CN101939079B - 用于处理来自制程的可燃性废气的系统及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种处理可燃性废气的系统。该系统包括：排气导管，其将该可燃性废气运送至消减单元；控制系统，其耦合至该消减单元以判定该消减单元的参数；旁路阀，其耦合至该排气导管，并操作性地响应于监控系统；以及第二气体源，当该旁路阀在旁路模式下工作时，将第二气体与由该消减单元转向的废气混合，以提供混合气体，且该混合气体的可燃性低于废气。还提供了根据本发明的方法与数种其它实施方式。
Description
关联申请的交叉引用
本发明与下列共同受让、同时另案待审的美国专利申请案及专利案相关，在此将其整体结合到本说明书中并针对所有目的而作为参照：
美国专利申请，其公开号为2006/0104879，申请日为2004年11月12日，专利名称为“用于在制程消减过程中降低微粒沉积的反应器设计(Reactor Design To Reduce Particulate Deposition During ProcessAbatement)”；
美国专利申请，其公开号为2006/0104878，申请日为2004年11月18日，专利名称为“热消减反应器的安全，以及监控和控制特征结构(Safety，Monitoring And Control Features For Thermal AbatementReactor)”；以及
美国专利号第7,138,096号，专利名称为“用于分解气态污染物的方法(Method For Decomposition Of Gaseous Pollutants)”。
技术领域
本发明涉及对含有污染物的气流的处理，具体而言，涉及对由制程所造成的可燃性废气(effluent gas)的处理方法及设备。
背景技术
在半导体材料及电子装置、产品及内存对象的制造中，会使用各种化学物质。在这些制程中，会产生废气，且部分废气是可燃的。举例来说，可产生的废气包括诸如氢气及/或硅烷气体的可燃性或发火性(pyrophoric)气体。因此，一般期望对这些废气进行处理，例如将这些废气通过适合的消减(abatement)单元。
公知的流出物(effluent)消减系统一般包括热反应器，其可以以例如大于95％的分解移除效率而将废弃的流出物成分移除。在可燃性或发火性废气(例如氢气及硅烷气体)的实例中，废气本身可以作为消减单元的燃料。当与氧化剂结合时，可燃性或发火性废气会适当地点燃及燃烧。
随着热消减系统的发展，期望能够发展更安全的系统，以对此种消减系统进行安全的操作，并降低或消除可能的爆炸风险。这特别适用于制程废气是高度可燃性或发火性的系统。
因此，期望提供增加此种流出物处理系统的安全性的方法及设备。
发明内容
根据本发明一个方面，提供了一种处理来自电子装置制程的可燃性废气(effluent gas)的方法。该方法包括步骤如下：将来自该制程的该可燃性废气提供至消减(abatement)单元，而该消减单元适于消减该可燃性废气；监控该消减单元的参数；若该消减单元的该参数落入预定界限外时，使该可燃性废气分流以绕过该消减单元；以及将经转向的该可燃性废气与第二气体混合，以形成气体混合物，且该气体混合物相较于该可燃性废气具有更低的可燃性(flammability)。
在另一实施方式中，提供了一种处理可燃性废气的方法。该方法包括步骤如下：将来自电子装置制程工具的该可燃性废气提供至消减单元，而该消减单元适于消减该可燃性废气；在某些时间点，将该可燃性废气从该消减单元分流；以及将经分流的该可燃性废气与第二气体混合，以形成气体混合物，且该气体混合物相较于该可燃性废气具有更低的可燃性。
在另一实施方式中，提供了一种处理来自电子装置制程的可燃性废气的方法。该方法包括步骤如下：使来自该电子装置制程的制程腔室的该可燃性废气流动至消减单元，其中该可燃性废气包括硅烷及氢气；监控该消减单元的参数；若该消减单元的该参数落入预定界限外时，使该可燃性废气分流以绕过该消减单元；以及将经分流的该可燃性废气与氮气混合，以形成气体混合物，且该气体混合物相较于该可燃性废气具有更低的可燃性。
在另一实施方式中，提供了一种处理电子装置制程腔室的可燃性废气的系统。该系统包括：排气导管，适于将该可燃性废气运送至消减单元；监控系统，其耦合至该消减单元并适于感测该消减单元的参数；旁路阀，其耦合至该排气导管，并操作性地响应于该监控系统，其中该旁路阀具有旁路模式与流通模式，且其中在该旁路模式下，该可燃性废气的流动从该消减单元分流，而在该流通模式下，该可燃性废气的流动导向该消减单元；以及第二气体源，适于当该旁路阀操作在该旁路模式下时，混合第二气体与该可燃性废气。
在另一实施方式中，提供了一种处理可燃性废气的方法。该方法包括步骤如下：使来自电子装置制程工具的该可燃性废气流动经过泵浦以及排气导管而至消减单元，在该流动的步骤过程中，以第一量级的体积流率的净化气体净化该泵浦；关闭来自该制程工具的该可燃性废气的流动；以及将该净化气体的该体积流率降低至非零值的第二流率达一段时间，以至少部分地净化该泵浦以及该泵浦与该消减单元之间的该排气导管。
在另一实施方式中，提供了一种处理可燃性废气的方法。该方法包括步骤如下：使来自电子装置制程工具的该可燃性废气流动经过排气部件到达消减单元；关闭来自该制程工具的该可燃性废气的流动；以及延迟该消减单元的停工达一段时间，以净化来自该制程工具与该消减单元之间的至少部分的该排气部件中的该可燃性废气。
根据本发明的这些与其它实施方式而提供数种其它实施方式。根据以下详细说明、权利要求以与附图，本发明的其它特征与实施方式会变得更清楚。
附图说明
图1示出了本发明的用于处理可燃性废气的系统的概要视图。
图2示出了本发明的方法的流程图。
图3示出了本发明的用于处理可燃性废气的系统的另一实施例的概要视图。
具体实施方式
电子装置制程会使用多种化学试剂，且这些试剂的一部分会在未使用的状态下通过制程工具。对于环境来说，若将这些未使用的试剂简单且直接地导引通过设备排放系统是不期望的，且/或会造成火灾及/或爆炸风险。此外，电子装置制程可能会产生副产物，而这些副产物也同样地为不期望的，且可能造成同样的风险。为了参照的简易性，在此将由此种制程所排放出的不期望的、毒性、可燃性、发火性及/或爆炸性的未使用试剂及副产物称为“废气”，或仅称之为“流出物”。
为了避免对环境造成可能的伤害及/或可能的安全风险，电子装置制造工厂通常会希望进行此种废气的消减。对不期望的废气的消减会采取多种形式，但最终的消减会将不期望的废气转化为非毒性或较不具毒性的物质及/或气体。消减不期望的废气的方法在消减单元中燃烧废气，因而将气体转变为较不具毒性的形式，例如CO2、水蒸气及可能的微粒物质。
举例来说，在制造太阳能板的制程中，分别为可燃性与发火性的大量的未使用氢气及硅烷试剂可以由制程腔室(例如CVD沉积腔室)排出。期望能够对这些通常为大量的可燃性及/或爆炸性气体进行消减。来自电子装置制程的废气的其它可燃性气体可能包括锗烷(GeH4)、膦(H3P)、胂(H3As)等。为了方便理解，将可燃性、发火性及/或爆炸性的任何废气在此均称为“可燃性气体”。在消减这些可燃性气体的过程中，若处理这些可燃性废气的消减单元是完全故障或是不适当或无效率地操作，则其可能会提供不安全的操作情况，例如可燃性气体或气体混合物会以未消减状态而从消减单元通过。举例来说，引火(pilot)或点火构件的故障会造成上述的情况。
因此期望以减少或避免可燃性气体或气体混合物以未消减状态由消减单元通过的可能性的方式来操作消减单元。在本发明的部分实施例中，监控消减单元的操作参数。监控的项目例如可包括：引火或点火构件的状态、消减单元中的炉火焰(burner flame)的状态(通过发热或温度传感器)、流出物输入的流速、燃料泄漏(通过燃料泄漏传感器)、再循环或新鲜水流、CPU故障、通过第二围阻体(containment)传感器所侦测的液体、(若有的话)辅助燃料的流动、通过本质安全可燃性气体传感器的来自消减单元的废气的可燃性、入口压力、排放压力、及/或离开消减单元的流出物的化学组成。
根据本发明的实施例，流出物流(flow)有时会从消减单元被分流。当所监控的参数并未落入预定的范围内时(例如超过阈值的界限，且无论是超过或低于该值)，则可燃性废气会接着被分流从而绕过消减单元。流出物的分流从而绕过消减单元在此认为是“旁流情况(bypass event)”。在旁流情况下分流，则可燃性的废气会与第二气体(例如惰性气体)混合，由此稀释该废气。第二气体可以为惰性气体，例如氮气、氩气、氦气或是任何可以防止流出物燃烧或毒性副产物形成的气体。
气体(例如：废气混合物)的“可燃下限”可界定为空气中的气体浓度，其中在低于该气体浓度时，气体/空气混合物不会支持燃烧，例如低于此气体浓度时，气体/空气混合物为非可燃性。因此，在部分实施例中，在旁路情况下，足够量的第二气体会混合入废气中，因此，经过稀释的废气浓度会低于气体的可燃下限。在部分实施例中，可燃性及/或发火性的混合物的浓度可稀释至一定程度，由此，各组成气体的浓度可低于其可燃下限。举例来说，甲烷或氢气一般稀释至低于其各自的可燃下限的四分之一。当发火性气体SiH4为废气的一种时，所提供的第二气体的体积足以使SiH4稀释至低于SiH4在空气中的发火性浓度1.6％。以此方式，则可达到具有降低或零燃烧或爆炸风险的废气的安全排出。一般来说，经过稀释的气体可以传送至厂内洗涤器(house scrubber)或使用点(point of use；POU)洗涤器。
在旁路情况中，(例如在危急状况下)可使消减单元立即停工，且因此立即致动旁路阀。此种旁路情况例如可包括感测到燃料泄漏、不适当的再循环流体流或过载、侦测到内容物含有液体或是CPU故障。在其它情况中(例如：延迟停工情况)，则可能不需要致动旁路阀。在此种延迟停工情况中，在制程工具停工之后，消减单元的停工延迟一段时间。在延迟停工情况中，由于此种情况并非会立即造成不期望情况产生的危急状况，此延迟允许在消减单元停工之前，对来自各种系统部件(例如真空泵浦以及位于泵浦与消减单元之间的任何导管)的废气进行净化清洁。以此方式，随着对系统部件进行净化，废气的消减可持续较短时间。在上述延迟旁路情况中，净化气体会推动废气的堵塞通过消减单元，因此如期望地允许在制程导管及泵浦中的气体仍然进行消减。该系统及方法的这些及其它实施例参照图1～图3描述如下。
图1为本发明的示例性消减系统100的概要视图。消减系统100可包括消减单元102，而该消减单元102适于对一个或多个制程工具104的一个或多个腔室所排放的废气进行消减。废气例如由制程工具104流经一个或多个排气导管105、106及107从而到达消减单元102。消减单元102例如可通过燃烧及/或分解而消减可燃性废气或气体混合物。适合的消减单元描述于：美国专利申请公开号第2006/0104879号，2004年11月12日申请，专利名称为“用于在制程消减过程中降低微粒沉积的反应器设计(Reactor Design To Reduce Particulate Deposition During ProcessAbatement)”；以及美国专利号第7,138,096号，专利名称为“用于分解气态污染物的方法(Method For Decomposition Of Gaseous Pollutants)”中，在此通过引用将其结合入本说明书中。经消减的流出物可接着例如经过排气出口108而由消减单元102排出，并排放至大气。可选地，废气可流入另一消减装置(图中未示)，例如微粒移除设备(如填充床)、POU洗涤器、或厂内洗涤器。
本发明利用适于处理废气的任何消减单元102进行操作。消减单元的特定型式本身并非本发明的结果，而可使用能够消减废气的任何合适的反应器。消减单元例如为燃料燃烧热消减单元，例如购自加州圣克拉拉的应用材料公司(Applied Materials，Inc.)的Marathon消减系统。另外，消减单元可以为电性加热，或是通过任何其它适合方法加热。在部分实例中，消减单元可能需要辅助燃料源(如天然气)来供给燃料。在其它实施例中，例如当废气本身为可燃性(例如氢气或硅烷)且因此其本身包括燃料时，消减单元仅需最少量的辅助燃料以消减流出物。
更详细的说，制程工具104为包括制程腔室(图中未示出)的任何工具或系统，且该些制程腔室被用于生产电子装置，例如LSI(大规模集成电路)、LCD(液晶显示器)、太阳能电池或其他部件或类似部件。如上所述，制程工具104包括制程输入气体(由箭头109标示)，其中部分的气体109会被消耗，而部分的气体109则仅通过制程腔室(例如硅烷及/或氢气)。工具104可进一步产生废气，而此废气成为在腔室中的制程产生的副产物。同时，这些废气(通过及产生的气体)会通往消减单元102从而被消减。在制程工具104的制程腔室中所进行的示范性制程包括沉积、蚀刻、清洁、陈化(seasoning)或任何适合的制程。
举例来说，在太阳能电池的制程中，制程工具104的制程腔室可通过使用硅烷(SiH4)及氢气(H2)作为输入制程气体109，以在基板上产生非晶或结晶二氧化硅的薄膜。在经过适合的制程(例如PECVD或Cat-CVD)的分解之后，则二氧化硅薄膜形成在腔室中的基板上。然而，由于相对低的转化率(conversion rate)，来自制程工具104的排出物(废气)仍含有相对大量的氢气及/或硅烷，且期望对其进行消减。
根据部分的实施例，可包括有泵浦110(例如真空泵浦)以维持废气的流动，因此工具104的制程腔室可设置有适合的真空层级。图中仅示出了一个泵浦，但应了解也可使用多个泵浦(例如：多级真空泵浦；stagedvacuum pump)。此外，在操作中，泵浦可以包括部分惰性气体(如氮气)以例如作为净化气体。在本发明的部分实施例中，旁路阀111可耦接至导管106，而导管106附接至泵浦110并接收来自泵浦110的流出物流。旁路阀111可以为任何实用的结构，例如为不锈钢或是具有密封表面的高镍合金。阀的设计可以为球阀、闸阀、膜片阀或是任何适合的阀。举例来说，适合的气动操作不锈钢(1英寸内径)旁路球阀可购自SVF FlowControls公司。旁路阀111可以在流通配置与旁路配置之间操作，在流通配置中，流出物会流动通过导管107从而进入消减单元102，而在旁路配置中，其有时在系统操作中会将废气流自消减单元102分流。举例来说，当控制系统113(包括控制器114与一个或多个传感器116)判定由一个或多个传感器116所测得的参数并未落入消减单元102的预定界限，则流出物流会分流至旁路导管112。预定界限是一种量测的状态，在该状态下，若仍允许消减单元102持续超过预定时间，则消减系统100会受到影响而产生不期望或是不安全的情况(例如一种适于爆炸或燃烧的情况)。在此种危急的旁路情况下，预定的时间会较短(例如数秒或更低的量级，例如约30、20、10、5、4、3、2或1秒或更短)。然而，在延迟停工情况下，在制程工具104停工之后，消减单元可持续操作高达约30、20或15秒，藉以清洁/净化系统部件(例如泵浦及导管)，并接着需要旁路操作。延迟停工情况的延迟时间根据工具与消减单元之间的系统容积而确定。因此，取决于制程工具与消减单元之间的系统容积，在制程工具104停工之后，消减单元可持续操作高达约30、20或约10秒。
因此，一个或多个传感器116可操作性地耦接至消减单元102，并用以判定消减单元102的一个或多个操作参数(例如：情况)。受到监控的操作参数可包括上方所列举的参数的任意一者。
一个或多个传感器116可以与控制器114为通信连接。可使用燃烧及/或可燃性气体传感器，如描述于美国专利申请公开号第2006/0104878号，申请日为2004年11月18日，专利名称为“热消减反应器的安全，以及监控和控制特征结构(Safety，Monitoring And Control Features For ThermalAbatement Reactor)”中。控制器114可以通过来自一个或多个传感器116的输入而持续地监控消减单元102的一个或多个操作参数。控制器114可以是中央处理单元或其它控制系统，例如微处理器及内存，其中程序可被储存并被执行以产生输出指令给旁路阀111。具体而言，响应于所感测的(多个)输入，控制器114可以产生输出指令(例如电信号)，该输出指令可在流通模式与旁路模式之间控制旁路阀111的模式。
举例来说，如上所讨论者，旁路阀111可包括流通模式，在此模式下，若消减单元102被控制系统113认定为在所感测的(多个)操作参数的可接受界限内工作，则废气可以通过旁路阀110从而到达消减单元102以进行适合的消减。相反地，在旁路模式中，旁路阀111可经设定而使废气流绕过消减单元102并导引通过旁路导管112。转换为旁路模式可例如发生在当所感测的参数超过预定界限之时。在操作中，当已确定旁路情况，则立即关闭供应至工具104的制程气体109，并关闭位于工具104的制程腔室(图中未示出)的出口的工具排气阀(图中未示出)。可基于针对消减单元102的经验来设定预定界限，并可以谨慎地设定，由此绝不会发生不安全的情况。在感测到危急的旁路情况的情况中，可立即指示旁路模式。若感测到延迟停工模式，则接着停止通往工具的流动，但是系统在消减单元停工之后，会持续对导管与位于工具与消减单元之间的系统部件中含有的废气进行消减。
在旁路情况下，一般在伴随有来自控制器114而至旁路阀111以使废气分流的输出指令的同时，对于第二阀120的指令可开启第二阀120，并将来自第二气体供应器122且通过导管121的第二气体混合至含有废气的导管106。因此，混合的气体会通过导管112。第二气体可以是惰性气体，例如氮气、氦气、氩气或任何其它非挥发性、非氧化气体。藉由混合来自第二气体供应器122的第二气体，可形成具有可燃下限的稀释的气态混合物，且该可燃下限大于未稀释废气的可燃下限。该气态混合物接着通过导管112而排放至大气，或是通过排气导管108而排放至适合的内部或POU洗涤器。
可燃性废气可包括一种或多种组成气体。第二气体以一定比例与可燃性废气混合，由此，可燃性废气的组成气体的浓度可降低至低于组成气体的可燃下限。第二气体也可以一定比例与可燃性废气混合，由此，可燃性废气的一种或多种组成气体的每一者均可降低至低于特定组成气体的可燃下限。所得到的经稀释的废气为非可燃性的。废气的可燃性组成气体占经稀释的废气的总体积的约2％或更低，或甚至为约1％或更低。第二气体流至导管106内，并且流经导管112的体积流率可以相当快，例如为0.5m3/s或更快。此可藉由使用适当地加压的第二气体供应器122以及节流阀123来达成。第二气体供应器122可容纳在任何适合的压力容器中，并在容器中维持约75psi～约120psi之间的压力，且在部分实施例中例如为约90psi。当第二气体(例如氮气)的供应(例如经过使用)降低时，则通过供应导管126而由第二气体(图1中标示为N2)的第二供应器对第二气体供应器122进行再填充，以将第二气体来源维持以适当的静压(staticpressure)。可使用适当的压力计127以监控压力，并当压力低于预定量级时，关闭阀129并开启阀128。阀128与压力计127与控制器114接合，由此控制在适当时间的再填充，并监控泄漏情况等。可使用其它配置的阀以提供旁路功用。
示出了根据本发明的处理可燃性废气的方法的流程图是显示并参照图2来进行描述的。方法开始于步骤202，其中电子装置制程工具提供可燃性废气。废气通常向适于消减废气的消减单元提供。方法包括步骤204，监控消减单元的参数(例如火焰的存在、可燃性气体的存在或任何上述其它参数)。方法还包括步骤206，其中若监控的单元参数并未落入预定界限，则使废气经过旁路。方法终止于步骤208，其中第二气体混合至废气中以稀释。此混合步骤可提供气体混合物，其相对于废气为较不可燃或为不可燃。该混合物接着排放至大气、储存于补充容器及/或进行进一步的消减。
废气处理系统300的第二实施例绘示于图3。如上述实施例，废气(例如氢气及硅烷)可以由一个或多个制程工具104的一个或多个制程腔室而排放至排气导管105中。真空泵浦110(可包括复数个分级真空泵浦)可将废气抽吸至导管106，并在正常操作条件下，废气可以通过旁路阀111而进入导管107并进入消减单元102(例如上述的消减单元)。若包括控制器114及一个或多个传感器116的控制系统113判定出危急的旁路情况，则接着会致动旁路阀111到达旁路位置，废气会被分流至旁路导管112。实质上与此分流发生的同时，阀120被致动，而来自第二气体供应器122的第二气体的供应会在导管121中移动，并与废气混合。第二气体与废气的混合物会在旁路导管112中移动至洗涤排气装置330(例如公知的厂内或POU洗涤器)。如同前述的实施例，可以通过致动阀128来由惰性气体供应(标示为N2)补充第二气体供应器122。当然，当判定为旁路情况时，供应至工具104的制程气体109会立即关闭，并且还关闭制程工具104的排气阀(图中未示)。
系统300还可包括分配单元332(例如质流受控的阀的面板)，其可以在多个输入点来将稀释气体(例如惰性气体，如氮气)输入至流出物处理系统300。举例来说，在实施例中，可以控制在泵浦110上方的第二气体的体积流率，而上述控制是通过将受控量的第二气体输入通过导管334而进入排气导管105。在正常操作的过程中，可燃性废气可以由制程工具104流经泵浦110及排气导管105、106、107而到达消减单元102。在此正常操作的过程中，泵浦110利用净化气体(例如氮气)进行净化，而该净化气体的流率为第一量级，以确保安全的泵浦操作。
根据另一方法实施例，当感测到延迟停工情况(例如上述任何感测参数并未落入预定界限内)，则在关闭来自制程工具104的可燃性废气流的大致同时或短时间之后，净化气体的体积流率可以降低至第二体积流率(非零值)一段时间。由此允许在关闭来自制程工具104的可燃性废气流之后，对残留在导管105、106、107以及泵浦110内的任何可燃性废气进行净化。在延迟停工的这个时候，废气会沿着消减单元102而被推动，且消减单元会持续操作直到导管大致净化为止。当然，可以在将剩余流出物完全净化并分流至旁路导管112及洗涤排气装置330之前的任何时间点致动旁路阀111，这样会造成部件的部分净化。完全净化所需的延迟时间可取决于所使用的净化气体的流率，以及泵浦和位于工具104与消减单元102之间的导管部件的容积。第二量级的非零值的体积流率可小于20％，或甚至小于第一量级的体积流率的10％。由于停工之后，氢气在排气导管内的量较低，故需要较少体积的净化气体以维持泵浦110及导管105、106、107的安全(非可燃)情况。具体而言，期望将净化气体中的氢气的最大浓度维持在低于1％(相当于氢气的可燃下限的约1/4)。在净化泵浦之后，可进一步增加流率以加速净化处理。
根据本发明的另一实施例，提供了一种处理可燃性废气的方法，其中在制程工具104停工以及消减单元102停工之间提供延迟(“延迟停工”)。由于所监控的参数被判定为并未落入预定界限内，或者仅是因为期望进行人为停工(例如针对维修)，则在指示停工之后，关闭来自制程工具104的可燃性废气的流动，而这包括关闭制程气体流以及关闭位于制程腔室(图中未示出)下方的排气阀(图中亦未示出)。
在制程工具104停工之后，消减单元102的停工延迟一段时间，以对于来自制程工具104与消减单元102之间的至少部分排气部件(例如泵浦110及/或至少部分的导管105、106、107)的可燃性废气进行净化。停工的延迟占将废气自排气部件净化的时间。应注意的是，此延迟停工方法适用于非危急的情况，也就是即使消减单元参数并未落入预定界限内，消减单元仍可有效地操作以消减流出物，而并不存在爆炸的严重风险。在此延迟过程中，消减单元102可持续正常地操作，并消减废气。在工具104停工后所导引的净化气体在到达消减单元102之后，消减单元也接着停工。当然，在延迟过程中的任何时间点，控制器114可指示旁路阀111致动为旁路模式，则气体可以分流至旁路导管112。另外，可提供导管335、336，由此分配单元332可以在任何其它位置输入净化气体，例如导管335中的泵浦110的下方(下游)，或是在导管336中从而到达消减单元102。在延迟停工的实例中，所添加的净化气体量足以确保在排气部件中不存在可燃性混合物。这可包括确保所存在的氢气的量，以使得不超过最大氢气浓度。同样的，当废气中包括有硅烷时，添加的净化气体量可使得不超过最大硅烷浓度(例如爆炸下限或LEL的约1/4)。
以上说明仅揭示了本发明的示例性实施例。落入本发明范畴的对于上述揭露的设备及方法的修改对于该技术领域普通技术人员是显而易见的。
虽然参考了优选实施例如上描述了本发明，但这并非用以限定本发明，任何本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内所作的更动与润饰，仍应属本发明的技术范畴。
Claims (14)
1.一种对来自电子装置制程的可燃性废气进行处理的方法，所述方法包括以下步骤：
将来自所述制程的所述可燃性废气提供至消减单元，所述消减单元适于消减所述可燃性废气；
监控所述消减单元的参数；
如果所述消减单元的所述参数落在预定界限之外时，使所述可燃性废气分流以绕过所述消减单元；并且
将经转向的所述可燃性废气与第二气体混合，以形成气体混合物，且所述气体混合物相较于所述可燃性废气具有更低的可燃性。
2.如权利要求1所述的方法，其中，所述第二气体包括惰性气体。
3.如权利要求1所述的方法，其中，所述可燃性废气包括氢气。
4.如权利要求1所述的方法，其中，所述可燃性废气包括硅烷。
5.如权利要求4所述的方法，其中，所述可燃性废气包括0.1％～20％的硅烷。
6.如权利要求1所述的方法，其中，所述可燃性废气包括氢气和硅烷。
7.如权利要求1所述的方法，其中，所述气体混合物中所述可燃性废气的浓度低于所述可燃性废气的可燃下限。
8.如权利要求1所述的方法，其中，所述监控的步骤包括感测所述消减单元中的火焰的存在。
9.如权利要求1所述的方法，其中，所述监控的步骤包括感测所述消减单元中的可燃性气体的存在。
10.一种对电子装置制程腔室的可燃性废气进行处理的系统，包括：
排气导管，其适于将所述可燃性废气运送至消减单元；
监控系统，其耦合至所述消减单元并适于感测所述消减单元的参数；
旁路阀，其耦合至所述排气导管，并操作性地相应于所述监控系统，其中，所述旁路阀具有旁路模式与流通模式，且其中在所述旁路模式下，所述可燃性废气的流动从所述消减单元被分流，而在所述流通模式下，所述可燃性废气的流动被导向所述消减单元；以及
第二气体源，当所述旁路阀在所述旁路模式下工作时，所述第二气体源适于混合第二气体与所述可燃性废气。
11.如权利要求10所述的系统，其中，所述第二气体包括惰性气体。
12.如权利要求10所述的系统，其中，所述监控系统包括火焰传感器。
13.如权利要求10所述的系统，其中，所述监控系统包括可燃性气体传感器。
14.一种处理可燃性废气的方法，所述方法包括以下步骤：
使来自电子装置制程工具的所述可燃性废气流动经过泵浦以及排气导管从而到达消减单元，在所述流动的步骤过程中，以第一量级的体积流率的净化气体来净化所述泵浦；
关闭来自所述制程工具的所述可燃性废气的流动；并且
将所述净化气体的所述体积流率降低至非零值的第二流率达一段时间，以至少部分地净化所述泵浦以及所述泵浦与所述消减单元之间的所述排气导管。
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