触型的机械手指部16b,但是二个机械手指部也可都为上述的边缘夹型。
另外,在图13中,在被分成两股之边缘夹紧型机械手指部16a的顶端部,具有由投光器和受光器的组形成之透过型光学传感器所构成的映像传感器30,并将该映像传感器30用于对例如清净容器3中所收纳之晶圆7的有无进行确认等。作为映像传感器30,虽然也可另外采用反射型光学传感器,但由于磁传感器和接触型传感器有可能对作为电子构件的晶圆7带来不良影响,所以并不合适。
如利用上述实施例的机器人1,藉由设置二个机械手指部16a、16b,不只变得可一次传送二片晶圆7,还可将一个机械手指部作为处理前的晶圆7专用,另一个机械手指部作为处理后的晶圆7专用而区别使用,所以能够更加高度地防止异物的移动。
而且,各机械臂14a、14b及各机械手指部16a、16b可独立地进行动作,所以即使对横向并列的目的机器,也不用使机器人1向它们的正面横向移动,即可将机械手指部16a、16b对它们的入口面沿垂直方向插入,所以能够顺利地传送平板状物。
另外,由于在能够转动一圈以上之转动部中的除了二个肘节部以外的二处位置上,设置了可在4圈以下的一定转动角度范围内限制转动之限制器21a、21b,所以能够确实地防止穿过躯体内和机械臂内的向电动机类、编码器、光学传感器等的配线31与用于吸附口26的未图示的负压配管,在机器人1的不测动作时被切断。
以上根据图示例进行了说明,但该发明并不限定于上述例子,可在权利要求范围所说明的范围内酌情进行变更,例如传送的平板状物也可为晶圆以外的平板状物。
如利用本发明的平面多关节型机器人,可使在肘节部上被固定并用于保持平板状物之机械手指部,对收纳平板状物的容器、加工,处理,检查平板状物的机械、定位平板状物的机械等目的机器的正面入口,沿大致垂直方向进行移动。

Claims (4)

1.一种平面多关节型机器人,为平板状物的传送用平面多关节型机器人,包括基部、一末端在水平面内可转动地与前述基部连结且可水平屈伸之二条机械臂构成的臂体、与前述臂体的另一末端在水平面内可转动地进行连结且固定有用于平板状物的保持之机械手指部的肘节部、用于前述臂体及肘节部的驱动装置;
其特征在于:
前述驱动装置可使连结前述肘节部和前述臂体的转动部、使前述臂体屈伸的转动部、连结前述臂体和前述基部的转动部彼此独立地进行转动,使保持平板状物的前述机械手指部可沿彼此大致平行的多数个略呈直线状的路径进行移动,且可使这些转动部中的至少一个转动一圈以上,并
具有将前述可转动一圈以上之转动部的转动限制在一圈以上的一定转动角度之限制器。
2.如权利要求1所述的平面多关节型机器人,其特征在于:
具有二个前述肘节部,并
使这些肘节部可彼此独立转动,且彼此配置在同一转动轴线上。
3.如权利要求1或2所述的平面多关节型机器人,其特征在于:
在前述臂体的二条机械臂中的,连结有前述肘节部的一机械臂之两末端间的部分内,组入用于该肘节部的前述驱动装置。
4.一种平板状物的处理系统,其特征在于:权利要求1至3中的任一项所述的平面多关节型机器人,与平板状物的传入传出场所和平板状物的处理装置邻接配置。
CNB02827623XA 2001-12-04 2002-12-02 平板状物的传送用平面多关节型机器人及平板状物的处理系统 Expired - Lifetime CN1329167C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001370626A JP2003170384A (ja) 2001-12-04 2001-12-04 平板状物の搬送用スカラ型ロボットおよび平板状物の処理システム
JP370626/2001 2001-12-04

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1617789A true CN1617789A (zh) 2005-05-18
CN1329167C CN1329167C (zh) 2007-08-01

Family

ID=19179819

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB02827623XA Expired - Lifetime CN1329167C (zh) 2001-12-04 2002-12-02 平板状物的传送用平面多关节型机器人及平板状物的处理系统

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7086822B2 (zh)
EP (1) EP1464455B1 (zh)
JP (1) JP2003170384A (zh)
KR (1) KR100774236B1 (zh)
CN (1) CN1329167C (zh)
DE (1) DE60222303T2 (zh)
WO (1) WO2003047820A1 (zh)

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101003132B (zh) * 2006-01-17 2011-01-26 日本电产三协株式会社 机器人
WO2011069409A1 (zh) * 2009-12-10 2011-06-16 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种机械手臂装置及包括该机械手臂装置的基片处理系统
US8007218B2 (en) 2007-01-19 2011-08-30 Psk Inc. Unit and method for transferring substrates and apparatus and method for treating substrates with the unit
CN101454125B (zh) * 2006-11-27 2011-09-21 日本电产三协株式会社 工件输送系统
CN102233577A (zh) * 2010-04-21 2011-11-09 株式会社安川电机 水平关节型机器人和基板传送系统
CN101633441B (zh) * 2009-08-19 2012-05-23 友达光电股份有限公司 基板处理系统及其基板搬运装置
CN101375385B (zh) * 2006-01-13 2012-05-30 纳博特斯克株式会社 包括冷却循环路径的基板搬运机器人的驱动设备
CN102476383A (zh) * 2010-11-30 2012-05-30 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 平面多关节型机器人手臂机构
CN101299415B (zh) * 2007-05-02 2012-07-04 Psk有限公司 传送基板的单元和方法及处理基板的装置和方法
CN101543991B (zh) * 2008-03-28 2012-07-18 常州鸿臻电子技术有限公司 一种三维机械手
CN103079777A (zh) * 2011-04-27 2013-05-01 日本电产三协株式会社 旋转体的旋转范围限制机构及工业用机器人
CN103240732A (zh) * 2012-02-01 2013-08-14 株式会社安川电机 机器人
CN102349146B (zh) * 2009-01-11 2013-09-18 应用材料公司 用于制造至机器人及所述机器人的电末端执行器的电连接的系统、设备及方法
CN105299167A (zh) * 2015-10-28 2016-02-03 冯超 一种二次回转机构
CN105479446A (zh) * 2016-02-04 2016-04-13 威海新北洋正棋机器人股份有限公司 机器人
CN109311152A (zh) * 2016-06-15 2019-02-05 株式会社三共制作所 输送装置
CN109761038A (zh) * 2017-11-09 2019-05-17 日本电产三协株式会社 工件输送系统及其控制方法
CN110098136A (zh) * 2018-01-30 2019-08-06 台湾积体电路制造股份有限公司 半导体元件处理系统、半导体元件处理装置及半导体元件处理方法
CN116352690A (zh) * 2023-06-01 2023-06-30 沈阳芯达科技有限公司 一种基于大气机械手的垂直行程增程机构

Families Citing this family (66)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003024673A1 (fr) * 2001-09-12 2003-03-27 Takehide Hayashi Main de robot a fonction de positionnement pour tranche en semiconducteur et substrat de verre a cristaux liquides
US20050036876A1 (en) * 2002-09-24 2005-02-17 Walto Joseph J. Tracked compact utility loader
DE102004007558B4 (de) * 2004-02-17 2012-06-21 Josef Moser Bewegungseinrichtung mit sinusförmigen Bewegungsablauf
DE102004008289B4 (de) * 2004-02-20 2006-07-27 Integrated Dynamics Engineering Gmbh Roboterführungseinheit zur Bereitstellung einer Präzisionsbewegung eines Gegenstands
US7255747B2 (en) 2004-12-22 2007-08-14 Sokudo Co., Ltd. Coat/develop module with independent stations
US7798764B2 (en) * 2005-12-22 2010-09-21 Applied Materials, Inc. Substrate processing sequence in a cartesian robot cluster tool
KR20080002818A (ko) 2005-04-11 2008-01-04 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 다관절형 로보트
US9248568B2 (en) * 2005-07-11 2016-02-02 Brooks Automation, Inc. Unequal link SCARA arm
JP2009505410A (ja) * 2005-08-16 2009-02-05 モーザー,ヨーゼフ 2つの面を持つサクションバーを備える運動装置
FR2900591B1 (fr) 2006-05-02 2008-06-20 Staubli Faverges Sca Structure de robot de type scara, et robot correspondant
KR20080004118A (ko) * 2006-07-04 2008-01-09 피에스케이 주식회사 기판 처리 설비
JP4098338B2 (ja) 2006-07-20 2008-06-11 川崎重工業株式会社 ウェハ移載装置および基板移載装置
US7740437B2 (en) 2006-09-22 2010-06-22 Asm International N.V. Processing system with increased cassette storage capacity
JP2008141095A (ja) * 2006-12-05 2008-06-19 Tatsumo Kk 半導体製造用搬送装置
US7585142B2 (en) * 2007-03-16 2009-09-08 Asm America, Inc. Substrate handling chamber with movable substrate carrier loading platform
US7946800B2 (en) * 2007-04-06 2011-05-24 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus with multiple independently movable articulated arms
US8267636B2 (en) 2007-05-08 2012-09-18 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus
JP5387412B2 (ja) * 2007-11-21 2014-01-15 株式会社安川電機 搬送ロボット、筐体、半導体製造装置およびソータ装置
JP4565029B2 (ja) * 2008-08-13 2010-10-20 ファナック株式会社 線条体動作制限装置、および該装置を備えたロボット
JP5339874B2 (ja) * 2008-12-02 2013-11-13 タツモ株式会社 ロボット装置及びその制御方法
JP5347466B2 (ja) * 2008-12-09 2013-11-20 株式会社安川電機 教示治具によって教示する基板搬送用マニピュレータ
US8777547B2 (en) 2009-01-11 2014-07-15 Applied Materials, Inc. Systems, apparatus and methods for transporting substrates
JP5391857B2 (ja) * 2009-06-17 2014-01-15 シンフォニアテクノロジー株式会社 基板搬送ロボット
JP5332932B2 (ja) * 2009-06-17 2013-11-06 シンフォニアテクノロジー株式会社 ダブルハンドロボットの減速機構
JP5480562B2 (ja) * 2009-08-26 2014-04-23 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP5487840B2 (ja) * 2009-09-18 2014-05-14 株式会社デンソーウェーブ ロボットのストッパ装置
JP2011067920A (ja) * 2009-09-28 2011-04-07 Mitsubishi Electric Corp 回転リミット装置
DE102009043404A1 (de) * 2009-09-29 2011-09-22 Kuka Roboter Gmbh Industrieroboter mit einem Schleppanschlag
CN102085668A (zh) * 2009-12-03 2011-06-08 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 机械手臂及其组装方法
JP4591624B1 (ja) * 2010-03-12 2010-12-01 株式会社安川電機 産業用ロボット
CN102259336A (zh) * 2010-05-28 2011-11-30 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 机器人
JP5821210B2 (ja) * 2011-02-22 2015-11-24 セイコーエプソン株式会社 水平多関節ロボット及び水平多関節ロボットの制御方法
JP5818345B2 (ja) * 2011-04-27 2015-11-18 日本電産サンキョー株式会社 回転機構、産業用ロボットおよび回転体の原点位置復帰方法
JP2011161629A (ja) * 2011-06-03 2011-08-25 Kawasaki Heavy Ind Ltd 基板搬送ロボット
US9076829B2 (en) * 2011-08-08 2015-07-07 Applied Materials, Inc. Robot systems, apparatus, and methods adapted to transport substrates in electronic device manufacturing
JP5978588B2 (ja) * 2011-10-14 2016-08-24 セイコーエプソン株式会社 双腕ロボット
US9076830B2 (en) * 2011-11-03 2015-07-07 Applied Materials, Inc. Robot systems and apparatus adapted to transport dual substrates in electronic device manufacturing with wrist drive motors mounted to upper arm
JP2012035408A (ja) * 2011-11-09 2012-02-23 Kawasaki Heavy Ind Ltd 基板搬送ロボット
WO2013090181A1 (en) * 2011-12-12 2013-06-20 Applied Materials, Inc Fully-independent robot systems, apparatus, and methods adapted to transport multiple substrates in electronic device manufacturing
CN104520075B (zh) * 2012-08-09 2017-03-15 富士通株式会社 机器人
JP2013016843A (ja) * 2012-09-10 2013-01-24 Kawasaki Heavy Ind Ltd 基板搬送ロボット、基板搬送装置および半導体処理設備
JP6336467B2 (ja) 2012-11-30 2018-06-06 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated 不等長の前腕部を備えた多軸ロボット装置、電子デバイス製造システム、及び、電子デバイス製造において基板を搬送するための方法
US9149936B2 (en) * 2013-01-18 2015-10-06 Persimmon Technologies, Corp. Robot having arm with unequal link lengths
JP5819357B2 (ja) * 2013-07-09 2015-11-24 川崎重工業株式会社 基板搬送装置および基板搬送ロボット
JP5819356B2 (ja) * 2013-07-09 2015-11-24 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボットおよび基板搬送装置
US10424498B2 (en) * 2013-09-09 2019-09-24 Persimmon Technologies Corporation Substrate transport vacuum platform
US9666465B2 (en) * 2013-12-12 2017-05-30 Seagate Technology Llc Positioning apparatus
US10269606B2 (en) * 2014-05-05 2019-04-23 Persimmon Technologies Corporation Two-link arm trajectory
WO2016145305A2 (en) 2015-03-12 2016-09-15 Persimmon Technologies, Corp. Robot with slaved end effector motion
JP6027661B2 (ja) * 2015-09-30 2016-11-16 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボット
US10515834B2 (en) 2015-10-12 2019-12-24 Lam Research Corporation Multi-station tool with wafer transfer microclimate systems
JP6408526B2 (ja) 2016-08-23 2018-10-17 株式会社サンシン ボールねじ研磨方法及びその装置
CN106272374B (zh) * 2016-09-29 2018-12-21 浙江琦星电子有限公司 机械手
JP2017017355A (ja) * 2016-10-14 2017-01-19 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボット
CN106313112A (zh) * 2016-10-18 2017-01-11 太仓望虞机械科技有限公司 一种阻尼可调的工业悬臂
US11207775B2 (en) * 2016-12-13 2021-12-28 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Method of teaching robot
CN107309907B (zh) * 2017-07-03 2024-02-09 深圳市优必选科技有限公司 机器人关节限位结构及机器人
JP7009935B2 (ja) * 2017-11-06 2022-01-26 セイコーエプソン株式会社 ロボット
US10155309B1 (en) * 2017-11-16 2018-12-18 Lam Research Corporation Wafer handling robots with rotational joint encoders
JP2019123024A (ja) * 2018-01-12 2019-07-25 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
CN108555963A (zh) * 2018-04-26 2018-09-21 阜阳盛东智能制造技术研发有限公司 一种可折叠机械臂
JP6649995B2 (ja) * 2018-06-22 2020-02-19 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボット
JP6640923B2 (ja) * 2018-06-22 2020-02-05 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボット
CN108996230A (zh) * 2018-09-26 2018-12-14 樊强 一种多级伸缩的搬运机械臂
JP2020074440A (ja) * 2020-01-17 2020-05-14 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボット
CN111559411A (zh) * 2020-05-18 2020-08-21 中铁成都轨道交通健康管理技术有限公司 一种可移动式的重载搬运机器人装置、系统及使用方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3012447A (en) * 1959-04-27 1961-12-12 Collins Radio Co Two-revolution mechanical stop
EP0852172B1 (en) * 1995-09-18 2002-04-03 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Stopper for industrial robots
JP3892494B2 (ja) * 1996-01-26 2007-03-14 東京エレクトロン株式会社 基板搬送装置
US5839322A (en) * 1996-01-26 1998-11-24 Genmark Automation Robotic arm rotation controller
US6121743A (en) 1996-03-22 2000-09-19 Genmark Automation, Inc. Dual robotic arm end effectors having independent yaw motion
JPH11163090A (ja) * 1997-12-02 1999-06-18 Mecs Corp 薄型ワークの搬送ロボット
JPH11284049A (ja) * 1998-03-31 1999-10-15 Mecs Corp 薄型基板搬送ロボット
JPH11300663A (ja) * 1998-04-24 1999-11-02 Mecs Corp 薄型基板搬送装置
JP2000183128A (ja) 1998-12-17 2000-06-30 Komatsu Ltd ワーク搬送装置の制御装置
KR100309920B1 (ko) * 1998-12-16 2002-10-25 삼성전자 주식회사 기판의언로딩장치및언로딩방법
US6326755B1 (en) * 2000-04-12 2001-12-04 Asyst Technologies, Inc. System for parallel processing of workpieces

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101375385B (zh) * 2006-01-13 2012-05-30 纳博特斯克株式会社 包括冷却循环路径的基板搬运机器人的驱动设备
CN101003132B (zh) * 2006-01-17 2011-01-26 日本电产三协株式会社 机器人
CN101454125B (zh) * 2006-11-27 2011-09-21 日本电产三协株式会社 工件输送系统
US8007218B2 (en) 2007-01-19 2011-08-30 Psk Inc. Unit and method for transferring substrates and apparatus and method for treating substrates with the unit
CN101299415B (zh) * 2007-05-02 2012-07-04 Psk有限公司 传送基板的单元和方法及处理基板的装置和方法
CN101543991B (zh) * 2008-03-28 2012-07-18 常州鸿臻电子技术有限公司 一种三维机械手
CN102349146B (zh) * 2009-01-11 2013-09-18 应用材料公司 用于制造至机器人及所述机器人的电末端执行器的电连接的系统、设备及方法
US8692500B2 (en) 2009-01-11 2014-04-08 Applied Materials, Inc. Systems, apparatus and methods for making an electrical connection to a robot
CN101633441B (zh) * 2009-08-19 2012-05-23 友达光电股份有限公司 基板处理系统及其基板搬运装置
WO2011069409A1 (zh) * 2009-12-10 2011-06-16 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种机械手臂装置及包括该机械手臂装置的基片处理系统
CN102233577A (zh) * 2010-04-21 2011-11-09 株式会社安川电机 水平关节型机器人和基板传送系统
CN102233577B (zh) * 2010-04-21 2014-12-17 株式会社安川电机 水平关节型机器人和基板传送系统
CN102476383A (zh) * 2010-11-30 2012-05-30 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 平面多关节型机器人手臂机构
CN103079777B (zh) * 2011-04-27 2015-04-29 日本电产三协株式会社 旋转体的旋转范围限制机构及工业用机器人
CN103079777A (zh) * 2011-04-27 2013-05-01 日本电产三协株式会社 旋转体的旋转范围限制机构及工业用机器人
CN103240732A (zh) * 2012-02-01 2013-08-14 株式会社安川电机 机器人
US9028197B2 (en) 2012-02-01 2015-05-12 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Robot with plurality of belts and intermediate pulley
CN103240732B (zh) * 2012-02-01 2015-07-15 株式会社安川电机 机器人
CN105299167A (zh) * 2015-10-28 2016-02-03 冯超 一种二次回转机构
CN105479446A (zh) * 2016-02-04 2016-04-13 威海新北洋正棋机器人股份有限公司 机器人
CN109311152A (zh) * 2016-06-15 2019-02-05 株式会社三共制作所 输送装置
CN109761038A (zh) * 2017-11-09 2019-05-17 日本电产三协株式会社 工件输送系统及其控制方法
CN110098136A (zh) * 2018-01-30 2019-08-06 台湾积体电路制造股份有限公司 半导体元件处理系统、半导体元件处理装置及半导体元件处理方法
CN110098136B (zh) * 2018-01-30 2021-12-14 台湾积体电路制造股份有限公司 半导体元件处理系统、半导体元件处理装置及半导体元件处理方法
CN116352690A (zh) * 2023-06-01 2023-06-30 沈阳芯达科技有限公司 一种基于大气机械手的垂直行程增程机构
CN116352690B (zh) * 2023-06-01 2023-08-22 沈阳芯达科技有限公司 一种基于大气机械手的垂直行程增程机构

Also Published As

Publication number Publication date
DE60222303D1 (de) 2007-10-18
CN1329167C (zh) 2007-08-01
KR100774236B1 (ko) 2007-11-07
WO2003047820A1 (fr) 2003-06-12
EP1464455A1 (en) 2004-10-06
US20050079042A1 (en) 2005-04-14
JP2003170384A (ja) 2003-06-17
US7086822B2 (en) 2006-08-08
EP1464455A4 (en) 2005-01-19
EP1464455B1 (en) 2007-09-05
DE60222303T2 (de) 2008-07-31
KR20040071165A (ko) 2004-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1329167C (zh) 平板状物的传送用平面多关节型机器人及平板状物的处理系统
US5885052A (en) Transferring apparatus and robot arm
EP2567793B1 (en) Industrial robot
TWI294820B (en) Link drive mechanism and industrial robot using the same
CN103624775A (zh) 一种同步带减速平面关节机器人
JPH0538686A (ja) 搬送装置
CN1903519A (zh) 可实现整周回转的四自由度混联抓放式机器人机构
KR20100067275A (ko) 로봇
JP2008298165A (ja) 立体カム機構
JP5098562B2 (ja) ワーク搬送ロボットおよび搬送方法
WO2017217497A1 (ja) 搬送装置
JPH06174038A (ja) 直線移動装置
JP2009243694A (ja) 立体カム機構
JP7191564B2 (ja) 産業用ロボット
CN1049706C (zh) 缝纫机
KR100487152B1 (ko) 다관절 로봇
CN2461719Y (zh) 多连杆式机械手
CN109571521B (zh) 延时多路直线平夹自适应机器人手指装置
JP3932305B2 (ja) 直線運動機構
KR102164728B1 (ko) 반송 로봇 및 진공 장치
WO2013088548A1 (ja) ウエハ搬送ロボット
KR102303660B1 (ko) 카르단 기어 메커니즘을 이용한 그리핑 장치
CN113459154B (zh) 基于差分机构的仿人机械臂
CN216271907U (zh) 一种可重叠的紧凑型取料装置
JP7216345B2 (ja) ロボットハンド

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20070801

CX01 Expiry of patent term