CN101990470A - 大面积辊子对辊子的刻印平版印刷 - Google Patents

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Abstract

可使可聚合材料的液滴在膜片上形成图形。可将可聚合材料的液滴分配在膜片上。可对刻印平版印刷模板施加预定的力，使得膜片上可聚合材料液滴的局部捕集最少，且液滴合并形成连续层。可聚合材料可固化以形成具有残留层和至少一个结构的图形层。

Description

大面积辊子对辊子的刻印平版印刷
相关申请的交互引用
根据35U.S.C.§119(e)(1)，本申请要求对2008年4月1日提交的美国临时专利申请第61/041,264号以及2009年3月31日提交的美国专利申请第12/415,563号的权益，本文以参见方式引入该两个专利的全部内容。
背景技术
微型制造包括制造非常小的其结构在100纳米量级或更小的结构。微型制造具有相当大影响的应用是在集成电路的制造工艺中。半导体加工工业不断地努力提高产量，同时增加衬底上形成的每单位面积的电路数量，因此，微型制造变得日益重要。微型制造提供更好的工艺过程控制，同时继续减小所形成结构的最小结构的尺寸。已采用微型制造的其它发展领域包括生物技术、光学技术、机械系统等。
如今采用示例微型制造技术通常称之为刻印平版印刷。示例的刻印平版印刷工艺在许多专利出版物中已有详细描述，诸如美国专利出版物第2004/0065976号、美国专利出版物第2004/0065252号，以及美国专利第6,936,194号，所有这些专利都被本文以参见方式引入。
各个上述美国专利出版物和专利中公开的刻印平版印刷技术包括在可成形(可聚合)层内形成凹凸的图形，并将对应于凹凸图形的图形并转印到下方的衬底上。衬底可联接到运动平台上，以获得便于图形转印过程的要求的定位。图形转印过程使用与衬底间隔开的模板以及施加在模板与衬底之间的可成形的液体。该可成形液体固化而形成硬层，该硬层具有的图形对应于接触可成形液体的模板的表面形状。固化之后，模板与硬层分离，以使模板和衬底间隔开。衬底和固化层然后经受附加的转印过程，以将凹凸图形转印到对应于固化层内图形的衬底内。
附图说明
为了更详细地理解本发明，参照附图所示实施例提供对本发明的实施例的描述。然而，应该指出，附图仅是示出了本发明的典型实施例，因此，不应被认为对本发明范围的限制。
图1示出现有技术的平版印刷系统的简化侧视图。
图2示出根据本发明一实施例的平版印刷系统的简化的侧视图。
图3示出图2所示膜片的简化侧视图，该膜片具有定位在其上图形层。
图4示出图2所示辊子组件的俯视图。
图5示出膜片的简化的侧视图，该膜片具有在其上的局部捕集的材料液滴。
图6A示出根据本发明一实施例的平版印刷系统的简化的侧视图。
图6B示出图6A的平版印刷系统的简化的侧视图，该系统具有施加力，该力提供刻印平版印刷模板和膜片上材料之间的接触。
图7A示出平版印刷系统的简化的侧视图，该系统具有施加力，该力提供第一刻印平版印刷模板和膜片上材料之间的接触。
图7B示出图7B的平版印刷系统的简化的侧视图，该系统具有一施加力，该力提供第二刻印平版印刷模板和膜片上材料之间的接触。
图8示出用来在膜片上刻印图形的方法的流程图。
图9示出具有多个模具的模板的俯视图。
图10A示出根据本发明一实施例的平版印刷系统的简化的侧视图。
图10B示出图10A的平版印刷系统的简化的侧视图，该系统具有根据一实施例的在膜片上刻印图形的模具。
图11示出具有模具第一图形的模具的第一模板的俯视图。
图12示出具有与图11的第一模板的第一图形的模具互补的具有第二图形的模具的第二模板的俯视图。
图13示出使用多个模板在膜片上刻印图形的方法的流程图。
具体实施方式
参照附图，特别是图1，如图所示的用于平版印刷的现有技术的辊子组件系统采用制造很困难却能保持所要图形的保真度的模板。例如，当使用如此设计的系统时，对于结构小于亚100nm的模板来说图形的保真度减损。此外，难于达到均匀的压力，这样，这种辊子组件系统形成的图形的结构可由于形成的不均匀的压力而变得变形。
参照图2-4，图中所示的是用来在根据本发明的膜片12上形成凹凸图形的平版印刷系统10。膜片12的材料可包括但不限于聚合物膜、玻璃、硅、氮化硅、KevlarTM加固定聚合物膜、铝和/或类似材料。膜片12的厚度可基于设计的考虑。例如，膜片12可以是厚度近似为10μm-500μm的薄膜片12。膜片12可以具有高度柔性。
膜片12可联接到一个或多个辊子13上。例如，如图2所示，膜片12可联接到辊子13a和13b。如图7A和7B所示，膜片12可联接到辊子13c、13d和13e。应该指出的是，根据设计上的考虑，可采用任何数量的辊子13。例如，在图7A和7B中，辊子13d可提供附加的支承，以使膜片12的总体和/或局部变形最小。附加的辊子13可提供进一步的支承以使这种变形最小。
辊子13可促进膜片12的至少一部分的运动。例如，图2的辊子13a和13b可转动而促进膜片12沿箭头17方向运动。这种运动可有选择地提供叠加在模板18上的膜片12的不同部分。例如，膜片12的第一部分15可具有与模板18重叠的固定面积。辊子13可有选择地促进膜片12的运动，以使膜片第一部分15可具有固定的用于刻印图形的1米乘1米的与模板18重叠的面积。在固定面积的图形成形之后，辊子13可促进膜片12运动，以使膜片12的第一部分15与模板18偏离。为了简化描述，辊子13没有详细描述(例如，直径、材料特性)，因为用于平版印刷工艺中的辊子是行内众所周知的。
每个辊子13可具有轴线Ax。例如，图2中的辊子13a和13b分别具有轴线A1和A2。辊子13的轴线Ax可以在系统10内基本上彼此平行地定位。例如，辊子13a和13b可基本上彼此平行地定位在同一平面P1内，使得膜片12的第一部分15可相对于平面P2内的模板18基本上平行地定位。或者，辊子13的轴线Ax可以基本上平行，且相对于彼此定位在不同的平面内，使得膜片12的第一部分15可相对于平面P2内的模板18成一角度地定位。该角度可根据设计考虑予以确定。
膜片12可联接到卡盘16上。卡盘28可以构造成(但不限于)真空、针型、槽型、静电、电磁和/或其它类似的卡盘类型。示例卡盘在美国专利第6,873,087号中作进一步介绍，本文以参见方式引入该专利。在一实施例中，卡盘16还可以是如美国专利出版物第20070190200中所描述的多孔的卡盘，本文以参见方式引入该专利。在另一实施例中，膜片12可以由中空或实心块支承以替代卡盘16或附加于卡盘16。块体可在大小和/或形状上类似于卡盘16，且通常地可对膜片提供支承，以防止膜片12总体上和/或局部上弯曲。
模板18可包括从其朝向膜片12延伸的平台20，该平台20具有位于其上的图形表面22。平台20可称为模具20或刻印模具20。或者，模板18可形成为没有平台20。
模板18和/或模具20可由这样的材料形成，包括但不限于：熔融硅石、石英、硅、有机聚合物、硅氧烷聚合物、硼硅酸盐玻璃、碳氟化物聚合物、金属、硬化蓝宝石和/或其它等。模板18的厚度可基于设计的考虑。在一个实施例中，模板18可具有近似为0.5mm的厚度。
如图2-4所示，图形表面22包括由多个间隔开的凹陷24和/或突出26形成的结构，但本发明实施例不局限于这种构造。图形表面22可形成待在膜片12上形成图形的基础的任何原始图形。或者，图形表面22可以是基本上光滑的和/或平面的。
模板18可联接到卡盘28。卡盘28可以构造成(但不限于)真空、针型、槽型、静电、电磁和/或其它类似的卡盘类型。示例卡盘在美国专利第6,873,087号中作进一步介绍，本文以参见方式引入该专利。此外，卡盘还可以联接到刻印头30，以使卡盘28和/或刻印头30可构造成促进模板18运动。
系统10还可包括流体分配系统32。流体分配系统32可用来将可聚合材料34沉淀在膜片12上。可聚合材料34可使用各种技术来定位在膜片12上，所述技术诸如落下分配、旋转涂敷、液滴涂敷、化学蒸发沉淀(CVD)、物理蒸发沉淀(PVD)、薄膜沉淀、厚膜沉淀，和/或诸如此类方法等。例如，可聚合材料34可使用诸如以下专利中所述的技术定位在膜片12上，诸如美国专利出版物第2005/0270312号以及美国专利出版物第2005/0106321号，本文以参见方式引入该两个专利。可聚合材料34可在模具20和膜片12之间形成理想的体积之前和/或之后设置在膜片12上，根据设计的考虑而定。
可聚合材料34可作为多个间隔开的液滴沉积在膜片12第一部分15上。例如，可聚合材料34可以是沉积液滴，使每个液滴的单位体积在约1-200皮升之间。可聚合材料34的液滴可根据下落图形沉积在膜片12的第一部分上。下落图形可基于设计考虑和/或确定为提供诸如美国专利出版物第2005/0270312号所描述的具体结构，本文以参见方式引入该专利。
可聚合材料34可包括如美国专利第7,157,036号和美国专利出版物第2005/0187339号中所述的单体混合物，本文以参见方式引入该两个专利。此外，为了在刻印之后便于弄湿和/或粘结，膜片12可用美国专利出版物第2007/0114686号中所述的合成物进行处理，本文以参见方式引入该专利。
参照图2-4，系统10还可包括沿着路径42联接到直接能量40的能源38。刻印头30和/或辊子13可构造成与路径42重叠地定位模板18和膜片12的第一部分15。系统10可由处理器54调节，所述处理器与辊子13、刻印头30、流体分配系统32、泵系统60和/或能源38通信，并可在储存在存储器56内的计算机可读程序上进行操作。
刻印头30可变化模具20和膜片12第一部分15之间的距离，以在其间形成可用可聚合材料34填充的所要求的体积。例如，刻印头30可对模板18施加有力，以使模具20接触可聚合材料34。在所要求的体积用可聚合材料34填充之后，能源38产生能量40，例如，紫外线辐射，致使可聚合材料34固化和/或与膜片12的第一部分15的表面44和图形表面22的形状相一致的交联，在膜片12第一部分15上形成图形层46。图形层46可包括残留层48和多个如突出50和凹陷52所示的结构，使突出50的厚度为t1，残留层的厚度为t2。
参照图7A和7B，可使用多个模板18在膜片12上形成图形层46。例如，第一部分处的第一模板18b可形成图形层46的第一部分15，而第二部分处的第二模板18c可形成图形层46的第一部分15。图形层46的第一部分15可由第一模板18b形成图形，在膜片12上形成第一层，而第二模板18c直接在第一层上形成第二层图形。或者，图形层46的第一部分可由第一模板18b形成图形，用形成各邻近区域图形的第二模板18c来形成多个图形区域。
在膜片12第一部分15形成图形之后，辊子13可促进膜片12的运动，以使膜片12第一部分15远离(例如，偏离)模板18定位，膜片12第二部分17可与模板18重叠定位。例如，如图2所示，辊子13a和13b可促进膜片12沿箭头17方向的运动，以使膜片12第一部分15远离模板18定位，而膜片12第二部分17a可与模板18重叠定位。膜片12第二部分17a然后可形成图形，而辊子13可促进膜片12的运动，以使膜片12的另一部分可与模板18重叠定位。该过程可按需要重复多次。
辊子13可用作为导向辊来促进如图2所示的膜片的运动，和/或辊子13可储存未刻印的膜片12和/或刻印的膜片12。例如，未刻印的膜片12可同心地环绕在辊子13a周围，以形成第一卷筒，而刻印的膜片12可同心地环绕在辊子13b周围，以形成第二卷筒。
图形层46可用如美国专利出版物第2008/0308971号所述的保护膜进行保护，本文以参见方式引入该专利。如此的保护膜可使得再将膜片12捕获到卷筒内，而不损坏图形层46和/或其后在膜片12上加工出的图形。例如，材料可沉积在图形层46上和/或沉积在膜片12上其后加工的图形上，固化并被再捕获到辊子13b内以便储存膜片12。
上述系统和过程还可使用在刻印平版印刷工艺及系统中，可参见美国专利第6,932,934号、美国专利出版物第2004/0124566号、美国专利出版物第2004/0188381号，以及美国专利出版物第2004/0211754号，本文以参见方式引入所有这些专利。
可聚合材料液滴的合并
参照图2和5，一旦分配的可聚合材料34液滴定位在膜片12第一部分15上，可聚合材料34的液滴就可变得捕集在膜片12和/或模具20之间。例如，具有最小厚度的膜片12(例如，近似为10μm-500μm的薄膜片)可能不能支承可聚合材料34液滴的重量。这样，膜片12可在捕集液滴的液滴重量作用下形成波动。可聚合材料34液滴的这种捕集可致使膜片12变形，如图5所示。为了防止变形，可将膜片12保持在相对平坦的构造内(例如，膜片的表面基本上没有突出和/或凹陷)。此外，合并诸液滴而形成连续层，可使可聚合材料34的液滴最小和/或防止可聚合材料34捕集和使膜片12变形。
参照图2和5-7，如上所述，刻印头30可对模板18施加有力，以使模具20接触可聚合材料34。该力和/或其它外力(这里通称为作用力F或力F)可被控制以使可聚合材料34液滴在膜片12上的局部捕集最小。例如，作用力F的大小可被控制(最小)而使用可聚合材料34与模具20和/或膜片12的毛细现象力，正如美国专利出版物第2005/0061773号中中进一步所述的，本文以参见方式引入该专利。
作用力F的控制可由下式确定：
F∝h3vμ                            (方程1)
其中，h是液滴高度(例如，200nm-1000nm，较佳地大于400nm)，v是模具20接触液滴的速度(例如，20-100μm/sec)；而μ是液滴中可聚合材料34的粘度(例如，0.5cps-200cps)。
此外，通过改变与膜片12相关的张力，可提供和/或控制可聚合材料34液滴的合并。通过用纤维(例如，金属纤维、玻璃纤维和/或诸如此类的纤维)加强膜片12可提供增加的拉伸强度。纤维可沿辊子13提供的拉伸力的方向对齐。在一个实施例中，对于厚度为100μm、宽度为1m的膜片12，与膜片12相关的张力大小可近似为1至200N，拉伸强度为1-200Mpa。
还可通过改变膜片12上可聚合材料34的表面接触角度(例如，1°-30°)来提供和/或控制可聚合材料34液滴的合并。改变表面接触角度的示例方法还可见美国专利序列号第12/336,821号和美国专利出版物第2006/0175736号中所描述，本文以参见方式引入该两个专利。
此外，通过调整可聚合材料34的粘度、可聚合材料34液滴的大小，和/或可聚合材料34液滴在膜片12上的放置情况，来提供和/或控制可聚合材料34液滴的合并。例如，可聚合材料34的粘度可在1cps-200cps之间变化。液滴的大小可使直径近似在10μm-100μm之间，高度近似在20nm-1000nm之间，和/或液滴之间中心到中心的距离在近似为10μm-250μm。这些元素中的每个都可进行调整，以有助于可聚合材料34液滴的合并。
图8示出一示例方法80的流程图，该方法用来使可聚合材料34液滴在膜片12上的捕集为最小，和/或在刻印平版印刷工艺过程中使膜片12变形为最小。在步骤82中，可确定液滴图形，以将可聚合材料34的液滴放置在膜片12上。可确定液滴图形，以提供刻印平版印刷工艺过程中理想的残留层厚度和由模具20形成的所要求的结构。此外，可使用估计的液滴高度和估计的可聚合材料34粘度来确定液滴图形。在步骤84中，可确定模具20与可聚合材料34接触的估计粘度。在步骤86中，可使用估计的高度、估计的粘度和估计的速度，来确定估计的力F的大小。在步骤88中，可聚合材料34可根据液滴图形来分配在膜片12上。在步骤90中，模具20可基于估计的速度接触可聚合材料34。可为液滴提供合并的机会。或者，可确定各种条件(例如，估计的高度、估计的粘度等)，以使可聚合材料34液滴可在模板18与可聚合材料34液滴接触之前合并。在步骤92中，可估计膜片12的变形和/或图形层46的连续性。在步骤94中，可调整分配的液滴估计高度和可聚合材料34的估计粘度，和/或可改变估计的模具20与可聚合材料34接触的速度，来根据对膜片12变形和/或图形层46的连续性的估计调整力F的估计大小。在步骤96中，可根据对膜片12变形和/或图形层46的连续性的估计，来调整膜片12的张力、可聚合材料34的表面接触角度和/或下落图形中液滴的下落放置。在步骤98中，可重复步骤86-96，直到膜片12的变形为最小，和/或获得图形层46的理想的连续性为止。
大面积成形图形
为了在膜片12上形成图形时提高产量，可使用多个模具20和/或多个模板18的实施例。例如，参照图2、9和10，模板18可设置有多个模具20，使每个模具20能够基本上在同时间和/或相对不同的时间内对膜片12形成图形。例如，图9的模板18可包括多个模具20a、20b、20c、20d、20e、20f、20g、20h和20i。模具20a-20i可以基本上与图2所示的模具20相同。每个模具20a-20i可具有在其上形成的基本上相同的图形和/或在其上形成的不同的图形。例如，模具20b、20d、20f和20h可具有在其上形成的基本上相同的图形，并称其为MOLD1；而模具20a、20c、20e、20g和20i可具有在其上形成的基本上相同的图形，并称其为MOLD2。甚至MOLD2还可与MOLD1互补。应该指出的是，模板18a可具有定位在其上任何数量的模具20，根据设计的考虑，使模具20具有任何图形的组合。
模板卡盘28和/或泵系统60可控制图9所示模板18a的形状。模板卡盘28的至少一部分和模板18a与各模具20重叠的区域，这可形成腔室62。例如，模板卡盘28的至少一部分和模板18a的与各模具20a、20b和20c重叠的区域，分别形成腔室62a、62b和62c。为了简化图示说明，在图10A和10B中仅示出腔室62a-62c；然而，应该理解的是，腔室62d-62i可基本上类似于腔室62a-62c。
每个腔室62可与泵系统60流体地连通。泵系统60可联合地控制每个腔室62内的压力。或者，每个腔室62可与单独的泵系统60连通。
泵系统60控制每个腔室62内的压力，以在基本上相同的时间和/或相对不同的时间段内提供膜片12的图形成形。例如，可聚合材料34可分配在膜片12上，泵系统60使模具20a在不同于模具20b和/或20c的时间段内使可聚合材料34在膜片12上形成图形，如图10B所示。示范的图形形成技术还在美国专利出版物第2007/0190200号中有描述。
参照图7、11和12，在另一实施例中，系统10可包括至少两个模板18b和18c。模板18b和18c可基本上类似于如本文所述的模板18和18a。
模板18b可与模板18c互补，且反之亦然。例如，模板18b的基本上没有模具20的那些部分21，可具有对应于模板18c内具有模具20的部分64的区域。如图7、11和12所示，模板18b包括对应于模板18c的部分21a、21c、21e、21g和21i的模具20a、20c、20e、20g和20i。同样地，模板18c包括对应于模板18b的部分21b、21d、21f和21h的模具20b、20d、20f和20h。
模板18b和18c可与泵系统60流体地连通，形成腔室62a-62i，类似于以上参照图10所描述的系统。例如，对于模板18b来说，模板卡盘28的至少一部分和模板18b的与各个模具20a、20c、20e、20g和20i重叠区域，形成了腔室62a、62c、62e、62g和62i。此外，腔室62a、62c、62e、62g和62i可与模板18c的部分21a、21c、21e、21g和21i重叠。对于模板18c来说，模板卡盘28的至少一部分和模板18c的与各个模具20b、20d、20f和20h重叠的区域，形成了腔室62b、62d、62f和62h。此外，腔室62b、62d、62f和62h可与模板18c的部分21b、21d、21f和21h重叠。
图13示出用来使用模板18b和18c以形成膜片12的图形的方法100的流程图。在步骤102中，可将可聚合材料34分配膜片12上。在步骤104中，泵系统60可将腔室62b、62d、62f和62h置于真空状态下，以使模板18b的部分21b、21d、21f和21h弯曲远离膜片12，导致模具20a、20c、20e、20g和20i朝向膜片12弯曲。这样，模板18b的模具20a、20c、20e、20g和20i可接触可聚合材料34，而模板18b的部分21b、21d、21f和21h未接触可聚合材料34。在步骤106中，可聚合材料可固化而形成跳棋盘图形。应该指出的是，可根据设计的考虑来形成任何图形。例如，跳棋盘图形的第一部分可形成有随后的模板，以提供跳棋盘图形的第二部分。在可选的步骤108中，泵系统60可将腔室62b、62d、62f和62h置于压力状态下，以促进模板18b与图形层46分离。在步骤110中，可移去模板18b。在步骤112中，可将可聚合材料34分配在膜片12上。在步骤114中，泵系统60可将腔室62a、62c、62e、62g和62i置于真空状态下，以使部分21a、21c、21e、21g和21i弯曲远离膜片12，于是，模具20b、20d、20f和20h朝向膜片12弯曲。例如，模具20b、20d、20f和20h可接触可聚合材料34，而部分21a、21c、21e、21g和21i未接触可聚合材料34。在可选步骤116中，泵系统60可将腔室62a、62c、62e、62g和62i置于压力状态下，以促进模板18c与图形层46分离。应该指出的是，在通过模板18b形成可聚合材料34图形之前，模板18c能够使可聚合材料34形成图形。
膜片12的图形形成可使用在任何希望的应用中。例如，膜片12的图形形成可用于结构尺寸为10nm-100nm的太阳能电池的毫微结构中，就如美国专利序列号第12/324,120号进一步所描述的，本文以参见方式引入该专利。此外，膜片12的图形形成可用于亚波长光子装置的毫微图形中，诸如尺寸近似为50nm-500nm的偏光器；结构尺寸为50nm-500nm的光子晶体；尺寸近似为1μm-500μm的微型透镜结构，三维的结构等。

Claims (23)

1.一种使可聚合材料在膜片上形成图形的方法，所述方法包括：
将可聚合材料的多个液滴分配在所述膜片上；
对第一刻印平版印刷模板施加力，使得所述第一刻印平版印刷模板接触所述膜片上的所述可聚合材料液滴，其中将所述力预确定成使得在所述膜片上所述可聚合材料液滴的局部捕集最少，从而液滴在与所述第一刻印平版印刷模板接触过程中合并而形成连续层；以及
使所述可聚合材料固化而形成图形层，所述图形层具有残留层和至少一个结构。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括在分配所述液滴之前调整薄所述膜片的张力，使得所述液滴在分配在所述膜片上时合并而形成所述连续层。
3.如权利要求1-2中任一项所述的方法，其特征在于，调整所述膜片的张力包括增大所述膜片的拉伸强度。
4.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，还包括在分配所述液滴之前调整所述可聚合材料的表面接触角度，使得所述液滴在分配在所述膜片上时合并而形成所述连续层。
5.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，还包括在分配所述液滴之前调整所述可聚合材料的粘度，使得所述液滴在分配在所述膜片上时合并而形成所述连续层。
6.如权利要求1-5中任一项所述的方法，其特征在于，还包括在分配所述液滴之前调整所述可聚合材料液滴的大小，使得所述液滴在分配在所述膜片上时合并而形成所述连续层。
7.如权利要求1-6中任一项所述的方法，其特征在于，还包括在分配所述液滴之前调整所述可聚合材料的放置，使得所述液滴在分配在所述膜片上时合并而形成所述连续层。
8.如权利要求1-7中任一项所述的方法，其特征在于，所述膜片联接到第一辊子和第二辊子，所述第一辊子和所述第二辊子相对于彼此基本上平行地定位，使得所述膜片的第一部分基本上平行于所述第一刻印平版印刷模板。
9.如权利要求1-8中任一项所述的方法，其特征在于，所述第一刻印平版印刷模板包括多个模具。
10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述第一刻印平版印刷模板的所述多个模具基本上类似。
11.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述第一刻印平版印刷模板的所述多个模具包括第一子集的模具，所述第一子集的模具与第二子集的模具互补。
12.如权利要求9-11中任一项所述的方法，其特征在于，还包括邻近于所述第一刻印平版印刷模板的卡盘系统，其中所述卡盘系统与每个模具重叠以形成多个腔室。
13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，还包括与每个腔室流体连通的泵系统，所述泵系统能够使每个腔室处于真空状态，以使所述第一刻印平版印刷模板的各部分远离所述膜片弯曲，以及所述模板的各部分朝向所述膜片弯曲。
14.如权利要求12-13中任一项所述的方法，其特征在于，还包括与每个腔室流体连通的泵系统，所述泵系统能够使每个腔室处于压力状态。
15.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括用第二刻印平版印刷模板在所述图形层上形成第二图形层，其中，在用所述第一刻印平版印刷模板形成所述图形层过程中，所述第二刻印平版印刷模板偏离所述可聚合材料定位，而在用所述第二刻印平版印刷模板形成图形过程中，所述第一刻印平版印刷模板偏离所述图形层定位。
16.如权利要求15所述的方法，其特征在于，所述第一刻印平版印刷模板包括朝向所述膜片延伸的多个模具以及基本上没有模具的多个部分。
17.如权利要求15-16中任一项所述的方法，其特征在于，所述第二刻印平版印刷模板与所述第一刻印平版印刷模板互补。
18.如权利要求15-17中任一项所述的方法，其特征在于，为对所述图形层上形成图形而施加在所述第二刻印平版印刷模板上的力可确定成使所述膜片内的波动最小，使得所述膜片基本上为平的。
19.如权利要求15-18中任一项所述的方法，其特征在于，所述膜片联接到第一辊子和第二辊子，还包括：
通过所述第二辊子再捕获具有所述图形层和所述第二图形层的所述膜片；以及
在再捕获之前，在所述第二图形层上形成膜，所述膜保护所述第二图形层在再捕获所述膜片过程中免遭损坏。
20.一种使可聚合材料在膜片上形成图形的方法，所述方法包括：
将第一可聚合材料的多个液滴分配在所述膜片的第一区域上，所述膜片的第一区域与第一刻印平版印刷模板重叠；
对所述第一刻印平版印刷模板施加第一力，使得所述第一刻印平版印刷模板接触所述膜片上的所述可聚合材料液滴，其中，所述第一力预确定成使得在所述膜片的所述第一区域上所述第一可聚合材料液滴的局部捕集最少，从而在与所述第一刻印平版印刷模板接触过程中，所述第一可聚合材料液滴合并而形成第一连续层；
使所述第一可聚合材料固化；
调整辊子，以使所述膜片的所述第一区域与第二刻印平版印刷模板重叠；
将第二可聚合材料的多个液滴分配在所述膜片的所述第一区域上；
对所述第二刻印平版印刷模板施加第二力，使得所述第二刻印平版印刷模板接触所述膜片上所述第一区域上所述第二可聚合材料液滴，其中所述第二力预确定成使得在所述膜片的所述第一区域上所述第二可聚合材料液滴的局部捕集最少，从而在与所述第二刻印平版印刷模板接触过程中，所述第二可聚合材料液滴合并而形成第二连续层；以及
使所述第二可聚合材料固化。
21.如权利要求20所述的方法，其特征在于，所述第一连续层和所述第二连续层相邻。
22.如权利要求20所述的方法，其特征在于，所述第二连续层直接定位在所述第一连续层顶上。
23.如权利要求20-22中任一项所述的方法，其特征在于，还包括对所述第二层施加保护膜。
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