CN103797345A - 红外传感器 - Google Patents
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Abstract
一种红外传感器总成，其使用红外传感器4，该红外传感器安装在TO（晶体管型）壳体1中的底板2上。该壳体被复合式热平衡元件（“散热件”）12、13包围。热平衡元件12、13由导热性能良好的材料（例如黄铜、铝、铜等等）构成，采用厚壁设计（壁厚5mm）。该红外传感器总成被构造成使得底板2和TO壳体1的透镜3、6的顶面以及热平衡元件12、13的两个组成部分均具有良好的热连接14a-c。上部热平衡元件12中整合有光阑10和束流收集器11，因此这两个部件也处于良好的热耦合状态。这使得位于视场中的射线8能进一步到达传感器元件4。此外，经单一透射后不到达传感器元件4的射线9a也能进入壳体。而可以通过多次反射到达传感器元件的入射角较大的射线9b，则不再直接射中透镜6。这部分射线在束流收集器11中被吸收。
Description
技术领域
本发明涉及一种红外（IR）传感器总成，包括：
-红外传感器元件，其具有检测红外线的辐射敏感区，
-第一光学元件，其从入射方向看布置于所述红外传感器元件前面，其中，所述光学元件可具有下述构件中的一或多个：
-折射面，
-镜面，
-光阑，
-波长相关滤光器，
其中，通过所述第一光学元件和所述红外传感器元件的大小规定从外部射入的红外线束，以作为所述红外传感器元件的预期视场，所述从外部射入的红外线
-如果设置折射面作为所述第一光学元件的组成部分，就只穿过这个折射面一次，
-如果设置镜面作为所述第一光学元件的组成部分，存在折射面，就只在这个镜面上反射一次，
-如果设置光阑作为所述第一光学元件的组成部分，就只穿过这个光阑一次，
-如果设置波长相关滤光器作为所述第一光学元件的组成部分，就只穿过这个波长相关滤光器一次，
-射中所述辐射敏感区，并且
-在所述光学元件和射中所述辐射敏感区之间不在任何表面反射。
本发明还涉及这种红外传感器总成的应用。
背景技术
在这类例如用于运动检测器和非接触式测温（高温测量）的红外传感器总成中，往往设有用于限制红外传感器视场的光学元件（例如透镜、镜面、光阑或类似元件）。还会使用平面防护窗或保护膜来防止镜面光学系统受环境因素影响。
典型的用于高温测量的红外传感器总成包括红外传感器元件（例如热电堆辐射传感器、热释电辐射传感器、辐射热计或类似元件）、用于聚焦的光学元件（透镜、镜面等等）、光阑、滤光器等，以及视情况由多部分组成的壳体，各种元件整合在该壳体中或者作为该壳体的组成部分。
这种类型的传感器（见图2）一般使用包括底板2（又称“管座”）和罩盖3的TO壳体1，其中设有传感器元件4（例如热电堆芯片，多数是用于测量壳体温度的基准传感器）和光学元件6，例如透镜、光阑或平面窗口。根据几何光学的法则，由透镜和红外传感器元件定义传感器的视场7。位于这个视场之内的射线8通过单一透射到达传感器元件4。位于预期视场之外的射线9a经单一透射后不到达传感器元件4。但是，位于预期视场之外的射线9b可以通过在光学元件6内部多次反射而到达传感器元件4，从而可能导致测量结果失真。
US4,626,686揭示一种包括或不包括透镜的红外传感器总成。此处将热电堆辐射传感器从后面装入一管件，其中传感器壳体的背面不与该管件连接。在辐射传感器前面（迎着辐射的入射）先安装光阑，在光阑后面安装透镜或平面窗口。因此光阑位于传感器元件和透镜或窗口之间。将所有部件一并安装在一视情况由多部分组成的管件中。
这类传感器总成具有各种缺点：
透镜和窗口常用的透红外线材料具有相对较高的折射率n（例如硅的n≈3.46，锗的n≈4.0，聚乙烯的n≈1.7），这会在边界层上引起剧烈反射。入射的红外辐射可能在光学元件内部多次反射。经过这样的多次反射后，原本位于计算视场之外的红外辐射会到达传感器元件。配设防护窗的镜面光学系统也会出现这种效应。多次反射虽不是发生在光学元件内部，但可能出现在镜面和防护窗组合的内部。
红外传感器总成的光学元件的热性能不同于真正意义上的传感器元件（例如热电堆芯片），也就是说，光学元件的发热（冷却）是相对于真正意义上的传感器元件而言。这会产生附加热效应，而这样的热效应同样会导致测量结果失真。环境介质的热传导或对流，以及待测对象的热辐射都会造成光学元件的发热（或冷却）不均匀。
真正意义上的传感器的壳体（例如安装在TO-5壳体中的热电堆芯片）自身也会出现发热（冷却）不均匀现象。引起这一现象的原因（热传导、对流、热辐射）会引发导致测量结果失真的热效应（例如附加的红外辐射）。
US4,797,840揭示另一种已知的传感器总成。此处在热释电传感器前面布置用以限制视场的管件。该管件内侧涂布反射层，以防止其因自身发热而发出红外辐射。这能改善其中一个缺点。但该反射层会引发多次反射，从而导致几乎来自各个角度（视场之外）的非期望辐射到达传感器元件。
US5,018,872提出一种如何利用热平衡元件（“散热件”）来提高红外传感器总成的传感器壳体的热均衡度的方案。用光阑和防护窗确定视场。无法完全避免多次反射。
WO201004505描述一种热耦合在传感器壳体上的束流收集器。但该束流收集器设置于透镜或镜面与传感器元件之间。这能改善壳体发热不均匀这一问题，但无法解决上述的其他缺点。
DE102004030418揭示一种传感器壳体的结构，在该传感器壳体中部分部件与晶片级传感器芯片连接。再将这个复合体装入塑料壳体或陶瓷壳体。在此，所有制造在晶片复合体中的部件均有效热耦合（热均衡）。但是外部光阑无论从结构上还是在材料选择（塑料或陶瓷）方面都只是不完全地与传感器芯片热耦合。也就是说，会出现造成失真结果的热效应。晶片复合体的包括外部光阑在内的光学系统也不能完全避免多次反射。
发明内容
因此，本发明的目的是提供一种至少能部分解决上文联系现有技术所论述的问题的红外传感器总成。
本发明用以达成上述目的的解决方案为一种如权利要求1所述的传感器。有益实施方式包含在从属权利要求和下文的说明中。
以前述红外传感器总成为基础，沿入射方向在第一光学元件（6）前面一定距离（a）处设第二光学元件（10），该第二光学元件可具有下述构件中的一或多个：
-折射面，
-镜面，
-光阑，
-波长相关滤光器，
其中，通过所述第二光学元件规定从外部射入的红外线束，以作为所述红外传感器元件的限制视场，所述从外部射入的红外线
-穿过所述第一和第二光学元件，
-射中所述辐射敏感区，
-在所述第二光学元件和所述第一光学元件之间以及在所述第一光学元件和射中所述辐射敏感区之间不在任何表面反射，
-如果设置折射面作为所述第一光学元件的组成部分，就只穿过这个折射面一次，
-如果设置镜面作为所述第一光学元件的组成部分，存在折射面，就只在这个镜面上反射一次，
-如果设置光阑作为所述第一光学元件的组成部分，就只穿过这个光阑一次，
-如果设置波长相关滤光器作为所述第一光学元件的组成部分，就只穿过这个波长相关滤光器一次，
-如果设置折射面作为所述第二光学元件的组成部分，就只穿过这个折射面一次，
-如果设置镜面作为所述第二光学元件的组成部分，存在折射面，就只在这个镜面上反射一次，
-如果设置光阑作为所述第二光学元件的组成部分，就只穿过这个光阑一次，
-如果设置波长相关滤光器作为所述第二光学元件的组成部分，就只穿过这个波长相关滤光器一次。
利用上述距离所定义的空间来在第一光学元件和第二光学元件之间设置束流收集器，该束流收集器将在第二光学元件之后为了穿过第一光学元件的构件（如果第一光学元件设有可被穿过的构件）或者为了在第一光学元件的镜面（如果设有镜面）上反射而必须在第二光学元件和第一光学元件之间的表面上反射的红外线的至少一部分吸收。
本发明的红外（IR）传感器总成通过减小或完全消除散射辐射对红外传感器总成的影响来提高红外传感器总成的测量精度。位于视场之外较远处的散射线在束流收集器中被吸收，从而不再产生影响。同时限制视场，使得穿过光学元件的所有射线在不发生干扰性多次反射的情况下进入红外传感器元件的区域。通过对第一和第二光学元件的类型和间距进行适当调整，几乎可以使这一效果得到任意程度的完善。
本发明的红外传感器总成使用具有辐射敏感区的红外传感器元件。形成该辐射敏感区的元件通常布置在一个平面或多个平行平面内。因此，入射方向主要是指垂直于这些平面的方向。所述红外传感器元件特定而言可以构造成现有技术中已知的热电堆辐射传感器、热释电辐射传感器或同样是现有技术中已知的辐射热计。
本发明的红外传感器总成具有第一和第二光学元件。第一和第二光学元件可以实施为相同类型。但在特别优选的实施方式中，第二光学元件实施为光阑，从而形成可供红外线穿过的单一通孔。
本发明所使用的光学元件可由一或多个部件组成以及/或者可以形成通孔。最简单的情况是，所述光学元件由光阑构成，红外线基本不改变其光路地穿过该光阑。也可以用不明显改变红外线光路的防护窗或保护膜来封闭该光阑的通孔。在另一实施方式中，光学元件可以实施为包含一个折射面的元件，特别是包含两个折射面的元件，特别优选实施为透镜且该透镜能改变穿过该透镜的红外线的光路。在另一实施方式中，所述光学元件可由一或多个反射红外线的镜面组成。如果所述光学元件实施为光阑，红外线就穿过通孔并视情况穿过为了保护该光阑而将其封闭的防护窗或保护膜。如果所述光学元件实施为透镜，红外辐射就穿过该透镜。如果所述光学元件具有一或多个镜面，红外辐射就在该一或多个镜面上反射。所述光学元件也可以是例如多个镜面与一个透镜的组合，在此情况下，红外线被镜面反射并穿过透镜。
所述第一光学元件和所述红外传感器元件的大小规定从外部射入的红外线束，以作为所述红外传感器元件的预期视场，所述从外部射入的红外线
-如果设置折射面作为所述第一光学元件的组成部分，就只穿过这个折射面一次，
-如果设置镜面作为所述第一光学元件的组成部分，存在折射面，就只在这个镜面上反射一次，
-如果设置光阑作为所述第一光学元件的组成部分，就只穿过这个光阑一次，
-如果设置波长相关滤光器作为所述第一光学元件的组成部分，就只穿过这个波长相关滤光器一次，
-射中所述辐射敏感区，并且
-在所述光学元件和射中所述辐射敏感区之间不在任何表面反射。
因此，不属于预期视场的例如是
-不射中红外传感器元件的辐射敏感区的红外线，或
-以某一角度进入视情况设置在第一光学元件中的透镜的红外线，且该角度使得这些红外线在透镜内部多次反射，但之后射中红外传感器元件的辐射敏感区，或
-以某一角度射中视情况设置在第一光学元件中的镜面的红外线，且该角度使得这些红外线在这个镜面上或视情况设置在第一光学元件中的其他构件（镜面、透镜、滤光器、防护窗等等）上多次反射，但之后射中红外传感器元件的辐射敏感区。
所述第二光学元件规定红外传感器元件的限制视场，该限制视场是指从外部射入的红外线束，所述从外部射入的红外线
-穿过所述第一和第二光学元件，
-射中所述辐射敏感区，
-在所述第二光学元件和所述第一光学元件之间以及在所述第一光学元件和射中所述辐射敏感区之间不在任何表面反射，
-如果设置折射面作为所述第一光学元件的组成部分，就只穿过这个折射面一次，
-如果设置镜面作为所述第一光学元件的组成部分，存在折射面，就只在这个镜面上反射一次，
-如果设置光阑作为所述第一光学元件的组成部分，就只穿过这个光阑一次，
-如果设置波长相关滤光器作为所述第一光学元件的组成部分，就只穿过这个波长相关滤光器一次，
-如果设置折射面作为所述第二光学元件的组成部分，就只穿过这个折射面一次，
-如果设置镜面作为所述第二光学元件的组成部分，存在折射面，就只在这个镜面上反射一次，
-如果设置光阑作为所述第二光学元件的组成部分，就只穿过这个光阑一次，
-如果设置波长相关滤光器作为所述第二光学元件的组成部分，就只穿过这个波长相关滤光器一次。
因此，不属于限制视场的例如是以某种方式离开第二光学元件的红外线，并且这种离开第二光学元件的方式使得这部分红外线在穿过第二光学元件和穿过第一光学元件之间必须在其他表面上反射才能穿过第一光学元件。
在现有技术的由红外传感器元件（4）和第一光学元件（6）组成的总成（不设第二光学元件和束流收集器）中，第一光学元件由硅透镜（未涂层）构成，图2，到达红外传感器元件的功率中大约有80%来自于标记为截锥（7）的预期视场。到达红外传感器元件的功率中大约有20%（例如射线（9b））是从预期视场之外到达红外传感器元件，这部分射线会使测量结果失真。
根据优选实施方式，在本发明如图1所示的由红外传感器元件、第一光学元件、第二光学元件和束流收集器组成的总成中，到达红外传感器元件的功率中大约会有95%来自于标记为截锥的预期视场。在这个实施例中，到达红外传感器元件的功率中大约有5%或更少是从预期视场之外到达红外传感器元件，这些射线绝大部分在束流收集器中被吸收，仅使测量结果轻微失真。
特别优选地，所述束流收集器被构造成将射中其表面的红外线所输入的能量吸收并且在红外线所射中的表面不受热的情况下将这部分能量从这个表面向外传输。这一点例如可以通过至少部分由导热性能良好的材料（例如金属，如铝、铜、镁、锌）或者由半导体（例如硅）或者由半导体技术中所使用的陶瓷材料构成的束流收集器而实现。所述束流收集器也可以被构造成将射中其表面的红外线所输入的能量至少部分吸收并导出，该表面仅被部分入射能量加热。
在优选实施方式中，所述第一和第二光学元件具有圆形或椭圆形外周。在这个优选实施方式中，所述束流收集器特定而言具有圆形或椭圆形贯穿通道，其中，第一光学元件布置在该圆形或椭圆形贯穿通道的一末端，第二光学元件布置在该圆形或椭圆形贯穿通道的第二末端。特别优选地，圆形贯穿通道的直径大于第一光学元件的直径并且大于第二光学元件的直径。在优选实施方式中，所述贯穿通道完全作为圆形或椭圆形贯穿通道形成于第一和第二光学元件之间。在替代实施方式中，在所述贯穿通道布置第一光学元件的末端和/或布置第二光学元件的末端设有衔接面，所述衔接面例如以截锥的形式将第一或第二光学元件的较小直径与贯穿通道的较大直径衔接起来。
在优选实施方式中，在一或两个光学元件中设有透镜和/或镜面，所述透镜和/或镜面能够将以具有第一横截面积的射线束形式入射的红外线聚焦在红外传感器元件具有较小的第二横截面积的辐射敏感区上。
本发明的红外传感器总成具有形成于第一光学元件和第二光学元件之间的束流收集器，该束流收集器将在穿过第二光学元件后为了穿过第一光学元件而必须至少在一个表面上反射的红外线的至少一部分吸收。此外，所述束流收集器的表面可以具有能改善吸收的结构，例如粗化结构、沟槽、棱锥、梯形结构、螺纹等等。
根据优选实施方式，所述红外传感器元件布置在一包含内腔的壳体中。特别优选地，该壳体的一个部件是承载红外传感器元件的底板。这样一个壳体能为红外传感器元件提供保护，允许对直接接触红外传感器元件的环境进行特别设计，例如设置充填气体或真空，使得在制造过程中搬运红外传感器元件时不存在红外传感器元件受损的风险，因为在后续制造步骤中只需要搬运该壳体。通过将红外传感器元件布置在底板上，可以从该底板中穿设用于红外传感器元件的连接线。特别优选地，所述壳体被构造成TO壳体、LCC壳体或CSP壳体（TO=晶体管型；LCC=无引线陶瓷芯片载体；CSP=芯片尺寸封装）。
在优选实施方式中，所述底板的材料或材料组合具有超过1W/mK，特别优选超过10W/mK的导热系数。
在优选实施方式中，所述光学元件被构造成与所述壳体连接的部件。这就可以在早期制造步骤中设置并确定光学元件相对于红外传感器元件的几何布局（这样的设定对于红外线检测而言很重要），而不必担心这一几何条件在后期制造步骤中遭到破坏。作为替代方案，也可以用平面窗口封闭壳体。在此情况下，光学元件可与壳体相隔一定距离布置。
在优选实施方式中设有基准传感器，特别优选地，该基准传感器与红外传感器元件一同布置在底板上或者整合在红外传感器元件中。借助基准传感器可以特别简单的方式根据环境温度精确标定红外传感器元件。从制造技术角度看，将该基准传感器布置在共用底板上或者整合在红外传感器元件中，是特别有益的。
在优选实施方式中，所述光热作用元件通过热平衡元件相互耦合。该热平衡元件可以采用一体式或复合式设计。热平衡元件能够减小单个部件如红外传感器元件、光学元件和束流收集器的局部温差，因而测量时仅需考虑视场之内的辐射，从而避免局部发热所引发的“内辐射”导致测量结果失真。为此，光作用元件和热作用元件通过热平衡元件相互耦合，是特别有益的。举例而言，被束流收集器吸收的红外辐射会造成束流收集器发热、从而自身又发出红外线的结果。如果束流收集器与热平衡元件耦合或者构成热平衡元件的一部分，就可以将吸收红外辐射时所吸收的能量至少部分地通过该热平衡元件进行导散，这样束流收集器就不会发热，其自身也不会产生红外辐射（“内辐射”）。
光作用元件在此是指具有被红外辐射射中或穿过的表面的元件，特别是指所述红外传感器元件和所述光学元件的光学相关部件。红外传感器总成的热作用元件特定而言是指任何一种能发出热辐射的质量体。优选实施方式中所设置的热平衡元件可以用来形成实施为光阑的第二光学元件和/或所述束流收集器。如果部分光热作用元件通过热平衡元件相互耦合，就已经实现了这种实施方式的优点。特别优选地，所有光热作用元件均通过热平衡元件相互耦合。
在红外传感器元件布置在壳体中、而该壳体被承载红外传感器元件的底板封闭的实施方式中，所述热平衡元件优选布置于壳体外部，但特定而言与底板导热连接，且视情况与壳体的其他区域导热连接。在替代实施方式中，壳体可以构成热平衡元件的一部分。
在优选实施方式中，所述热平衡元件具有由铝、铜、镁和/或锌构成的组成部分且特别优选地全部由这些材料的其中之一制成。事实表明，这些组成部分具有特别好的温度均衡效果。另外，这些材料具有良好的可加工性。热平衡元件原则上可以采用导热性能良好的材料，例如金属、半导体（例如硅）和半导体领域所使用的陶瓷材料。导热性能良好的材料主要是指导热能力超过10W/mK，特别优选超过20W/mK的材料。高导热塑料也能达到这样的导热值。在优选实施方式中，所述热平衡元件的壁厚大于1.5mm。这能进一步增强导热能力。
在优选实施方式中，至少部分被红外线射中或穿过的表面涂布有透红外线的防污层。这样的层可由PE（聚乙烯）、聚丙烯（PP）、PTFE（聚四氟乙烯）或聚对二甲苯（PPX）构成。这种涂料的名称为“Parylene”，可以从Specialty Coating Systems公司（7645Woodland Drive,Indianapolis,Indiana,46278,USA）购得。
本发明的红外传感器总成优选应用于测温仪。这样的测温仪可以是用于在难以接近的表面或通电流（带电压）部件上非接触式测温的高温计。高温计也被广泛用作可快速测定体温的测量设备。
附图说明
下面参照仅示出实施例的附图详细说明本发明。其中：
图1为本发明传感器总成的实施例的剖面示意图；以及
图2为已知的红外传感器总成示例。
具体实施方式
图1中示出的红外传感器总成基于前文联系图2所描述的红外传感器4，该红外传感器安装在TO（晶体管型）壳体1中的底板2上。该壳体被复合式热平衡元件（“散热件”）12、13包围。热平衡元件12、13由导热性能良好的材料（例如黄铜、铝、铜等等）构成，采用厚壁设计（壁厚>1.5mm）。该红外传感器总成被构造成使得底板2和TO壳体1的透镜3、6的顶面以及热平衡元件12、13的两个组成部分均具有良好的热连接14a-c。这个良好的热连接14a-c例如可以通过挤压或螺接14a以及通过压制14b,c而实现。
上部热平衡元件12中整合有光阑10和束流收集器11，因此这两个部件也处于良好的热耦合状态。这使得位于视场中的射线8能进一步到达传感器元件4。此外，经单一透射后不到达传感器元件4的射线9a也能进入壳体。而可以通过多次反射到达传感器元件的入射角较大的射线9b，则不再直接射中透镜6。这部分射线在束流收集器11中被吸收。
Claims (11)
1.一种红外（IR）传感器总成，包括：
红外传感器元件（4），其具有检测红外线的辐射敏感区，
第一光学元件（6），其从入射方向看布置于所述红外传感器元件（4）前面，其中，所述光学元件（6）可具有下述构件中的一或多个：
折射面，
镜面，
光阑，
波长相关滤光器，
其中，通过所述第一光学元件（6）和所述红外传感器元件的大小规定从外部射入的红外线束，以作为所述红外传感器元件（4）的预期视场（7），所述从外部射入的红外线
如果设置折射面作为所述第一光学元件（6）的组成部分，就只穿过这个折射面一次，
如果设置镜面作为所述第一光学元件（6）的组成部分，就只在这个镜面上反射一次，
如果设置光阑作为所述第一光学元件（6）的组成部分，就只穿过这个光阑一次，
如果设置波长相关滤光器作为所述第一光学元件（6）的组成部分，就只穿过这个波长相关滤光器一次，
射中所述辐射敏感区，并且
在所述光学元件和射中所述辐射敏感区之间不在任何表面反射，
沿入射方向设在所述第一光学元件（6）前面一定距离（a）处的第二光学元件（10），所述第二光学元件可具有下述构件中的一或多个：
折射面，
镜面，
光阑，
波长相关滤光器，
其中，通过所述第二光学元件规定从外部射入的红外线束，以作为所述红外传感器元件（4）的限制视场（7），所述从外部射入的红外线
穿过所述第一和第二光学元件（6），
射中所述辐射敏感区，
在所述第二光学元件（10）和所述第一光学元件（6）之间以及在所述第一光学元件和射中所述辐射敏感区之间不在任何表面反射，
如果设置折射面作为所述第一光学元件（6）的组成部分，就只穿过这个折射面一次，
如果设置镜面作为所述第一光学元件（6）的组成部分，存在折射面，就只在这个镜面上反射一次，
如果设置光阑作为所述第一光学元件（6）的组成部分，就只穿过这个光阑一次，
如果设置波长相关滤光器作为所述第一光学元件（6）的组成部分，就只穿过这个波长相关滤光器一次，
如果设置折射面作为所述第二光学元件（10）的组成部分，就只穿过这个折射面一次，
如果设置镜面作为所述第二光学元件（10）的组成部分，就只在这个镜面上反射一次，
如果设置光阑作为所述第二光学元件（10）的组成部分，就只穿过这个光阑一次，
如果设置波长相关滤光器作为所述第二光学元件（10）的组成部分，就只穿过这个波长相关滤光器一次，
其中，在所述第一光学元件（6）和所述第二光学元件（10）之间设有束流收集器（11），所述束流收集器将为了到达所述红外传感器元件（4）而在所述第二光学元件（10）之后为了穿过所述第一光学元件（6）的构件（如果所述第一光学元件（6）设有可被穿过的构件）或者为了在所述第一光学元件（6）的镜面（如果设有镜面）上反射而必须在所述第二光学元件（10）和所述第一光学元件（6）之间的表面上反射的红外线的至少一部分吸收。
2.根据权利要求1所述的红外传感器总成，其中，所述光热作用元件通过一体式或复合式热平衡元件（12，13）相互耦合。
3.根据权利要求2所述的红外传感器总成，其中，基准传感器（5）、底板（2）和所述光学元件（6）设置在所述热平衡元件（12，13）中或所述热平衡元件上。
4.根据权利要求2或3所述的红外传感器总成，其中，所述热平衡元件（12，13）具有由铝、铜、镁和/或锌构成的组成部分。
5.根据权利要求2、3或4所述的红外传感器总成，其中，所述热平衡元件（12，13）的壁厚大于1.5mm。
6.根据上述权利要求中任一项权利要求所述的红外传感器总成，其中，所述红外传感器元件（4）布置在一包含内腔的壳体（1）中，其中，所述壳体的一个部件是承载所述红外传感器元件（4）的底板（2）。
7.根据上述权利要求中任一项权利要求所述的红外传感器总成，其中，所述壳体（1）被构造成TO壳体、LCC壳体或CSP壳体。
8.根据上述权利要求中任一项权利要求所述的红外传感器总成，其中，所述第一光学元件（6）作为所述壳体的一部分与所述内腔邻接。
9.根据上述权利要求中任一项权利要求所述的红外传感器总成，其中，设有基准传感器（5），所述基准传感器特定而言与所述红外传感器元件（4）一同布置在所述底板（2）上。
10.根据上述权利要求中任一项权利要求所述的红外传感器总成，其中，设有基准传感器（5），所述基准传感器特定而言布置在所述热平衡元件（12，13）中。
11.一种根据上述权利要求中任一项权利要求所述的红外传感器总成的应用，应用于测温仪。
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant |