CN1288560A - 写/读头支撑机构以及写/读系统 - Google Patents

写/读头支撑机构以及写/读系统 Download PDF

Info

Publication number
CN1288560A
CN1288560A CN99802132A CN99802132A CN1288560A CN 1288560 A CN1288560 A CN 1288560A CN 99802132 A CN99802132 A CN 99802132A CN 99802132 A CN99802132 A CN 99802132A CN 1288560 A CN1288560 A CN 1288560A
Authority
CN
China
Prior art keywords
slider
suspension
actuator
writing
support mechanism
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN99802132A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1145933C (zh
Inventor
市川慎司
添野佳一
纲隆满
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Publication of CN1288560A publication Critical patent/CN1288560A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1145933C publication Critical patent/CN1145933C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
    • G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
    • G11B21/18—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is moving
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
    • G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
    • G11B21/22—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is out of operative position
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/40—Protective measures on heads, e.g. against excessive temperature 
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/4826—Mounting, aligning or attachment of the transducer head relative to the arm assembly, e.g. slider holding members, gimbals, adhesive
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/4826—Mounting, aligning or attachment of the transducer head relative to the arm assembly, e.g. slider holding members, gimbals, adhesive
    • G11B5/483—Piezo-electric devices between head and arm, e.g. for fine adjustment
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
    • G11B5/55—Track change, selection or acquisition by displacement of the head
    • G11B5/5521—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks
    • G11B5/5552—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks using fine positioning means for track acquisition separate from the coarse (e.g. track changing) positioning means
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0925—Electromechanical actuators for lens positioning
    • G11B7/0929—Electromechanical actuators for lens positioning for tracking only
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0925—Electromechanical actuators for lens positioning
    • G11B7/0932—Details of sprung supports
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0925—Electromechanical actuators for lens positioning
    • G11B7/0935—Details of the moving parts
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0925—Electromechanical actuators for lens positioning
    • G11B7/0937—Piezo-electric actuators
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/122—Flying-type heads, e.g. analogous to Winchester type in magnetic recording

Abstract

本发明的目的是提供一种用于磁盘系统或光盘系统的写/读头支撑机构,它具有一个致动器,用于产生滑动器的微位移,其中对电磁变换(器)元件或光学组件的任何静电击穿得到防止,而不损害致动器的位移能力。本发明的写/读头支撑机构包括一个滑动器2和一个悬架3滑动器2配备有一个电磁变换(器)元件或一个光学组件。滑动器2通过一个用于移动滑动器2的致动器4支撑在悬架3上。悬架3所具有的一个接地区通过一个电连接部件8与滑动器2电连接,电连接部件8可通过所述致动器4沿滑动器2的位移方向移动和/或变形。

Description

写/读头支撑机构以及写/读系统
技术领域
本发明涉及一种用于写/读系统，例如硬盘驱动器(下文简称为HDD)或光盘驱动器的写/读头支撑机构，以及一种包括这样写/读头支撑机构的写/读系统。
背景技术
与HDD一起使用的现有技术的磁头支撑机构，一般由带有电磁变换(器)元件的滑动器，用于支撑该滑动器的悬架、以及与该电磁变换(器)元件相连接的互连图案组成。
该电磁变换(器)元件包括用于将电信号转换为磁信号的磁极与线圈(反之亦然)，用于将磁信号变换为电压信号的磁阻效应元件等等，每一个都是通过薄膜工艺、组装工艺等进行制造的。该滑动器由非磁性陶瓷，比如Al2O3-TiC或CaTiO3构成，或者由磁性材料，比如铁氧体构成，并且一般具有立方体形状。和盘介质相对的滑动器的表面(空气支承表面)构成适合于产生压力的形状，以使滑动器以小的间隙飞过盘介质。用于支撑滑动器的悬架通过弯曲、冲压或以其它方式加工弹性不锈钢板而形成。
当滑动器用于实际应用时，在滑动器上产生静电。这种静电的产生是由于在接触开始停止(CSS)处滑动器的飞行表面与盘介质的表面之间的滑动，由于滑动器相对高速旋转的盘介质的表面非常小量的飞行引起的滑动器飞行表面与盘介质的表面之间的接触，由于滑动器与空气之间的摩擦等。
当在滑动器上产生静电时，静电经常造成电磁变换(器)元件的静电击穿。为了避免这种情况，大多数磁头的滑动器与地连接(例如JP-A2-61810,JP-A 2-244419和JP-A 8-111015)。上述JP-A 2-61810公开一种薄膜磁头，其中把一个导体与安装在滑动器上的磁芯电连接，用导电粘合剂把该导体与处在地电位的悬架的万向接头部分结合。上述JP-A 2-244419公开了用导电粘合剂把滑动器的侧面与悬架结合在一起。上述JP-A 8-111015公开了一种磁头系统，其中在悬架上设置的柔性布线衬底上安装一个接地电极，然后使该接地电极与滑动器电连接。
另一方面，随着记录密度越来越高，HDD越来越要求缩减尺寸，因此，HDD具有越来越高的轨迹密度和越来越窄的轨迹宽度。为了改进高密度记录HDD中的轨迹精度，提供带有致动器的磁头，以使电磁变换(器)元件或滑动器相对悬架实现微位移是有效的。这样的致动器例如在JP-A 6-259905，JP-A 6-309822和JP-A 8-180623中公开。
发明概述
在一种带有致动器的磁头中，当致动器驱动滑动器时，滑动器相对悬架位移。因此有可能的是，把悬架侧与滑动器侧连接的电线会损害这种位移。
然而，上述出版物各公开了致动器的准备，而没有提及任何关于滑动器与地的连接。因此，或者说当然，这些出版物没有公开任何把滑动器与地连接的装置，以当设置这种装置时不会损害致动器的位移能力。
本发明的目的是提供一种用于磁盘系统或光盘系统的写/读头支撑机构，它有一个致动器，用于产生电磁变换(器)元件或滑动器的微位移，其中对电磁变换(器)元件或光学组件的任何静电击穿得到防止，而不损害致动器的位移能力。
这样的目的可由下列结构来实现。
(1)一种写/读头支撑机构，包括一个滑动器和一个悬架，滑动器配备有一个电磁变换(器)元件或一个光学组件，其中所述滑动器通过一个用于移动所述滑动器的致动器支撑在所述悬架上，并且
所述悬架具有的一个接地区通过一个电连接部件与所述滑动器电连接，该电连接部件可通过所述致动器沿所述滑动器的位移方向移动和/或变形。
(2)根据上述(1)的写/读头支撑机构，其中所述悬架由导电材料制成，并且所述悬架本身用作所述接地区。
(3)根据上述(1)的写/读头支撑机构，其中所述悬架在其表面上设置一个接地电极，用作所述接地区。
(4)一种写/读头支撑机构，包括一个滑动器和一个悬架，滑动器配备有一个电磁变换(器)元件或一个光学组件，其中所述滑动器通过一个用于移动所述滑动器的致动器支撑在所述悬架上，并且
所述致动器的至少一部分配备有一个导电区，所述悬架具有的一个接地区通过该导电区与所述滑动器电连接。
(5)根据上述(4)的写/读头支撑机构，其中一用于驱动所述致动器的接地电极被用作所述导电区。
(6)一种写/读头支撑机构，包括一个滑动器和一个悬架，滑动器配备有一个电磁变换(器)元件或一个光学组件，其中所述滑动器通过一个用于移动所述滑动器的致动器支撑在所述悬架上，并且该写/读头支撑机构包括一个互连图案，它包括一条与所述电磁变换(器)元件或所述光学组件电连接的线，和一条与所述滑动器电连接的接地线，所述互连图案包括一条与所述悬架紧密接触的紧密接触线，和一条离开所述悬架延伸到所述滑动器，并且可通过所述致动器沿所述滑动器的位移方向移动和/或变形的浮动线。
(7)一种写/读头支撑机构，包括一个滑动器和一个悬架，滑动器配备有一个电磁变换(器)元件或一个光学组件，其中所述滑动器通过一个用于移动所述滑动器的致动器支撑在所述悬架上，
所述悬架的前端部分包括一个柔性区，它向滑动器侧转弯或弯曲，并且可通过所述致动器沿所述滑动器的位移方向移动和/或变形，并且
一个互连图案与所述柔性区的表面紧密接触，所述互连图案包括一条与所述电磁变换(器)元件或所述光学组件电连接用的线，和一条与所述滑动器电连接用的接地线。
(8)根据上述(6)或(7)的写/读头支撑机构，其中所述悬架由导电材料制成，并且从所述互连图案引出的所述接地线与所述悬架电连接。
(9)一种写/读系统，包括如上述(1)至(8)中任何一个所述的写/读头支撑机构。
附图简述
图1是说明根据本发明第一方面的磁头的一种示范结构的侧视图，其中滑动器通过致动器安装在悬架上。
图2是说明根据第一方面的磁头的另一示范结构的平面图，其中滑动器通过致动器安装在和介质相对的悬架的表面上。
图3是说明根据第一方面的磁头的又一示范结构的侧视图，其中滑动器通过致动器安装在悬架上。
图4是说明根据本发明第二方面的磁头的一种示范结构的侧视图，其中滑动器通过致动器安装在悬架上。
图5是说明根据第二方面的磁头的另一示范结构的侧视图，其中滑动器通过致动器安装在悬架上。
图6是说明根据第二方面的磁头的又一示范结构的侧视图，其中滑动器通过致动器安装在悬架上。
图7是说明根据本发明第三方面的磁头的一种示范结构的平面图，其中滑动器通过致动器安装在和介质相对的悬架的表面上。
图8是说明根据第三方面的磁头的另一示范结构的平面图，其中滑动器通过致动器安装在和介质相对的悬架的表面上。
图9是说明根据第三方面的磁头的又一示范结构的平面图，其中滑动器通过致动器安装在和介质相对的悬架的表面上。
图10是说明根据第三方面的磁头的再一示范结构的平面图，其中滑动器通过致动器安装在和介质相对的悬架的表面上。
图11是说明磁头支撑机构的一种示范结构的分解透视图。
本发明的最佳实施方式
根据本发明的写/读头支撑机构，包括一配备有电磁变换(器)元件或光学组件的滑动器，以及一悬架，悬架上安装该滑动器同时一使该滑动器移动的移动器置于它们之间。现在将参照带有安装于滑动器上的电磁变换(器)元件的磁头对本发明进行解释。
首先，对悬架、致动器和滑动器的典型结构进行说明。
图11为包括致动器的磁头支撑机构一示范结构的分解透视图。该磁头支撑机构由配备有电磁变换(器)元件1的滑动器2和用于支撑该滑动器2的悬架3构成，悬架3带有致动器4置于该滑动器2和悬架3之间。
致动器4被提供来引起滑动器2相对于悬架3的微量位移，并通过与位于悬架3一端部的万向块3a相接合进行固定。万向接头块3a通过用刻蚀、冲压或其它类似方法在悬架构件中设置沟槽来构成，以使该滑动器能跟随盘介质表面。这里要指出的是，该磁头配备一主致动器(VCM或其它类似装置)用于驱动整个悬架。
致动器4包括一固定部分43和一可动部分44，并进一步包括两个杆状位移发生机构41和41。每个位移发生机构41至少配备一个在两面具有电极层的压电或电致伸缩材料层，并以如此方式构成，致使它依照施加在电极层上的电压产生伸长与缩短。该压电或电致伸缩材料层由压电或电致伸缩材料构成，依靠逆压电效应或电致伸缩效应产生伸长与缩短。位移发生机构41的一端通过固定部分43与悬架相联接，而且位移发生机构41的另一端通过可动部分44与滑动器相联接。依照位移发生机构41的伸长与缩短，滑动器如此地产生移动，使得电磁变换(器)元件产生环形移动。这进而引起电磁变换(器)元件横跨盘介质上的记录轨迹。
在夹在致动器4的位移发生机构41中电极层之间的压电或电致伸缩材料层由所谓的压电材料，比如PZT构成时，该压电或电致伸缩材料层通常要经过极化处理，以便改善其位移能力。通过此极化处理的极化方向为该致动器的厚度方向。当依照施加在电极层上的电压的电场方向与该极化方向成直线时，两电极层之间的压电或电致伸缩材料层沿其厚度方向上伸长(纵向压电效应)，而沿其平面方向缩短(横向压电效应)。另一方面，当电场方向与极化方向相反时，压电或电致伸缩材料层沿其厚度方向缩短(纵向压电效应)，而沿其平面方向伸长(横向压电效应)。当收缩感生的电压交替地施加于一个位移发生机构与另一个位移发生机构上时，一个位移发生机构与另一个位移发生机构之间的长度比发生变化，以致两个位移发生机构在该致动器平面中的同一方向内产生偏斜。通过这一偏斜，可动部分44以不存在电压时由可动部分44的位置限定的滚转与俯仰运动为中心，沿图11中箭头所示的方向相对于固定部分43产生滚转与俯仰。这一滚转与俯仰运动使得可动部分44可沿基本上垂直于位移发生机构41的伸长与缩短方向的方向作环形移动，且此滚转与俯仰运动的方向位于致动器的平面内。然而，电磁变换(器)元件也在环形轨道内产生滚转与俯仰。此时，不用担心极化的减弱，因为电压方向与极化方向是成直线的。需要指出的是，即使当因交替施加于其上的电压使两个位移发生机构伸长时，类似的滚转与俯仰运动也会发生。
在所说明的实施例中，电压可以这样的方式同时加在两个位移发生机构上，使得它们的位移彼此反向。换句话说，交变电压可以这样的方式同时加在两个位移发生机构上，使得一个伸长而另一个缩短，反之亦然。此时，可动部分44的滚转与俯仰运动的中心由不存在电压时可动部分44的位置予以限定。假定此处使用同一激励电压，滚转与俯仰运动的幅度比电压交替运用的情况大一倍左右。于是，在此情况下滚转与俯仰运动的一侧位移发生机构如此伸长，以致激励电压的方向与极化方向相反。因此，压电或电致伸缩材料层的极化在施加高电压下或在持续施加电压时可能产生衰减。因而要求在与极化方向相同的方向施加衡定的直流偏压并将前述交变电压叠加在该偏压上以获得激励电压，从而排除激励电压的方向与极化方向相反的可能性。在此情况下，滚转与俯仰运动的中心由在该偏压单独加于其上时的位移发生机构的状态限定。
所说明的致动器具有一种结构，其中位移发生机构41、以及固定与可动部分43与44通过对带有在给定地段形成的电极层的薄片状压电或电致伸缩材料构件进行打孔与工槽成一整体的单独零件。因此可能提高致动器的硬度及尺寸精度，而无需担心组装的误差。此外，对致动器的生产不使用任何的粘合剂，因为在因位移发生机构的变形而产生应力的致动器位置附着任何粘合剂层是非常靠不住的。另外指出，如像由于粘合剂层造成传输损耗与粘合强度随时间变化的问题是绝对不可能发生的。
此处使用的“压电或电致伸缩材料”指的是由于逆向压电效应或电致伸缩效应能产生伸长或缩短的材料。只要能应用于致动器位移发生机构的任何期望的压电或电致伸缩材料都可以使用。然而，由于高硬度的原因，通常优选使用陶瓷压电或电致伸缩材料，比如PZT[Pb(Zr,Ti)O3]、PT(PbTiO3)、PLZT[(Pb,La)(Zr,Ti)O3]，以及钛酸钡(BaTiO3)。当致动器由陶瓷压电或电致伸缩材料制做时，使用厚膜工艺，比如薄层加工或印刷方法可容易地生产。需要指出，该致动器也可用薄膜工艺进行生产。当压电或电致伸缩材料具有结晶学结构时，它既可以是多晶结构，也可是单晶结构。
对于如何形成电极层并不施加特定的限制；从各种工艺方法，比如印刷、焙烧、溅射以及导电膏的干燥中可做出适宜的选择，同时考虑到如何形成压电或电致伸缩材料层。
致动器可具有任意的结构，其中至少一个在两面上都有电极层的压电或电致伸缩材料层存在于位移发生机构上。但是，优选使用一种多层结构，其中两个或多个这样的压电或电致伸缩材料层彼此叠加。压电或电致伸缩材料层的伸长与缩短量正比于电场强度。然而，前述的多层结构使得它能够将压电或电致伸缩材料层做得如此之薄，以致所需电场强度可在低电压下获得，以致激励电压可以降低。使用与单层结构同样的激励电压时，伸长与缩短的量可变得大得多。压电或电致伸缩材料层的厚度不是关键性的，因而可依据各种条件，比如激励电压、需要的伸长与缩短总量以及生产的容易程序进行确定。然而，在本发明的实际应用中通常优选大约5μm至大约50μm的厚度。同样，彼此叠加的压电或电致伸缩材料层的数量的上限不是关键性的，因而可以这样的方法进行确定，能获得具有希望厚度的位移发生机构。需要指出，包覆的压电或电致伸缩材料层通常设置于最外部电极层上。
滑动器2由具有相对低电阻的陶瓷，例如Al2O3-TiC或Mn-Zn铁氧体构成。滑动器2在其一侧通过一绝缘层配备有磁芯或线圈，以形成电磁变换(器)元件1。
尽管没有说明，根据情况悬架3在其表面上装备有一激励致动器4的互连图案和一连接至电磁变换(器)元件1的互连图案。悬架3在其表面上还可配备一头激励IC芯片(读/写IC)。如果信号处理IC安装在该悬架上，则有可能减少从电磁变换(器)元件至该信号处理IC的互连图案的长度，以致信号频率可由于电感分量的降低而增高。
虽然本发明适用于使用图11所示整体结构的致动器的场合，应该理解，本发明还可应用于具有利用压电元件的组装结构的各种致动器、应用静电力的致动器、以及电磁力被应用的各种场合。
悬架3通常由弹性的金属材料，比如不锈钢构成。然而由绝缘材料如树脂构成悬架3也是可以接受的。另一方面，对于互连图案它的一部分具有一般的结构，其中树脂包覆导线与悬架表面产生紧密的接触。对于如何形成具有这种结构的互连图案并不施加特殊的限制；但是优选使用一种方法，其中在悬架3的表面上形成一绝缘树脂膜，并且随后通过在其上形成另一树脂膜作为保护膜而在该树脂膜上形成导线，以及一种方法，其中具有包括这样的树脂膜和导线的多层结构的互连膜(柔性布线衬底)结合至悬架3上。
在如上所述根据本发明构成的磁头支撑机构中，滑动器接地，以便防止电磁变换(器)元件的静电击穿。现在将具体说明根据本发明怎样使滑动器接地。
根据本发明的第一方面，悬架的一个接地区通过一个电连接部件与滑动器电连接，该电连接部件可通过致动器沿滑动器的位移方向移动和/或变形。
本发明的第一方面的一个示范结构示于图1中。图1是说明通过致动器4附于悬架3上的滑动器2的侧视图。粘合剂7a用于把致动器4的固定部分43粘合到悬架3上，并且把致动器4的可动部分44粘合到滑动器2上。悬架3由导电材料例如金属制成，并且保持在地电位。因此，悬架3本身提供上述接地区。滑动器2和悬架3用高度柔性的引线8电连接在一起，以使在滑动器2上产生的静电能通过引线8流到悬架3。这里注意，分别用导电粘合剂7b和7b把引线8粘合到滑动器2和悬架3。
本发明的第一方面的另一个示范结构示于图2。图2是从和介质相对的悬架3侧所见，通过致动器4附于悬架3上的滑动器2的平面图。如图2所示，悬架3在其表面上配备有接地线90，其一端与限定上述接地区的接地电极91连接。接地线90的另一端与处在地电位的导电体(HDD盒或其他类似装置)连接。接地电极91和滑动器2用高度柔性的引线8电连接在一起，也就是说，使滑动器2接地。这里注意，分别用导电粘合剂7b和7b把引线8粘合到滑动器2和悬架3上。在图2中，标号52表示致动器驱动线组件，它包括两条信号线和一条接地线，并且和悬架3的表面紧密接触地安排。标号51表示与电磁变换(器)元件电连接的信号线。该信号线从悬架3的背面伸出，并且绕过悬架3的前端返回，在设置在滑动器2上的电磁变换(器)元件中与端接电极组的连接处终止。
根据图1和图2的结构，其中所使用的引线8为高柔性，致动器4能在滑动器2接地下无扰动地位移。另外，引线8与滑动器2粘合的位置能相对自由地选择。根据图2所示结构，即使当悬架3由绝缘材料制成时，滑动器2也能接地。
图3是本发明的第一方面的又一个结构的说明。在图1中，致动器4位于滑动器2的背面，即和悬架3相对的滑动器2的表面上。然而在图3中，致动器4安排在滑动器2的侧面，以便使该结构的整个高度保持很低。在其他方面，图3的结构和图1的结构相同。在本发明第一方面内所包括的所有方面，滑动器如图1和图3中任何一个所示那样相对致动器定位。
根据本发明的第二方面，致动器的至少一部分配备有一个导电区，通过该导电区悬架的接地区与滑动器电连接。
本发明的第二方面的一个示范结构示于图4。图4是说明通过致动器4附于悬架3上的滑动器2的侧视图。悬架3由导电材料例如金属制成，并且保持为地电位。致动器在其表面上配备有接地导体9，它以这样方式取上述导电区的形状，以便固定部分43和可动部分44连接。分别使用导电粘合剂7b和7b将致动器4的固定部分43与悬架3粘合，并且将致动器4的可动部分44与滑动器2粘合。这些粘合剂7b和7b覆盖上述接地导体9的一端和另一端。因此，使滑动器2接地。
虽然取决于所使用的致动器的类型，但是注意，致动器的整个或表面部分可以由导电材料制成。在这种情况下，致动器的整个或表面部分可以用作上述导电区，以使滑动器与地连接。
本发明的第二方面的另一个示范结构示于图5。图5所示致动器4是如上所述这样的多层压电致动器。如已经说明的那样，多层压电致动器具有一种结构，其中压电或电致伸缩材料层夹在一对电极层之间。在图5的结构中，接地电极(图5所示的接地导体9)是该对电极层中的一个，它用作上述导电区，以使滑动器2与地连接。更进一步地说，接地导体9的两端在致动器4的侧面裸露。于是，分别使用导电粘合剂7b和7b，以使导体9的一端与悬架3电连接，而另一端与滑动器2电连接，从而使滑动器2与地连接。在其他方面，图5的结构和图4的结构相同。
根据图4和图5所示的结构，当把致动器4粘合到悬架3和滑动器2上时，分别使用导电粘合剂以代替常规粘合剂。当制造致动器4时，仅需要形成或裸露接地导体9，以使滑动器2与地连接。因此在滑动器2与地连接时，根本不损害致动器4的位移能力。另外，能减少把滑动器2与地连接的步骤数。
在图4和图5的结构中，仅利用导电粘合剂。然而在有些情况下，导电粘合剂比普通粘合剂粘性要差。这是因为导电粘合剂一般包括粘合树脂，其中分散导电材料，例如银箔或碳粉。如果要求，因此可以接受和这样的普通粘合剂混合使用导电粘合剂。
本发明的第二方面的又一结构示于图6。如图所示，配备有一个互连图案，它包括一个柔性布线衬底，包括一条与滑动器2上的电磁变换(器)元件电连接的信号线。这个互连图案由和悬架3的表面紧密接触的紧密接触线5A，以及从悬件3延伸到滑动器2的浮动线5B构成。这里注意，没有表示致动器的驱动线。
互连图案包括紧密接触线5A和浮动线5B，它是通过在和介质相对的悬架3的表面上形成包括柔性布线衬底的紧密接触线，然后除去悬架3的前端部分，从而使一部分紧密接触线置于飘浮状态而形成。在所说明的结构中，预先在悬架3的前端部分上形成和电磁变换(器)元件电连接的端接电极组。然后，使悬架3的前端部分的一部分这样除去，以便端接电极组的附近保留为端接电极板32。随后，使浮动线5B向滑动器2侧转弯或弯曲，以便端接电极板32的一面与滑动器2结合，而另一面与致动器4结合，同时使上述端接电极板与滑动器2上的端接电极组连接。悬架3的一部分的除去，例如可以通过冲压或湿法蚀刻来实现。
图6的结构和图5的结构类似，在于致动器4的接地导体9用作上述导电区，以使滑动器2与地连接。然而在图6结构中，在致动器4的可动部分44的侧面，用导电粘合剂7b使接地导体9与端接电极板32的一表面连接，并且用导电粘合剂7b使滑动器2与端接电极板32的另一表面连接。端接电极板32由和悬架3的导电材料相同的导电材料构成，以便滑动器2能与悬架3电连接。
在图5和图6的结构中，导电悬架3和接地导体9用导电粘合剂7b和7b连接在一起，以便滑动器2能通过它们与地连接。可选择地是，接地导体9可以与接地线连接，接地线又伸到悬架3侧。例如，如图2所示，可以使用包括接地线的致动器驱动线52。在这种情况下，接地线可以与导电悬架3或处在地电位的导电体(HDD盒等)连接。在前种情况下，从互连图案中某处引出的接地线可以与悬架3连接，如图10接地线90的情况那样。在后种情况下，悬架3不必要是导电体。如果利用接地线，因此有可能使滑动器2与地连接的制造步骤的变更最小。另外，由于致动器4与悬架3的结合可用普通粘合剂进行，所以有可能比用导电粘合剂实现较高的粘合强度。
根据本发明第三方面的磁头包括一个互连图案，它包括一条与电磁变换(器)元件电连接的线，和一条与滑动器连接的接地线。这个互连图案包括一条与悬架紧密接触的紧密接触线，和一条从悬架延伸到滑动器的浮动线。紧密接触线可通过致动器沿滑动器的位移方向移动和/或变形。
本发明的第三方面的一个示范结构示于图7。图7是从和介质相对的悬件3侧所见，通过致动器4附于悬架3上的滑动器2的平面图。
如图7所示，配备有一个互连图案，它包括一个柔性布线衬底51，包括一条与滑动器2上电磁变换(器)元件电连接的信号线。这个互连图案由和悬架3的表面紧密接触的紧密接触线5A，和从悬架3延伸到滑动器2侧的浮动线5B构成。在图7中，标号52表示致动器驱动线，它安排为和悬架3的表面紧密接触。
互连图案包括紧密接触线5A和浮动线5B，它是通过在和介质相对的悬架3的表面上形成包括柔性布线衬底的紧密接触线，然后除去悬架3的前端部分，从而使紧密接触线的一部分置于飘浮状态而形成。在所说明结构中，预先在柔性布线衬底的前端部分上形成和包括四个端接电极的端接电极组94。然后，使悬架3的前端部分的一部分这样除去，以便端接电极组94的附近保留为端接电极板32。随后，使浮动线5B向滑动器2侧转弯或弯曲，以便端接电极板32与滑动器2的背面结合，而端接电极组94与滑动器2上的端接电极组连接。然而注意，不一定要求形成端接电极板32，也就是说，可接受把浮动线5B直接与滑动器2上的端接电极组连接。悬架3的一部分的除去，例如可以通过冲压或湿法蚀刻来实现。
在图7中，浮动线5B这样形成，以便它可与滑动器2上的端接电极组连接，并且当设置在这样的连接状态时，可通过致动器4沿滑动器2的位移方向移动和/或变形。因此，浮动线5B不会损害致动器4的位移能力。
包括紧密接触线5A和浮动线5B的互连图案，除包括和电磁变换(器)元件电连接的信号线51外，还包括一条接地线90。接地线90一端与接地电极91连接，而另一端与处在地电位的导电体(HDD盒等)连接，接地电极91与浮动线5B上形成的端接电极组94并置。接地电极91通过导电粘合剂、金球或其他类似装置，与滑动器2电连接，也就是滑动器2能与地连接。
在图7的结构中，浮动线5B上的接地电极91与其上形成电磁变换(器)元件的滑动器2的表面电连接。然而，如图8所示，当在该表面上不暴露低电阻陶瓷材料，例如Al2O3-TiC时，可以通过改变接地电极91的位置，使它与其上暴露低电阻陶瓷材料的滑动器2的侧面连接。如图9所示，如果浮动线5B上的接地电极91通过引线8与地连接，那么有可能以相对自由的方式选择与滑动器连接的位置。
根据本发明的第三方面，使用和上述浮动线5B那样的柔线把滑动器2与地连接，因此在滑动器2与地连接下，几乎不减弱致动器4的位移能力。当滑动器2与地连接时，不必要改变致动器4的结构。和其他方面比较，本方面能以更加减少的步骤数实现，因此最适合于自动化。
本发明的第三方面的另一个示范结构示于图10。如图10所示，从紧密接触线5A引出的接地线90其端部用导电粘合剂7b固定在悬架3上。在这种结构中，悬架3由导电材料制成。在其他方面，图10的结构和图8的结构相同。
根据本发明第三方面的又一结构，紧密接触线5A可以在面背介质的悬架3的表面形成。邻接这条紧密接触线5A的浮动线5B于是允许绕过悬架3，并且在滑动器2终止。
在根据本发明第四方面的磁头中，悬架的前端部分向滑动器侧转弯或弯曲，并且它具有一个可通过致动器沿滑动器的位移方向移动和/或变形的柔性区。安排为和柔性区的表面紧密接触的互连图案，包括一条与电磁变换(器)元件电连接的线，和一条与滑动器电连接的接地线。
根据本发明第四方面的磁头，可以应用和根据本发明的第三方面的磁头的过程类似的过程来制造。返回参考说明本发明的第三方面的图7，端接电极片32与悬架3完全分开。然而，当制造根据本发明的第四方面的磁头时，可接受使端接电极片32与悬架3部分接触，从而允许上述互连图案与部分接触的面积紧密接触。然后，使悬架的前端部分这样转弯或弯曲，以便如图7所示端接电极片32的情况那样，使端接电极板绕过致动器4，并且到达滑动器2。对于这个结构，要求悬架的前端部分的刚性足够低，以便如上述转弯或弯曲，并且可通过致动器沿滑动器的位移方向移动和/或变形。具有这样低刚性的柔性区可以如上所述在形成紧密接触线之后，通过对悬架的前端部分的两端进行蚀刻而形成。可选择地，可以接受使用预先构成的这样形状的悬架，它具有降低刚性的前端部分。而且，如本发明的第三方面的情况那样，在本发明的第四方面，不一定要求形成端接电极片32。
虽然本发明是参照写/读头当中的HDD磁头进行的，但应理解，本发明也可应用于光盘系统。传统的光盘系统利用包括有至少包括一个透镜的光学组件的光拾取器。该光拾取器如此进行设计，使得该透镜可被机械调整，以便在光盘的记录表面上聚焦。近年来，近场记录被提出以便达到愈来愈高的光盘记录密度[可参见“NIKKEIELECTRONICS”,1997.6.16(No.691),99页]。这种近场记录利用一种类似于悬浮型磁头(flying magnetic head)用的悬浮头。装设于该滑动器内部的为一光学组件，其包括一被称作固体浸没透镜或者SIL的半球状透镜、磁场调制记录线圈以及预聚焦透镜。另一种近场记录用的悬浮头公开于No.5,497,359的美国专利中。随着更高的记录密度，这样的悬浮头也日益需要具有更高的跟踪精度，如HDD磁头的情形一样。于是，微量位移致动器对于该悬浮头也是有效的。因此，本发明也可应用于光学记录介质用的这种写/读头(光学头)。
更概括地说，本发明可应用的光学头包括一类似于前述磁头中的滑动器，且其中内置一光学组件，或者本身是由光学组件构成的滑动器。该光学组件至少包括一透镜，如果需要，还带有结合于其中的透镜致动器和磁场产生线圈。这种光学头，例如，不仅包括如上面刚描述的那种用于近场记录的悬浮头，而且包括其中滑动器可在记录介质表面上滑动的光学头，即假接触型(pseudo-contact type)或接触型光学头。为了对本发明应用于光学头的情况易于理解，前面说明中的电磁变换(器)元件应作为光学头被读出。应该理解，本发明同样可应用于准接触型或接触型磁头。
从概念上讲，这里使用的术语“写/读头”应包括写/读头、只写头、和只读头。同样，这里使用的术语“写/读系统”应包括写/读系统、只写系统、及只读系统。这里使用的术语“记录介质”，除可记录介质外，同样应包括只读型介质，比如只读光盘。
本发明的优点
在本发明的写/读头支撑机构中，滑动器能与地连接，而不损害致动器的位移能力，因此能防止电磁变换(器)元件或光学组件的任何静电击穿，而不牺牲它们的定位精度。

Claims (9)

1．一种写/读头支撑机构，包括一个滑动器和一个悬架，滑动器配备有一个电磁变换(器)元件或一个光学组件，其中所述滑动器通过一个用于移动所述滑动器的致动器支撑在所述悬架上，并且
所述悬架具有的一个接地区通过一个电连接部件与所述滑动器电连接，该电连接部件可通过所述致动器沿所述滑动器的位移方向移动和/或变形。
2．根据权利要求1的写/读头支撑机构，其中所述悬架由导电材料制成，并且所述悬架本身用作所述接地区。
3．根据权利要求1的写/读头支撑机构，其中所述悬架在其表面上配备有一个接地电极，用作所述接地区。
4．一种写/读头支撑机构，包括一个滑动器和一个悬架，滑动器配备有一个电磁变换(器)元件或一个光学组件，其中所述滑动器通过一个用于移动所述滑动器的致动器支撑在所述悬架上，并且
所述致动器的至少一部分配备有一个导电区，所述悬架具有的一个接地区通过该导电区与所述滑动器电连接。
5．根据权利要求4的写/读头支撑机构，其中一用于驱动所述致动器的接地电极被用作所述导电区。
6．一种写/读头支撑机构，包括一个滑动器和一个悬架，滑动器配备有一个电磁变换(器)元件或一个光学组件，其中所述滑动器通过一个用于移动所述滑动器的致动器支撑在所述悬架上，并且该写/读头支撑机构包括一个互连图案，它包括一条与所述电磁变换(器)元件或所述光学组件电连接的线，和一条与所述滑动器电连接的接地线，所述互连图案包括一条与所述悬架紧密接触的紧密接触线，和一条离开所述悬架延伸到所述滑动器，并且可通过所述致动器沿所述滑动器的位移方向移动和/或变形的浮动线。
7．一种写/读头支撑机构，包括一个滑动器和一个悬架，滑动器配备有一个电磁变换(器)元件或一个光学组件，其中所述滑动器通过一个用于移动所述滑动器的致动器支撑在所述悬架上，
所述悬架的前端部分包括一个柔性区，它向滑动器侧转弯或弯曲，并且可通过所述致动器沿所述滑动器的位移方向移动和/或变形，并且
一个互连图案与所述柔性区的表面紧密接触，所述互连图案包括一条与所述电磁变换(器)元件或所述光学组件电连接用的线，和一条与所述滑动器电连接用的接地线。
8．根据权利要求6或7的写/读头支撑机构，其中所述悬架由导电材料制成，并且从所述互连图案引出的所述接地线与所述悬架电连接。
9．一种写/读系统，包括如权利要求1至8中任何一个所述的写/读头支撑机构。
CNB998021326A 1998-11-13 1999-10-22 写/读头支撑机构以及写/读系统 Expired - Fee Related CN1145933C (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3411129/1998 1998-11-13
JP341129/1998 1998-11-13
JP34112998 1998-11-13

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2004100058333A Division CN1326119C (zh) 1998-11-13 1999-10-22 写/读头支撑机构以及写/读系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1288560A true CN1288560A (zh) 2001-03-21
CN1145933C CN1145933C (zh) 2004-04-14

Family

ID=18343534

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2004100058333A Expired - Fee Related CN1326119C (zh) 1998-11-13 1999-10-22 写/读头支撑机构以及写/读系统
CNB998021326A Expired - Fee Related CN1145933C (zh) 1998-11-13 1999-10-22 写/读头支撑机构以及写/读系统

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2004100058333A Expired - Fee Related CN1326119C (zh) 1998-11-13 1999-10-22 写/读头支撑机构以及写/读系统

Country Status (5)

Country Link
US (4) US6621661B1 (zh)
JP (1) JP3501758B2 (zh)
CN (2) CN1326119C (zh)
HK (1) HK1034350A1 (zh)
WO (1) WO2000030080A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1306479C (zh) * 2003-12-05 2007-03-21 希捷科技有限公司 盘片驱动器系统的变换器级微型执行机构及其制造方法

Families Citing this family (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000030081A1 (fr) * 1998-11-13 2000-05-25 Tdk Corporation Mecanisme de support de tete d'enregistrement/lecture et appareil d'enregistrement/lecture
KR100740572B1 (ko) * 2001-02-20 2007-07-19 후지쯔 가부시끼가이샤 헤드 슬라이더 및 그 제조 방법
JP2003016616A (ja) * 2001-06-29 2003-01-17 Toshiba Corp ヘッドサスペンションアッセンブリ、ディスク装置、およびヘッドサスペンションアッセンブリの製造方法
JP4144198B2 (ja) * 2001-07-04 2008-09-03 新科實業有限公司 振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたヘッドジンバルアセンブリ
JP4144196B2 (ja) * 2001-07-04 2008-09-03 新科實業有限公司 振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたヘッドジンバルアセンブリ
JP4144199B2 (ja) * 2001-07-13 2008-09-03 新科實業有限公司 振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたヘッドジンバルアセンブリ
US6738231B2 (en) * 2002-04-24 2004-05-18 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Piezoelectric microactuator for slider side actuation
US6833978B2 (en) * 2002-04-24 2004-12-21 Hitachi Global Storage Technologies Micro-actuator integrated lead suspension head terminations
US7064928B2 (en) * 2002-10-11 2006-06-20 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Method and apparatus for providing an additional ground pad and electrical connection for grounding a magnetic recording head
US7006330B1 (en) * 2003-03-10 2006-02-28 Western Digital Technologies, Inc. Head stack assembly including a ground conductive pad for grounding a slider to a gimbal
US7042670B2 (en) * 2003-07-11 2006-05-09 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Method for adjusting flying height of magnetic heads using an electrical charge through an electrical pad on the slider
US7230800B2 (en) * 2003-07-24 2007-06-12 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Microactuator for a hard disk drive with an integrated gimbal function
US7099117B1 (en) 2003-09-30 2006-08-29 Western Digital Technologies, Inc. Head stack assembly including a trace suspension assembly backing layer and a ground trace for grounding a slider
US7218482B2 (en) * 2004-01-26 2007-05-15 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Micro-actuator, head gimbal assembly and manufacturing method thereof
US7298593B2 (en) * 2004-10-01 2007-11-20 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Micro-actuator including a leading beam pivot part, head gimbal assembly and disk drive unit with the same
JP2006209918A (ja) * 2005-01-31 2006-08-10 Shinka Jitsugyo Kk ヘッドジンバルアセンブリの製造方法、ヘッドジンバルアセンブリおよび磁気ディスクドライブ装置
US7450342B2 (en) * 2005-03-14 2008-11-11 Seagate Technology Llc Composite head-electrical conditioner assembly
JP2006331485A (ja) * 2005-05-24 2006-12-07 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 磁気ヘッドスライダ及び磁気ヘッドアセンブリ
JP2007273589A (ja) 2006-03-30 2007-10-18 Fujitsu Ltd 薄膜圧電デバイスおよびその作製方法
US7595963B1 (en) 2006-06-07 2009-09-29 Western Digital Technologies, Inc. Head gimbal assembly including a flexure with a first conductive trace disposed between a slider and a dielectric layer
JP4999526B2 (ja) 2007-04-18 2012-08-15 Ｎｔｎ株式会社 ラッシュアジャスタ
US7830638B1 (en) 2007-08-13 2010-11-09 Magnecomp Corporation Structure and method for localizing solder ball strain on hard disk drive suspension gimbal
TWI381699B (zh) * 2007-08-24 2013-01-01 Chi Mei Comm Systems Inc 攜帶型電子裝置之接地裝置
US8406090B2 (en) * 2008-03-04 2013-03-26 HGST Netherlands B.V. Laser power sensor for thermally assisted magnetic recording
JP5027778B2 (ja) * 2008-10-31 2012-09-19 日東電工株式会社 回路付サスペンション基板
JP5580994B2 (ja) * 2009-02-20 2014-08-27 日本オクラロ株式会社 光モジュール
US8279557B2 (en) * 2009-08-04 2012-10-02 Seagate Technology Llc Commonly-poled piezoelectric device
US8885299B1 (en) 2010-05-24 2014-11-11 Hutchinson Technology Incorporated Low resistance ground joints for dual stage actuation disk drive suspensions
JP5703697B2 (ja) * 2010-11-09 2015-04-22 大日本印刷株式会社 サスペンション用基板、サスペンション、素子付サスペンション、ハードディスクドライブ、およびサスペンション用基板の製造方法
US9190086B1 (en) 2011-11-30 2015-11-17 Magnecomp Corporation GSA suspension having slider clearance for shock performance
US8947831B1 (en) 2011-11-30 2015-02-03 Magnecomp Corporation GSA suspension with microactuators extending to gimbal through flexible connectors
US8879210B1 (en) 2011-11-30 2014-11-04 Magnecomp Corporation DSA suspension with microactuators extending to gimbal through flexible connectors
US9001469B2 (en) 2012-03-16 2015-04-07 Hutchinson Technology Incorporated Mid-loadbeam dual stage actuated (DSA) disk drive head suspension
JP6251745B2 (ja) * 2012-09-14 2017-12-20 ハッチンソン テクノロジー インコーポレイテッドＨｕｔｃｈｉｎｓｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ ２段始動構造部を有するジンバル形撓み部材及びサスペンション
US8896968B2 (en) 2012-10-10 2014-11-25 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with dampers
US8891206B2 (en) 2012-12-17 2014-11-18 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with motor stiffener
US8896969B1 (en) 2013-05-23 2014-11-25 Hutchinson Technology Incorporated Two-motor co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with motor stiffeners
US8717712B1 (en) 2013-07-15 2014-05-06 Hutchinson Technology Incorporated Disk drive suspension assembly having a partially flangeless load point dimple
US8675314B1 (en) 2013-08-21 2014-03-18 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with offset motors
US8896970B1 (en) 2013-12-31 2014-11-25 Hutchinson Technology Incorporated Balanced co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions
US9070392B1 (en) * 2014-12-16 2015-06-30 Hutchinson Technology Incorporated Piezoelectric disk drive suspension motors having plated stiffeners
US9318136B1 (en) 2014-12-22 2016-04-19 Hutchinson Technology Incorporated Multilayer disk drive motors having out-of-plane bending
US9296188B1 (en) 2015-02-17 2016-03-29 Hutchinson Technology Incorporated Partial curing of a microactuator mounting adhesive in a disk drive suspension
CN107735834B (zh) 2015-06-30 2019-11-19 哈钦森技术股份有限公司 具有改进的可靠性的盘驱动器头部悬架结构
US9646638B1 (en) 2016-05-12 2017-05-09 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based DSA disk drive suspension with traces routed around slider pad
US10762924B2 (en) 2018-12-07 2020-09-01 Western Digital Technologies, Inc. Electrostrictive control for the width of a tape-head-array
US10748573B2 (en) * 2019-01-14 2020-08-18 International Business Machines Corporation Multichannel tape head module having mechanically settable transducer pitch

Family Cites Families (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4317149A (en) * 1980-06-02 1982-02-23 International Business Machines Corporation Magnetic head having static discharge means
US4761699A (en) * 1986-10-28 1988-08-02 International Business Machines Corporation Slider-suspension assembly and method for attaching a slider to a suspension in a data recording disk file
JPH0758533B2 (ja) 1988-08-26 1995-06-21 日本電気株式会社 薄膜磁気ヘッド
JPH071533B2 (ja) 1989-03-16 1995-01-11 日本電気株式会社 磁気ヘッド組立体
JPH0395717A (ja) * 1989-09-08 1991-04-22 Fujitsu Ltd 磁気ヘッド
US5021907A (en) * 1989-12-11 1991-06-04 Seagate Technology, Inc. Gimbal spring for supporting a magnetic transducer and making electrical contact therewith
US5079659A (en) * 1990-07-06 1992-01-07 Seagate Technology, Inc. Gimbal for supporting a hydrodynamic air bearing slider
US5142425A (en) * 1990-08-09 1992-08-25 Hewlett-Packard Company Disk drive in which magnetic head-to-disk capacitive coupling is eliminated
JPH06309822A (ja) 1992-08-12 1994-11-04 Toshiba Corp 記録再生ヘッド及びこれを用いた記録再生装置
JPH06259905A (ja) 1993-03-03 1994-09-16 Toshiba Corp 記録再生装置用アクチュエータ及びこれを用いた記録再生装置
US5986852A (en) * 1992-10-19 1999-11-16 International Business Machines Corporation High capacity, high performance low profile disk drive
US5901014A (en) * 1993-08-10 1999-05-04 Fujitsu Limited Thin film magnetic head and assembly configured to reduce risk of discharge between the coil and the core slider
JPH08111015A (ja) * 1994-09-01 1996-04-30 Tdk Corp 磁気ヘッドスライダの支持装置及び磁気ヘッド装置
JPH08180623A (ja) 1994-12-22 1996-07-12 Hitachi Ltd 磁気ディスク装置
US5737152A (en) * 1995-10-27 1998-04-07 Quantum Corporation Suspension with multi-layered integrated conductor trace array for optimized electrical parameters
US5943190A (en) * 1995-11-20 1999-08-24 Read-Rite Corporation Magnetic head gimbal with spring loaded tangs
EP0789351B1 (en) * 1996-02-12 2001-11-28 Read-Rite Corporation Conductive trace flexure for a magnetic head suspension assembly
US5701218A (en) * 1996-07-03 1997-12-23 Seagate Technology, Inc. Flex on suspension design minimizing sensitivities to environmental stresses
US5754369A (en) * 1996-10-03 1998-05-19 Quantum Corporation Head suspension with self-shielding integrated conductor trace array
US5995328A (en) * 1996-10-03 1999-11-30 Quantum Corporation Multi-layered integrated conductor trace array interconnect structure having optimized electrical parameters
KR100287567B1 (ko) 1996-10-31 2001-04-16 사토 히로시 판독/기록헤드,판독/기록헤드위치선정기구,및판독/기록시스템
WO1998027547A1 (en) * 1996-12-16 1998-06-25 Seagate Technology, Inc. Bimorph piezoelectric microactuator head and flexure assembly
US6349017B1 (en) * 1997-02-21 2002-02-19 Read-Rite Corporation Magnetic head suspension assembly using bonding pads of a slider to an attachment surface of a flexure
JP3874875B2 (ja) * 1997-02-24 2007-01-31 富士通株式会社 磁気ディスク装置
US5862010A (en) * 1997-07-08 1999-01-19 International Business Machines Corporation Transducer suspension system
DE19782291T1 (de) * 1997-07-29 2000-07-27 Seagate Technology Plattenlaufwerkaufhängung mit geringer Masse
US5896248A (en) * 1997-09-05 1999-04-20 Read-Rite Corporation Bond pads for metal welding of flexure to air bearing slider and grounding configuration thereof
JPH11175931A (ja) * 1997-12-16 1999-07-02 Nec Corp 磁気抵抗効果型複合ヘッド及び磁気ディスク装置
US6262868B1 (en) * 1997-12-30 2001-07-17 International Business Machines Corporation Method and structures used for connecting recording head signal wires in a microactuator
US5959808A (en) * 1997-12-30 1999-09-28 International Business Machines Corporation Shielded electrostatic microactuators for magnetic-head positioning such devices
JP3576368B2 (ja) * 1998-02-19 2004-10-13 富士通株式会社 アクチュエータアセンブリ及びその組立方法
US6295185B1 (en) * 1998-04-07 2001-09-25 Seagate Technology Llc Disc drive suspension having a moving coil or moving magnet microactuator
US6239947B1 (en) * 1998-05-11 2001-05-29 International Business Machines Corporation Milliactuator with integrated sensor and drivers and method of manufacturing the same
US6078473A (en) * 1998-05-13 2000-06-20 Seagate Technology, Inc. Gimbal flexure for use with microactuator
WO2000030109A1 (fr) 1998-11-13 2000-05-25 Tdk Corporation Mecanisme de support de tete d'enregistrement / reproduction et appareil d'enregistrement / reproduction
WO2000030081A1 (fr) * 1998-11-13 2000-05-25 Tdk Corporation Mecanisme de support de tete d'enregistrement/lecture et appareil d'enregistrement/lecture
US6125015A (en) * 1998-12-04 2000-09-26 Read-Rite Corporation Head gimbal assembly with low stiffness flex circuit and ESD Protection
JP3515442B2 (ja) * 1998-12-10 2004-04-05 サンコール株式会社 磁気ヘッドサスペンション
US7116523B2 (en) * 1998-12-21 2006-10-03 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Interconnect module for use in a suspension assembly
US6351354B1 (en) * 1999-05-07 2002-02-26 Seagate Technology Llc Head to flexure interconnection for disc drive microactuator
US6351353B1 (en) * 1999-06-11 2002-02-26 Seagate Technology, Inc. Interconnect designs for micromotor, magnetic recording head and suspension assemblies
US20030128474A1 (en) * 2001-11-09 2003-07-10 Schulz Kevin J. Low electrical impedance slider grounding
US7064928B2 (en) * 2002-10-11 2006-06-20 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Method and apparatus for providing an additional ground pad and electrical connection for grounding a magnetic recording head

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1306479C (zh) * 2003-12-05 2007-03-21 希捷科技有限公司 盘片驱动器系统的变换器级微型执行机构及其制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US6621661B1 (en) 2003-09-16
US20040022169A1 (en) 2004-02-05
US7050266B2 (en) 2006-05-23
US7161765B2 (en) 2007-01-09
CN1549247A (zh) 2004-11-24
US20020135940A1 (en) 2002-09-26
WO2000030080A1 (fr) 2000-05-25
JP3501758B2 (ja) 2004-03-02
CN1145933C (zh) 2004-04-14
US20050254172A1 (en) 2005-11-17
CN1326119C (zh) 2007-07-11
HK1034350A1 (en) 2001-10-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1145933C (zh) 写/读头支撑机构以及写/读系统
CN1306477C (zh) 磁头组件和记录媒体驱动器
CN1308923C (zh) 用于头元件的精确定位致动器及其头万向架组件和盘驱动设备
US6246552B1 (en) Read/write head including displacement generating means that elongates and contracts by inverse piezoelectric effect of electrostrictive effect
US6891701B2 (en) Head gimbal assembly with precise positioning actuator for head element and disk drive apparatus with the head gimbal assembly
US6115223A (en) Elongate microactuator spanning leading edge surface of slider
US20040095687A1 (en) Precise positioning actuator for head element, head gimbal assembly with the actuator, disk drive apparatus with the head gimbal assembly and manufacturing method of head gimbal assembly
US20030147177A1 (en) Head gimbal assembly with precise positioning actuator for head element, disk drive apparatus with the head gimbal assembly, and manufacturing method of the head gimbal assembly
CN1257489C (zh) 具有精确定位致动器的磁头悬置装配体及其制造方法
US10373636B2 (en) Suspension having a stacked D33 mode PZT actuator with constraint layer
US7068474B2 (en) Thin film piezoelectric element; actuator, head support mechanism, and disc recording and reproducing device using the thin film piezoelectric element; and method of manufacturing the thin film piezoelectric element
CN107424631B (zh) 用于盘驱动器悬架的多层剪切模式pzt微致动器及其制造方法
CN1142544C (zh) 写/读头支撑机构以及写/读系统
US6552878B2 (en) Magnetic disk apparatus
US6515835B2 (en) Precise positioning actuator actuator for precisely positioning thin-film magnetic head element and head gimbal assembly with the actuator
US7518833B2 (en) Micro-actuator with electric spark preventing structure, HGA, and disk drive unit with the same, and manufacturing method thereof
CN1941085A (zh) 具有防止电火花产生结构的微驱动器及其磁头折片组合、磁盘驱动单元以及制造方法
JPWO2004061988A1 (ja) 微小駆動ユニットおよび記録媒体駆動装置
JP2004047077A (ja) 記録／再生ヘッド支持機構および記録／再生装置
CN1744201A (zh) 微驱动器、磁头折片组合以及使用其的磁盘驱动器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
CI01 Correction of invention patent gazette

Correction item: Priority number

Correct: 341129

False: 3411129

Number: 12

Page: 154

Volume: 17

CI02 Correction of invention patent application

Correction item: Priority number

Correct: 341129

False: 3411129

Number: 12

Page: The title page

Volume: 17

COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: NUMBER OF PRIORITY; FROM: 3411129 TO: 341129

ERR Gazette correction

Free format text: CORRECT: NUMBER OF PRIORITY; FROM: 3411129 TO: 341129

C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20040414

Termination date: 20101022