CN100578197C - 光源装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种光源装置，其具备能够使气体放电管的亮度稳定化，并且能够使该气体放电管的保养操作容易的结构。该光源装置具备气体放电管、容纳了该气体放电管的灯容器、固定有该灯容器的基台。在灯容器的外围的一部分上，经由绝热部件而固定有气体放电管，该绝热部件起到降低该灯容器与气体放电管之间的热传导的功能，减少了由灯容器外的温度变化引起的对气体放电管的影响。此外，灯容器具备用于使经由绝热部件而被固定的气体放电管的外围的一部分与外围的其余部分可拆装的拆装结构，该拆装结构使气体放电管的保养操作变得容易。

Description

光源装置

技术领域

本发明涉及一种光源装置，其具备出射规定波长的光的气体放电管，可用作分析装置或半导体检查装置等的光源。

背景技术

目前，在分析装置和半导体检查装置等的技术领域中，已知有如例如专利文献1和2记载的光源装置。这些专利文献1和2中记载的光源装置，具备容纳出射紫外光的重氢灯(气体放电管)的灯容器，该灯容器被容纳在光源装置的壳体中。例如在专利文献1记载的光源装置中，灯箱(灯容器)经由绝热部件而固定在壳体中。由此，防止从壳体向灯箱的传热，实现出射亮度的稳定化。此外，在专利文献2的分析装置(光源装置)中，在灯容器与壳体之间配置有绝热材料，借此防止在气体放电管中产生的热给测定带来不好的影响。

专利文献1：日本特开2000-315417号公报

专利文献2：日本特开平11-344435号公报

发明内容

发明人对现有的光源装置进行了研究，结果发现了以下的问题。即，被容纳在灯容器内的气体放电管容易受到温度变化的影响。特别是，对于专利文献1记载的光源装置而言，气体放电管的芯柱露出于灯容器外，因此气体放电管会受到灯容器外的温度变化的影响，其结果是，可能会使亮度不稳定。

此外，近年来对光源装置提出了小型化的要求，此时，在壳体内靠近配置灯容器与其它部件。另一方面，这样的装置的小型化使得气体放电管的交换等的保养操作变得困难。

本发明是为了解决如上所述的问题而完成的，目的在于提供一种光源装置，其具备可以使气体放电管的亮度稳定化，同时使气体放电管的保养操作容易的结构。

本发明的光源装置具备产生规定波长的光的气体放电管、容纳该气体放电管的灯容器、以及在表面固定有该灯容器的基台。上述灯容器具备灯固定部、光出射部、绝热部件和第一拆装结构。灯固定部构成灯容器的外围的一部分。光出射部使来自被容纳的气体放电管的光向灯容器外通过。绝热部件与气体放电管一起被容纳在灯容器内。此外，该绝热部件配置在该气体放电管与该灯固定部之间，以使得气体放电管被固定在灯固定部的内侧面的规定位置上。并且，第一拆装结构使灯固定部(气体放电管经由绝热部件而固定)相对于与该灯固定部一起构成灯容器的外围的一部分的其余部分，在该气体放电管被固定的状态下能够拆装。

如上所述，本发明的光源装置具有，在灯容器内固定有气体放电管，并且在气体放电管与构成灯容器的灯固定部之间配置有绝热部件的结构。通过这样的结构，相比于绝热部件被配置在灯容器外、并且气体放电管与灯容器相接触的现有的光源装置，减少了灯容器与气体放电管之间的传热。其结果是，该光源装置有效地降低了由灯容器外的温度变化引起的对气体放电管的影响。此外，利用第一拆装结构，使灯固定部相对于构成灯容器的外围的一部分的其余部分，以固定气体放电管的状态下能够拆装。此时，在灯固定部从灯容器的其余部分拆卸的同时，固定在该灯固定部的气体放电管也从该其余部分分离。其结果是，去除了周围的成为障碍的部分，可以简便地进行相对于气体放电管的灯固定部的拆装，气体放电管的保养操作变得容易。

在这里，作为进行上述保养作用方面优选的结构，具体而言，优选灯容器具有箱型形状。具体而言，灯容器的箱型形状通过固定在基台上的灯容器基板、灯固定板、第一壁面板、第二壁面板限定。灯固定板沿着与灯容器基板大致垂直的方向延伸，气体放电管通过绝热部件固定。第一壁面板夹着气体放电管而与灯固定板相对配置。第二壁面板夹着气体放电管而与灯容器基板相对配置。此时，灯固定部由灯固定板和第二壁面板构成。此外，第一拆装结构使得灯固定部，相对于灯容器基板和第一壁面板，在气体放电管通过绝热部件被固定的状态下，沿着与该灯容器基板大致垂直的方向能够拆装。

此外，在本发明的光源装置中，灯容器也可以进一步具备互相相对的第三壁面板和第二拆装结构。此时，一对第三壁面板与第二壁面板和灯固定板大致垂直，夹着气体放电管而互相相对地配置。此外，第二拆装结构使一对第三壁面板相对于第二壁面板和灯固定板能够拆装。

根据如上所述的结构，在气体放电管被固定的状态下拆卸灯固定板时，气体放电管的交换操作等的保养操作能够更容易地进行。另外，端窗型气体放电管固定在灯固定板上时，光出射部只要是设置在第一壁面板上的结构即可。另外，当侧窗型的气体放电管固定在灯固定板上时，光出射部也可以为设置在第三壁面板上的结构。

此外，本发明的光源装置也可以进一步具备使来自气体放电管的光通过的透镜。此时，透镜也可以保持在设置在灯容器中的光出射部上。利用这样的结构，气体放电管相对于透镜的定位变得更容易。

另外，本发明的光源装置中，绝热部件也可以具有板状形状。此时，绝热部件相对于灯固定板的密合固定变得容易。

另外，可以通过以下的详细说明和附图更充分地理解本发明的各实施例。这些实施例是仅为了示例而表示的，不应被认为是对本发明的限定。

此外，本发明的进一步的应用范围从以下的详细说明中将变得更明确。但是，虽然详细的说明和特定的事例是表示本发明的优选的实施例，但是它们仅仅是为了示例而表示的，对本领域技术人员而言，由该详细说明在本发明的思想和范围内进行的各种变形和改进是显而易见的。

根据本发明的光源装置，因为减少了由灯容器外的温度变化引起的对气体放电管的影响，所以能够实现气体放电管的亮度稳定化。此外，因为灯容器具有气体放电管与灯固定部一起可拆装的结构，在替换气体放电管时周围部件不会成为障碍，结果使得气体放电管的保养操作容易进行。

附图说明

图1是表示本发明的光源装置的第1实施例的简要结构的图。

图2是表示图1中所示的重氢灯的内部结构的截面图。

图3是图2中所示的重氢灯中的发光部装配体的分解立体图。

图4是表示图1中所示的灯箱的结构的立体图。

图5是表示图4的灯箱(容纳重氢灯的内部状态)的内部状态的分解立体图。

图6是详细表示图4的灯箱的内部状态的分解立体图。

图7是表示图6中所示的绝热插孔部件的结构的主视图。

图8是从背面侧表示图6中所示的绝热插孔部件的结构的立体图。

图9是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图7)的沿IX-IX线的截面结构的图。

图10是表示图9的重氢灯中的芯柱销贯通部的放大截面图。

图11是表示本发明的光源装置的第2实施例的简要结构的图。

图12是表示本发明的光源装置的第3实施例中的灯箱的结构的立体图。

图13是表示图12的灯箱(容纳重氢灯的内部状态)的内部状态的分解立体图。

图14是表示本发明的光源装置的第4实施例中的灯箱的结构的立体图。

图15是表示图14的灯箱(容纳重氢灯的内部状态)的内部状态的分解立体图。

图16是表示本发明的光源装置的第5实施例中的灯箱的结构的立体图。

图17是表示图16的灯箱(容纳重氢灯的内部状态)的内部状态的分解立体图。

图18是表示本发明的光源装置的第6实施例中的绝热插孔部件的结构的主视图。

图19是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图18)的沿XIX-XIX线的截面结构的图。

图20是表示本发明的光源装置的第7实施例中的绝热插孔部件的主视图。

图21是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图20)的沿XXI-XXI线的截面结构的图。

图22是表示本发明的光源装置的第8实施例中的绝热插孔部件的主视图。

图23是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图22)的沿XXII-XXII线的截面结构的图。

图24是表示本发明的光源装置的第9实施例中的绝热插孔部件的主视图。

图25是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图24)的沿XXV-XXV线的截面结构的图。

图26是表示本发明的光源装置的第10实施例中的绝热插孔部件的主视图。

图27是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图26)的沿XXVII-XXVII线的截面结构的图。

图28是表示本发明的光源装置的第11实施例中的绝热插孔部件的主视图。

图29是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图28)的沿XXIX-XXIX线的截面结构的图。

图30是表示本发明的光源装置的第12实施例中的绝热插孔部件的主视图。

图31是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图30)的沿XXXI-XXXI线的截面结构的图。

符号说明

1、41、56、66、76…光源装置，7…基台，10…重氢灯(气体放电管)，20、40、50、60、70…灯箱(灯容器)，21、51…底板(灯容器基板)，22…灯固定板(灯固定部)，23、43、53、63…光出射板(第一壁面板)，23a…光出射部，24、54、64、74…侧面板(第三壁面板)，25…顶板(第二壁面板)，26…透镜，30、80、90、100、110、120、130、140…绝热插孔部件(绝热部件)，67…基台(灯容器基板)

具体实施方式

以下，使用图1～31详细说明本发明的光源装置的各实施例。另外，在图的说明中，对相同或相同要素标记相同的符号，省略重复的说明。图1是表示本发明的光源装置的第1实施例的简要结构的图，图2是表示图1中所示的重氢灯的结构的截面图，图3是表示图2中所示的发光部装配体的结构的分解立体图，图4～6是表示图1中所示的灯箱的结构的图，图7和图8是表示图6中所示的绝热插孔部件的结构的图，图9是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图7)的沿IX-IX线的截面结构的图，并且，图10是表示图9的重氢灯中的芯柱销(stem pin)贯通部的放大截面图。

图1所示的光源装置1例如被用作分析装置等的光源，具备出射规定波长的紫外光的重氢灯(气体放电管)10。从该重氢灯10出射并由透镜26准直的紫外光和来自卤素灯3的出射光，由分光器4合成，该合成光从该光源装置1出射。利用该结构，可以防止分析装置的检测器中的饱和，可以实现检测器的动态范围的有效利用。

光源装置1进一步具备容纳重氢灯10的灯箱(灯容器)20和具有灯驱动电路的灯驱动基板6。此外，这些灯箱20、分光器4、卤素灯3以及灯驱动基板6固定在基台7的规定位置上，由此可以实现该光源装置1的小型化。

以下，对重氢灯10进行详细说明。重氢灯10是所谓端窗型的重氢灯，如图2所示，具备玻璃制的密封容器11以及容纳在该密封容器11内的发光部装配体12。

密封容器11具有，圆筒状的侧管部11a、将该侧管部11a的下端侧密封的芯柱部11b、以及将上端侧密封的光出射窗11c。在该密封容器11内封入有几百Pa左右的重氢气体。在芯柱部11b上，沿着规定的圆周上以分别插通的状态密封固定有多根(在本实施例中为9根)导电性芯柱销19a～19i(参照图3)。此外，在芯柱部11b的中央形成有向外侧(图示下侧)突出的排气管部11d。

容纳在密封容器11内的发光部装配体12发挥作为产生紫外线的光源的功能。如图2和图3所示，具备从下方起依次配置的、基底部13、阳极部14、放电通路限制部固定板15、放电通路限制部16和阴极部17，同时具备覆盖它们的阴极部罩18。

如图3所示，基底部13由电绝缘性陶瓷形成，具有圆板形状。在该基底部13上，沿周边形成有多个开口，上述芯柱销19a～19i分别通过这些开口。在基底部13的上表面，为了容纳配置阳极部14，形成有与该阳极部14的形状相对应的形状的浅凹部13a。

阳极部14是导电性薄板，具备大致圆板状的主体部分14a以及从该主体部分14a的周边的两处起沿着半径方向水平延伸的一对延伸部分14b、14c。如图2所示，阳极14在其上表面与基底部13的上表面一致的状态下，被容纳在基底部13的凹部13a中。如图3所示，在阳极部14的延伸部分14b、14c上设置有开口14d、14e，芯柱销19c、19d的前端电连接于这些开口14d、14e。

放电通路限制部固定板15由陶瓷形成，同时具有大致扇形形状。该放电通路限制固定板15被载置为，与基底部13和阳极部14的大致中央部分重叠。在放电通路限制部固定板15的大致中央部分，为了使形成在阳极部14和阴极部17之间的放电通路通过，设置有使阳极部14的主体部分14a露出的开口15x。在包括放电通路限制部固定板15的开口15x的宽度窄的一侧(图示右侧)的上表面上，为了容纳配置放电通路限制部16，形成有与该放电通路限制部16的形状相对应的形状的浅凹部15a。另一方面，在放电通路限制部固定板15的宽度宽的一侧(图示左侧)的上表面上，设置有用于将阴极部17竖起设置的凸部15b。在放电通路限制部固定板15的凹部15a的宽度窄的一侧的位置上，设置有开口15c，芯柱销19e通过该开口15c。另外，在放电通路限制部固定板15的凸部15b上设置有一对开口15d、15e，芯柱销19a、19b分别通过这些开口15d、15e。

放电通路限制部16是导电性薄板，具备大致圆板状的主体部分16a以及从该主体部分16a的周边起沿着半径方向水平延伸的延伸部分16b。如图2所示，放电通路限制部16在其上表面与放电通路限制部固定板15的上表面一致的状态下，被容纳在放电通路限制部固定板15的凹部15a中。如图3所示，在该放电通路限制部16的延伸部分16b上设置有开口16c，芯柱销19e的前端部电连接于该开口16c。

此外，如图2和图3所示，在放电通路限制部16上，在与放电通路限制部固定板15的开口15x同轴的位置上，设置有弧球成形用的凹部16d。该凹部16d发挥容纳为了有效出射光而由放电形成的弧球的功能，具有朝向光出射窗11c变宽的杯形状。在放电通路限制部16中的凹部16d的底面，设置有直径0.5mm左右的小径的放电通路狭窄开口16e。由此，可以在凹部16d内形成扁平的球状的弧球。

阴极部17具备线圈(热丝线圈)作为加热器，在该加热器上涂布有热电子放射物质，例如，氧化钡等。如图3所示，在这样的阴极部17上，其线圈的两端部在贯通放电通路限制部固定板15的凸部15b的开口15d、15e的状态下竖起设置，与将该开口15d、15e贯通的芯柱销19a、19b电连接。

如图2和图3所示，阴极部罩18具有圆筒形状。此外，阴极部罩18具备阳极侧覆盖部18a和阴极侧覆盖部18b。阳极侧覆盖部18a覆盖阳极部14、放电通路限制部16等的装配体。阴极侧覆盖部18b在覆盖阴极部17的状态下，设置为使阳极侧覆盖部18a内的空间连通。此外，阴极侧覆盖部18b的截面形状，是将与阳极侧覆盖部18a同轴且同径的圆筒，在不包括轴线的位置上沿着轴线方向垂直切断时的，较小的部分的形状。这些阳极侧覆盖部18a和阴极侧覆盖部18b由一体成形的陶瓷形成。

在阴极部罩18中的阴极侧覆盖部18b中，在放电通路狭窄开口16e的轴心侧(阴极部17的电子放出侧)的狭缝板部18c，设置有作为开口的用于放出电子的狭缝18d。另一方面，在阳极侧覆盖部18a上，在与放电通路限制部固定板15的开口15x或放电通路限制部16的放电通路狭窄开口16e同轴的位置上，设置有用于通过上述放电通路的开口18e。该开口18e具有，为了提高放电效率而不使放电通路限制部16露出所需要的以上的程度的大小。此外，如图3所示，在阳极侧覆盖部18a上设置有开口18f～18i。在这些开口18f～18i上，分别连接固定有位于阳极部14和放电通路限制部固定板15的外侧且向上方延伸的其余的芯柱销19f～19i的前端部。利用该结构，阴极部罩18固定在芯柱销19a～19i的前端部，同时，在该阴极部罩18与基底部13之间，以重叠的状态配置有阳极部14、放电通路限制部固定板15和放电通路限制部16。

接着，对容纳如上所述构成的重氢灯10的灯箱20进行详细说明。如图4～图6所示，灯箱20具有箱型形状。灯箱20至少具备固定在上述基台7上的底板(灯容器基板)21、垂直于底板21的灯固定板(灯固定部)22、光出射板(第一壁面板)23、一对侧面板(第三壁面板)24、作为灯箱20的上部壁面的顶板(第二壁面板)25。利用这些底板21、灯固定板22、光出射板23、侧面板24和顶板25限定灯箱20的外围。

如图6所示，底板21在其角部附近设置有用于将底板21螺钉固定于基台7上的开口21a。在底板21的长度方向的一方的端部，竖起设置有光出射板23，在另一方的端部附近，设置有用于固定灯固定板22的阴螺纹部21b。并且，如图4所示，底板21经由绝热材料27而螺钉固定于基台7。

如图5所示，灯固定板22是经由后述的绝热插孔部件(绝热部件)30而将重氢灯10的芯柱部11b(参照图2和图6)固定的部件。如图4～图6所示，在该灯固定板22上，在其中央部设置有用于使绝热插孔部件30的中央部露出的开口22a，并且在开口22a的水平方向两侧设置有用于进行绝热插孔部件30的定位的小孔22b、22b。另一方面，在灯固定板22的角部附近，设置有用于固定绝热插孔部件30的阴螺纹部22c。另外，在灯固定板22的下端部，设置有向外部方向(图示左右方向)延伸的板状的延伸部22d，在该延伸部22d上设置有用于将灯固定板22螺合固定于底板21上的开口22e。

如图5所示，光出射板23与底板21一起构成一体部件，其是以夹着重氢灯10而与灯固定板22相对的方式从底板21的一方的端部向上方延伸的壁面。如图5和图6所示，在该光出射板23上，在其中央部设置有将来自重氢灯10的出射光出射至灯箱20之外的光出射部23a，此外，在光出射部23a上保持有透镜26。如图6所示，在光出射板23的上端面的中央，设置有用于将顶板25螺合的阴螺纹部23b，在该阴螺纹部23b的两侧竖起设置有顶板25定位用的定位销23c、23c。

如图5所示，顶板25与灯固定板22构成一体部件，其是以夹着重氢灯10而与底板21相对的方式从灯固定板22的上端部至光出射板23的上端部水平延伸的壁面。如图6所示，在该顶板25上，在与光出射板23的阴螺纹部23b和定位销23c相对应的位置上，分别设置有开口25a和定位孔25b。并且，在定位销23c插入定位孔25b中的状态下，螺钉通过开口25a螺合于阴螺纹部23b。而且，螺钉通过开口22e螺合于阴螺纹部21b，由此定位固定顶板25和灯固定板22。即，灯固定板22和顶板25相对于底板21和光出射板23以能够自由拆装的方式固定。此外，在顶板25上，在侧部附近设置有用于固定侧面板24的上端部的多个阴螺纹部25c。

如图4～图6所示，一对侧面板24是构成灯箱20的侧壁的部件。如图5所示，这些侧面板24以夹着重氢灯10的状态互相相对地配置。侧面板24的上端部被弯曲，该弯曲部分构成面对于顶板25的上表面的上端板24a。侧面板24上的光出射板23侧的端部也被弯曲，该弯曲部分构成面对于光出射板23的前表面的前端板24b。此外，在侧面板24的上端板24a上，设置有与光出射板23的定位销23c和顶板25的阴螺纹部25c、25c相对应的开口24c、24d、24d。并且，在将上端板24a重叠于顶板25之上的状态下，将定位销23c插入到开口24c中，同时将螺钉通过开口24d螺合于阴螺纹部25c，由此侧面板24被固定在顶板25上。这些侧面板24通过弯折薄板而形成，利用从底板21的下面侧向这些侧面板的外表面延伸的板弹簧28，向内侧加压。即，一对侧面板24相对于底板21、灯固定板22、光出射板23和顶板25以能够自由拆装的方式安装。

接着，对用于将重氢灯10固定于灯箱20的绝热插孔部件30进行详细说明。如图5和图6所示，绝热插孔部件30具有板形状，如上所述，它是在保持重氢灯10的芯柱部11b侧的状态下，将该重氢灯10固定于灯固定板22上的部件。另外，关于绝热插孔部件30的部位，将保持重氢灯10的一侧作为正面侧，将在灯固定板22上固定的一侧作为背面侧来进行说明。

绝热插孔部件30由具有绝热性、电绝缘性、耐紫外线性能和抗蚀性的聚醚醚酮树脂材料(PEEK材料：Victrex公司注册商标)形成。此外，绝热插孔部件30分别在正面侧和背面侧具有规定的平坦面，具有与灯固定板22相对应的大小。如图7和图8所示，该绝热插孔部件30具有：用于使重氢灯10的排气管部11d(参照图2)进入的排气管进入部31；用于使重氢灯10的芯柱销19a～19i(参照图3)进入的芯柱销进入部32a～32i；插入于规定的芯柱销进入部32a、32b、32g、32e、32c且将芯柱销19a、19b、19g、19e、19c电连接的芯柱插孔部件33a～33e；从背面侧突出且用于将该绝热插孔30相对于灯固定板22定位的定位销34；用于将该绝热插孔部件30螺钉固定的开口35。

排气管进入部31是设置在绝热插孔部件30的中央部的开口。该开口的直径从背面侧向正面侧变大。

芯柱销进入部32a～32i是沿着排气管进入部31的周围的规定的圆周上形成的多个开口。这些开口位于与芯柱销19a～19i(参照图3)相对应的位置。使销插孔部件33a～33e进入的芯柱销进入部32a、32b、32g、32e、32c的直径为约1.8mm，其余的芯柱销进入部32d、32i，32h、32f的直径为约1.3mm。如图10所示，芯柱部11b在芯柱销19的贯通部的周围具有玻璃的凸起部11e。然而，如图9所示，为了使芯柱部11b与绝热插孔部件30密合固定，芯柱销进入部32d、32i，32h、32f具有允许凸起部11e进入的程度的直径。

插入于芯柱销进入部32a、32b、32g、32e、32c的销插孔部件33a～33e具有圆筒形状。如图8所示，这些销插孔部件33a～33e从绝热插孔部件30的背面侧突出，被封闭的其后端侧与电缆连接。芯柱销19a、19b、19g、19e、19c相对于销插孔部件33a～33e能够自由拆装，这些芯柱销19a、19b、19g、19e、19c的后端侧(图示右侧)固定(电连接)于销插孔部件33a～33e上。此外，如图9所示，销插孔部件33a～33e的前端侧的安装位置离绝热插孔部件30的正面侧的面具有规定距离。具体而言，销插孔部件33a～33e以与芯柱部11b的凸起部11e不接触的程度隔开。

并且，如图9所示，重氢灯10以能够自由拆装的方式固定在绝热插孔部件30上。具体而言，重氢灯10的排气管部11d和芯柱销19a～19i分别进入于绝热插孔部件30的排气管进入部31和芯柱销进入部32a～32i中，芯柱部11b与绝热插孔部件30的正面面接触，并且，芯柱销19a、19b、19g、19e、19c嵌入于销插孔部件33a～33e中。此时，与芯柱部11b接触的绝热插孔部件30的正面部分成为面接触部30a。

如图8所示，定位销34从排气管进入部31的两侧向外部突出，嵌合于灯固定板22的小孔22b(参照图6)。此外，如图7和图8所示，开口35分别设置在与灯固定板22的阴螺纹部22c(参照图6)对应的位置上。并且，定位销34嵌合于灯固定板22的小孔22b中，螺钉通过开口35与阴螺纹部22c螺合，由此绝热插孔部件30被定位固定于灯固定板22上。即，在重氢灯10通过绝热插孔部件30固定于灯固定板22的状态下，灯固定板22能够相对于光出射板23和底板21拆装。

下面，对如上所述构成的光源装置1的作用进行说明。首先，在重氢灯10中，在放电前的20秒左右的时间内，从阴极用外部电源经过销插孔部件33a、33b和芯柱销19a、19b向阴极部17供给10W左右的电力。通过该电力供给预热构成阴极部17的线圈。接着，在阴极部17与阳极部14之间，从主放电用外部电源经过芯柱销19c、19d施加160V左右的电压。通过该电压施加协调弧放电的准备。

其后，从触发用外部电源经过芯柱销19e、19c、19d在放电通路限制部16与阳极部14之间施加规定电压，例如350V左右的电压。这样，在阴极部17与放电通路限制部16之间以及在阴极部17与阳极部14之间依次发生放电，在阴极部17与阳极部14之间发生起动放电。发生起动放电后，在阴极部17与阳极部14之间维持弧放电(主放电)，在放电通路限制部16的凹部16d内发生弧球。从该弧球发出的紫外线，作为亮度极高的光而透过光出射窗11c向外部出射。另外，在放电时，利用阴极侧覆盖部18b可以防止从阴极部17出来的溅射物或蒸发物附着于光出射窗11c上。

并且，来自重氢灯10的出射光通过透镜26而向灯箱20外出射。被出射的紫外线通过分光器4与来自卤素灯3的出射光合成。

这里，由于经过长时间的使用而需要替换重氢灯10等的保养操作时，暂时放松固定灯固定板22和顶板25的螺钉。只要向上方移动灯固定板22和顶板25，就可以从底板21和光出射板23上取下灯固定板22和顶板25。由此，重氢灯10与灯固定板22一起从光源装置1上卸下。并且，从灯固定板22卸下重氢灯10时，在周围没有会成为光出射板23等的障碍的部件，此外，因为是相对于重氢灯10的绝热插孔部件30容易拆装的结构，因而可以简便地进行重氢灯10的替换。

此外，在安装重氢灯10时，仅仅通过将重氢灯10的芯柱销19a、19b、19g、19e、19c插入到绝热插孔部件30的销插孔部件33a～33e中，就可以将芯柱部11b与绝热插孔部件30密合固定。然后，通过将固定了重氢灯10的灯固定板22和顶板25安装到底板21和光出射板23上，由此可以实现有关透镜26、分光器4等的光学系统与重氢灯10之间的距离、光轴的精度较高的安装。

这样，光源装置1具有如下结构：在灯箱20内固定有重氢灯10，同时在重氢灯10与灯固定板22之间配置有绝热插孔部件30。因此，与绝热部件配置在灯箱外并且重氢灯与灯箱相接触的现有的光源装置相比，降低了灯箱20与重氢灯10之间的热传导，有效地降低了由灯箱20外的温度变化引起的对重氢灯10的影响。其结果是，可以实现重氢灯10的亮度稳定化。

灯固定板22具有在相对于与该灯固定板22相对的光出射板23固定了重氢灯10的状态下能够自由拆装的结构，因此可以将重氢灯10连同灯固定板22一起卸下从而与光出射板23分离。其结果是，消除了周围的成为障碍的部分，可以简单地进行重氢灯10相对于灯固定板22的拆装，同时重氢灯10的保养操作变得容易。此外，因为重氢灯10具有相对于绝热插孔部件30能够自由拆装的结构，所以重氢灯10的卸下也是容易的。从这点考虑，重氢灯10的替换等的保养操作也变得容易。

在灯箱20中，一对侧面板24具有相对于灯固定板22和顶板25可以自由拆装的结构。因此，在将重氢灯10以固定于灯固定板22的状态卸下时，可以更容易地进行重氢灯10的替换操作等的保养操作。另外，通过将定位销23c和螺钉插入到形成在上端板24a上的开口24c、24d中，从而相对于顶板25固定各个侧面板24。另一方面，通过分别将螺钉和定位销23c插入到形成在顶板25和延伸部22d的上表面上的开口25a、定位孔25b、开口22e中，从而相对于光出射板23和底板21固定顶板25和灯固定板22。因此，一对侧面板24、灯固定板22、顶板25可以仅通过从灯箱20的上方的操作而进行拆装，重氢灯10的替换等的保养操作变得更容易。特别是，这样的结构对于灯箱20的设置空间非常狭窄的情况是有效的。

光源装置1具备：使从芯柱部11b向外部突出的芯柱销19a、19b、19g、19e、19c进入的销插孔部件33a～33e；以及，具有这些销插孔部件33a～33e的绝缘性插孔部件30。绝缘性插孔部件30具有如下结构，即，在使芯柱部11b面接触的状态下以自由拆装的方式固定重氢灯10的结构，因此在使重氢灯10密合固定于绝热插孔部件30上的同时，可以提高重氢灯10的定位精度。此外，因为芯柱部11b以这样的方式密合固定于绝热插孔部件30，因此与相对于固定重氢灯的基板通过芯柱销(在基板与芯柱部之间具有缝隙)固定的现有的光源装置相比，提高了固定重氢灯10时的稳定度。

光出射板23具有保持使来自重氢灯10的光通过的透镜26的结构。因此，重氢灯10相对于透镜26的定位容易。

绝热插孔部件30具有板形状。因此，容易将绝热插孔部件30相对于灯固定板22密合固定。

在具有如上所述的结构的重氢灯10中，利用由保温性优异的陶瓷形成的阴极部罩18的阴极侧覆盖部18b来包围阴极部17(在该阴极侧覆盖部18b上作为所需要的最小限度的开口仅设置有电子放射用的狭缝18d)。因此，利用该阴极侧覆盖部18b显著提高了阴极部17的保温效果。此外，阴极部7的温度维持变得简单，同时消耗电力下降，其结果是，可以实现包括电源的气体放电管10的小型化。

阴极部罩18由陶瓷成形为一体，一方面其阴极侧覆盖部18b在可出射电子的状态下覆盖阴极部17，另一方面其阳极侧覆盖部18a在可放电的状态下覆盖包括阳极部14和放电通路限制部16的装配体。利用该结构，不需要使放电通路限制部16露出所需要的程度以上，其结果，不需要用于提高放电效率的部件(相当于本实施例中的阳极侧覆盖部18a的上部的另外的部件)。因此，降低了部件个数，实现了低成本化。

放电通路限制部16在被夹在覆盖阴极部罩18的上述装配体的部分即阳极侧覆盖部18a的上壁部与设置有通过放电通路的开口15x的放电通路限制部固定板15之间的状态下被固定。因此，可以以较少的部件个数容易地进行放电通路限制部16的固定，更可实现低成本化。

接着，参照图11说明本发明的光源装置的第2实施例。另外，图11是表示本发明的光源装置的第2实施例的简要结构的图。

该第2实施例的光源装置41与第1实施例的光源装置1的不同点在于：用灯箱40来代替具备光出射板23(具有透镜26)的灯箱20，该灯箱40具有光出射板43，该光出射板43具有光出射窗42；以使得透镜46配置在光出射板43与分光器4之间的方式，将该透镜46固定在基台7上。第2实施例的光源装置41的其它结构，与第1实施例的光源装置1相同，用这样的结构也达到与第1实施例的光源装置同样的作用·效果。

接着，参照图12和图13说明本发明的光源装置的第3实施例。另外，图12是表示本发明的光源装置的第3实施例中的灯箱的结构的立体图。图13是表示图12的灯箱(容纳重氢灯的内部状态)的内部状态的分解立体图。

该第3实施例的光源装置56与第1实施例的光源装置1的不同点在于，作为以不同的部件构成侧面板24、底板21和光出射板23的灯箱20的替代，而应用以一体化的部件构成侧面板54、底板51和光出射板53的灯箱50，且不需要对侧面板加压的板弹簧28。具体而言，底板51和光出射板53具有与第1实施例中的底板21和光出射板23同样的结构。但是，侧面板54从底板51的宽度方向的端部向上方竖起设置。即，侧面板54构成与底板51和光出射板53垂直的壁面，延伸至与光出射板53同样的高度。第3实施例的光源装置56的其它结构，与第1实施例的光源装置1相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1同样的作用·效果。除此之外，因为不需要板弹簧28，所以比第1实施例更减少了部件个数。

接着，参照图14和图15说明本发明的光源装置的第4实施例。另外，图14是表示本发明的光源装置的第4实施例中的灯箱的结构的立体图。另外，图15是表示图14的灯箱(容纳重氢灯的内部状态)的内部状态的分解立体图。

该第4实施例的光源装置66与第3实施例的光源装置56的不同点在于，作为以一体化的部件构成侧面板54、底板51和光出射板53的灯箱50的替代，而应用其结构为以一体化的部件构成光出射板63和侧面板64、另一方面将基台67兼作底板的灯箱60。光出射板63和侧面板64具有与第3实施例的光出射板53和侧面板54同样的结构，另一方面，没有配置在底板51上的绝热材料27。基台67具有与基台7同样的结构，在与灯固定板22上的延伸部22d的开口22e相对应的位置上，形成有用于固定灯固定板22的阴螺纹部67b。该第4实施例的光源装置66的其它结构与第1实施例的光源装置1相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1同样的作用·效果。除此之外，因为将基台67兼作灯箱60的底板，所以可以进一步减少部件个数。

接着，参照图16和图17说明本发明的光源装置的第5实施例。另外，图16是表示本发明的光源装置的第5实施例中的灯箱的结构的立体图。图17是表示图16的灯箱(容纳重氢灯的内部状态)的内部状态的分解立体图。

该第5实施例的光源装置76与第1实施例的光源装置1的不同点在于，作为绝热材料27的替代而应用具有支撑侧面板74的槽77a的绝热材料77，且不需要板弹簧28。与第1实施例中的侧面板24相比，侧面板74在上下方向长出进入槽77a的量，下端部比底板21更向下方突出。于是，得到侧面板74的下端部在绝热材料77的槽77a上竖起设置的灯箱70。该第5实施例的光源装置76的其它结构与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1同样的作用·效果。除此之外，因为不需要板弹簧28，所以可以进一步减少部件个数。

接着，参照图18和图19说明本发明的光源装置的第6实施例。另外，图18是表示本发明的光源装置的第6实施例中的绝热插孔部件的结构的主视图。图19是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图18)的沿XIX-XIX线的截面结构的图。

该第6实施例的光源装置与第1实施例的光源装置的不同点在于，作为设置有开口即芯柱销进入部32d、32i、32h、32f的绝热插孔部件30的替代，应用设置有芯柱销进入部82d、82i、82h、82f的绝热插孔部件80，这些芯柱销进入部是背面侧被封闭的凹部。该第6实施例的光源装置的其它结构，与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1同样的作用·效果。除此之外，由于芯柱销进入部82d、82i、82h、82f的背面侧被绝热部件80封闭，所以可以进一步减少灯箱20外的温度变化对于重氢灯10的影响。

接着，参照图20和图21说明本发明的光源装置的第7实施例。另外，图20是表示本发明的光源装置的第7实施例中的绝热插孔部件的主视图。另外，图21是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图20)的沿XXI-XXI线的截面结构的图。

该第7实施例的光源装置与第6实施例的光源装置的不同点在于，作为设置有开口即排气管进入部31的绝热插孔部件30的替代，应用设置有排气管进入部91的绝热插孔部件90，该排气管进入部91是背面侧封闭的凹部。该第7实施例的光源装置的其它结构，与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1和第6实施例的光源装置同样的作用·效果。除此之外，因为排气管进入部91的背面侧被绝热部件90封闭，所以可以进一步减少灯箱20外的温度变化对于重氢灯10的影响。

接着，参照图22和图23说明本发明的光源装置的第8实施例。另外，图22是表示本发明的光源装置的第8实施例中的绝热插孔部件的主视图。另外，图23是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图22)的沿XXIII-XXIII线的截面结构的图。

该第8实施例的光源装置与第7实施例的光源装置的不同点在于，绝热插孔部件100具有容纳重氢灯10的芯柱部11b的第一凹部101。第一凹部101的形状从在正面看是圆形，其外径具有与芯柱部11b的外径相对应的大小。该第一凹部101的底面101a为平坦面。并且，如图23所示，重氢灯10在芯柱部11b容纳在第一凹部101中的状态下，排气管部11d和芯柱销19a～19i分别进入到排气管进入部91和芯柱销进入部32a、32b、32c、82d、32e、82f、32g、82h、82i中。由此，芯柱部11b在与第一凹部的底面(面接触部)101a面接触的状态下，以能够自由拆装的方式被固定。该第8实施例的光源装置的其它结构，与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1和第7实施例的光源装置同样的作用·效果。除此之外，在该第8实施例中，增加了固定重氢灯10时的稳定度。

接着，参照图24和图25说明本发明的光源装置的第9实施例。另外，图24是表示本发明的光源装置的第9实施例中的绝热插孔部件的主视图。另外，图25是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图24)的沿XXV-XXV线的截面结构的图。

该第9实施例的光源装置与第8实施例的光源装置的不同点在于：绝热插孔部件110在第一凹部101的底面101a上具有第二凹部112；以及，具有设置有停留在芯柱销进入部32a、32b、32g、32e、32c的正面侧的周边部的凸缘部113t的销插孔部件113a～113e。第二凹部112的形状从正面看为圆形，其外周位于芯柱销进入部32a、32b、32c、82d、32e、82f、32g、82h、82i的外侧。此外，销插孔部件113a～113e插入到芯柱销进入部32a、32b、32g、32e、32e中，且凸缘部113t停留在第二凹部112的底面112a。该第9实施例的光源装置的其它结构，与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1和第8实施例的光源装置同样的作用·效果。

接着，参照图26和图27说明本发明的光源装置的第10实施例。另外，图26是表示本发明的光源装置的第10实施例中的绝热插孔部件的主视图。另外，图27是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图26)的沿XXVII-XXVII线的截面结构的图。

该第10实施例的光源装置与第7实施例的光源装置的不同点在于：绝热插孔部件120具有成圆环状向正面侧突起的起立部121；以及具有设置有停留在芯柱销进入部32a、32b、32g、32e、32c的正面侧的周边部的凸缘部113t的销插孔部件113a～113e。另外，该销插孔部件113a～113e具有与第9实施例中的销插孔部件113a～113e相同的结构。

起立部121位于芯柱销进入部32a、32b、32c、82d、32e、82f、32g、82h、82i的外侧。此外，销插孔部件113a～113e插入到芯柱销进入部32a、32b、32g、32e、32c中，且凸缘部113t停留在绝热插孔部件120的正面。并且，重氢灯10以能够自由拆装的方式固定在绝热插孔部件120上。具体而言，如图27所示，芯柱部11b与起立部121的前端面(面接触部)121a面接触，排气管部11d和芯柱销19a～19i分别插入到排气管进入部91和芯柱销进入部32a、32b、32c、82d、32e、82f、32g、82h、82i中。该第10实施例的光源装置的其它结构，与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1和第7实施例的光源装置同样的作用·效果。

接着，参照图28和图29说明本发明的光源装置的第11实施例。另外，图28是表示本发明的光源装置的第11实施例中的绝热插孔部件的主视图。另外，图29是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图28)的沿XXIX-XXIX线的截面结构的图。

该第11实施例的光源装置与第1实施例的光源装置1的不同点在于，作为具有直径从背面侧向正面侧变大的排气管进入部31的绝热插孔部件30的代替，而应用具有直径从背面侧向正面侧为一定的排气管进入部131的绝热插孔部件130。该第11实施例的光源装置的其它结构，与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1同样的作用·效果。

接着，参照图30和图31说明本发明的光源装置的第12实施例。另外，图30是表示本发明的光源装置的第12实施例中的绝热插孔部件的主视图。另外，图31是表示重氢灯被固定的状态的绝热插孔(图30)的沿XXXI-XXXI线的截面结构的图。

该第12实施例的光源装置与第11实施例的光源装置的不同点在于：作为外围形状为矩形的绝热插孔部件130的替代而应用外围形状为圆形的绝热插孔部件140；以及，变更了用于将该绝热插孔部件140固定于灯固定板上的插入螺钉的开口145的位置。该绝热插孔部件140的外径具有与芯柱部11b的直径相对应的大小。该第12实施例的光源装置的其它结构，与第1实施例的光源装置1的结构相同，用这样的结构也能达到与第1实施例的光源装置1以及第11实施例的光源装置同样的作用·效果。

以上基于多个实施例具体说明了本发明，但本发明并不限定于上述实施例。例如，在上述实施例中，灯箱20、40、50、60、70都具有箱型形状，但也可以具有圆筒体或其它形状。

此外，在上述的实施例中，作为气体放电管表示了端窗型的重氢灯10，但也可以是侧窗型的重氢灯。此时，在侧面板24、54、64、74上设置光出射部。此外，也可以应用其它的气体放电管。

而且，在上述的实施例中，绝热插孔部件30、80、90、100、110、120、130、140的材料为聚醚醚酮树脂材料，但也可以应用由具有绝热性、电绝缘性的其它材料形成的绝热插孔部件。

由以上的本发明的说明可知可以对本发明进行各种变形。这种变形不能被认为脱离了本发明的思想和范围，所有对本领域技术人员而言显而易见的改进都包括在以下的权利要求中。

工业上的可利用性

本发明的光源装置可应用于分析装置、半导体检查装置等各种检查装置的光源中。

Claims (6)

1.一种光源装置，其特征在于，

具备：产生规定波长的光的气体放电管、容纳该气体放电管的灯容器、以及在表面固定有所述灯容器的基台，

所述灯容器具备：

灯固定部，构成该灯容器的外围的一部分；

光出射部，使来自被容纳的所述气体放电管的光向该灯容器外通过；

绝热部件，与所述气体放电管一起被容纳在所述灯容器内，该绝热部件配置在所述气体放电管与所述灯固定部之间，以使得所述气体放电管被固定在所述灯固定部的内侧面的规定位置上；以及，

第一拆装结构，使经由所述绝热部件而固定有所述气体放电管的所述灯固定部，相对于固定在所述基台上的其余部分能够拆装，所述其余部分与该灯固定部一起构成所述灯容器的外围的一部分。

2.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于，

所述灯容器具有箱型形状，该箱型形状通过固定在所述基台上的灯容器基板、沿着与所述灯容器基板大致垂直的方向延伸并通过所述绝热部件固定有所述气体放电管的灯固定板、夹着所述气体放电管而与所述灯固定板相对配置的第一壁面板、以及夹着所述气体放电管而与所述灯容器基板相对配置的第二壁面板限定，

所述灯固定部由所述灯固定板和第二壁面板构成，并且，

所述第一拆装结构，可使所述灯固定部在所述气体放电管通过所述绝热部件固定的状态下，沿着与该灯容器基板大致垂直的方向，相对于所述灯容器基板和所述第一壁面板能够拆装。

3.如权利要求2所述的光源装置，其特征在于，

所述灯容器进一步具备：

大致垂直于所述第二壁面板和所述灯固定板，且夹着所述气体放电管而互相相对的一对第三壁面板；和

第二拆装结构，使得所述一对第三壁面板相对于所述第二壁面板和所述灯固定板能够拆装。

4.如权利要求1～3的任一项所述的光源装置，其特征在于，

还具备使来自所述气体放电管的光通过的配置在所述光出射部的透镜。

5.如权利要求1～3的任一项所述的光源装置，其特征在于，

所述绝热部件具有板状形状。

6.如权利要求4所述的光源装置，其特征在于，

所述绝热部件具有板状形状。

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