CN1537797B - 用于传送衬底载体的方法和设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一第一传送系统，适合于在半导体器件制造设备内部传送衬底载体。该第一传送系统包括一根带条，该带条沿着半导体器件制造设备的至少一部分形成了一个闭合回路。该带条适合于(1)在水平平面中呈柔性而在竖直平面中呈刚性；和(2)在半导体器件制造设备的至少一部分内部传送若干衬底载体。按照本发明的这些以及其他方面，提供了多种其他形式，比如系统、方法和计算机程序产品。

Description

用于传送衬底载体的方法和设备
本申请要求享有序列号为No.60/443087、于2003年1月27日提交的美国临时性专利申请的优先权，在此通过引用将其中的内容结合入本发明。
技术领域
本发明总体上涉及半导体器件制造系统，尤其是涉及在制造设备内部对衬底载体的传送。
相关申请的交叉引用
本申请涉及下述共同转让的悬而未决美国专利申请，在此通过引用将其中的内容结合入本发明：
序列号为No.10/650310、于2003年8月28日提交的美国专利申请，其题目为“System For Transporting Substrate Carriers”(代理人卷号为No.6900)；
序列号为No.10/650312、于2003年8月28日提交的美国专利申请，其题目为“Method and Apparatus for Using Substrate Carrier Movement toActuate Substrate Carrier Door Opening/Closing”(代理人卷号为No.6976)；
序列号为No.10/650481、于2003年8月28日提交的美国专利申请，其题目为“Method and Apparatus for Unloading Substrate Carriers fromSubstrate Carrier Transport Systems”(代理人卷号为No.7024)；
序列号为No.10/650479、于2003年8月28日提交的美国专利申请，其题目为“Method and Apparatus for Supplying Substrate to a Processing Tool”(代理人卷号为No.7096)；
序列号为No.60/407452、于2002年8月31日提交的美国专利申请，其题目为“End Effector Having Mechamism For Reorienting A Wafer CarrierBetween Vertical And Horizontal Orientations”(代理人卷号为No.7097/L)；
序列号为No.60/407337、于2002年8月31日提交的美国专利申请，其题目为“Wafer Loading Station with Docking Grippers at Docking Stations”(代理人卷号为No.7099/L)；
序列号为No.10/650311、于2003年8月28日提交的美国专利申请，其题目为“Substrate Carrier Door having Door Latching and Substrate ClampingMechanism”(代理人卷号为No.7156)；
序列号为No.10/650480、于2003年8月28日提交的美国专利申请，其题目为“Substrate Carrier Handler That Unloads Substrate Carriers DirectlyFrom a Moving Conveyor”(代理人卷号为No.7676)；
序列号为No.60/443153、于2003年1月27日提交的美国专利申请，其题目为“Overhead Transfer Flange and Support for Suspending Wafer Carrier”(代理人卷号为No.8092/L)；
序列号为No.60/443001、于2003年1月27日提交的美国专利申请，其题目为“Systems and Methods for Transporting Wafer Carriers BetweenProcessing Tools”(代理人卷号为No.8201/L)；以及
序列号为No.60/443115、于2003年1月27日提交的美国专利申请，其题目为“Apparatus and Method for Storing and Loading Wafer Carriers”(代理人卷号No.8202/L)。
背景技术
半导体器件的制造过程一般涉及执行一系列与衬底相关的工序，所述衬底比如是硅衬底、玻璃板等等。这些步骤会包括抛光、淀积、蚀刻、影印、热处理等等。通常，若干的不同处理步骤可以在单个处理系统或者“工具”中执行，该处理系统或者“工具”包括若干的处理腔室。但是，通常的情况是需要在制造设备内部的其它处理位置处执行其它工艺，并且因此需要在制造设备内部将衬底从一个处理位置传送至另外一个处理位置。根据待制造的半导体器件的类型，在制造设备内部的许多不同处理位置处，会需求相对较多的处理步骤。
通常在衬底载体内部将衬底从一个处理位置传送至另外一个处理位置，所述衬底载体比如是密闭的匣状外壳区段、盒体、容器等等。通常也采用自动化的衬底载体传送装置，比如自动制导车辆、高架(overhead)传送系统、衬底载体操控机器人等等，来在制造设备内部将衬底载体从一个位置移动至另外一个位置，或者将衬底载体从一个衬底载体传送装置上传送下来或传送至其上。
对于单个衬底来说，总的制造过程，从原生衬底的成形或者接收开始至从成品衬底上裁切下半导体器件，会需要消耗数以周计或者数以月计的时间。在一般的制造设备，若干的衬底可以由此在任何给定的时间点处作为“加工品”(WIP)存在。在制造设备中作为WIP存在的衬底会占用若干的流动资本，这往往会增加每个衬底的制造成本。因此，所希望的是对于制造设备的给定衬底生产能力来说，减少WIP的量。为此，必须降低用于处理各个衬底的总计耗费时间。
先前结合入本发明的、序列号为No.10/650310、于2003年8月28日提交的、题目为“System for Transporting Semiconductor Substrate Carriers”的美国专利申请(代理人卷号为No.6900)公开了一种衬底载体传送系统，其包括一个用于衬底载体的传送装置，在其所服役的制造设备的工作过程中，所述传送装置力图恒速运转。恒速移动的传送装置将有利于在制造设备内部对衬底进行传送，以便减少各个衬底在制造设备中的总“滞留”时间；由此减少WIP，并且削减资本和制造成本。所希望的是用于这种传送装置的经改进设计以及工作方法。
发明内容
根据本发明的第一方面，提供了一种第一传送系统，其适合于在半导体器件制造设备中对衬底载体进行传送。该第一传送系统包括一条带条(aribbon)，该带条沿着半导体器件制造设备的至少一部分形成一个闭合回路。所述带条适合于(1)在水平平面中为柔性而在竖直平面中为刚性；和(2)在半导体器件制造设备的至少一部分内传送若干的衬底载体。
在本发明的第二方面，提供了一种第二传送系统，其类似于第一传送系统。除了第一传送系统所具有的特征之外，在该第二传送系统中，所述带条适合于连续旋转；并且若干的支架被刚性联结在所述带条上。各个支架均适合于在半导体器件制造设备的至少一部分内支撑和传送一个衬底载体。该第二传送系统还包括(1)一个或者多个适合于与所述带条发生接触并且旋转所述带条的驱动轮；(2)一个或者多个适合于与所述带条发生接触并且减小所述带条在其旋转时的横向运动的约束轮；以及(3)一个或者多个适合于在所述带条旋转时支撑所述带条的支撑轮。所述一个或者多个驱动轮、一个或者多个约束轮以及一个或者多个支撑轮均适合于在所述带条运行的过程中进行更换。按照本发明的这些和其它方面，提供了多种其它形式，比如系统、方法和计算机程序产品。在这里所述的各种计算机程序制品可以被承载在能够由计算机进行读取的介质上(比如载波信号、软盘、光盘、DVD、硬盘驱动器、随机读取存储器等等)。
本发明中的方法和设备提供了一种用于在一个或者多个半导体器件制造设备内部传送衬底载体的高效并且可靠的布置方案。
从下面对示例性实施例的详细描述、所附的权利要求以及附图中，本发明的其它特征和方面将更为全面地得以显现。
附图说明
图1A和1B是一个按照本发明构造而成的传送装置中的一部分相应第一和第二示例性带条的示例性透视图。
图2是一个按照本发明包括有一根带条的传送系统的示意图，所述带条在半导体器件制造设备的一部分内形成了一个简单回路。
图3是一个按照本发明包括有一根带条的传送系统的示意图，所述带条在半导体器件制造设备的一部分内形成了一个蜿蜒回路。
图4是一个按照本发明包括有多根带条的传送系统的示意图，所述带条在半导体器件制造设备的一部分内形成了简单回路和蜿蜒回路。
图5是一个按照本发明的第三示例性带条的透视图。
图6是图5中所示带条的特写透视图。
图7是图5中所示带条的平面俯视图。
图8是图5和7中所示带条的特写平面俯视图。
图9是一个按照本发明的第四示例性带条的透视图，包括沿着它们长度方向平行联结起来的第一和第二带条部分。
图10是图9中所示独创性带条的一部分的透视图，为了显露出沿着该带条长度方向进行延伸的粘结带，一部分被去除。
图11是图9中所示独创性带条的平面俯视图。
图12是一个按照本发明的第五示例性带条的透视图，具有分别由分离的材料元件形成的竖直部分和水平部分。
图13A是一个示例性支撑系统的一部分的侧向示意图，该支撑系统可以被用来容纳、支撑、驱动和/或约束一根按照本发明提供的带条。
图13B是一个独创性支撑系统中的示例性平直部分的透视图，用于容纳纳、驱动、约束和/或支撑按照本发明提供的带条的一部分。
图14是图13中所示独创性支撑系统的侧视图。
图15和16是一个按照本发明被固定在一个驱动轮单元支架上的独创性驱动轮单元的前向透视图和平面仰视图。
图17和18是一个按照本发明处于“锁定”方位的约束轮单元的后向透视图和平面仰视图。
图19和20是一个按照本发明处于“装载”方位的约束轮单元的后向透视图和平面仰视图。
图21和22是按照本发明的约束轮单元的替代实施例的透视图。
图23是一个按照本发明的支撑轮单元的透视图。
图24是一个适合于传送若干衬底载体的第六示例性带条的示例性实施例。
图25A和25B分别是一个按照本发明提供的第七示例性带条的透视图和侧视图。
图26是一个按照本发明提供的第八示例性带条的透视图。
具体实施方式
按照本发明的至少一个方面，提供了一种独创性的传送系统，用于在半导体器件制造设备中的一个或者多个处理工具之间传送衬底载体。这种独创性的传送系统可以包括一条由不锈钢或者类似材料形成的带条，其在半导体器件制造设备的至少一部分内形成一个闭合回路，并且在其中传送衬底载体。通过对所述带条进行定向，使得带条上的较厚部分处于一个竖直平面内而较薄部分处于一个水平平面内，该带条在所述水平平面中为柔性，而在所述竖直平面中呈刚性。这种构造允许以不太高的成本制造或实施所述独创性传送装置。例如，所述带条需要较少的材料进行构造，易于制取，并且由于其垂直刚性/强度，可以在无需辅助支撑结构(比如辊子或者用于常规卧式带型传送系统中的其它类似机构)的条件下支撑多个衬底载体的重量。还有，所述传送系统高度用户化，因为所述带条具有横向弯曲性，所以它们可以被弯曲、弯折或者以其它方式加工成多种形状。
在本发明的一个或者多个实施例中，使用一个或者多个驱动轮或者其它驱动机构对所述传送系统中的带条进行旋转或者“驱动”，并且使用一个或者多个支撑轮或者其它支撑机构对所述带条进行支撑。例如，所述驱动轮可以沿着带条的一个竖直部分与其发生接触并且对其进行驱动，而所述支撑轮可以沿着带条的一个水平部分与其发生接触并且对其进行支撑。以这种方式，所述用于带条的驱动机构与所述用于带条的支撑机构分离开，并且均可以独立伺服。在一个独特的实施例中，所述独创性传送系统中的各个驱动轮和/或支撑轮可以在所述带条运行的同时得以更换(比如允许所述带条如后面所描述的那样连续旋转)。一个或者多个约束轮或者其它约束机构可以被用来横向稳定和/或以其它方式减轻所述带条在旋转过程中的横向运动。如同所述驱动轮和支撑轮那样，至少在本发明的一个实施例中，各个约束轮可以在所述带条运行的同时得以更换。下面参照图1A-23对本发明的多个其它实施例和/或方面进行描述。
作为在此使用的术语，带条指的是一种至少其一部分大体扁平的结构(比如其高度和/或长度明显大于其宽度)。带条可以由一种或者多种材料制成和/或由一个或者多个元件构成。例如，图1A和1B分别是一个按照本发明构造而成的传送装置(未单独示出)中第一带条101a和第二带条101b的一部分的示例性透视图。如图1A中所示，第一带条101a可以由一个整体式材料元件制成，和/或可以包括一个用于支撑衬底载体的带条状竖直部分103a和一个用于支撑第一带条101a的水平部分105a(如同下面描述的那样)。第一带条101a上的竖直部分103a具有一个高度H和长度L，它们明显大于第一带条101a的宽度W。同样，如图1B中所示，第二带条101b包括一个第一竖直部分103b和一个第二竖直部分103b′，以及一个第一水平部分105b和一个第二水平部分105′。尽管带条101a和101b上的水平部分的横剖面形状分别被图示为扁平和呈三角形，但是将会明白的是，对于按照本发明的带条上的水平部分来说也可以采用其它形状。
示例性传送系统
图2是一个第一示例性传送系统106的示意图，其包括一根按照本发明提供的带条101c，该带条101c在半导体器件制造设备109的一部分内形成一个简单回路107。带条109比如可以包括在此所描述的任何独创性带条。带条101c在处理工具111之间传送衬底载体，并且包括平直部分115和弯曲部分119，以便形成(闭合)回路107。
图3是一个第二示例性传送系统121的示意图，其包括一根按照本发明的带条101d，该带条101d在半导体器件制造设备127的一部分125中形成一个蜿蜒回路123。带条101d在若干处理工具，比如处理工具139、143、147和151，中的衬底装载工作站135之间传送衬底载体(未示出)。如图3中所示，带条101d包括多个平直部分115和弯曲部分119(在图3中均未予以标注)，以便形成蜿蜒(闭合)回路123。带条101d可以类似于图2中示出的带条101c。
各个衬底装载工作站135均可以比如包括任何适用设备，这些设备适合于(1)从传送系统121中接收衬底载体；(2)从衬底载体上卸载衬底；和/或(3)将衬底输送至联结在衬底装载工作站135上的处理工具。一种可以采用的示例性衬底装载工作站在先前结合入本发明的美国专利申请中予以描述，该美国专利申请的序列号为No.60/407337，于2002年8月31日提交(代理人卷号为No.7099/L)，尽管也可以采用其它衬底装载工作站。各个衬底装载工作站135均可以被联结在一个处理工具和/或包括一个承载室(load lock)，设备界面(factory interface)或者类似装置。
图4是一个第三示例性传送系统155的示意图，其包括按照本发明提供的带条101e、101f、101g、101h和101j，它们在半导体器件制造设备177的相应部分159、163、167、171和175中形成简单和蜿蜒的闭合回路、带条101e、101f、101g和101h在处理工具139中的衬底装载工作站179之间传送衬底载体(未示出)。带条101j在带条101e、101f、101g和101h之间传送衬底载体(未示出)。在带条101j与带条101e、101f、101g和101b之间的相应交界处，设置有传送机构183，用于将衬底载体(未示出)从一根带条传送至另外一根带条，或者恰好相反。可以采用少于或者多于所示数目的传送机构。带条101e、101f、101g、101h和101j均包括平直部分和弯曲部分，并且形成闭合回路，但是仅有带条101e、101f、101g和101h形成蜿蜒回路。也可以采用其它回路构造。带条101e-j比如可以包括任何在此所描述的独创性带条。
示例性独创带条
图5是一个按照本发明提供的第三示例性带条101k的透视图。带条101k(或者至少在图5中示出的那部分带条101k)由一个连续的(单根)材料元件制成。相对于其高度H和长度L而言，带条101k上的竖直部分103k的宽度W较小。带条101k上的水平部分105k部分由带条101k上的材料弯曲部187和191形成，并且呈现一个水平表面193，可以利用该水平表面193支撑带条101k的重量。在带条101k上的竖直部分103k上设置有诸如竖直设置切槽195这样的表面标记和诸如穿孔197这样的安装特征，并且它们沿着带条101k的长度L以规则的间距排布，来分别(1)指示由带条101k进行传送的衬底载体的位置(如下面所描述的那样)；和(2)为适合于由带条101k进行传送的衬底载体的支架或者托架提供一个牢固和/或刚性的安装部位(如下面所描述的那样)。也可以采用其它表面标记来指示衬底载体的位置(比如每个衬底载体位置使用两个或者多个切槽，其它标记形状，反光表面等等)。也可以采用类似的其它安装特征来支撑衬底载体。
图6是图5中所示带条101k的特写透视图，对应于图5中所示出的圆形窗口199。如图6中所示，形成于带条101k的端部处的凸块203(靠近水平部分105k)与形成于带条101k上的竖直部分103k中的插槽207相匹配，并且被插入其中。在凸块203与插槽207之间的交界处成形有焊接部(未示出)，以防止凸块203从插槽207中脱出，并且贯穿焊接部(未示出)后方的带条101k成形有应变消除切槽211，来在焊接部所在位置处消除应变。也可以采用其它方式将带条101k上的水平部分105k固定在带条101k上的竖直部分103k上，比如铆接的T形部分。
贯穿水平部分105k成形有弯曲特征，比如弯曲切槽219(比如激光或者以其它方式机械切削而成)，并且在靠近水平部分105k上的弯曲部187处成形有应变消除开口221(靠近弯曲切槽219)，来在带条101k于水平平面中发生弯曲和/或弯曲时沿着水平部分105k上的弯曲部187消除应变(如下面进一步描述的那样)。
图7是图5和6中所示带条101k的平面俯视图，而图8是图7中所示带条101k的特写平面俯视图，对应于图7中的圆形窗口223。如图7和8中所示，至少在一个实施例中，贯穿带条101k上的水平部分105k的弯曲切槽219呈V形，并且从沿着弯曲部187设置的应变消除开口221(图6)开始垂直于弯曲部187和191进行延伸。由于弯曲切槽219贯穿带条101k上的整个水平部分105k，所以在带条101k上的水平部分105k的机构中，绝对不会阻碍带条101k在一个垂直于带条101k上的竖直部分103k(图6)的水平平面中发生弯曲或者以其它方式发生弯曲，比如沿着图7和8中的+x方向和-x方向。但是，如果弯曲切槽219在弯曲部191处相对较窄，那么带条101在+x方向上的弯曲程度将非常有限。由于弯曲切槽219的形状大体呈“V”形，那么弯曲切槽219的边缘231与235之间在弯曲部191处的间隙227将远大于弯曲切槽219的边缘231与235之间在弯曲部187处的间隙239。由此，在图7和8中看到的右侧内凹弯曲部(比如在+x方向上的弯曲部)近乎如同左侧内凹弯曲部(比如在-x方向上的弯曲部)那样不受限制。将会明白的是，右向内凹弯曲部的弯曲受到限制，会导致弯曲切槽219的边缘231与235发生接触，丧失间隙227并且引起机械干涉。
取代或者除了V形弯曲切槽219之外，可以提供其它构造来提供带有横向弯曲性的水平部分105k，比如宽度均一的弯曲切槽或者其它形状的切槽或者特征。带条101k的示例性尺寸和材料在后面予以描述。
图9是一个第四示例性带条101l的透视图，其包括沿着它们的长度方向平行联结起来的第一带条区段101l′和第二带条区段101l″。参照图9，带条101l上的水平部分105l包括第一水平部分105l′和第二水平部分105l″，而带条101l上的竖直部分103l包括第一竖直部分103l′和第二竖直部分103l″。第一带条区段101l′上的第一水平部分105l′包括弯曲部187l′和191l′，以及诸如弯曲切槽219l′这样的弯曲特征，而第二带条区段101l″上的第二水平部分105l″包括弯曲部187l″和191l″，以及诸如弯曲切槽219l″这样的弯曲特征。
图10是图9中所示带条101l的一部分的透视图，第二带条区段101l″被去除，以便显露出沿着带条101l的长度方向进行延伸的粘结带243a、243b和243c(比如双面胶带)。粘结带243a沿着带条101l的顶部设置，靠近水平部分105l，并且将第一带条区段101l′上的第一水平部分105l′固定到第二带条区段101l″上的第二水平部分105l″上(图9)。粘结带243b沿着带条101l的中部设置，而粘结带243c沿着带条101l的底部设置。粘结带243b和243c一同将第一带条区段101l′上的第一竖直部分103l′固定到第二带条区段101l″上(图9)的第二竖直部分103l″上(图9)。对于粘结带243a-b来说，也可以采用其它位置。
各根粘结带243a-c均可以比如包括一根或者多根高强度双面胶带，比如由3M公司生产的VHB胶带，或者其它适用的粘结带。也可以采用其它数目的粘结带，也可以采用其它技术将带条101l上的第一带条区段101l′和第二带条区段101l″联结起来(比如焊接、铆接、粘结或者类似技术)。
图11是图9中所示带条101l的平面俯视图。如图11中所示，V形弯曲切槽219l′延伸穿过第一带条区段101l′上的水平部分105l′，并且在弯曲部191l′处形成一个第一间隙227l′，该第一间隙227l′宽于弯曲部187l′处的第二间隙219l′。V形弯曲切槽219l″延伸穿过第二带条区段101l″上的水平部分105l″，并且在弯曲部191l″处形成一个第三间隙227l″，该第三间隙227l″宽于在弯曲部187l″处的第四间隙239l″。如同图5-8中所示的第三带条101k上的弯曲切槽219那样，弯曲切槽219l′和219l″允许第四带条101l在一个垂直于带条101l上的竖直部分103l′的水平平面中发生弯曲和/或以其它方式发生弯曲(比如沿着图11中的+x方向和-x方向)。至少在本发明的一个实施例中，间隙227l′和227l″可以在宽度上基本上相等，使得带条101l在+x和-x方向上具有相等的弯曲范围。可选择地，间隙227l′和227l″可以存在差异。取代或者除了V形弯曲切槽219l′和219l″之外，也可以采用其它构造来提供具有横向弯曲性的水平部分105l，比如宽度均一的弯曲切槽或者其它形状的切槽或者特征。带条101l的示例性尺寸和材料在后面予以描述。
图12是一个安装本发明提供的第五示例性带条101m的透视图，其具有由独立材料元件支撑的竖直部分103m和水平部分105m。至少在本发明的一个实施例中，带条101m上的竖直部分103m中诸如穿孔247这样的固定特征对应于带条101m上的水平部分105m中的固定特征(比如穿孔251)，使得水平部分105m能够沿着竖直部分103m的长度方向被固定(比如螺接、铆接或者以其它方式固定)在竖直部分103m上。在本发明的另外一个实施例中，水平部分105m可以经由粘结(比如在竖直部分103m的一侧或者两侧使用先前描述过的粘结带)、焊接等等被固定在竖直部分103m上(利用或者不利用固定特征)。
水平部分105m可以包括独立的可固定水平部分区段255，其被加工成适合于允许竖直部分103m在水平部分区段255之间不发生机械干涉的条件下横向弯曲。例如，水平部分区段255可以被加工成在水平部分区段255被固定在带条101m上的竖直部分103m上时，相邻的部分区段255之间形成间隙，类似于图5-11中示出的带条101k和101l上的弯曲特征。也可以采用在此所描述的任何其它构造来提供横向弯曲性。
各个水平部分区段255均包括一个第一水平部分255a，其适合于从带条101m上的竖直部分103m的第一侧面开始水平延伸，和一个第二水平部分255b，其适合于从竖直部分103m的第二侧面开始水平延伸。第一水平部分255a和第二水平部分255b可以被联结在一起和/或由一个整体式(连续的)材料元件制成(如图所示)，或者单独地和/或由多个材料元件制成。除图中所示之外，也可以采用其它形状的水平部分区段255(比如三角形的)。还有，两个或者多个水平部分区段255、第一水平部分255a和/或第二水平部分255b可以由整体式(连续的)材料元件制成；并且带有合适的弯曲特征。
竖直部分130m也可以包括独立的可固定竖直部分区段259。例如，各个竖直部分区段259可以在其一个端部处带有一个较薄区域，该较薄区域即将被联结到另外一个竖直部分区段259上。以这种方式，竖直部分区段259上的较薄区域可以发生重叠，并且经由螺接、铆接、焊接、粘结或者其它不会明显增大带条101m的宽度和/或影响其弯曲性能的技术相互固定起来。也可以采用水平部分区段255来将竖直部分区段259联结在一起(比如经由贯穿两个背对背的水平部分255a和255b的螺栓、铆钉或者类似构件，当各个水平部分区段255均由一个整体式(连续的)材料元件构成时经由夹持作用，等等)。为了所述目的，可以在竖直部分/水平部分内设置额外的固定特征(比如穿孔247、251)(如在图12中位置261处示出的那样)。
在本发明的一个实施例中，在竖直部分103m上竖直部分区段259重叠的位置处，竖直部分区段259可以沿着一条倾斜的或者以其它方式定向的接缝263相匹配，并且被固定在特征267处(比如贯穿竖直部分区段259的螺栓或者铆钉穿孔)。在竖直部分区段259重叠的位置处，这些竖直部分的厚度可以是竖直部分103m的总体宽度的一半，以沿着竖直部分103m的长度方向保持均一的弯曲性能。
如果使用了一个整体式材料元件来形成带条101m上的整个竖直部分103m，那么该竖直部分103m的两个端部可以如前所述那样固定起来形成一个连续回路。在此所描述的任何其它带条均可以类似地由单个或者多个竖直部分构成。
下面将对用于图1A至图12中所示带条101a-m的示例性实施例进行描述。将会明白的是，下面列举的实施例仅用于示例目的，也可以采用其它材料、尺寸和/或其它参数。为了方便起见，采用“带条101”来指代在此所描述的任何独创性带条。
可以基于多种因素来对用于任何带条101的材料进行选择，比如材料强度，弯曲性、疲劳速度、成本等等。在一个或者多个实施例中，至少各个带条101中的竖直部分103由不锈钢制成，比如301半硬钢、17-7或者其它合适的不锈钢。各个带条101上的水平部分105可以由与带条101上的竖直部分103相同的材料制成，或者在某些情况下由不同的材料制成。可以用来制取所述带条的其它适用材料比如包括，具有诸如不锈钢这样的内部支撑结构的塑料，或者类似材料。
也可以基于这种因素来对各个带条101上的竖直部分103的厚度进行选择，比如材料强度、弯曲性、疲劳速度、成本等等。此外，并且正如下面进一步描述的那样，可以采用多个驱动和/或约束轮来驱动所述带条和/或在所述带条旋转的同时减轻其横向运动。随着带条穿越(或者穿过)所述驱动或者约束轮，带条会发生横向偏斜(比如会增大衬底传送操作的难度，对于其它传送组件来说需要更大的转矩，等等)。为了减轻横向偏斜，带条101上的竖直部分103的厚度可以增大。但是，增大带条厚度会增加带条的疲劳速度。因此，通过合适地选取用于带条101上的竖直部分103的材料厚度，可以在横向偏斜量与疲劳速度之间获得平衡。在一种特别实施例中，其中带条101由半导体制成，基于这些和/或其它考虑，可以采用厚度在0.04至0.06英寸之间的竖直部分103，更为优选的是为0.05英寸左右的竖直部分103。在诸如第二带条101b(图1B)和第四带条101l(图9)这样的实施例中，其中两个带条部分被联结在一起，可以采用总体厚度为0.04至0.06英寸的不锈钢竖直部分103，更为优选的是0.05英寸的不锈钢竖直部分103。需要注意的是，粘结带243a-c会增大竖直部分的总体厚度(根据所采用的粘结带，比如增大0.015英寸左右)。(较厚的粘结薄膜会具有较好的振动/声音阻尼性能，但是会更为易碎)如前所述，对于各种带条101来说，也可以采用其它材料和/或其它厚度。
可以基于多个因素对带条101的总体高度进行选择，比如竖直部分103的高度必须适应(1)带条101上的水平部分105；和(2)任何联结在带条101上(比如诸如图5中穿孔197所在的安装位置处)的衬底载体支架(后面予以描述)。其它因素比如可以包括，用于约束和/或驱动带条101的轮子的尺寸(后面予以描述)。一般来说，较小的带条高度会减轻带条的横向弯曲。在一个特别实施例中，其中带条101上的水平部分105占据了带条101上的竖直部分103的0.5英寸左右，所采用的带条高度为六英寸左右，尽管也可以使用其它带条高度。
可以比如根据用于支撑带条的装置的宽度(比如支撑轮的宽度，后面予以描述)、带条101在其旋转时的横向偏移量等等，对带条101上的水平部分105的宽度进行选择。在一个特别实施例中，水平部分105的总体宽度为1.5英寸左右(例如，在竖直部分103的每一侧上约为0.75英寸)，尽管也可以采用其它尺寸。
可以比如基于水平部分105的宽度(比如水平部分105从带条上的竖直部分103横向延伸的距离)、在不被损坏和/或永久疲劳的条件下带条材料可以弯曲的量、相邻弯曲特征之间的间距、支撑轮尺寸/耐磨性、和/或类似因素，对带条101上的水平部分105上的弯曲特征的宽度进行选择。一般来说，(带条上的水平部分上的)弯曲特征的宽度越大，带条越容易弯曲，并且支撑轮越易于在带条旋转过程中发生磨损。还有，相邻弯曲特征之间较小的间距通常需要较小的弯曲特征宽度来获得相等的弯曲能力。但是，相邻弯曲特征之间的间距过小，可以增大带条的制造成本和/或复杂程度，并且会降低可靠性。在一个特别实施例中，其中对于不锈钢带条来说需要一个36至48英寸的弯曲半径，可以采用0.034英寸左右的均一弯曲特征宽度和1英寸左右的弯曲特征-弯曲特征间距。也可以采用其它弯曲半径、弯曲特征尺寸和/或弯曲特征间距。
用于独创性带条的示例性支撑系统
为了在半导体器件制造设备内部形成一个用于传送衬底载体并且采用了在此所述独创性带条101中的一种的传送系统(比如先前参照图2-4描述过的传送系统中的一种)，所述带条必须得被支撑起来并且进行旋转。图13A是一个示例性支撑系统269的一部分的侧向示意图，该支撑系统269可以被用来在传送系统中容纳纳、支撑、驱动和/或约束带条101(以虚线示出)。一般来说，支撑系统269可以(或者可以不)环绕在由带条101形成的整个闭合回路的周围。
在图13A中示出的那部分支撑系统269包括一个外壳区段271，该外壳区段271适合于至少环绕在带条101的一部分的周围。例如，外壳区段271的第一部分272a可以环绕在带条101上的水平部分105的周围，而外壳区段271的第二部分272b可以至少环绕在带条101上的竖直部分103的一部分的周围。在一个传送系统内部可以采用多个这种外壳区段来容纳和/或支撑一根带条。
外壳区段271包括一个或者多个第一开口273，这些第一开口273适合于允许至少一个支撑轮(未示出)在带条101旋转时接触和支撑带条101；和一个或者多个第二开口275，这些第二开口275适合于允许至少一个约束轮(未示出)在带条101旋转时而接触带条101并且减轻带条101的横向运动。外壳区段271也可以包括一个或者多个第三开口277，这些开口277适合于允许一个驱动轮(未示出)接触带条101并且旋转带条101。所采用的支撑轮、约束轮和/或驱动轮的数目可以取决于多个因素，比如外壳区段271的长度、外壳区段271是平直的或者是弯曲的、外壳区段271是否处于会发生衬底载体传送操作的位置、在采用了外壳区段271的传送系统内部可以容许的带条101的横向摆动量等等，如同后面进一步描述的那样。
支撑系统269中的外壳区段271可以由一个或者多个容纳支架279支撑起来。一个或者多个护罩281(在图13A中仅示出了一个护罩281的一部分)可以被联结到容纳支架279和/或外壳区段271上，以便对由带条101进行传送的衬底载体(比如在图13A中示出的衬底载体283)进行防护，和/或将操作人员与带条101和/或由带条101进行传送的衬底载体隔离开。如前所述那样，根据由外壳区段271进行客纳和/或支撑的那部分带条101，外壳区段271可以是平直的或者弯曲的。
图13B和14分别是一个独创性支撑系统269a中的示例性平直部分的透视图和侧视图，用于容纳、驱动、约束和/或支撑一根安装本发明的第六带条101n(图14)的一部分。该第六带条101n类似于图1A中示出的第一带条101a，并且为一个t形带条，该t形带条具有一个由整体式(连续的)材料元件支撑的水平部分和竖直部分。在此所述的任何其它带条可以类似地由支撑系统269a进行容纳、驱动、约束和/或支撑。
支撑系统269a包括一个外壳区段271a、两个或者多个适合于支撑外壳区段271a的外壳区段支架279a、一个驱动轮系统284(在所示出的实施例中包括两个固定在一个驱动轮单元支架287上的驱动轮单元285，外壳区段271a穿过驱动轮单元支架287)以及多个固定在外壳区段271a上的支撑轮单元289/约束轮单元291。也可以采用或多或少的支架279a、驱动轮单元285、支撑轮单元289和/或约束轮单元291。
至少带条101n(图14)的一部分被容纳于外壳区段271a中，并且允许穿过该外壳区段271a。带条101n(图14)相应地可以通过如后面进一步描述的那样使用托架或者其它支架292(图14)来传送衬底载体283a(图14)。如先前参照图13A所描述的那样，外壳区段271a具有一些开口(未示出)，用于允许驱动轮单元285、支撑轮单元289以及约束轮单元291中的轮子(未示出)在带条101n旋转时与带条101n发生接触(比如穿过外壳区段271a)。
至少在本发明的一个实施例中，外壳区段271a的端部可以滑动入支架279a之内，并且利用紧固件293(比如螺栓、螺钉或者类似构件)固定于此。支架279a还提供了安装特征，比如带有切槽的穿孔295或者其它特征，它们允许支架279a与外壳区段271a一同被悬空固定，比如从半导体器件制造设备的顶棚上。
至少在本发明的一个实施例中，护罩281a(在图13B中仅示出了其中的一个)在支架279a之间跨越外壳区段271a的各个侧面的长度，并且可以比如利用支架279a(比如经由形成于各个支架279a的各个侧面上的支撑区域297)和/或利用外壳区段271a被固定到位。各个护罩281a均被加工成使得由带条101n进行传送的衬底载体(图14)以及支撑这些载体的支架或者托架292(图14)在半导体器件制造设备内部被防护起来，防止受到其它物体的任何潜在冲击。护罩281a可以如图13B中所示那样被以螺钉、螺栓或者其它方式相对于支架279a和/或外壳区段271a固定到位。
至少在本发明的一个实施例中，各个外壳区段271a均由这样一种材料制成，即其具有足够的强度和刚度来支撑各种联结在外壳区段271a上的组件(比如驱动轮单元285、驱动轮单元支架287、支撑轮单元289和/或约束轮单元291)以及带条101n。例如，各个外壳区段271a可以由诸如铝、塑料等等这样的材料制成。外壳区段支架279a和/或驱动轮单元支架287可以由一种类似材料制成(比如铝铸件)。
护罩281a最好由一种重量较轻和/或不太昂贵的材料制成，比如铝、金属板、真空成型塑料等等，以便减少支撑系统的总体重量和成本。当护罩281a由一种诸如铝这样的材料制成时，一个或者多个外壳区段支架279a可以包括一个开阔的支撑区域297，尽管护罩281a会发生热致长度变化，但是仍旧允许护罩281a装配于其中和/或被支撑在支架279a之间。比如如果系统269a是在与半导体器件制造设备温度不同的设备中进行制造/测试的，那么就会发生这种温度所致的长度变化，所述系统269a最终被安装在所述半导体器件制造设备中。
如图14中所示，外壳区段271a形成一个第一间隙301，带条101n上的水平部分105n被容纳在其内部，并且水平部分105n可以穿过其中。外壳区段271a还形成了一个第二间隙303，带条101n上的竖直部分103n被容纳于其内部，并且竖直部分103n可以穿过其中。外壳区段271a中的间隙301、303可以被加工成适应先前描述过的任何带条构造，或者任何其它带条构造。如图14中所示，外壳区段271a还包括一个第三间隙305，该第三间隙305被加工成允许安装硬件307(用于支撑各个托架/支架292)被联结在带条101n上的竖直部分103n上。
各个容纳支架279a均形成一个开口309，外壳区段271a的竖直端部被插入其中。如前所述，外壳区段271a可以利用紧固件293(比如利用贯穿外壳区段271a的凸缘的螺栓或者其它紧固件)在各个支架279a内部固定到位。下面将参照图15至23对驱动轮单元285、支撑轮单元289以及约束轮单元291的示例性实施例进行描述。
示例性独创驱动轮系统
图15和16分别是图13B中所示独创性驱动轮系统284的示例性实施例的平面正视图和平面仰视图，在图15和16中被称作驱动轮系统284a。驱动轮系统284a可以类似于图13B中所示的驱动轮系统，并且可以包括一个或者多个联结在驱动轮单元支架287a上的驱动轮单元。但是，在图15和16所示出的实施例中，仅采用了一个驱动轮单元285a。
参照图15和16，驱动轮单元285a包括一个马达311，该马达311被联结在一个旋转构件313(比如轮子、齿轮等等)上并且适合于旋转该旋转构件313，旋转构件313被包含在一个联结在驱动轮单元支架287a上的马达壳体315之内。马达311可以比如包括一个常规的伺服马达或者其它适用马达，它们能够以一个近乎恒定的速度旋转所述旋转构件313(并且由此如后面所描述的那样旋转一个独创性传送系统中的带条101)。
在图15和16所示出的实施例中，马达壳体315经由第一枢轴317和第一闩锁机构319a(图16)被联结在驱动轮单元支架287a上。当第一闩锁机构319a松脱开时，马达壳体315可以围绕枢轴朝向或者背离驱动轮单元支架287a转动；并且当第一闩锁机构319a配合起来时，马达壳体315相对于驱动轮单元支架287a保持固定(如图15和16中所示那样)。可以采用任何适用的闩锁机构来相对于驱动轮单元支架287a配合/松脱开马达壳体315的非枢转端部。例如，第一闩锁机构319a可以包括一个环/箍321(联结在马达壳体315上)，其响应一个手柄325的运动而配合/松脱开挂钩323(联结在驱动轮单元支架287a上)。
驱动轮单元支架287a包括一个开口327，该开口327被加工成允许支撑系统269中的外壳区段271(图13A或者13B)穿过其中，并且可以经由任何适用的紧固机构(比如螺栓、螺钉或者类似构件，在图15中总体由附图标记328表示)联结在外壳区段271上。也可以采用其它构造。例如，驱动轮单元支架287a可以适合于仅驻留在和/或联结在外壳区段的一个侧面上。
驱动轮单元支架287a包括一个第一轮组331a，该第一轮组331a适合于穿过一个位于外壳区段271的第一侧面上开口，比如在图13A中示出的开口277，并且与包含其中的带条101上的枢轴部分103的第一侧面发生接触(在图15和16中未予示出)。驱动轮单元支架287a还包括一个第二轮组331b，该第二轮组331b适合于穿过一个位于同一外壳区段271的第二侧面上(与第一侧面相反)的开口，比如开口277，并且与带条101上的竖直部分103的第二侧面发生接触。以这种方式，第一轮组331a和第二轮组331b限制了带条101的横向运动。每个轮组中也可以采用多于或者少于两个轮子。
在图15和16所示出的实施例中，第一轮组331a适合于与旋转构件313发生接触并且由旋转构件313进行驱动。相应地，第一轮组331a可以于穿过驱动轮单元支架287a的带条101上竖直部分103的第一侧面发生接触，并且驱动(旋转)带条101。如前所述，第二轮组331b适合于与带条101上的竖直部分103的第二侧面(与第一侧面相反)发生接触；并且减轻带条101由于与第一轮组331a发生接触所导致的横向运动。一般来说，一个或者两个轮组331a、331b可以由马达进行驱动。
第一轮组331a经由第一铰接构件333(图16)联结在驱动轮单元支架287a上，第一铰接构件333适合于环绕一根第二枢轴335进行枢转。随着马达壳体315朝向或者背离第二轮组331b进行枢转，第一铰接构件33(由此使得第一轮组331a)适合于围绕枢轴朝向或者背离第二轮组331b转动。例如，第一铰接构件333可以被联结在马达壳体315上或者受到偏压(比如经由弹簧)，以便当马达壳体315围绕枢轴背离第二轮组331b转动时远离第二轮组331b。
同样，第二轮组331b经由第二铰接构件337(图16)联结在驱动轮单元支架287a上，第二铰接构件337适合于环绕一根第三枢轴339转动。可以采用一个闩锁构件341来选择性地围绕枢轴背离或者朝向第一轮组331a对第二铰接构件337(由此使得第二轮组331b)转动，闩锁构件341经由一根第四枢轴343和一个第二闩锁机构319b联结在驱动轮单元支架287a上。闩锁机构319b可以类似于闩锁机构319a，或者可以采用任何其它适用的闩锁机构。如前所述，第二轮组331b也由一个驱动轮单元以类似于第一轮组331a的方式进行驱动，并且被构造成利用所述驱动轮单元围绕枢轴转动。
在工作过程中，一根带条101(未示出)可以穿过驱动轮单元支架287a(以及外壳区段271)，并且可以利用第一轮组331a以近乎恒定的速度进行驱动(旋转)。由于带条与第一轮组331a之间发生接触所导致的过度横向运动由第二轮组331b加以限制。假设所述带条由不止一个驱动轮系统284a进行驱动，那么第一轮组331a可以在带条运行的同时得以更换，步骤为(1)松开闩锁机构319a；(2)使马达壳体315围绕枢轴转动背离第一轮组331a；(3)使第一轮组331a围绕枢轴转动背离带条；以及(4)更换第一轮组331a。第一轮组331a随后可以恢复至与带条发生接触。第二轮组331b可以经由类似操作在带条运行的同时得以更换(利用闩锁机构319b和闩锁构件341)。第一轮组331a和第二轮组331b(或者驱动轮系统284a中的任何其它部分)可以同时或者非同时得以更换。
示例性独创约束轮单元
图17和18分别是图13B中所示约束轮单元291的第一示例性实施例的后向透视图和平面仰视图，在图17和18中被称作约束轮单元291a，其中约束轮单元291a处于一个“锁定”位置，带有延伸出来的约束轮。图19和20分别是处于一个“装载”位置的约束轮单元291a的后向透视图和平面仰视图，带有回缩进去的约束轮。
参照图17至19，约束轮单元291a包括一个壳体351，该壳体351适合于联结在支撑系统269中的外壳区段271上的开口内(比如图13A中所示外壳区段271上的第二开口275，比如经由一个或者多个螺栓、螺钉或者其它紧固件，在图17至19中总体上由附图标记353表示)。壳体351中容纳有一对约束轮355，它们适合于接触带条101并且对带条101提供约束作用，带条101如后面进一步描述的那样穿过约束轮355。如图18和20中清晰示出的那样，约束轮355适合于环绕一根第一旋转轴线357进行旋转。可以仅采用一个约束轮或者不止两个约束轮。
约束轮单元291a包括一根杠杆359，该杠杆359联结在约束轮355上，并且适合于环绕一根第二旋转轴线361进行旋转，第二旋转轴线361偏离于约束轮355的第一旋转轴线357(比如以偏移量363)。以这种方式，随着杠杆359旋转至一个锁定位置(如图17和18中所示)，约束轮355的第一旋转轴线357会朝向壳体351的边缘365移动，由此将约束轮355移动至一个伸展位置(并且与穿过联结有约束轮单元291a的外壳区段271(图13A)的带条101发生接触)。同样，随着杠杆359旋转至一个装载位置(如图19和20中所示)，约束轮355的第一旋转轴线357将远离壳体351的边缘365，由此将约束轮355移动至一个回缩位置(并且脱离与穿过联结有约束轮单元291a的外壳区段271的带条101的接触)。偏移量363可以比如基于约束轮355为了与带条101发生接触必须伸展的距离加以确定。至少在一个实施例中，偏移量可以为3毫米左右，尽管也可以采用其它偏移量。
在工作过程中，约束轮单元291a被联结在支撑系统269(在图17至20中未图示)中的外壳区段271上，比如在图13A中所示出的一个第二开口275处。杠杆359被旋转至一个锁定位置(图17和18)，从而使得约束轮355与穿过外壳区段271的带条101(未示出)上的竖直部分103的第一侧面发生接触。当外壳区段271是一个平直部分时，最好采用一种第二约束轮单元291a(未示出)，从而使得第二对约束轮355(未示出)与带条101上的竖直部分103的第二侧面发生接触，所述第二侧面与竖直部分103的第一侧面相反。以这种方式，带条101在其旋转时的横向运动可以由约束轮单元291a加以限制。
约束轮355可以在带条101运行的同时得以更换，步骤为(1)将杠杆359从锁定位置(图17和18)移动至装载位置(图19和20)，从而使得约束轮355从带条101发生回缩；(2)将约束轮单元291a从其所联结的外壳区段271(图13A)中取出；以及(3)更换约束轮单元355。如果需要可以仅更换一个约束轮355。随后通过将约束轮单元291a重新固定在外壳区段271上并且将杠杆359移动至锁定位置(图17和18)，约束轮355可以恢复至与带条发生接触。
图21是图13B中所示约束轮单元291的第二示例性实施例的前向透视图，在图21中被称作约束轮单元291b。该约束轮单元291b类似于图17至20中示出的约束轮291a，但是没有采用杠杆359来在一个锁定位置与一个装载位置之间移动约束轮355。相反，约束轮355相对于约束轮单元291b的壳体351保持固定。
约束轮单元291b中的约束轮355可以在带条运行(并且受到轮子355的约束作用)的同时得以更换，步骤是首先将约束轮单元291b从其所联结的外壳区段271(图13A)中取出，并且随后更换约束轮355。如果需要，可以仅更换一个约束轮355。随后通过将约束轮单元291b重新固定在外壳区段271上，约束轮355恢复至与带条发生接触。(例如，约束轮单元291b可以被从外壳区段271上拆卸下来/经由紧固件353被固定在外壳区段271上)。
图22是图13B中所示约束轮单元291的第三示例性实施例的前向透视图，在图22中被称作约束轮单元291c。该约束轮单元291c类似于图21中示出的约束轮单元291b，只是仅采用了一个约束轮355。例如，可以采用一个第一约束轮单元291c来对带条101(未示出)上的竖直部分103的第一侧面顶部进行约束，并且一个类似的第二约束轮单元291c可以被设置在第一约束轮单元291c的下方，用于对带条101上的竖直部分103的第一侧面底部进行约束。第一和第二约束轮单元291c中的约束轮355由此可以相互独立地得以更换。例如，图22中所示约束轮单元291c中的约束轮355可以在带条运行的同时得以更换，步骤是首先将约束轮单元291c从其所联结的外壳区段271中取出，并且随后更换约束轮355。随后通过将约束轮单元291c重新固定在外壳区段271上，约束轮355可以恢复至与带条发生接触。(例如，约束轮单元291c可以被从外壳区段271上拆卸下来/经由紧固件353被固定在外壳区段271上)。
示例性独创支撑轮单元
图23是图13B中所示支撑轮单元289的示例性实施例的前向透视图，在图23中被称作支撑轮单元289a。参照图23，支撑轮单元289a包括一个第一壳体部分369，该第一壳体部分369被铰接在一个第二壳体部分371上。支撑轮373被可旋转地联结在第二壳体部分371上。第一壳体部分369和第二壳体部分371适合于联结在支撑系统269中的外壳区段271上(比如图13A中示出的外壳区段271上的第一开口273，比如经由一个或者多个螺栓、螺钉或者其它紧固件，它们在图23中总体由附图标记375表示)。
在工作过程中，为了利用支撑轮单元289a支撑一根带条101(未示出)，该支撑轮单元289a被联结在一个外壳区段271上(比如在图13A中示出的外壳区段271上的第一开口273处)。利用两个联结在外壳区段271上的第一外壳部分369和第二外壳部分371，支撑轮373延伸至外壳区段271之内，并且在带条101旋转时接触和支撑该带条101上的水平部分105的第一侧面。沿着所述带条，可以采用多个这种支撑轮单元来在其它位置处支撑起旋转着的带条。如果所支撑的带条101在其上竖直部分103的两侧具有一个水平部分105，那么可以在外壳区段271(图13B)的两侧联结一个或者多个支撑轮单元，从而使得所述支撑轮单元在带条101上的竖直部分103的两侧支撑起带条101。
支撑轮373可以在带条运行的同时得以更换，步骤是(1)松脱开支撑轮单元289a上的第二外壳部分371上的紧固件375；(2)使得第二外壳部分371(由此使得支撑轮373)背离带条发生枢转；以及(3)更换支撑轮373。随后通过将第二外壳部分371重新固定在外壳区段271上，支撑轮373可以恢复至与带条发生接触。
将会明白的是，前面描述过的外壳区段271、驱动轮系统284、支撑轮单元289和/或约束轮单元291的实施例仅为示例目的，并且可以采用其它设备来类似地容纳、驱动、支撑和/或约束按照本发明的带条。与所述独创性驱动轮系统284、支撑轮单元289和/或约束轮单元291一同使用的各种轮子可以是相同或者不同类型的轮子。至少在本发明的一个实施例中，驱动轮系统284、支撑轮单元289以及约束轮单元291中的各种轮子可以是内嵌式滑轮。可以类似地采用任何其它适用的轮子/旋转构件和/或材料(比如高密度聚乙烯轮子)。
一种独创性传送系统的示例性实施方案
按照本发明，一种独创性传送系统，比如图2至4中所示传送装置106、121或者155中的一种，可以采用一个或者多个在此所描述的带条101a-n以及在此所描述的一个或者多个外壳区段(比如外壳区段271(图13A和13B))、一个或者多个驱动轮系统(比如驱动轮系统284(图13B至16))、一个或者多个支撑轮单元(比如支撑轮单元289(图13B和23))和/或一个或者多个约束轮单元(比如约束轮单元291(图13B和17至22))来加以实施。例如，可以采用一根带条101来形成一个简单或者蜿蜒的闭合回路，该闭合回路(1)被容纳在多个平直和/或弯曲的外壳区段271之内；(2)由一个或者多个驱动轮单元285进行驱动；(3)由一个或者多个支撑轮单元289进行支撑；以及(4)由一个或者多个约束轮单元291加以约束。
通过对带条进行定向操作，从而使得带条上的较厚部分驻留在一个竖直平面之内并且该带条上的较薄部分驻留在一个水平平面之内，该带条将能够在水平平面中发生弯曲而在竖直平面中保持刚性。这种构造允许不太昂贵地构造和实施所述独创性传送装置(比如因为高长宽比的带条易于制造并且制造成本不高)。由于驱动轮可以沿着带条上的竖直部分接触和驱动该带条，并且支撑轮可以沿着带条上的水平部分接触和驱动该带条，所以用于带条的驱动机构被与用于带条的支撑机构分离开，并且均可以得以独立伺服。还有，驱动轮、支撑轮和约束轮可以在带条运行的同时得以更换(比如减少传送系统的停机时间并且增加衬底的生产能力)。
在一个传送系统中采用的外壳区段271、驱动轮单元285、支撑轮单元289以及约束轮单元291的数目取决于多种因素，比如带条101的长度和/或厚度、带条101所运行的路径、带条101的重量、即将由带条101进行传送的重量(比如即将由带条101进行传送的衬底载体的数目/重量)、带条101旋转的速度、对于带条101来说所需的横向稳定度等等。在独创性传送系统的一个特别实施例中，沿着带条的弯曲部分，约束轮355(约束轮单元291中)沿着带条上的竖直部分以20英寸左右的间距间隔开，并且与所述竖直部分发生接触，沿着带条的平直部分，以20至23英寸左右的间距间隔开。支撑轮373(支撑轮单元289中)被置于各个约束轮291之间，并且接触和支撑起带条上的水平部分。在某些应用领域，这种间隔开的约束轮355和支撑轮373会使得带条产生一个小于3毫米的峰-峰横向位移。在半导体器件制造设备中的某些位置处，其中衬底载体即将被装载到带条上或者从带条上取下(比如在处理工具、衬底装载工作站的上方，或者在衬底载体可以被传送至另外一根带条上或者从另外一根带条上取下的位置处)，带条的峰-峰横向位移的严格容差将是必要的。例如，在某些情况下，通过沿着带条以10英寸左右的间距将约束轮355间隔开(并且通过如前所述那样将支撑轮373置于它们之间)可以获得05毫米或者更小的峰-峰横向位移。因为对于带条来说可以存在其它峰-峰横向位移，所以可以采用其它约束轮和/域支撑轮间距。
在本发明的一个或者多个实施例中，近乎3/8马力的马达(驱动轮单元285中)沿着带条101以28英尺左右的间距设置，并且用于驱动所述驱动轮单元285中的驱动轮331。也可以采用其它马达尺寸和间距(比如根据带条和/或由带条进行传送的衬底载体的重量、由驱动、支撑和/或约束轮提供的阻力等等)。
如先前所描述的那样，各种独创性带条101均可以适合于至少在半导体器件制造设备中传送若干的衬底载体。例如，各根带条均可以具有若干刚性联结在其上的支架或者托架，各个支架或者托架均适合于在半导体器件制造设备内部支撑和传送衬底载体(比如在处理工艺中的衬底制造工作站之间)。如同图5中所示的带条101k那样，各种其它的独创性带条101均可以包括表面标记，比如一个或者多个在图5中示出的竖直定向切槽195，和安装特征，比如图5中示出的穿孔197，它们沿着带条101的长度方向以规则的间距排布，来分别(1)标记由带条101进行传送的衬底载体的位置；和(2)提供一个用于衬底载体用支架或者托架的固定和/域刚性安装位置。由于各个衬底载体支架/托架的位置均相对于带条101得以固定，已知带条101在旋转时的位置可以提供有关由带条101进行传送的衬底载体(由刚性联结在带条101上的托架/支架提供支撑)的位置的信息，或者恰好相反。无需采用单独的带条位置传感器和衬底载体位置传感器。
图24是一个适合于传送若干衬底载体501a-e的第六示例性带条101p的示例性实施例。带条101p包括一个竖直部分103p和一个水平部分105p，并且可以比如按照在此所描述的独创性带条构造而成。若干的衬底载体支架503a-e被联结在带条101p上，并且可以包括适合于在传送过程中支撑起衬底载体501a-e的托架或者其它支撑构件。
如图所示，带条101p上的竖直部分103p包括开口组或者切槽组505a-e，它们均分别位于一个衬底载体支架503a-e的上方。在所图示的特别实施例中，第一切槽组505a包括三个切槽，而其余的切槽组505b-e每组包括两个切槽。每组也可以采用其它数目的切槽。
各个切槽组505a-e均被构造成允许光束(未示出)在衬底载体支架503a-e的上方穿过带条101p上的竖直部分103p。在带条101p上的所有其它位置处，所述光束被带条101p遮挡住。因此，通过随着光束穿过带条101对光束进行监控和检测(比如经由未示出的检测器和/或控制器)，可以确定带条101p、衬底载体支架503a-e和/或衬底载体501a-e的位置。还有，通过相对于其余切槽组505b-e对由第一切槽组505a产生的不同光束图案进行监控和检测，可以确定带条101p的“前部”或者其它任何基准位置(无论带条101p是否形成一个闭合回路)。如果得知各个衬底载体支架503a-e之间的间距，那么这种基准位置可以被用来确定各个衬底载体501a-e/衬底载体支架503a-e的位置(比如即使不存在其它切槽组505b-e)。
知晓各个衬底载体501a-e和/或衬底载体支架503a-e的位置也可以被用来确定/监控带条101p的速度。例如，通过确定出光束被一个切槽组505a-e中的任何切槽顺序阻断之间的时间，或者切槽组505a-e之间的时间，可以确定出带条的速度(比如利用一个控制器(未示出)，该控制器具有关于切槽组中切槽之间的间距和/或切槽组之间的间距的信息)也可以采用其它开口形状或者表面特征(比如反光特征)来对确定出带条、衬底载体支架和/或衬底载体的位置和/或速度。
通过知晓衬底载体的位置，衬底载体501a-e可以被装载到带条101p上或者从带条101p上取下(比如无论带条101p是否处于运行状态)。至少在本发明的一个实施例中，衬底载体501a-e可以在带条101p运行的同时被装载到带条101p上或者从带条101p上取下，如同比如在先前结合入本发明的美国专利申请中所描述的那样(序列号为No.10/650481、于2003年8月28日提交、题目为“Method and Apparatus for Unloading Substrate Carriers from SubstrateCarrier Transport Systems”的美国专利申请(代理人卷号为No.7024)，或者序列号为No.10/650480、于2003年8月28日提交的、题目为“Substrate CarrierHandler That Unloads Substrate Carriers Directly From a Moving Conveyor”的美国专利申请(代理人卷号为No.7676))。也可以采用其它设备/系统。
带条101p(以及任何在此所描述的其它独创性带条)由此为一个“编码”带条或者条带，其包含编码信息，比如带速、衬底载体位置、衬底载体传递位置等等，它们可以由多个工具进行读取和识别，比如在先前结合入本发明的美国专利申请中描述的衬底装载工作站(序列号为No.10/650480、于2003年8月28日提交、题目为“Substrate Carrier Handler That Unloads SubstrateCarriers Directly From a Moving Conveyor”的美国专利申请(代理人卷号为No.7676))。这种衬底载体装载工作站可以用作“主要”带条/传送装置至“从动装置”，从带条/传送装置测定传送速度、衬底载体位置、传递位置等等。由此可以提供已知带有分散智能的系统(比如各种衬底载体装载工作站和/或传送装置)。各种工具可以具有一个读取头(比如多个能够读取带条上的切槽或者开口来确定带速、衬底载体位置、传递位置等等的传感器)，来读取所述独创性带条上的编码信息(比如一个中心编码器，其包括经由带条上的切槽/开口，比如切槽组505a-e，的设置/定位操作存储起来的信息)。
在衬底载体在半导体器件制造设备内部于本发明中的带条基传送系统上进行传送的同时，带条的竖向、纵向(沿着传送装置的方向)以及横向(与传送线并排)位置可以被以更高的精确度进行确定和/或控制。以这种方式，有利于在传送系统运行的同时将衬底载体从传送系统中送出或者传送至传送系统中。
可以比如在安装之前或者在传送系统已经开始进行工作之后，对驱动、支撑和/或约束轮的尺寸进行检查，判断其是否如同新的那样(比如磨损检查)。此后可以对驱动轮、支撑轮和/或约束轮的位置进行调整，以确保/保持对传送系统的竖向、纵向和/或横向位置的严格控制。例如，可以控制支撑轮的旋转轴线使得传送系统中的带条具有合适的竖向位置和/或横向方位，比如利用外壳区段271于支撑轮之间的位置调节装置(螺钉、可调节垫圈或者类似构件，未予示出)。控制传送系统组件(比如驱动轮、支撑轮和/或约束轮)内部和之间的严格容差，可以减少或者消除所述调节的必要性。
尽管在某些实施过程中带条贯穿其整个长度包括一个连续的材料元件是有益的，但是可以利用若干可连接的纵向部分来成形一根带条，比如作为定制安装的一部分，以便提供一条用于带条的预期路径。在本发明的一个或者多个实施例中，带条的总体长度可以不太重要；但是，较为重要的是确保带条与由半导体器件处理工具设定的路径相一致，比如在制造设备中呈一条或者多条直线。由此，由于其在处理工具的直线路径之间转向所导致的带条半径可以发生变化。带条的长度可以因此伴随带条的一个或者多个特定半径发生变化。此外，带条可以沿着其整个长度被容纳起来；或者带条上的某些部分可以不被外壳区段容纳起来。还有，取代穿过驱动轮单元支架中的间隙的外壳区段，两个独立的外壳区段可以与驱动轮单元支架/在驱动轮单元支架处发生对接，并且驱动轮单元支架可以被以一种类似于前述外壳区段支架的方式悬置起来。
至少在本发明的一个实施例中，独创性传送系统中的所有可用部分均可以在传送装置(比如带条)运行的同时得以使用。例如，所有的轮子、马达、驱动器、带控制器等等，均可以在传送系统运行的同时得以更换。还有，可以在各个所述组件内构建相当数量的冗余，以便使得一个或者多个轮子、马达、驱动器、带控制器等等出现故障不会影响(或者明显)影响传送系统的运行。也就是说，尽管一个或者多个支撑组件、驱动组件、控制组件等等发生了故障，但是传送系统仍旧可以在运行的同时得以维护。轮子和/或其它组件之间的间距可以被设定为各个均可以在满足用于支撑、驱动力等等的系统需求的同时得以更换。
除了传送单个衬底载体之外，所述独创性传送系统还可以被用于传送那样传送多个衬底的衬底载体。还有，衬底载体无需封闭(比如可以在一个或者多个侧面上敞开)。
所述独创性传送系统可以包括从下方竖向支撑的带条(比如从带条上的竖直部分的下方)。所述带条可以利用任何装置进行支撑(比如磁力式，经由气浮轴承等等)。
如前所述，可以基于多种因素对用于任何带条101的材料进行选择，比如材料强度、可弯曲性、疲劳速度、成本等等。可以用于在此所描述的任何独创性带条的示例性材料包括不锈钢、聚碳酸酯、复合材料(比如石墨、玻璃纤维等等)，钢或者其它包括不锈钢、织物(比如碳纤维、玻璃纤维、来自于Dupont的聚乙烯、钢丝网等等)或者其它补强材料的强化聚氨基甲酸乙酯、环氧薄片、塑料或者聚酯材料，等等。在一个特别实施例中，带条可以利用一个整体式或者组合式模制或挤压材料构造而成，比如带有钢丝补强缆绳或者灌注有玻璃的聚氨基甲酸乙酯插件的挤压聚氨基甲酸乙酯。一种组合式带条可以经过层压处理来形成一个整体式结构(比如通过将不锈钢薄片粘结到塑料上)。也可以采用任何其它合适的构造。
在本发明的一个实施例中，带条上的竖直部分可以包括301不锈钢(半硬)，其厚度为0.05英寸左右。水平部分可以包括近乎1英寸宽的6061-T6铝件，其固定于竖直部分上(比如经由铆钉或者其它机构)并且以0.06英寸左右间隔开。这种带条可以类似于先前参照图12所描述的带条。也可以采用其它材料和/或尺寸。
图25A和25B分别是按照本发明提供的第七示例性带条101q的透视图和侧视图。参照图25A和25B，带条101q包括一个T形部分600(其形成了带条101q上的竖直部分103q和水平部分105q)，该T形部分600由灌注有玻璃的尼龙、硬质塑料、铝铸件或者类似材料制成。水平部分105q包括蜿蜒间隙602，其允许带条101q发生弯曲并且提供一个用于支撑轮的平滑过渡，所述支撑轮用于支撑起带条101q。竖直部分103q包括一个较厚的部分603，该部分603由若干交叉指状物605形成，所述指状物605形成了一个用于驱动轮的相对不易压缩驱动表面，所述驱动轮用于驱动带条101q。
两条皮带607、609如所图示的那样在较厚区段603的上方和下方被固定在竖直部分103q上，并且可以利用任何合适机构固定于其上(比如螺栓、铆钉、粘结剂或者类似物)。在本发明的一个实施例中，皮带607、609可以由聚氨基甲酸乙酯或者一种类似材料制成(比如利用钢丝或者类似物进行补强)。
尽管在此已经主要作为具有单个水平部分(比如部分105)对独创性带条进行了描述，但是将会明白的是，各种带条均可以包括不止一个水平部分。例如，在带条的顶部和底部附近设置一个水平部分，形成一个双“T”型构造，力求平衡带条的弯矩(在水平平面内)。在一个这样的实施例，可以采用下部支撑轮与底部水平部分发生接触，并且在转向处和关键性传送区域稳定所述带条(以及任何支撑于其上的衬底载体)。这种下部支撑轮可以类似于图23中所示支撑轮单元289a中的支撑轮373，或者具有其它构造。
图26是一个按照本发明提供的第八带条101r的透视图。该第八带条101r包括一个竖直部分103r和两个水平部分105r、105r′。上部的水平部分105r适合于支撑带条101r上的载荷(比如经由先前所描述的支撑轮)；而下部的水平部分105r′允许带条101r更为对称地发生弯曲。至少在本发明的一个实施例中，带条101r由聚氨基甲酸乙酯(比如92硬度的聚合物)或者类似材料制成。带条101r可以利用钢丝、织物或者类似的结构特征701进行补强。在一个这样的实施例中，下部支撑轮可以被用来于下部的水平部分105r′发生接触，并且在转向处和关键性传送区域稳定带条101r(以及任何支撑于其上的衬底载体)。在水平部分105r、105r′上成形以下间隙或者槽口703，来协助带条101r发生弯曲。带条101r可以被制成一个整体式构件或者形成多个构件(比如多个层压在一起的挤压部分)。如图26中所示，可以在带条101r上成形水平或者其它特征704，来对由带条101r进行传送的衬底载体提供额外支撑。
如前所述，支撑轮373(图23)适合于经由与带条上的水平部分发生接触而支撑起一根带条。尽管在此描述的主要是被动式的(比如不受驱动)，但是将会明白的是，除了驱动轮331a和/或331b之外或者取代驱动轮331a和/或331b，一个或者多个支撑轮373可以得以驱动。由此，一个或者多个支撑轮373可以通过于一根带条上的水平部分发生接触来驱动该带条。对于平整的水平部分来说，可以采用一个与传动支撑轮相对置的对置轮(比如为了保持在该传动支撑轮上的接触压力)。同样，一个或者多个约束轮355可以被类似地进行驱动。
为了在一个位置处或者靠近该位置提供两个独立的驱动点，带条各个侧面上的驱动位置可以略微发生偏离。例如，驱动轮单元支架287a中的第一轮组331a可以沿着带条的长度方向相对于该驱动轮单元支架287a中的第二轮组331b略微发生偏移。在本发明的一个或者多个实施例中，带条可以包括表面特征，比如能够与轮子、齿轮或者其它驱动机构相啮合来驱动所述带条的齿。这种特征可以形成于带条上的竖直部分和/或水平部分上。图26示出了若干至少形成于带条101r上的竖直部分103r的一个侧面上的齿(比如模制于其中)。这种齿705可以与驱动轮发生啮合并且用于驱动带条101r(比如以齿条与齿轮方式或者其它类似方式)。
为了减小驱动马达的相互作用并且对受驱带条进行防护，对于各个驱动马达311来说均可以采用一个单向驱动离合器(比如使得转矩仅可以沿着一个方向施加)。以这种方式，如果马达轴承在工作过程中发生卡持，那么旋转着的带条可以反过来驱动受到影响的驱动轮311，而不是允许驱动轮311沿着带条的表面滑行或者滑动。带条可以适合于运载衬底或者衬底载体。带条可以运载单个或者多个适合于容纳不止一个衬底(比如多个衬底载体)或者不同尺寸衬底载体组合(比如当或者多个衬底载体)的衬底载体。
因此，尽管本发明已经结合其示例性实施例得以公开，但是必须明白的是，其它实施例也有可能落入由后附权利要求限定的本发明的技术构思和保护范围之内。

Claims (183)

1.一种用于在半导体器件制造设备内传送衬底载体的传送系统，包括：
一根带条，其沿着半导体器件制造设备的至少一部分形成了一个闭合回路，所述带条包括竖直部分，该竖直部分具有位于竖直平面内的较厚部分和位于水平平面内的较薄部分，该带条的长度大于其宽度，该带条：
在水平平面中为柔性而在竖直平面中呈刚性；且
在半导体器件制造设备的至少一部分内在处理工具之间传送若干衬底载体。
2.如权利要求1中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸的水平部分，其用于支撑带条的重量。
3.如权利要求2中所述的传送系统，其特征在于：所述竖直和水平部分均由一个单件式材料元件制成。
4.如权利要求2中所述的传送系统，其特征在于：所述竖直和水平部分均由独立的材料元件制成。
5.如权利要求4中所述的传送系统，其特征在于：所述水平部分包括若干沿竖直区段的长度联结在所述竖直部分上的水平区段。
6.如权利要求5中所述的传送系统，其特征在于：所述若干水平区段包括若干三角形区段。
7.如权利要求2中所述的传送系统，其特征在于：所述水平部分包括若干用于增大所述带条在水平方向上的可弯曲性的切槽。
8.如权利要求7中所述的传送系统，其特征在于：所述若干切槽沿着所述带条的纵向长度均匀地间隔开。
9.如权利要求1中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：一个第一区段，该第一区段具有：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸的水平部分，其用于支撑所述带条的重量；和一个联结在第一区段上的第二区段，该第二区段具有：
一个用于支撑衬底载体的竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸的水平部分，其用于支撑所述带条的重量。
10.如权利要求9中所述的传送系统，其特征在于：还包括一种设置于所述第一区段与第二区段之间的声音阻尼材料。
11.如权利要求9中所述的传送系统，其特征在于：
所述第一区段上的竖直部分和水平部分均由一个单件式第一材料元件制成；而
所述第二区段上的竖直部分和水平部分均由一个单件式第二材料元件制成。
12.如权利要求9中所述的传送系统，其特征在于：
所述第一区段上的竖直和水平部分均由独立的第一材料元件制成；而
所述第二区段上的竖直和水平部分均由独立的第二材料元件制成。
13.如权利要求12中所述的传送系统，其特征在于：
所述第一区段上的水平部分包括联结在竖直部分上的第一若干水平区段；而
所述第二区段上的水平部分包括联结在竖直部分上的第二若干水平区段。
14.如权利要求13中所述的传送系统，其特征在于：
所述第一若干水平区段包括第一若干三角形区段；而
所述第二若干水平区段包括第二若干三角形区段。
15.如权利要求9中所述的传送系统，其特征在于：
所述第一区段上的水平部分包括用于增大所述带条在水平方向上的可弯曲性的第一若干切槽；而
所述第二区段上的水平部分包括用于增大所述带条在水平方向上的可弯曲性的第二若干切槽。
16.如权利要求15中所述的传送系统，其特征在于：所述第一和第二若干切槽沿着所述带条均匀地间隔开。
17.如权利要求1中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括不锈钢。
18.如权利要求1中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括一个具有第一特征的竖直部分，所述第一特征用于指示所述竖直部分的带条的起始点。
19.如权利要求18中所述的传送系统，其特征在于：所述第一特征包括至少一个贯穿所述竖直部分的第一开口。
20.如权利要求19中所述的传送系统，其特征在于：所述带条上的竖直部分还包括若干第二特征，各个第二特征均用于指示一个可以利用所述带条卡固和传送衬底载体的位置。
21.如权利要求20中所述的传送系统，其特征在于：各个第二特征均包括至少一个贯穿所述竖直部分的第二开口。
22.如权利要求21中所述的传送系统，其特征在于：所述至少一个第一开口包括第一数量开口，而所述至少一个第二开口包括第二数量开口。
23.如权利要求1中所述的传送系统，其特征在于：所述带条形成了一条蜿蜒的闭合回路。
24.如权利要求1中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干刚性联结在所述带条上的支架，各个支架均用于至少在半导体器件制造设备的一部分内部支撑和传送衬底载体。
25.如权利要求24中所述的传送系统，其特征在于：各个所述支架均包括一个托架，该托架用于利用衬底载体的顶部凸缘支撑起一个衬底载体。
26.如权利要求1中所述的传送系统，其特征在于：还包括至少一个用于接触所述带条并且旋转所述带条的驱动轮。
27.如权利要求26中所述的传送系统，其特征在于：所述至少一个驱动轮包括若干环绕所述带条均匀地间隔开的驱动轮。
28.如权利要求26中所述的传送系统，其特征在于：所述至少一个驱动轮用于沿着所述带条的竖直部分接触和驱动所述带条。
29.如权利要求28中所述的传送系统，其特征在于：所述至少一个驱动轮包括一个第一轮，该第一轮用于在所述带条上的竖直部分的第一侧面上接触所述竖直部分；和一个第二轮，该第二轮用于在所述带条上的竖直部分的第二侧面上接触所述竖直部分，所述第二侧面与第一侧面相反。
30.如权利要求29中所述的传送系统，其特征在于：仅有所述第一和第二轮中之一驱动所述带条。
31.如权利要求29中所述的传送系统，其特征在于：所述第一和第二轮均驱动所述带条。
32.如权利要求26中所述的传送系统，其特征在于：所述至少一个驱动轮包括至少一个用于在所述带条运行的同时得以更换的驱动轮。
33.如权利要求1中所述的传送系统，其特征在于：还包括至少一个约束轮，该约束轮用于接触所述带条并且减小所述带条在其旋转时的横向运动。
34.如权利要求33中所述的传送系统，其特征在于：所述至少一个约束轮包括若干环绕所述带条均匀间隔开的约束轮。
35.如权利要求33中所述的传送系统，其特征在于：所述至少一个约束轮包括至少一个用于在所述带条运行的同时得以更换的约束轮。
36.如权利要求33中所述的传送系统，其特征在于：所述至少一个约束轮包括一个第一轮，该第一轮用于沿着所述带条的竖直部分的第一侧面接触所述带条。
37.如权利要求33中所述的传送系统，其特征在于：所述至少一个约束轮包括一个第一轮和一个第二轮，它们均用于沿着所述带条上的竖直部分的第一侧面接触所述带条。
38.如权利要求37中所述的传送系统，其特征在于：所述第一轮和第二轮均用于在所述带条运行的同时得以更换。
39.如权利要求38中所述的传送系统，其特征在于：所述第一轮和第二轮均用于在所述带条运行的同时作为一个单元得以更换。
40.如权利要求38中所述的传送系统，其特征在于：所述第一轮和第二轮均用于在所述带条运行的同时独立地得以更换。
41.如权利要求40中所述的传送系统，其特征在于：各个所述第一轮和第二轮均用于枢转远离所述带条。
42.如权利要求36中所述的传送系统，其特征在于：所述至少一个约束轮包括至少一个第一轮，该第一轮用于沿着所述带条上的竖直部分的第一侧面接触所述带条；和至少一个第二轮，该第二轮用于沿着所述带条上的竖直部分的第二侧面接触所述带条，所述第二侧面与第一侧面相反。
43.如权利要求1中所述的传送系统，其特征在于：还包括至少一个支撑轮，该支撑轮用于在所述带条旋转时支撑起所述带条。
44.如权利要求43中所述的传送系统，其特征在于：所述至少一个支撑轮包括若干环绕所述带条均匀间隔开的支撑轮。
45.如权利要求43中所述的传送系统，其特征在于：所述至少一个支撑轮用于沿着所述带条上的第一水平部分接触和支撑所述带条。
46.如权利要求45中所述的传送系统，其特征在于：所述至少一个支撑轮包括一个第一轮，该第一轮用于在所述带条上的竖直部分的第一侧面上接触所述带条水平延伸的第一水平部分；和一个第二轮，该第二轮用于在所述带条上的竖直部分的第二侧面上接触所述带条水平延伸的第二水平部分，所述第二侧面与第一侧面相反。
47.如权利要求43中所述的传送系统，其特征在于：所述至少一个支撑轮包括至少一个用于在所述带条运行的同时得以更换的支撑轮。
48.如权利要求1中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干外壳区段，这些外壳区段沿带条的长度延伸并用于环绕在所述带条的至少一部分的周围，同时允许利用所述带条传送衬底载体，所述外壳区段包括间隙，带条的水平部分和竖直部分穿过所述间隙。
49.如权利要求48中所述的传送系统，其特征在于至少一个外壳区段包括：
一个第一开口，其允许至少一个支撑轮在所述带条旋转时接触和支撑所述带条；和
一个第二开口，其允许至少一个约束轮在所述带条旋转时接触所述带条并且减小所述带条的横向运动。
50.如权利要求49中所述的传送系统，其特征在于：所述至少一个外壳区段允许所述至少一个约束轮和至少一个支撑轮在所述带条运行的同时得以更换。
51.如权利要求49中所述的传送系统，其特征在于所述至少一个外壳区段还包括：
一个第三开口，其允许至少一个驱动轮接触所述带条并且旋转所述带条。
52.如权利要求51中所述的传送系统，其特征在于：所述外壳区段允许至少一个驱动轮、至少一个约束轮以及至少一个支撑轮在所述带条运行的同时得以更换。
53.如权利要求48中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干支架，这些支架用于联结到各个外壳区段上并且支撑起各个外壳区段。
54.如权利要求53中所述的传送系统，其特征在于：所述若干支架和若干外壳区段沿着所述带条的整个闭合回路环绕在所述带条的至少一个部分的周围。
55.如权利要求53中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干护罩，这些护罩用于联结在所述若干支架上，并且被加工成覆盖住由所述带条进行传送的衬底载体。
56.如权利要求55中所述的传送系统，其特征在于：至少所述若干支架中的一个包括一个延展区域，该延展区域用于补偿由于所述若干护罩的温度变化导致其长度的变化。
57.如权利要求55中所述的传送系统，其特征在于：各个护罩均包括铝。
58.如权利要求1中所述的传送系统，其特征在于：所述带条用于传送单个衬底载体。
59.一种用于在半导体器件制造设备内部传送衬底载体的传送系统，包括：
一根带条，其沿着半导体器件制造设备的至少一部分形成一个闭合回路，所述带条包括竖直部分，该竖直部分具有位于竖直平面内的较厚部分和位于水平平面内的较薄部分，该带条的长度大于其宽度，该带条：
在水平平面中为柔性而在竖直平面中为刚性；
在半导体器件制造设备的至少一部分内部在处理工具之间传送若干衬底载体；并且
连续旋转。
60.如权利要求59中所述的传送系统，其特征在于：还包括至少一个驱动轮，该驱动轮用于接触所述带条并且旋转所述带条。
61.如权利要求59中所述的传送系统，其特征在于：还包括至少一个约束轮，该约束轮用于接触所述带条并且减小所述带条在其旋转时的横向运动。
62.如权利要求59中所述的传送系统，其特征在于：还包括至少一个支撑轮，该支撑轮用于在所述带条旋转时支撑起所述带条。
63.如权利要求59中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：
所述竖直部分，其用于支撑衬底载体；和
一个水平部分，其从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条的重量。
64.如权利要求59中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：一个第一区段，该第一区段具有：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸的水平部分，其用于支撑所述带条的重量；和一个联结在第一区段上的第二区段，该第二区段具有：
一个用于支撑衬底载体的竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸的水平部分，其用于支撑所述带条的重量。
65.如权利要求59中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括不锈钢。
66.如权利要求59中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括一个具有第一特征的竖直部分，所述第一特征用于指示在所述竖直部分上所述带条的起始点。
67.如权利要求66中所述的传送系统，其特征在于：所述带条上的竖直部分还包括若干第二特征，各个第二特征均用于指示一个可以利用带条卡固和传送一个衬底载体的位置。
68.如权利要求59中所述的传送系统，其特征在于：所述带条形成了一条蜿蜒的闭合回路。
69.如权利要求59中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干刚性联结在所述带条上的支架，各个支架均用于至少在半导体器件制造设备的一部分内部支撑和传送衬底载体。
70.如权利要求59中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干的外壳区段，这些外壳区段沿带条的长度延伸并用于环绕在所述带条的至少一部分的周围，同时允许利用所述带条传送衬底载体，所述外壳区段包括间隙，带条的水平部分和竖直部分穿过所述间隙。
71.如权利要求70中所述的传送系统，其特征在于至少一个外壳区段包括：
一个第一开口，其用于允许至少一个支撑轮在所述带条旋转时接触和支撑所述带条；和
一个第二开口，其用于允许至少一个约束轮在所述带条旋转时接触所述带条并且减少所述带条的横向运动。
72.如权利要求71中所述的传送系统，其特征在于所述至少一个外壳区段包括：
一个第三开口，其允许至少一个驱动轮接触所述带条并且旋转所述带条。
73.如权利要求70中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干支架，这些支架用于联结在各个外壳区段上并且支撑起各个外壳区段。
74.如权利要求73中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干护罩，这些护罩用于联结在所述若干支架上，并且被加工成覆盖住由所述带条进行传送的衬底载体。
75.如权利要求59中所述的传送系统，其特征在于：所述带条用于传送单个衬底载体。
76.一种适用于在半导体器件制造设备内部传送衬底载体的传送系统，包括：
一根带条，其沿着半导体器件制造设备的至少一部分形成一个闭合回路，所述带条包括竖直部分，该竖直部分具有位于竖直平面内的较厚部分和位于水平平面内的较薄部分，该带条的长度大于其宽度，该带条：
在水平平面中呈柔性而在竖直平面中呈刚性；和
连续旋转；和
若干刚性联结在所述带条上的支架，各个支架均用于在半导体器件制造设备的至少一部分内部支撑和在处理工具之间传送一个衬底载体。
77.如权利要求76中所述的传送系统，其特征在于：还包括驱动轮、约束轮和支撑轮中的至少一个，它们用于接触所述带条并且在所述带条运行的同时得以更换。
78.如权利要求76中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条重量的水平部分。
79.如权利要求76中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：一个第一区段，该第一区段具有：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条重量的水平部分；和一个联结在第一区段上的第二区段，该第二区段具有：
一个用于支撑衬底载体的竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条重量的水平部分。
80.如权利要求76中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括不锈钢。
81.如权利要求76中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括一个具有第一特征的竖直部分，所述第一特征用于指示在所述竖直部分上所述带条的起始点。
82.如权利要求81中所述的传送系统，其特征在于：所述带条上的竖直部分还包括若干第二特征，各个第二特征均用于指示一个可以利用所述带条卡固和传送一个衬底载体的位置。
83.如权利要求76中所述的传送系统，其特征在于：所述带条形成了一个蜿蜒的闭合回路。
84.如权利要求76中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干外壳区段，这些外壳区段沿带条的长度延伸并且用于环绕在所述带条的至少一部分的周围，同时允许利用所述带条传送衬底载体，所述外壳区段包括间隙，带条的水平部分和竖直部分穿过所述间隙。
85.如权利要求84中所述的传送系统，其特征在于至少一个外壳区段包括：
一个第一开口，其允许至少一个支撑轮在所述带条旋转时接触和支撑所述带条；和
一个第二开口，其允许至少一个约束轮在所述带条旋转时接触所述带条并且减小所述带条的横向运动。
86.如权利要求85中所述的传送系统，其特征在于所述至少一个外壳区段还包括：
一个第三开口，其允许至少一个驱动轮接触所述带条并且旋转所述带条。
87.如权利要求84中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干支架，这些支架用于联结在各个外壳区段上并且支撑起各个外壳区段。
88.如权利要求87中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干护罩，这些护罩用于联结在所述若干支架上，并且被加工成覆盖住由所述带条进行传送的衬底载体。
89.如权利要求76中所述的传送系统，其特征在于：所述带条用于传送单个衬底载体。
90.一种用于在半导体器件制造设备内部传送衬底载体的传送系统，包括：
一根带条，其沿着半导体器件制造设备的至少一部分形成一个闭合回路，所述带条包括竖直部分，该竖直部分具有位于竖直平面内的较厚部分和位于水平平面内的较薄部分，该带条的长度大于其宽度，该带条：
在水平平面中呈柔性而在竖直平面中呈刚性；
在半导体器件制造设备的至少一部分内部在处理工具之间传送若干衬底载体；并且
连续旋转；和
驱动轮、约束轮和支撑轮中的至少一个，它们用于接触所述带条并且在所述带条运行的同时得以更换。
91.如权利要求90中所述的传送系统，其特征在于：还包括至少一个驱动轮，该驱动轮用于接触所述带条和旋转所述带条。
92.如权利要求90中所述的传送系统，其特征在于：还包括至少一个约束轮，该约束轮用于在所述带条旋转时接触所述带条并且减小所述带条的横向运动。
93.如权利要求90中所述的传送系统，其特征在于：还包括至少一个支撑轮，该支撑轮用于在所述带条旋转时支撑起所述带条。
94.如权利要求90中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条重量的水平部分。
95.如权利要求90中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：一个第一区段，该第一区段具有：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条重量的水平部分；和一个联结在第一区段上的第二区段，该第二区段具有：
一个用于支撑衬底载体的竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条重量的水平部分。
96.如权利要求90中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括不锈钢。
97.如权利要求90中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括一个具有第一特征的竖直部分，所述第一特征用于指示在所述竖直部分上所述带条的起始点。
98.如权利要求97中所述的传送系统，其特征在于：所述带条上的竖直部分还包括若干第二特征，各个第二特征均用于指示一个可以利用所述带条卡固和传送一个衬底载体的位置。
99.如权利要求90中所述的传送系统，其特征在于：所述带条形成了一个蜿蜒的闭合回路。
100.如权利要求90中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干刚性联结在所述带条上的支架，各个支架均用于在半导体器件制造设备的至少一部分内部支撑和传送衬底载体。
101.如权利要求90中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干外壳区段，这些外壳区段沿带条的长度延伸并且用于环绕在所述带条的至少一部分的周围，同时允许利用所述带条传送衬底载体，所述外壳区段包括间隙，带条的水平部分和竖直部分穿过所述间隙。
102.如权利要求101中所述的传送系统，其特征在于至少一个外壳区段包括：
一个第一开口，其允许至少一个支撑轮在所述带条旋转时接触和支撑所述带条；和
一个第二开口，其允许至少一个约束轮在所述带条旋转时接触所述带条并且减小所述带条的横向运动。
103.如权利要求102中所述的传送系统，其特征在于所述至少一个外壳区段还包括：
一个第三开口，其允许至少一个驱动轮接触所述带条并且旋转所述带条。
104.如权利要求102中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干支架，这些支架用于联结在各个外壳区段上并且支撑起各个外壳区段。
105.如权利要求104中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干护罩，这些护罩用于联结在所述若干支架上，并且被加工成覆盖住由所述带条进行传送的衬底载体。
106.如权利要求90中所述的传送系统，其特征在于：所述带条用于传送单个衬底载体。
107.一种用于在半导体器件制造设备内部传送衬底载体的传送系统，包括：
一根带条，其沿着半导体器件制造设备的至少一部分形成一个闭合回路，所述带条包括竖直部分，该竖直部分具有位于竖直平面内的较厚部分和位于水平平面内的较薄部分，该带条的长度大于其宽度；和
若干刚性联结在所述带条上的支架，各个支架均用于在半导体器件制造设备的至少一部分内部支撑和在处理工具之间传送单个载体。
108.如权利要求107中所述的传送系统，其特征在于：所述带条用于在衬底载体的传送和传输过程中连续旋转。
109.如权利要求107中所述的传送系统，其特征在于：还包括驱动轮、约束轮和支撑轮中的至少一个，它们用于接触所述带条并且在所述带条运行的同时得以更换。
110.如权利要求107中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个用于支撑所述带条重量的水平部分。
111.如权利要求107中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：一个第一区段，该第一区段具有：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个用于支撑所述带条重量的水平部分；和
一个联结在第一区段上的第二区段，该第二区段具有：
一个用于支撑衬底载体的竖直部分；和
一个用于支撑所述带条重量的水平部分。
112.如权利要求107中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括不锈钢。
113.如权利要求107中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括一个具有第一特征的竖直部分，所述第一特征用于指示在所述竖直部分上的所述带条的起始点。
114.如权利要求113中所述的传送系统，其特征在于：所述带条上的竖直部分还包括若干第二特征，各个第二特征均用于指示一个可以利用所述带条卡固和传送一个衬底载体的位置。
115.如权利要求107中所述的传送系统，其特征在于：所述带条形成了一个蜿蜒的闭合回路。
116.如权利要求107中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干外壳区段，这些外壳区段沿带条的长度延伸并且用于环绕在所述带条的至少一部分的周围，同时允许利用所述带条传送衬底载体，所述外壳区段包括间隙，带条的水平部分和竖直部分穿过所述间隙。
117.如权利要求116中所述的传送系统，其特征在于至少一个外壳区段包括：
一个第一开口，其允许至少一个支撑轮在所述带条旋转时接触和支撑所述带条；和
一个第二开口，其允许至少一个约束轮在所述带条旋转时接触所述带条并且减小所述带条的横向运动。
118.如权利要求117中所述的传送系统，其特征在于所述至少一个外壳区段还包括：
一个第三开口，其允许至少一个驱动轮接触所述带条并且旋转所述带条。
119.如权利要求116中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干外壳区段支架，这些外壳区段支架用于联结在各个外壳区段上并且支撑起各个外壳区段。
120.如权利要求119中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干护罩，这些护罩用于联结在所述若干外壳区段支架上，并且被加工成覆盖住由所述带条进行传送的衬底载体。
121.如权利要求107中所述的传送系统，其特征在于：所述带条用于传送单个衬底载体。
122.一种用于在半导体器件制造设备内部传送衬底载体的传送系统，包括：
一根带条，其沿着半导体器件制造设备的至少一部分形成一个闭合回路，所述带条包括竖直部分，该竖直部分具有位于竖直平面内的较厚部分和位于水平平面内的较薄部分，该带条的长度大于其宽度，该带条用于在半导体器件制造设备的至少一部分内部在处理工具之间传送若干衬底载体；和
驱动轮、约束轮和支撑轮中的至少一个，它们用于接触所述带条并且在所述带条运行的同时得以更换。
123.如权利要求122中所述的传送系统，其特征在于：还包括至少一个驱动轮，该驱动轮用于接触所述带条和旋转所述带条。
124.如权利要求122中所述的传送系统，其特征在于：还包括至少一个约束轮，该约束轮用于在所述带条旋转时接触所述带条并且减小所述带条的横向运动。
125.如权利要求122中所述的传送系统，其特征在于：还包括至少一个支撑轮，该支撑轮用于在所述带条旋转时支撑起所述带条。
126.如权利要求122中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条重量的水平部分。
127.如权利要求122中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：一个第一区段，该第一区段具有：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条重量的水平部分；和一个联结在第一区段上的第二区段，该第二区段具有：
一个用于支撑衬底载体的竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条重量的水平部分。
128.如权利要求122中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括不锈钢。
129.如权利要求122中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括一个具有第一特征的竖直部分，所述第一特征用于指示在所述竖直部分上所述带条的起始点。
130.如权利要求129中所述的传送系统，其特征在于：所述带条上的竖直部分还包括若干第二特征，各个第二特征均用于指示一个可以利用所述带条卡固和传送一个衬底载体的位置。
131.如权利要求122中所述的传送系统，其特征在于：所述带条形成了一个蜿蜒的闭合回路。
132.如权利要求122中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干刚性联结在所述带条上的支架，各个支架均用于在半导体器件制造设备的至少一部分内部支撑和传送衬底载体。
133.如权利要求122中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干外壳区段，这些外壳区段沿带条的长度延伸并且用于环绕在所述带条的至少一部分的周围，同时允许利用所述带条传送衬底载体，所述外壳区段包括间隙，带条的水平部分和竖直部分穿过所述间隙。
134.如权利要求133中所述的传送系统，其特征在于至少一个外壳区段包括：
一个第一开口，其允许至少一个支撑轮在所述带条旋转时接触和支撑所述带条；和
一个第二开口，其允许至少一个约束轮在所述带条旋转时接触所述带条并且减小所述带条的横向运动。
135.如权利要求134中所述的传送系统，其特征在于所述至少一个外壳区段还包括：
一个第三开口，其允许至少一个驱动轮接触所述带条并且旋转所述带条。
136.如权利要求133中所述的传送系统，其特在在于：还包括若干支架，这些支架用于联结在各个外壳区段上并且支撑起各个外壳区段。
137.如权利要求136中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干护罩，这些护罩用于联结在所述若干支架上，并且被加工成覆盖住由所述带条进行传送的衬底载体。
138.如权利要求122中所述的传送系统，其特征在于：所述带条用于传送单个衬底载体。
139.一种用于在半导体器件制造设备内部传送衬底载体的传送系统，包括：
一根带条，其沿着半导体器件制造设备的至少一部分形成一个闭合回路，所述带条包括竖直部分，该竖直部分具有位于竖直平面内的较厚部分和位于水平平面内的较薄部分，该带条的长度大于其宽度，该带条：
在水平平面中为柔性而在竖直平面中为刚性；和
在半导体器件制造设备的至少一部分内部在处理工具之间传送若干衬底载体；和
驱动轮、约束轮和支撑轮中的至少一个，它们用于接触所述带条并且在所述带条运行的同时得以更换。
140.如权利要求139中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条重量的水平部分。
141.如权利要求139中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：一个第一区段，该第一区段具有：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条重量的水平部分；和一个联结在第一区段上的第二区段，该第二区段具有：
一个用于支撑衬底载体的竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条重量的水平部分。
142.如权利要求139中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括不锈钢。
143.如权利要求139中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括一个具有第一特征的竖直部分，所述第一特征用于指示在所述竖直部分上所述带条的起始点。
144.如权利要求143中所述的传送系统，其特征在于：所述带条上的竖直部分还包括若干第二特征，各个第二特征均用于指示一个可以利用所述带条卡固和传送一个衬底载体的位置。
145.如权利要求139中所述的传送系统，其特征在于：所述带条形成了一个蜿蜒的闭合回路。
146.如权利要求139中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干刚性联结在所述带条上的支架，各个支架均用于在半导体器件制造设备的至少一部分内部支撑和传送衬底载体。
147.如权利要求139中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干外壳区段，这些外壳区段沿带条的长度延伸并且用于环绕在所述带条的至少一部分的周围，同时允许利用所述带条传送衬底载体，所述外壳区段包括间隙，带条的水平部分和竖直部分穿过所述间隙。
148.如权利要求147中所述的传送系统，其特征在于至少一个外壳区段包括：
一个第一开口，其允许至少一个支撑轮在所述带条旋转时接触和支撑所述带条；和
一个第二开口，其允许至少一个约束轮在所述带条旋转时接触所述带条并且减小所述带条的横向运动。
149.如权利要求148中所述的传送系统，其特征在于所述至少一个外壳区段还包括：
一个第三开口，其允许至少一个驱动轮接触所述带条并且旋转所述带条。
150.如权利要求147中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干支架，这些支架用于联结在各个外壳区段上并且支撑起各个外壳区段。
151.如权利要求150中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干护罩，这些护罩用于联结在所述若干支架上，并且被加工成覆盖住由所述带条进行传送的衬底载体。
152.如权利要求139中所述的传送系统，其特征在于：所述带条用于传送单个衬底载体。
153.一种用于在半导体器件制造设备内部传送单个衬底载体的高架传送系统，包括：
一根带条，其沿着半导体器件制造设备的至少一部分形成一个闭合回路，所述带条包括竖直部分，该竖直部分具有位于竖直平面内的较厚部分和位于水平平面内的较薄部分，该带条的长度大于其宽度，该带条：
在水平平面中呈柔性而在竖直平面中呈刚性；和
连续旋转；
若干刚性联结在所述带条上的支架，各个支架均用于在半导体器件制造设备的至少一部分内部支撑和在处理工具之间传送单个衬底载体；
至少一个驱动轮，该驱动轮用于接触所述带条并且旋转所述带条；
至少一个约束轮，该约束轮用于在所述带条旋转时接触所述带条并且减小所述带条的横向运动；以及
至少一个支撑轮，该支撑轮用于在所述带条旋转时支撑起所述带条；
其中，所述至少一个驱动轮、至少一个约束轮和至少一个支撑轮均用于在所述带条运行的同时得以更换。
154.如权利要求153中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条重量的水平部分。
155.如权利要求153中所述的传送系统，其特征在于所述带条包括：一个第一区段，该第一区段具有：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条重量的水平部分；和一个联结在第一区段上的第二区段，该第二区段具有：
一个用于支撑衬底载体的竖直部分；和
一个从竖直部分水平延伸并且用于支撑所述带条重量的水平部分。
156.如权利要求153中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括不锈钢。
157.如权利要求153中所述的传送系统，其特征在于：所述带条包括一个具有第一特征的竖直部分，所述第一特征用于指示在所述竖直部分上所述带条的起始点。
158.如权利要求157中所述的传送系统，其特征在于：所述带条上的竖直部分还包括若干第二特征，各个第二特征均用于指示一个可以利用所述带条卡固和传送一个衬底载体的位置。
159.如权利要求153中所述的传送系统，其特征在于：所述带条形成了一个蜿蜒的闭合回路。
160.如权利要求153中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干外壳区段，这些外壳区段沿带条的长度延伸并且用于环绕在所述带条的至少一部分的周围，同时允许利用所述带条传送衬底载体，所述外壳区段包括间隙，带条的水平部分和竖直部分穿过所述间隙。
161.如权利要求160中所述的传送系统，其特征在于至少一个外壳区段包括：
一个第一开口，其允许至少一个支撑轮在所述带条旋转时接触和支撑所述带条；和
一个第二开口，其允许至少一个约束轮在所述带条旋转时接触所述带条并且减小所述带条的横向运动。
162.如权利要求161中所述的传送系统，其特征在于所述至少一个外壳区段还包括：
一个第三开口，其允许至少一个驱动轮接触所述带条并且旋转所述带条。
163.如权利要求160中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干外壳区段支架，这些外壳区段支架用于联结在各个外壳区段上并且支撑起各个外壳区段。
164.如权利要求163中所述的传送系统，其特征在于：还包括若干护罩，这些护罩用于联结在所述若干外壳区段支架上，并且被加工成覆盖住由所述带条进行传送的衬底载体。
165.一种传送衬底载体的方法，包括：
利用一根带条沿着半导体器件制造设备的至少一部分形成一个闭合回路，所述带条包括竖直部分，该竖直部分具有位于竖直平面内的较厚部分和位于水平平面内的较薄部分，该带条的长度大于其宽度，所述带条在水平平面中为柔性而在竖直平面中为刚性；和
利用所述带条在半导体器件制造设备的至少一部分内部在处理工具之间传送衬底载体。
166.如权利要求165中所述的方法，其特征在于所述带条包括：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个用于支撑所述带条重量的水平部分。
167.如权利要求165中所述的方法，其特征在于所述带条包括：一个第一区段，该第一区段具有：
用于支撑衬底载体的所述竖直部分；和
一个用于支撑所述带条重量的水平部分；和
一个联结在第一区段上的第二区段，该第二区段具有：
一个用于支撑衬底载体的竖直部分；和
一个用于支撑所述带条重量的水平部分。
168.如权利要求165中所述的方法，其特征在于：所述带条包括不锈钢。
169.如权利要求165中所述的方法，其特征在于：所述带条包括一个具有第一特征的竖直部分，所述第一特征用于指示在所述竖直部分上所述带条的起始点。
170.如权利要求169中所述的方法，其特征在于：所述带条上的竖直部分还包括若干第二特征，各个第二特征均用于指示一个可以利用所述带条卡固和传送一个衬底载体的位置。
171.如权利要求165中所述的方法，其特征在于：形成闭合回路的步骤包括形成了一个蜿蜒的闭合回路。
172.如权利要求165中所述的方法，其特征在于：还包括将若干支架刚性联结在所述带条上，各个支架均用于在半导体器件制造设备的至少一部分内部支撑和传送衬底载体。
173.如权利要求165中所述的方法，其特征在于：还包括采用若干外壳区段，这些外壳区段沿带条的长度延伸并且用于环绕在所述带条的至少一部分的周围，同时允许利用所述带条传送衬底载体，所述外壳区段包括间隙，带条的水平部分和竖直部分穿过所述间隙。
174.如权利要求173中所述的方法，其特征在于至少一个外壳区段包括：
一个第一开口，其允许至少一个支撑轮在所述带条旋转时接触和支撑所述带条；和
一个第二开口，其允许至少一个约束轮在所述带条旋转时接触所述带条并且减小所述带条的横向运动。
175.如权利要求174中所述的传送系统，其特征在于所述至少一个外壳区段还包括：
一个第三开口，其允许至少一个驱动轮接触所述带条并且旋转所述带条。
176.如权利要求165中所述的传送系统，其特征在于：传送衬底载体包括传送单个衬底载体。
177.一种在半导体器件制造设备内部传送单个衬底载体的方法，包括：
利用一根带条沿着半导体器件制造设备的至少一部分形成一个闭合回路，所述带条包括竖直部分，该竖直部分具有位于竖直平面内的较厚部分和位于水平平面内的较薄部分，该带条的长度大于其宽度，所述带条在水平平面中为柔性而在竖直平面中保持刚性；
将若干支架刚性联结在所述带条上，各个支架均用于在半导体器件制造设备的至少一部分内部支撑和在处理工具之间传送单个衬底载体；
使得所述带条与至少一个驱动轮发生接触，所述驱动轮用于旋转所述带条；
使得所述带条与至少一个约束轮发生接触，所述约束轮用于减小所述带条在其旋转时的横向运动；
使得所述带条与至少一个支撑轮发生接触，所述支撑轮用于在所述带条旋转时支撑起所述带条，其中所述至少一个驱动轮、至少一个约束轮和至少一个支撑轮均用于在所述带条运行的同时得以更换；并且
在利用所述带条传送单个衬底载体的过程中连续旋转所述带条。
178.一种用于在半导体器件制造设备内部传送衬底的设备，包括：
一根带条，所述带条包括竖直部分，该竖直部分具有位于竖直平面内的较厚部分和位于水平平面内的较薄部分，该带条的长度大于其宽度，该带条在水平平面中为柔性而在竖直平面中为刚性，并且用于在半导体器件制造设备的至少一部分内部在处理工具之间传送一个或者多个衬底，该带条包括：
用于支撑一个或者多个衬底的所述竖直部分；和
一个用于支撑所述带条重量的水平部分。
179.如权利要求178中所述的设备，其特征在于：至少所述竖直部分和水平部分中之一包括不锈钢、聚碳酸酯、石墨、玻璃纤维、钢丝补强聚氨基甲酸乙酯、碳纤维或者聚乙烯。
180.如权利要求178中所述的设备，其特征在于：所述带条包括一个额外的水平部分，其从竖直部分水平延伸并且定位成提高所述带条的对称弯曲性能。
181.如权利要求180中所述的设备，其特征在于：所述额外的水平部分位于所述带条的底部附近。
182.如权利要求178中所述的设备，其特征在于：所述竖直部分包括用于与驱动轮的表面特征相配合的表面特征。
183.如权利要求182中所述的设备，其特征在于：所述竖直部分的表面特征包括在竖直部分中模制的齿。
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Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7506746B2 (en) 2002-08-31 2009-03-24 Applied Materials, Inc. System for transporting substrate carriers
US7684895B2 (en) 2002-08-31 2010-03-23 Applied Materials, Inc. Wafer loading station that automatically retracts from a moving conveyor in response to an unscheduled event
US7930061B2 (en) 2002-08-31 2011-04-19 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for loading and unloading substrate carriers on moving conveyors using feedback
US7243003B2 (en) * 2002-08-31 2007-07-10 Applied Materials, Inc. Substrate carrier handler that unloads substrate carriers directly from a moving conveyor
US7778721B2 (en) * 2003-01-27 2010-08-17 Applied Materials, Inc. Small lot size lithography bays
US7578647B2 (en) * 2003-01-27 2009-08-25 Applied Materials, Inc. Load port configurations for small lot size substrate carriers
US7077264B2 (en) * 2003-01-27 2006-07-18 Applied Material, Inc. Methods and apparatus for transporting substrate carriers
US7221993B2 (en) * 2003-01-27 2007-05-22 Applied Materials, Inc. Systems and methods for transferring small lot size substrate carriers between processing tools
US7611318B2 (en) * 2003-01-27 2009-11-03 Applied Materials, Inc. Overhead transfer flange and support for suspending a substrate carrier
KR20050038134A (ko) * 2003-10-21 2005-04-27 삼성전자주식회사 기판 스토킹 시스템
US7218983B2 (en) * 2003-11-06 2007-05-15 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for integrating large and small lot electronic device fabrication facilities
US7720557B2 (en) 2003-11-06 2010-05-18 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers
US20050209721A1 (en) * 2003-11-06 2005-09-22 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers
CN1640797A (zh) * 2003-11-13 2005-07-20 应用材料有限公司 具有剪切构件的动态销和使用该动态销的衬底载体
TWI348450B (en) * 2003-11-13 2011-09-11 Applied Materials Inc Break-away positioning conveyor mount for accommodating conveyor belt bends
TWI367192B (en) 2003-11-13 2012-07-01 Applied Materials Inc Calibration of high speed loader to substrate transport system
US7413069B2 (en) * 2004-02-28 2008-08-19 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for transferring a substrate carrier within an electronic device manufacturing facility
US7274971B2 (en) * 2004-02-28 2007-09-25 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for electronic device manufacturing system monitoring and control
TWI316044B (en) 2004-02-28 2009-10-21 Applied Materials Inc Methods and apparatus for material control system interface
US7611319B2 (en) 2004-06-16 2009-11-03 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for identifying small lot size substrate carriers
TWI328854B (en) * 2005-09-14 2010-08-11 Applied Materials Inc Methods and apparatus for a transfer station
WO2007056443A2 (en) 2005-11-07 2007-05-18 Brooks Automation, Inc. Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system
US20080107507A1 (en) * 2005-11-07 2008-05-08 Bufano Michael L Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system
US20070201967A1 (en) * 2005-11-07 2007-08-30 Bufano Michael L Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system
US8267634B2 (en) * 2005-11-07 2012-09-18 Brooks Automation, Inc. Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system
KR101841753B1 (ko) 2006-08-18 2018-03-23 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 용량이 축소된 캐리어, 이송, 로드 포트, 버퍼 시스템
DE102006062530B4 (de) * 2006-12-29 2016-06-23 Siegmund Kumeth Transportsystem für Werkstücke
US20080279672A1 (en) * 2007-05-11 2008-11-13 Bachrach Robert Z Batch equipment robots and methods of stack to array work-piece transfer for photovoltaic factory
US20080279658A1 (en) * 2007-05-11 2008-11-13 Bachrach Robert Z Batch equipment robots and methods within equipment work-piece transfer for photovoltaic factory
US7496423B2 (en) * 2007-05-11 2009-02-24 Applied Materials, Inc. Method of achieving high productivity fault tolerant photovoltaic factory with batch array transfer robots
US20080293329A1 (en) * 2007-05-21 2008-11-27 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for identifying a substrate edge profile and adjusting the processing of the substrate according to the identified edge profile
US7816617B2 (en) 2007-05-21 2010-10-19 Lockheed Martin Corporation Configurable intelligent conveyor system and method
CN101835698B (zh) * 2007-10-22 2015-04-15 应用材料公司 运送基板承载件的方法与设备
DE202014101003U1 (de) * 2014-03-06 2015-06-17 Kuka Systems Gmbh Fertigungsanlage
CN104016069B (zh) * 2014-06-12 2016-11-23 江苏恒康家居科技股份有限公司 一种慢回弹海绵枕输送系统
WO2017029873A1 (ja) * 2015-08-14 2017-02-23 村田機械株式会社 搬送車システム
CN106386727A (zh) * 2016-11-22 2017-02-15 郑飚 一种智能鱼漂
KR102240155B1 (ko) * 2017-03-29 2021-04-14 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 기판 이재 유닛, 기판 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법
CN114851117B (zh) * 2022-06-30 2022-09-09 四川晁禾微电子有限公司 一种三极管散热片组装夹具及设备
CN116960040B (zh) * 2023-09-15 2023-11-24 季华实验室 空中运输车控制方法、系统、电子设备及存储介质

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4534843A (en) * 1983-01-28 1985-08-13 Technic, Inc. Apparatus for electroplating and chemically treating contact elements of encapsulated electronic components and their like
US4540088A (en) * 1983-06-20 1985-09-10 Wheelabrator-Frye Inc. Component conveyor apparatus
US4650264A (en) * 1983-12-12 1987-03-17 Spacesaver Corporation Control system for vertical storage equipment
US4775046A (en) * 1986-01-17 1988-10-04 Future Automation, Inc. Transport belt for production parts
CN1204295A (zh) * 1995-12-09 1999-01-06 先进自动化体系有限公司 挑选及放置系统

Family Cites Families (139)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US404302A (en) * 1889-05-28 Compound for preserving timber
US2157283A (en) * 1937-04-12 1939-05-09 Link Belt Co Endless carrier or conveyer chain
US2268542A (en) * 1940-01-15 1942-01-06 Charles M Clarke Conveyer chain
US2689638A (en) * 1949-06-14 1954-09-21 Mojonnier Bros Co Conveyer
JPS5014015B1 (zh) 1969-10-18 1975-05-24
US3682295A (en) * 1970-05-11 1972-08-08 Ashworth Bros Inc Edge driven conveyor system
NL151955B (nl) 1970-06-10 1977-01-17 Leidsche Apparatenfabriek Nv Selecteerinrichting voor aan een zijde open holle voorwerpen.
US3664491A (en) * 1970-06-11 1972-05-23 Granco Equipment Conveyor slat construction
US3788455A (en) * 1971-05-10 1974-01-29 Food Equipment Corp Curved-path slat belt conveyor
US3722656A (en) 1971-06-23 1973-03-27 Rexham Corp System for handling and accumulating articles
US3734263A (en) 1971-07-02 1973-05-22 A Dirks Revolvable station for processing a movable procession of factory-work pieces such as animal carcasses
US3815723A (en) 1971-11-05 1974-06-11 Cutler Hammer Inc Method and apparatus for transferring and storing articles
US3737024A (en) * 1971-11-24 1973-06-05 J Gelzer Work-supporting fixture for a conveyor system
US3730331A (en) * 1972-01-10 1973-05-01 Fenco Inc Conveyor device
IT968102B (it) 1972-12-18 1974-03-20 Acma Spa Apparato per ordinare a passo oggetti provenienti disordina tamente da una linea erogatrice e per trasferirli quindi ad una linea ricevitrice
FR2225363B1 (zh) 1973-04-10 1977-09-02 Remy & Cie E P
JPS5313182Y2 (zh) * 1973-05-22 1978-04-10
US3865229A (en) * 1973-05-29 1975-02-11 Borg Warner Conveyor belt
CH553709A (de) * 1973-07-09 1974-09-13 Sig Schweiz Industrieges Foerderanlage mit vorrichtung zum trennen von in gegenseitiger beruehrung auf einem eingangsfoerderer zulaufenden gegenstaenden.
US4029194A (en) 1974-05-13 1977-06-14 Pemco, Inc. Automatic indexing and transferring apparatus
US3967721A (en) * 1974-07-08 1976-07-06 Fmc Corporation Belt drive conveyor system
US4040302A (en) 1975-01-03 1977-08-09 Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha Chain drive for a transfer machine
US4033403A (en) 1975-09-17 1977-07-05 Seaton Engineering Company Synchronizing velocity and position control
US4044886A (en) 1975-12-29 1977-08-30 Sender Wilfred E System for handling structural members
US4084687A (en) * 1976-07-02 1978-04-18 The Laitram Corporation Conveyor having resilient conveying surface
US4166527A (en) * 1977-08-01 1979-09-04 Stelron Cam Company Device for picking up and placing articles on movable conveyors and assembly lines and to an endless construction and to an article pickup and deposit device therefor
FR2417455A1 (fr) 1978-02-20 1979-09-14 Arenco Decoufle Sa Fse Dispositif pour transferer transversalement des objets cylindriques en forme de tiges, se deplacant longitudinalement
US4340137A (en) 1978-03-27 1982-07-20 Opcon, Inc. Cant movement and aligning mechanism
NL172429C (nl) * 1978-09-21 1983-09-01 Tevopharm Schiedam Bv Inrichting voor het tussen de meenemers van een sleeptransporteur toevoeren van voorwerpen.
DE2848773A1 (de) 1978-11-10 1980-05-22 Schmermund Maschf Alfred Vorrichtung zum queraxialen foerdern und speichern von zigaretten
US4222479A (en) * 1978-11-13 1980-09-16 Coors Container Company Container conveying and transfer system
JPS6037380Y2 (ja) * 1980-05-23 1985-11-07 新田ベルト株式会社 ベルト式トロリコンベア
US4401522A (en) * 1980-09-29 1983-08-30 Micro-Plate, Inc. Plating method and apparatus
IT1188972B (it) 1980-12-12 1988-01-28 Gd Spa Dispositivo di trasferimento per articoli a forma di barretta
US4394901A (en) * 1980-12-16 1983-07-26 Ashworth Bros., Inc. Modular plastic conveyor belt
US4450950A (en) * 1981-05-12 1984-05-29 Eastman Kodak Company Work piece transfer mechanism
US4653630A (en) * 1981-11-16 1987-03-31 Anna Bravin Method of and device for controlling the transfer of articles from a first conveyor belt to predetermined locations on a second conveyor belt
FR2524436B1 (fr) 1982-04-02 1985-09-27 Nantaise Biscuiterie Dispositif regulateur de transfert de produits solides identiques entre des machines amont et aval de vitesses differentes
US4538720A (en) * 1983-03-25 1985-09-03 Pet, Incorporated Apparatus for transferring articles between conveyors
US4524858A (en) 1983-05-24 1985-06-25 Maxey Carl W Edger transport and position apparatus
JPS6034311A (ja) 1983-07-28 1985-02-21 日本たばこ産業株式会社 停止待機運転制御式集積包装機の製品受渡搬送装置
US4667809A (en) 1983-10-19 1987-05-26 Trimmer Machine Co., Inc. Apparatus for aligning signatures
ATE30001T1 (de) * 1983-10-20 1987-10-15 Tetra Pak Ab Stau- und transportvorrichtung fuer gegenstaende.
US4585126A (en) 1983-10-28 1986-04-29 Sunkist Growers, Inc. Method and apparatus for high speed processing of fruit or the like
US4552261A (en) * 1983-12-27 1985-11-12 Standard-Knapp, Inc. Article grouper for case packer
US4603770A (en) 1984-01-18 1986-08-05 Hartness Thomas Signor Rake conveyor apparatus
US4584944A (en) * 1984-04-25 1986-04-29 Jervis B. Webb Company Conveyor system with automatic load transfer
US4702365A (en) * 1984-09-10 1987-10-27 Pak Chong Il Apparatus for removing individual wafer segments from a framed carrier
DE3433379A1 (de) * 1984-09-12 1986-03-20 Breco Kunststoffverarbeitungs-Gesellschaft mbH & Co KG, 4952 Porta Westfalica Transportband aus kunststoff mit zugfester armierung und antriebsverzahnung
IT1181265B (it) 1984-12-06 1987-09-23 Gd Spa Dispositivo per il trasferimento di articoli a forma di barretta
US4750605A (en) * 1985-08-07 1988-06-14 Lamb Technicon Corp. Workpiece transfer system
DE3673307D1 (de) * 1985-10-09 1990-09-13 Sig Schweiz Industrieges Vorrichtung zum vereinzeln und zum zufuehren von laenglichen nahrungsmittelprodukten zu einer verpackungsmaschine.
CA1261368A (en) * 1985-10-28 1989-09-26 Donald C. Crawford Computer controlled non-contact feeder
GB2187120B (en) 1986-02-27 1990-01-04 Honda Motor Co Ltd System for installing parts on workpiece
US4901843A (en) * 1986-04-02 1990-02-20 Minnesota Automation, Inc. Advancing motion rotary apparatus
US4898373A (en) 1986-07-03 1990-02-06 Newsome John R High speed signature manipulating apparatus
US4869637A (en) 1986-08-27 1989-09-26 Bud Antle, Inc. Plant transfer mechanism
US5110249A (en) 1986-10-23 1992-05-05 Innotec Group, Inc. Transport system for inline vacuum processing
US4852717A (en) * 1986-11-12 1989-08-01 Fmc Corporation Computer controlled light contact feeder
US4708727A (en) * 1986-11-14 1987-11-24 Vitro Tec Fideicomiso Method and apparatus for synchronizing the velocity of a 90 degree push-out apparatus and of the carrier converyor in an I.S. glassware forming machine
US4759439A (en) 1987-01-29 1988-07-26 Dominion Chain Inc. Drive mechanism
US4813528A (en) 1987-02-06 1989-03-21 Dominion Chain Inc. Conveyor loading system
US4765453A (en) 1987-04-27 1988-08-23 Westinghouse Electric Corp. Pellet-press-to-sintering-boat nuclear fuel pellet loading system
DE3724693C2 (de) 1987-07-25 1996-10-17 Bosch Gmbh Robert Verfahren und Vorrichtung zum Überführen von Gegenständen in eine Fördereinrichtung einer Verpackungsmaschine
US4830180A (en) 1988-01-15 1989-05-16 Key Technology, Inc. Article inspection and stabilizing system
US5086909A (en) 1988-09-23 1992-02-11 Powell Machinery, Inc. Gentle handling of fruit during weight sizing and other operations
JP2905857B2 (ja) * 1989-08-11 1999-06-14 東京エレクトロン株式会社 縦型処理装置
US5135102A (en) 1989-09-19 1992-08-04 Quipp, Incorporated Sorting conveyor
JPH03106721A (ja) 1989-09-21 1991-05-07 Mitsubishi Electric Corp 縦型ウエーハ搬送装置
JPH03132691A (ja) * 1989-10-18 1991-06-06 Casio Comput Co Ltd 表示パネルの実装構造
DE3938719A1 (de) * 1989-11-23 1991-05-29 Rovema Gmbh Verfahren und vorrichtung zur foerderung und synchronisierung der bewegung von gegenstaenden
US5052544A (en) * 1989-12-29 1991-10-01 Apv Douglas Machine Corporation Tray loading machine
EP0459691A1 (en) * 1990-05-21 1991-12-04 Ucc Corporation Modular conveyor belt
US5207390A (en) * 1990-08-30 1993-05-04 Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha Operation control system for a shredder
US5261935A (en) * 1990-09-26 1993-11-16 Tokyo Electron Sagami Limited Clean air apparatus
DE4111899A1 (de) 1991-04-12 1992-10-15 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zum transportieren von gegenstaenden in eine foerdereinrichtung einer verpackungsmaschine
US5099896A (en) 1991-04-24 1992-03-31 Harvey Industries, Inc Rotary board pick/store/place method and apparatus
IT1252458B (it) 1991-07-29 1995-06-16 Gd Spa Metodo per il trasferimento di prodotti fra trasportatori dotati di moto continuo
US5231926A (en) 1991-10-11 1993-08-03 Sequa Corporation Apparatus and method for substantially reducing can spacing and speed to match chain pins
US5123518A (en) * 1991-12-12 1992-06-23 Pfaff Ernest H Apparatus for properly positioning vials
FR2692878B1 (fr) * 1992-06-24 1995-07-13 Patin Pierre Element de transporteur a vitesse variable.
US5320208A (en) 1992-07-02 1994-06-14 Utica Enterprises, Inc. Reciprocating lift mechanism
CA2074789C (en) 1992-07-28 1995-12-05 Joel W. Jones Precision guided transfer fixture
US5207309A (en) 1992-08-18 1993-05-04 Simpkin Steven W Concomitant motion control device
US5341915A (en) * 1992-11-06 1994-08-30 Kliklok Corporation Article phasing, transfer and squaring system for packaging line
FR2698551B1 (fr) * 1992-11-27 1994-09-23 Stephanois Rech Mec Dispositif pour la réalisation d'une surface mobile au moyen de lames articulées.
US5269119A (en) 1993-03-12 1993-12-14 Ossid Corporation Linearly reciprocating conveyor apparatus
KR100221983B1 (ko) * 1993-04-13 1999-09-15 히가시 데쓰로 처리장치
US5377819A (en) * 1993-07-02 1995-01-03 The Laitram Corporation Conveyor apparatus and method
US5565034A (en) * 1993-10-29 1996-10-15 Tokyo Electron Limited Apparatus for processing substrates having a film formed on a surface of the substrate
WO1995017267A1 (de) * 1993-12-23 1995-06-29 Siemens Aktiengesellschaft Übergabeeinrichtung für stückgut, insbesondere für postgut
JPH0817894A (ja) * 1994-06-27 1996-01-19 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板表面処理装置
US5560471A (en) * 1994-09-28 1996-10-01 Tetra Laval Holdings & Finance S. A. Apparatus for transferring containers to a moving conveyor
US5653327A (en) * 1994-10-21 1997-08-05 Electrocom Gard Ltd. Inserter device and a method for transposing a stream of products using the same
IT1267468B1 (it) * 1994-10-27 1997-02-05 Hitech Systems Srl Macchina perfezionata per il raggruppamento, a scopo di confezionamento, di prodotti convogliati singolarmente,
US5588282A (en) * 1994-11-10 1996-12-31 Hartness International, Inc. Continuous motion case packing apparatus and method
TW297910B (zh) * 1995-02-02 1997-02-11 Tokyo Electron Co Ltd
US5628614A (en) 1995-03-16 1997-05-13 Douglas Machine Limited Liability Company Continuous motion stacking apparatus and methods
US5667056A (en) 1995-06-06 1997-09-16 Sears, Roebuck And Co. Hanger transport system
US5617944A (en) 1995-06-15 1997-04-08 Valiant Machine & Tool, Inc. Shuttle transfer assembly
US5558198A (en) 1995-09-18 1996-09-24 Juarez; Ramiro O. Band transportation system
US5762544A (en) * 1995-10-27 1998-06-09 Applied Materials, Inc. Carrier head design for a chemical mechanical polishing apparatus
IT1285453B1 (it) * 1996-01-25 1998-06-08 Ima Spa Metodo ed apparecchiatura per il prelievo e l'impilaggio di prodotti alimentari in file multiple e per il convogliamento delle pile di
US6227348B1 (en) * 1996-01-26 2001-05-08 Elpatronic Ag Method and apparatus for separating and bringing together series of container bodies
US6036426A (en) * 1996-01-26 2000-03-14 Creative Design Corporation Wafer handling method and apparatus
US5573106A (en) * 1996-02-05 1996-11-12 Rexnord Corporation Modular conveyor chain including headed hinge pins
US5681597A (en) * 1996-02-06 1997-10-28 Liquid Container L.P. Vacuum conveyor picker for blow bottle container
NL1002501C2 (nl) * 1996-03-01 1997-09-03 Mcc Nederland Kunststof module voor een transportmat.
NL1003057C2 (nl) * 1996-05-07 1997-11-10 Greefs Wagen Carrosserie Inrichting en werkwijze voor het aan-, afvoeren en overbrengen van voorwerpen, zoals vruchten.
IT1285694B1 (it) * 1996-05-08 1998-06-18 Azionaria Costruzioni Acma Spa Metodo ed unita' per la formazione ed il convogliamento di gruppi di prodotti
US5823319A (en) 1996-05-10 1998-10-20 The Buschman Company Control system for the drop-out zone of a constant speed accumulating conveyor
CA2259121A1 (en) * 1996-05-13 1997-11-20 Thomas Muller Method for the suspended conveying of containers and device for carrying out said method
DE59603565D1 (de) * 1996-05-14 1999-12-09 Nordischer Maschinenbau Einrichtung zur Bearbeitung von Geflügelkörpern
US5827118A (en) * 1996-08-28 1998-10-27 Seh America, Inc. Clean storage unit air flow system
FR2754525B1 (fr) * 1996-10-14 1998-12-31 Eurocri Soc Nouv Procede et dispositif de transport de produits selon un pas determine
US5980183A (en) * 1997-04-14 1999-11-09 Asyst Technologies, Inc. Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system
US6579052B1 (en) * 1997-07-11 2003-06-17 Asyst Technologies, Inc. SMIF pod storage, delivery and retrieval system
US6183186B1 (en) * 1997-08-29 2001-02-06 Daitron, Inc. Wafer handling system and method
US6235634B1 (en) * 1997-10-08 2001-05-22 Applied Komatsu Technology, Inc. Modular substrate processing system
JP3546217B2 (ja) * 1997-11-21 2004-07-21 株式会社ダイフク 物品移載装置
JPH11165762A (ja) * 1997-12-01 1999-06-22 Lintec Corp チップ体搬送用カバーテープおよび封止構造体
JP3446598B2 (ja) * 1998-03-23 2003-09-16 株式会社村田製作所 チップ部品の移載装置
DE19816688A1 (de) * 1998-04-15 1999-10-28 Wf Logistik Gmbh Fördergutträger
DE29810942U1 (de) * 1998-06-18 1999-10-28 Wf Logistik Gmbh Umlenkeinrichtung
US6223886B1 (en) * 1998-06-24 2001-05-01 Asyst Technologies, Inc. Integrated roller transport pod and asynchronous conveyor
KR100646906B1 (ko) * 1998-09-22 2006-11-17 동경 엘렉트론 주식회사 기판처리장치 및 기판처리방법
US6481558B1 (en) * 1998-12-18 2002-11-19 Asyst Technologies, Inc. Integrated load port-conveyor transfer system
DE19900461C2 (de) * 1999-01-08 2002-10-31 Infineon Technologies Ag Transportvorrichtung
ATE280976T1 (de) * 2000-03-24 2004-11-15 Infineon Technologies Ag Gehäuse für biometrische sensorchips
US6581750B1 (en) * 2000-07-26 2003-06-24 Carl Strutz & Co., Inc. Method and apparatus for changing the orientation of workpieces about an angled axis for a decorator
US20020090282A1 (en) * 2001-01-05 2002-07-11 Applied Materials, Inc. Actuatable loadport system
CA2370416C (en) * 2001-02-07 2010-01-26 Denipro Ag Conveyor system
US6435331B1 (en) * 2001-03-16 2002-08-20 Lockheed Martin Corporation Dynamic gap establishing synchronous product insertion system
US20030010449A1 (en) * 2001-07-16 2003-01-16 Gramarossa Daniel J. Automatic wafer processing and plating system
US6511065B1 (en) * 2001-08-28 2003-01-28 Heidelberger Druckmaschinen Ag Method for transferring signatures and gripper assembly for a matched velocity transfer device
JP2003072835A (ja) * 2001-09-03 2003-03-12 Toshiba Corp 電子部品用キャリアテープ及び電子部品の実装方法
GB2386356A (en) * 2002-03-12 2003-09-17 Molins Plc Spiral conveyor
US7077264B2 (en) * 2003-01-27 2006-07-18 Applied Material, Inc. Methods and apparatus for transporting substrate carriers
US7051870B2 (en) * 2003-11-26 2006-05-30 Applied Materials, Inc. Suspension track belt

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4534843A (en) * 1983-01-28 1985-08-13 Technic, Inc. Apparatus for electroplating and chemically treating contact elements of encapsulated electronic components and their like
US4540088A (en) * 1983-06-20 1985-09-10 Wheelabrator-Frye Inc. Component conveyor apparatus
US4650264A (en) * 1983-12-12 1987-03-17 Spacesaver Corporation Control system for vertical storage equipment
US4775046A (en) * 1986-01-17 1988-10-04 Future Automation, Inc. Transport belt for production parts
CN1204295A (zh) * 1995-12-09 1999-01-06 先进自动化体系有限公司 挑选及放置系统

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
CN 1204295 A,全文.

Also Published As

Publication number Publication date
WO2004068563A2 (en) 2004-08-12
EP1445794A2 (en) 2004-08-11
KR20040068881A (ko) 2004-08-02
US7537108B2 (en) 2009-05-26
JP2004274033A (ja) 2004-09-30
US20060260916A1 (en) 2006-11-23
US20070278067A1 (en) 2007-12-06
JP4537720B2 (ja) 2010-09-08
EP1445794B1 (en) 2006-11-02
US20060243565A1 (en) 2006-11-02
US7506752B2 (en) 2009-03-24
TWI330166B (en) 2010-09-11
CN1537797A (zh) 2004-10-20
DE602004014420D1 (de) 2008-07-24
EP1975996A2 (en) 2008-10-01
DE602004002971D1 (de) 2006-12-14
EP1975996A3 (en) 2012-08-08
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US7293642B2 (en) 2007-11-13
US7367446B2 (en) 2008-05-06
US20040191030A1 (en) 2004-09-30
US7077264B2 (en) 2006-07-18
TW200415098A (en) 2004-08-16
US20070056834A1 (en) 2007-03-15
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DE602004002971T2 (de) 2007-03-01

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