CN100397015C

CN100397015C - 干燥装置和具备此干燥装置的工件处理单元

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Publication number: CN100397015C
Application number: CNB2003101029403A
Authority: CN
Inventors: 中村真一; 山田善昭
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-11-18
Filing date: 2003-10-31
Publication date: 2008-06-25
Anticipated expiration: 2023-10-31
Also published as: TW200408827A; US6959502B2; US20040216324A1; TWI228604B; KR100497816B1; JP3687666B2; JP2004219038A; CN1501104A; KR20040044097A

Abstract

在一个干燥炉(51)内部容纳上下多层热板(52)。在干燥炉(51)前面，靠近上下多层热板(52)开设常开式工件出入口(51a)。另外，在干燥炉(51)后面设置外罩箱(53)，在该外罩箱(53)内部，通过靠近多层热板(52)之间的各个间隙里形成通气孔(54a)的分流板连通于炉内空间的排气机构来划分强制排气的排气室(55)。利用这样的干燥装置，可以同时有效干燥多个工件。

Description

干燥装置和具备此干燥装置的工件处理单元

技术领域

本发明主要涉及为了干燥用的通过具有液滴喷头的绘图装置在板状工件上所涂敷液滴的干燥装置和具备此干燥装置的工件处理单元。

背景技术

以往，利用喷墨式打印机为代表的具有液滴喷头的绘图装置来制造彩色滤光器或有机EL装置的试验。此时，在液滴喷头内引入含有滤光材料或发光功能材料的功能液，使液滴喷头在作为板状工件的彩色滤光器基板或有机EL装置的基板上相对扫描，对基板上的多个像素区域涂敷成为滤光元件或有机EL功能层的功能液，然后，干燥固化功能液滴，形成滤光元件或有机EL功能层。

另外，为了提高生产性，考虑过：同时利用三台R(红)·G(绿)·B(蓝)三色的绘图装置，将基板按照顺序输送到这些绘图装置，按顺序涂敷对应于R·G·B三色的功能液滴的方法。此时，固化功能液滴的最终干燥是在后工程中进行，为使各个绘图装置中已涂敷的功能液滴在输送到后边绘图装置的输送过程中不流动，有必要在各个绘图装置上同时设置干燥装置，由干燥装置进行涂敷在基板的功能液滴失去流动性程度的干燥，之后，将基板输送到后部绘图装置。

另外，虽然不是同时设在绘图装置的干燥装置，以往知道：壳内配置热板，把工件放置在热板上进行干燥的装置(比如，特开平9-127330号公报(参照段落0134、图18))。另外，该装置中，堆积内部安装热板的壳，可以同时干燥多个工件。

如上所述，绘图装置上同时设置干燥装置时，因为干燥所需要的时间比绘图装置作业时间长几倍，有必要在干燥装置中同时干燥几个以上的工件(基板)。

因此，如上述的以往例，内部装有热板的壳的堆积来构成干燥装置时，因为装置变为大型化，最好是在一个干燥炉内上下多层安装热板为好。可是，这种情况下，涂敷在工件的功能液滴所蒸发的溶剂容易滞留在干燥炉内，不能有效干燥功能液滴。

发明内容

本发明是借鉴上述问题而进行的，其目的在于提供：同时有效干燥多个工件的小型、简单结构的干燥装置和具备这种干燥装置的工件处理单元。

为了解决上述问题，本发明的干燥装置具备：上下多层放置板状工件的热板而组成的干燥炉；在上述的干燥炉前面，开设靠近上述多层热板的常开放式工件出入口；并且，在上述干燥炉后面设置外罩箱，在这个外罩箱内，利用靠近上述多层热板之间的各间隙上形成有多个通气孔的分流板，划分形成与上述干燥炉的炉内空间连通的并且由排气机构进行强制排气的排气室。为特征。

根据上述的结构，通过排气室，排气机构的吸引力作用在分流板的各个通气孔上，产生：从干燥炉前面的出入口，通过多层热板之间各间隙而流向通气孔的换气流。因此，干燥中蒸发的溶剂等随着换气流很快排出干燥炉外，可以有效进行干燥。

另外，在排气室一处排气时，换气流在位于离开排气地点的热板间间隙上不容易流动，因此，最好是在换气室里设置连接排气机构的上下多个排气口，使所有热板间的各个间隙之间流均匀的换气流。

然而，根据工件的大小，有时需要交换热板的情形，但是，因为干燥炉的前面配置工件的移动装置，通过前面的出入口交换热板是困难的。此时，在干燥炉的后面，开闭自由地安装外罩箱，通过打开外罩箱所开放的干燥炉后面的开口，自由交换各个热板的话，热板的交换作业变得容易。还有，如果在干燥炉的侧壁内面固定设置各个热板的侧边缘部在前后方向自由滑动配合的上下多个轨道，则，交换时的热板的出入和热板的定位变得容易，可以提高交换操作性。

另外，为了提高工件对于热板上的拆装作业性，最好是设置从多层热板中选择性提升工件可能的提升机构，在热板与工件之间形成转移工件用间隙为好。这里，上述特开平9-127330号公报所记载的装置中，把穿过热板接触在工件下表面的提升销，竖立设置在对热板下面自由升降安装的升降板上；使之利用升降板的上升，通过提升销，提升热板上的工件。

在本发明中，也考虑过采用这样的提升机构，但此时，有必要在各个热板的下侧确保升降板的升降空间，干燥炉的高度尺寸变大。为了解决这一不合适情形，可以利用如下结构来构成提升机构；即，该提升机构包括：上下多层配置在干燥炉侧壁外面的，作升降运动的，上下方向长的升降部件、上下多层配置在干燥炉侧壁内面的，可以与突出于工件放置面的各个热板工件侧面边缘部下表面配合可能的配合部件、使这些配合部件个别进退在进入工件的上述侧面边缘部的上下方向投影面内的工作位置和退出这个投影面外方位置的进退机构。

根据这些，从热板拆装任何一个工件时，只是把对应的配合部件进出到工作位置状态，提升升降部件的方法，可以利用配合部件选择性提升相应热板上的工件。于是，在这个装置中，没有必要在各个热板的下面确保提升机构用升降空间，不增加干燥炉的高度尺寸。

另外，处理单元包括：利用液滴喷头向板状工件涂敷液滴的绘图装置和干燥涂敷在工件上的液滴的干燥装置，而把这些各处理单元之间，通过输送工件的输送装置，并通过工件输送装置按顺序输送各个处理单元中处理的各个工件到后部的处理单元的工件处理成套设备中，作为干燥装置采用上述本发明的干燥装置，从而可以提高生产率。

此时，在绘图装置的液滴喷头内引入包含滤光材料的功能液，在作为工件的滤光器基板上的多个像素区域里，涂敷成为滤光元件的功能液，或是，在绘图装置的液滴喷头内引入包含发光材料的功能液，在作为有机EL装置的基板上的多个像素区域里，涂敷将成为有机EL层的功能液，可以有效地制造彩色滤光器或有机EL装置。

同样，在绘图装置的液滴喷头内引入包含金属配线材料的功能液，在作为工件的等离子显示装置基板上的多个像素区域里，涂敷成为元件电极功能层的功能液，或是，在绘图装置的液滴喷头内引入含有荧光功能材料的功能液，在作为工件的等离子显示装置基板上的多个像素区域里，涂敷成为荧光功能层的功能液，或是，在绘图装置的液滴喷头内引入含有导电性功能材料的功能液，在作为工件的电子放出装置基板上的多个像素区域里，涂敷成为导电性功能层的功能液，可以有效地制造等离子显示装置(PDP装置)、电子放出装置(FED装置、SED装置)。

另外，如果在工件输送装置里配置暂时积存工件的积存机构，则，即使是由于液滴喷头的清理作业等而停止向后面的处理单元的绘图装置投入工件，也可以从前面的处理单元的干燥装置取出工件，由工件输送装置的积存机构来积存。这里，为了防止混色、脱色，在彩色滤光器或有机EL装置的基板上，实施对像素区域赋予亲液性、对像素区域周围区域赋予疏液性的前处理，但是，如果干燥装置中的工件的加热温度低，则，像素区域的周围区域里残留溶剂，成为后面的处理单元中发生混色、脱色的主要原因。另外，由于干燥时间的不一致，在功能液滴干燥而收缩过程中，厚度变为不均匀。

可是，根据上述的结构，在后面处理单元的绘图装置停止投入工件的期间，从前面处理单元的干燥装置也可以取出工件，因此，在干燥装置中的工件的干燥时间达到规定的一定时间时，从干燥装置取出工件，工件的干燥时间管理一定，可以防止膜厚的不均匀。

附图说明

图1是表示涉及实施方式发光功能层制造线所有构成的俯视图。

图2是表示涉及实施方式绘图装置的立体图。

图3是说明涉及实施方式绘图装置工作的工作说明图。

图4A-C是表示本实施方式绘图装置所喷出的发光功能液喷出模型的基板的放大俯视图。

图5A、B是表示本实施方式转移装置(转移机器人)的结构图。

图6是涉及实施方式发光功能层制造线中表示基板输送形态的模式图。

图7是表示涉及实施方式干燥装置的立体图。

图8是表示涉及实施方式干燥装置的侧视图。

图9是表示涉及实施方式干燥装置的拆掉顶部状态的立体图。

图10是表示涉及实施方式干燥装置中使用的热板的立体图。

图11是表示涉及实施方式工件输送装置的立体图。

图12是表示涉及实施方式工件输送装置的主视图。

图13是表示涉及实施方式冷却板的俯视图。

图14是表示涉及实施方式冷却板的侧视图。

图15是表示涉及实施方式冷却板的局部放大剖面图。

图16是表示涉及实施方式积存机构的整体立体图。

图17是图16的X VII-X VII线剖面图。

图18是表示涉及实施方式积存机构用输送机构的整体立体图。

图19是表示涉及实施方式积存机构用输送机构中拆掉外罩状态的侧视图。

图20A、B是说明对实施方式中冷却板上的基板的放置工作的说明图。

图21A-C是说明其他实施方式冷却板上的基板的放置工作的说明图。

图22是表示涉及实施方式干燥装置中的干燥时间管理处理的流程图。

图23是说明彩色滤光器制造工艺的流程图。

图24A-E是表示按制造工艺顺序表示的彩色滤光器的模式剖面图。

图25是表示采用本发明的彩色滤光器的液晶装置大体结构主要部分剖面图。

图26是表示采用适用了本发明的彩色滤光器的第二例子液晶装置大体结构主要部分剖面图。

图27是表示采用适用了本发明的彩色滤光器的第三例子液晶装置大体结构主要部分剖面图。

图28是作为有机EL装置的显示装置主要部分的剖面图。

图29是说明作为有机EL装置的显示装置的制造工艺的流程图。

图30是说明无机物堤岸层形成的工艺图。

图31是说明有机物堤岸层形成的工艺图。

图32是说明空穴注入/输送层形成过程的工艺图。

图33是说明已形成空穴注入/输送层状态的工艺图。

图34是说明蓝色发光层形成过程的工艺图。

图35是说明已形成蓝色发光层状态的工艺图。

图36是说明已形成各颜色发光层状态的工艺图。

图37是说明阴极形成的工艺图。

图38是作为等离子型显示装置(PDP装置)的显示装置主要部分的分解立体图。

图39是作为电子放出装置(FED装置)的显示装置主要部分的剖面图。

图40A是显示装置的电子放出部周围的俯视图装置，图40B表示其形成方法的俯视图。

图中，

A、基板(工件) 1a、1b、1c、处理单元 2、2a、2b、2c、绘图装置 4、4a、4b、4c、干燥装置 5、5a、5b、5c、工件输送装置26、液滴喷头 45、暂存机构 51、干燥炉 51a、出入口52、热板 52a、工件放置面 53、外罩箱 54、分流板 54a、通气孔 55、排气室 55a、排气口 56、排气鼓风机(排气机构)58、轨道部件 59、提升机构 60、升降部件 61、配合部件62、进退机构

具体实施方式

下面，结合附图说明本发明的实施方式。图1是构成有机EL装置制造线一部分的发光功能层制造线(工件处理装置)。这个发光功能层制造线是引入前面工艺中已形成电路元件、堤岸和像素电极的基板(玻璃基板)之后，在这个基板上，利用所谓的喷墨方式，制作有机EL中的R·G·B三色的发光层和空穴注入层(有机EL功能层)的制造线。另外，因为有机EL厌氧、厌水分，这个发光功能层制造线中的基板处理是全在惰性气体(氮气)气氛中进行的。

如图1所示，这个发光功能层制造线1中，图的左侧为搬入的一侧，右侧为搬出的一侧，经过制造线内的各个处理装置，基板(工件)A从搬入一侧输送到搬出一侧方向。发光功能层制造线1的主要处理装置，由位于搬入一侧的形成B色发光层的B色绘图装置2a、位于中间的形成R色发光层的R色绘图装置2b、位于搬出一侧的形成G色发光层的G色绘图装置2c构成。另外，图中省略了形成空穴注入层的绘图装置。

另外，对应于B色绘图装置2a，夹住B色转移装置3a设置B色干燥装置4a，由这些装置2a、3a、4a来构成B色处理单元1a；另外，对应于R色绘图装置2b，夹住R色转移装置3b设置R色干燥装置4b，这些装置2b、3b、4b来构成R色处理单元1b；对应于G色绘图装置2c，夹住G色转移装置3c设置G色干燥装置4c，这些装置2c、3c、4c来构成G色处理单元1c。另一方面，B色处理单元1a与R色处理单元1b之间设有把B色处理单元1a处理的基板A输送到R色处理单元1b的第一输送装置5a，同样，R色处理单元1b与G色处理单元1c之间设有把R色处理单元1b中处理的基板A输送到G色处理单元1c的第二输送装置5b。

另外，搬入一侧设有把积存处理之前的基板A输送到搬入一侧的供应轮6和从供应轮6接受基板A并使其靠近B色转移装置3a的搬入一侧转移机构7。同样，搬出一侧设有把处理后的基板A积存的搬出一侧供应轮8和从G色转移装置3c接受工件并把它输送到搬出一侧供应轮8的搬出一侧转移装置9。

然而，在本实施方式中，存在相对于绘图装置2纵向引入的基板A和横向引入的基板A(参照图6)。因此，在搬入一侧转移机构7上装有：使基板保持水平的姿势状态，直接旋转90°之后，使其靠近B色转移装置3a的旋转机构(省略图示)。同样，在搬出一侧转移装置9上也装有输送到搬出一侧供应轮8之前，把基板A保持水平的姿势状态，直接旋转90°的旋转机构。

另一方面，因为在惰性气体气氛中进行基板A的处理，R·G·B各色的绘图装置2a、2b、2c分别容纳在净化室形式的主箱11、11、11。同样，因为在惰性气体气氛中输送基板A，在各个转移机构3a、3b、3c、7、9、第一输送装置5a和第二输送装置5b上分别设有支箱12。另外，把各个干燥装置4a、4b、4c的面向各个转移装置3a、3b、3c的前面部分插入在支箱12中，使之置于内部为惰性气体气氛中。于是，这些多个主箱11和多个支箱12在界面部分有快门(省略图示)，隧道形状连接。

如图2和图3所示，各颜色的绘图装置2是以喷墨方式喷出发光功能液的装置，包括机座21上设置的X轴台子22、垂直于X轴台子22的Y轴台子23、吊挂安装在Y轴台子23的主架24。在主架24的下面，通过支架25安装面向向下的多个液滴喷头26(参照图3)。

如图3所示，这个绘图装置2是和液滴喷头26驱动(选择性喷出发光功能液)同步移动基板A的结构，液滴喷头26的所谓主扫描是X轴台子22的X轴方向的往复工作来进行。另外，与其相对应，所谓的副扫描是通过Y轴台子23的液滴喷头26的Y轴方向的往复工作来进行的。即，使引入发光功能液的液滴喷头26相对于基板A在X轴方向和Y轴方向相对扫描，在基板A的多个像素区域内选择性地喷出含有发光功能材料的功能液，分别形成发光功能层。

此时，后面要详细叙述，发光功能层中作为形成空穴注入层的功能液，空穴注入层形成材料可以利用溶解在极性溶剂的组合物。另外，作为形成发光层的功能液，发光层功能材料可以利用溶解在非极性溶剂的组合物。

并且，如图4A-4C所示，形成发光层的R·G·B各颜色的像素区域的配置可以利用带状配置、镶嵌配置和三角形配置。另外，对基板A实施前处理，以便各个像素区域具有对功能液的亲液性、各个像素区域的周围具有疏液性。

如图5A、5B所示，R·G·B各转移装置3是具有回转和伸缩自在的一对机器人臂31、31的转移机器人构成，设在各个机器人臂31前端的薄板钩状的机器人手32的支撑来放置基板A，进行转移作业。另外，在支撑一对机器人臂31、31的立柱33内部，装有升降装置(省略图示)，为了接受基板A(上升)和转交(下降)，可以适当升降一对机器人臂31、31。

比如，中间的R色转移装置3b中，驱动一侧机器人臂31，使从第一输送装置5a接受的基板A保持水平姿势状态，作回转，在水平面内旋转90°之后，输送到R色绘图装置2b的X轴台子22上。另外，驱动另一侧机器人臂31，使X轴台子22接受R色绘图装置2b中处理完了的基板A，并把它大旋转，在水平面内旋转180°，输送到R色干燥装置4b。但是，基板A为横向的基板A时，暂时转移到第二输送装置5b的后面要叙述的90°旋转装置42之后，在这里转90°之后，再度接受这个，并输送到R色干燥装置4b。于是，驱动另一方机器人臂31从R色干燥装置4b接受基板A，在水平面内旋转90°而旋转R色干燥装置4b中所处理完了的基板A之后，输送到第二输送装置5b(参照图6)。

如图7至图9所示，R·G·B的各个干燥装置4是在一个干燥炉51内上下多层(图示例中为六层)容纳热板52而组成的装置，在这些热板52上面放置基板A，可以同时进行多个基板的干燥。另外，这些各干燥装置4是为了防止通过绘图装置2涂敷在基板A的功能液滴在基板A输送过程中的流动而发生混色或溶剂的急剧蒸发引起的膜厚度不均匀而进行使功能液滴失去流动性程度干燥的临时干燥目的设置的；而固化功能液滴形成发光层的最终干燥是在图示的制造线的后段工艺中进行。干燥装置4中的基板A的加热温度在40±2℃～200±2℃为好。

在干燥炉51的前面，开设靠近上述多层热板52的出入口51a。出入口51a是常开放式，通过出入口51a，由转移装置3对各个热板52进行基板A的送进和取出。

另外，在干燥炉51的背面，通过活页开闭自由地安装外罩箱53。外罩箱53的往里方向的中间设有：靠近多层热板52各层间间隙中形成多个通气孔54a的分流板54；分流板54与外罩箱53的背面之间，划分成通过分流板54连通于干燥炉51的排气室55。于是，在外罩箱53的背面，设有连通于排气室55的上下多个(图示例中为三个)排气口55a，通过有多个流入一侧连接口57a的合流箱57，把这些排气口55a连接在干燥炉51上的作为排气机构的排气鼓风机56。另外，排气口55a、合流箱57和排气鼓风机56分别通过排气管连接，但在图中省略。

根据这样的结构，通过排气室55，排气鼓风机56的吸引力作用在分流板54的通气孔54a，支箱12内的惰性气体从干燥炉51的前面的出入口51a流入到炉内，产生通过多层次热板52各层间间隙流向通气孔54a的惰性气体换气流。因此，干燥炉中蒸发的功能液滴中的溶剂随换气流迅速排出干燥炉51外，可以有效进行干燥。并且，因为设置上下多个排气口55a，所以吸引力均匀作用在上下任何的通气孔54a，所有热板52之间的间隙里均匀流动换气流，在任何热板52上，也可以有效进行干燥。

另外，本实施方式中，热板52的各层间的各间隙一列里形成大的通气孔54a的同时，在分流板54上加设调整各列通气孔54a开口面积的滑动式调整板54b，从而可以调整换气流。另外，可以在分流板54上分散形成小口径的多个通气孔。

如图10所示，各个热板52具有：上面的工件放置面52a上定位基板A的多个定位销52b和向板内的加热器供应电力的后部接线柱52c，并且，在侧边缘部，形成对工件放置面52a有上下高度差且向侧面凸出的耳边部52d。并且，设置：相对于耳边部52d可以前后方向滑动自由地配合的槽型轨道58；通过绝热材料58a和固定部件58b，在干燥炉51侧壁内面，上下多层固定轨道58；通过拆卸耳边部52d后端设置的止动螺丝52e的方法，对各个轨道58，即对干燥炉51可以自由抽出和插入各个热板52。这里的外罩箱53是开闭自由地安装的，打开外罩箱53的方法可以开放干燥炉51后面。因此，变更基板A的机种时，从干燥炉51背面可以容易更换适应于基板A大小的热板52。

另外，在各个热板52与转移装置3之间转交基板A时，为了各个热板52与基板A之间确保机器人手32插入可能的间隙，所以在干燥炉51里装有从多层热板52选择性提升基板A而支持可能的提升机构59。提升机构59由升降部件60、配合部件61、进退机构62所构成；其中所述升降部件60配置在干燥炉51侧壁外面，是上下方向长的作升降运动的部件；所述配合部件61上下多层配置在干燥炉51侧壁内面，是可以配合从各个热板52工件放置面52a伸出的基板A的下表面的部件；而所述进退机构62联接在升降部件60，使这些配合部件61各自进退在进入基板A的上述侧边缘部的上下方向投影面内的工作位置和退出这个投影面外部的退出位置之间。

另外，如图10所示，本实施方式中，在热板52的各侧面上前后三处形成有缺口52f，在配合部件61的前后三处凸出设有爪部61a，以便配合从工件放置面52a伸出在这些缺口52f的基板A侧边缘部分。

进退机构62由上下多层安装在升降部件60的带有导向块63a的汽缸63和联接在各个汽缸63的活塞杆63b的、横向进退的、前后方向长的可动臂64所构成；通过形成在干燥炉51侧壁的通孔51b，把固定在各个配合部件61前后两端的联接片61b联接在可动臂64两端。于是，使多个汽缸63选择性地工作，对应的配合部件61选择性进出在工作位置。

在升降部件60下端装有与配置在干燥炉51下方的偏心凸轮65接触的凸轮从动件66，由配置在干燥炉51下方的汽缸67，通过连杆68和图外的齿轮，旋转偏心凸轮65的方法，使升降部件60沿着固定在干燥炉51侧壁外面的轨道69而升降。另外，在干燥炉51侧壁，装有外罩51c，以便覆盖提升机构59。

根据上述的结构，在对于任何一个热板52上装卸基板A时，只进退对应的配合部件61状态，提升升降部件60的方法，可以利用配合部件61选择性地提升该热板52上的基板A。于是，这样结构中没有必要在各个热板52下面确保提升机构用升降空间，干燥炉51的高度尺寸不会变大。

如图11和图12清楚所示，作为第一·第二的各输送装置5a、5b所利用的工件输送装置5由柜式公用机座41上配置：水平面内90°旋转的基板A的上流一侧的90°旋转装置42和水平面内180°旋转基板A的下流一侧180°旋转机构43，并且，在两个旋转装置42、43之间，配置有冷却基板A的冷却机构44和为了等待基板A处理而积存的积存机构45而构成的。

如上所述，90°旋转装置42为了适当输送基板A到各个干燥装置4，和R·G·B的各个转移装置3协同，使横向的基板旋转90°而变为纵向。另外，通过转移装置3将从干燥装置4接受的基板A输送到冷却机构44。缓冲装置45暂存冷却机构44所冷却的基板A，因液滴喷头26的清理等而停止向下一个绘图装置2的基板投入时，使基板A在输送装置5上待机。将根据各个转移装置3的转移形态，180°旋转装置43进行应该进行姿势变更的基板A转180°，基板A以完全相同的姿势进入R·G·B各个绘图装置2。

这里，结合图1和图6简单说明实施方式的发光功能层制造线1中的基板A输送和处理顺序。

如果搬入一侧转移装置7把从搬入一侧供应轮6所接受的基板A靠近B色转移装置3a，则B色转移装置3a一方的机器人臂31接受基板A，输送到B色绘图装置2a。在B色绘图装置2a中，把接受的基板A向X轴方向和Y轴方向相对移动，对此选择性地喷出B色发光功能液滴。B色转移装置3a的另一方机器人臂31靠近喷出工作结束后回到原来位置的基板A而接受，并输送到B色干燥装置4a。

如果完成基板干燥，则，另一方的机器人臂31接受这个，转移到第一输送装置5a的90°旋转装置42，由90°旋转装置42输送基板A到冷却机构44。然后，在冷却机构44中冷却的基板A输送到缓冲装置45。接着，等待R色绘图装置2b中的基板A的处理状况，从缓冲装置45输送基板A到180°旋转装置43，将其旋转180°而把它靠近R色转移装置3b。

以后，进行如上所述同样处理，即，由R色转移装置3b的基板A的转移、由R色绘图装置2b和R色干燥装置4b的基板A的处理。进而，从R色干燥装置4b转移到第二输送装置5b的基板A，通过G色转移装置3c，从第二输送装置5b适当输送到G色绘图装置2c和G色干燥装置4c之后，进行处理。这样，形成R·G·B发光功能层的基板A最后通过G色转移装置3c，从G色干燥装置4c转移到搬出一侧转移装置9，从此送入到搬出一侧供应轮8。

90°旋转装置42和180°旋转装置43具有相同的结构，分别包括水平面内旋转基板A的旋转部71、81和搬出或搬入基板A的输送部72、82。在旋转部71、81上设有：具有对准基板A中心的对中机构的、旋转和升降自在的工件台子73、83。从转移装置3转移基板A到90°旋转装置42时，把工件台子73上升到输送部72上方状态，基板A转移到工件台子73。

并且，把基板A旋转90°时，由对中机构进行基板A的对中旋转中心之后，旋转工件台子73。另一方面，从90°旋转装置42搬出基板A时，下降工件台子73，转交基板A给设在输送部72的多个输送轮74，接着，利用输送轮74旋转输送，输送基板A到冷却机构44。

从缓冲装置45送出基板A到180°旋转装置43时，在下降工件台子83的状态，由输送部82的多个输送轮84搬入基板A到工件台子83的正上方，接着，上升工件台子83，使工件台子83接受基板A。并且，由对中机构对中基板A旋转中心之后，使工件台子83旋转180°，在这个状态，使转移装置3接受基板A。

为了把在前面的处理单元的干燥装置4中被加热的基板A冷却至绘图装置2的设定管理温度(比如20℃)，在后面处理单元的绘图装置2中防止由于基板A热膨胀引起的定位精度或液滴涂敷位置精度的降低，设置了冷却机构44。本实施方式的冷却机构44是被冷却剂强制冷却的冷却板91来构成；竖立设在公用机座41中间部位公用机座41内部的支柱(省略图示)来浮动支撑冷却板91，将从90°旋转装置42输送的基板A放置在冷却板91的方法来进行冷却。

冷却板91的详细情况如同图13至图15所示，由厚度大的冷却板主体92、固定在冷却板主体92上面的厚度薄的上板93、固定在冷却板主体92下表面的台座94所构成。在冷却板主体92上有多个平行的冷却剂流动的冷却剂通道95，通过流入一侧和流出一侧的联管96a、96b连接在冷却剂循环回路96上。

作为冷却剂可以使用冷却水，但是本实施方式中，空气作为冷却剂，冷却剂循环回路96上设置循环风机96c和制冷机96d。另外，各个冷却剂通道95连接在联管96a、96b的一触式接头95a，安装在冷却板主体92两端。另外，本实施方式中，利用穿孔加工方法，在冷却板主体92上形成冷却剂通道95，但是，也可以把作为冷却剂通道的管子铸入在冷却板主体92。

上板93上有多个吸引孔97。并且，在冷却板主体92上面上形成连通这些吸引孔97的网格状的槽98，通过安装在台座94的接头98a，图外面的负压源连接在槽98。于是，槽98作为空气吸引通道，进行从吸引孔97的空气吸引，基板A吸引固定在上板93，有效地冷却基板A。

另外，冷却板91的宽度稍微窄于基板A，另外，对后面要叙述的输送部件144形成躲避穴99。

如图16和图17所示，缓冲装置45是由上下多层支撑基板A可能的供应机架101和升降供应机架101的升降机构102所构成。供应机架101是由上框架111、下框架112、连接框架111和下框架112的上下方向延伸的三根框架部件113a所组成的两侧框架113、113来形成中空的箱子形状；在各个侧框架113的框件113a上，上下多层安装爪状的工件接受部114，以配合基板A侧边部下表面而支撑基板A。另外，供应机架101是对应基板A大小的专用部件，在上框架111的两侧安装把手115，以便交换供应机架101时的搬运。另外，冷却板91也是对应基板A大小的专用部件，和供应机架101一起交换。

以基板A的输送方向为X轴方向，与此垂直的水平方向作为Y轴方向，二个侧框架113、113位于冷却板91的Y轴方向两侧，下框架112位于冷却板91的下方状态，供应机架101支承在升降机构102上。换句话说，冷却板91配置在供应机架101的两个侧框架113，113之间的空间内。并且，由于供应机架101的上升，使放置在冷却板91的基板A的侧边缘部下表面，即突出于冷却板91的基板A的下表面-配合在工件接受部114，把基板A抬到冷却板91的上方空间，在这个状态暂存基板A。

于是，冷却板91的上方空间可以有效利用于缓冲装置45的基板A暂存空间。从而，使冷却机构44和缓冲装置45可以在同一处重叠有效配置，有利于输送装置5的小型化。另外，供应机架101从上方的工件接受部114依次往下方的工件接受部114暂存(stock)基板A。

升降机构102具备公用机座41内Y轴方向互相隔开固定的一对支持板121、121和通过一对的导向杆122、122升降自在地支承在各支持板121的升降框123；其中，供应机架101的下框架112放置在升降框123上的接受座124上。另外，公用机座41内固定用安装托架121a固定在支持板121的外侧面。

在支持板121所轴支承的螺杆125相配合的螺母126就固定在升降框123上。由于螺杆125旋转，升降框123升降。在一方的支持板121所轴支承的螺杆125，直接联接在这个支持板121下端安装的齿轮传动马达127；另一方的支持板121所轴支承的螺杆125通过传动带128联接在齿轮传动马达127；通过齿轮传动马达127，支持在两个支持板121、121的Y轴方向两侧的升降框123、123同步升降，使供应机架101保持水平姿势升降。

由汽缸129a在Y轴方向进退的一对压爪129、129和由汽缸130a通过臂130b在X轴方向进退的一对定位销130、130分别设在各个升降框123上。并且，由两个定位销130、130从X轴方向两侧夹住供应机架101的下框架112的方法，不仅在X轴方向定位供应机架101，而且由两个升降框123、123的压爪129、129从Y轴方向两侧夹住并往下压供应机架101的下框架112，以在Y轴方向上也定位供应机架101的状态，固定在升降框123上。

上下方向长度大的狭缝架131固定在各个支持板121的X轴方向的一端部，读出狭缝架131的缝隙的光学传感器132安装在各个升降框123，从这个光学传感器132的信号识别供应机架101的上下方向的位置。

还有，由汽缸133在Y轴方向进退的可动框134设在各个支持板121的上端部。靠近供应机架101侧框架113的框组空隙的多个导向轮135安装在可动框134，利用后面要叙述的输送机构103来进行机架箱内空间的基板A的输送时，由可动框134的Y轴方向内部方向的移动，使导向轮135通过侧框架113的框组空隙进入机架箱内部空间，由导向轮135导向基板A的侧边缘，以防止输送时的基板A的斜行。另外，如图16、17左侧的支持板121所示，支持板121上的罩136来覆盖汽缸133。

另外，虽然图16、17中省略图示，机架箱内部空间中进行基板A输送的图18、图19所示的输送机构103设在两个支持板121、121之间空间中。输送机构103包括图面以外的汽缸来升降的升降台141上安装的输送机架142。在X轴方向隔开距离的一对起立框架143、143竖立设在输送机架142的Y轴方向两侧，作为各自输送部件的多个(图中三个)输送轮144安装在这些起立框架143的上端部内侧面。输送机架142下面安装的电动机145通过带式动力传动机构146旋转这些输送轮144。另外，起立框架143、143外侧的罩覆盖动力传动机构146。

起立框架143和输送轮144靠近形成在冷却板91的躲避穴99，由于升降台141的上升，输送轮144通过躲避穴99凸出在冷却板91的上面，在高于冷却板91上面上方的规定输送高度位置，进行机架箱内部空间中的基板A的输送。另外，这个输送高度位置设定为90°旋转装置42和180°旋转装置43的输送部72、82输送高度相同的高度。

如图20A所示，本实施方式中，上述输送高度位置设定成：供应机架101的多层工件接受器114中的应该支持下一个基板A的工件接受器114a位于稍微低于冷却板91上面位置的状态，这个工件接受器114a与其上面的工件接受器114b之间的间隔内可以容纳位于该输送高度的基板A。

并且，把从90°旋转装置42的输送部72所送出的基板A，由输送轮144搬入到机架箱内部空间后，如图20B所示，输送轮144下降到低于冷却板91上面的下方位置，在冷却板91上面上放置基板A，进行基板A的冷却。其次，在时间管理或对基板A的直接温度检测来判定基板A已冷却到规定温度时，提升供应机架101。如图20C所示，根据这些，工件接受器114a支持基板A，在这个状态，基板A从冷却板91抬起。

这样，暂存在供应机架101的基板A输送到180°旋转装置43时，使输送轮144凸出在冷却板91上方的状态，使供应机架101下降到图20A所示的位置，使基板A搭在输送轮144，从输送轮144把基板A输送到180°旋转装置43的输送部82。

如上所述，设置缓冲装置45的方法，由于液滴喷头26的清理作业，即使是暂停向后段处理单元的绘图装置2的基板A投入，前段处理单元的干燥装置4中也可以取出工件，可以暂存在缓冲装置45。这里，如果干燥装置4中的基板A的加热温度低，则，像素区域的周围区域残留溶剂，成为后段处理单元的绘图装置2中发生混色、脱色的主要原因；另外，由于干燥时间的不均匀，功能液滴的干燥收缩过程中，膜的厚度变为不均匀。因此，本实施方式中，在暂停向前段处理单元的绘图装置2的基板A投入期间，前段处理单元的干燥装置4中的基板A的干燥时间达到规定的一定时间时，从干燥装置4中取出基板A，基板A暂存在缓冲装置45。

具体地，在图面以外的控制机构内部，安装对应于干燥装置4的多层热板52的定时器，如图22所示，基板A投入在任何一个热板52时(步骤S1)，使对应于该热板52的定时器开始计时(步骤S2)，基板投入时间经过设定的时间而超过定时时(步骤S3)，向转移装置3指令：从上述的热板52取出基板A(步骤S4)。以这样的方法，管理一定时间的基板A的干燥时间，可以防止膜的厚度不均匀。

但是，上述的实施方式中，因为冷却板91上形成防止干扰输送轮144的躲避穴99，多少降低基板A的冷却效率。此时，设在升降框123的可动框134上也可以安装如图21A-21C所示的输送轮144′，由此进行机架箱内部空间的基板A的输送，来替代导向轮135。

由于可动框134的工作，这个输送轮144′在机架箱内部空间的外部自由退避，如图21A所示，即使是机架箱内部空间中的基板A的输送高度位置设定成：应该支持下一个基板A的工件接受器114a位于冷却板91上面上方位置状态，这个工件接受器114a与其上层工件接受器114b之间的间隙里可以容纳该输送高度位置存在的基板A，也可以在以下的工作中使基板A放置在冷却板91。

首先，以上述的输送高度位置，把基板A搬入到机架箱内部空间后，如图21B所示，提升供应机架101，以便应该支持下一个工件的工件接受器114a支持位于上述输送高度位置的基板A。然后，把输送轮144′退避到机架箱内部空间外部的状态，如图21C所示，下降供应机架101，使基板A放置在冷却板91上。基板A冷却后，再度提升供应机架101，和上述的实施方式相同，在工件接受器114a上支持基板A的状态，从冷却板91抬起基板A。

这样，作为机架箱内部空间中的输送基板A的输送部件，利用可以退避到机架箱内部空间外部的输送轮144′，就在冷却板91上没有必要形成躲避穴99，可以提高基板A的冷却效率。

另外，利用升降自在的输送轮144的上述实施方式中，如图21A所示设定输送高度，搬入基板后，先提升供应机架101而在工件接受器114a上面支持基板A，然后，下降输送轮144的同时，下降供应机架101，使基板A可以放置在冷却板91。但是，如上述实施方式，搬入基板后，只下降输送轮144，使基板A放置在冷却板91的方式效率高。

利用本实施方式的发光功能层制造线1来可以制造各种电光学装置(平板显示器)。因此，作为电光学装置，以彩色滤光器、液晶显示装置、有机EL装置、等离子显示器(PDP装置)、电子放出装置(FED装置、SED装置)为例，说明其结构和制造方法。另外，电子放出装置是包含所谓的FED(场发射显示器)或SED(表面导电电子射极显示)的概念。

首先，说明安装在液晶显示装置或有机EL装置的彩色滤光器的制造方法。图23是表示彩色滤光器制造工艺的流程图，图24A-24E是按照制造工艺顺序表示的本实施方式彩色滤光器500(滤光器主体500A)的模式剖面图。

首先，如图24A所示，首先在黑底形成工艺(步骤S11)中，基板(W)501上形成黑底(blackmatrix)502。黑底502是由金属铬、金属铬和氧化铬的层叠体或树脂黑等而形成。为了形成金属薄膜的黑底502，可以利用溅射法或真空镀敷法。另外，由树脂薄膜形成黑底502时，可以利用凹版印刷法、光刻法、热复制法。

接着，堤岸(bank)形成工艺(步骤S12)中，在黑底502上以重叠的形状形成堤岸503。即，如图24B所示，以覆盖基板501和黑底502形成底片型(negative)透明感光性树脂制作的保护层504。然后，在其上面进行以矩阵模型形成的膜片505被覆状态的暴光处理。

如图24C所示，进一步进行保护层504未暴光部分的蚀刻处理的方法，图案形成保护层504，从而形成堤岸503。另外，树脂黑来制作黑底时，黑底和堤岸兼用成为可能。

该堤岸503和其下面的黑底502成为划分各像素区域507a的划区隔壁507b，在以后的着色层形成工艺中，形成着色层(成膜部)508R、508G、508B时，规定液滴喷头26的功能液滴喷着区域。

经过以上的黑底形成工艺和堤岸形成工艺，获得上述的滤光器主体500A。

另外，本实施方式中，作为堤岸503的材料利用了涂膜表面为疏液(疏水)性的树脂材料。并且，基板(玻璃基板)501的表面为亲液(亲水)性的，因此，在后面要叙述的着色层形成工艺中，可以提高向被堤岸503(划区隔壁507b)所包围的像素区域507a内的液滴喷着位置精度。

其次，如图24D所示，着色层形成工艺(步骤S13)中，利用液滴喷头26把功能液滴喷着到被划区隔壁507b所包围的像素区域507a内。这时，利用液滴喷头26引入R·G·B三色的功能液(滤光材料)，进行功能液滴的喷出。

然后，经过干燥处理(加热等的处理)来固定功能液，形成三色的着色层508R、508G、508B。形成着色层508R、508G、508B之后，转移到保护膜形成工艺(步骤S14)，如图24E所示，形成保护膜509，以覆盖基板501、划区隔壁507b和着色层508R、508G、508B。

即，在基板501的形成有着色层508R、508G、508B的全部面上，喷出保护膜用涂敷液之后，经过干燥处理形成保护膜509。

然后，形成保护膜509之后，把基板501切断成各的有效像素区域的方法，获得彩色滤光器500。

图25是利用上述彩色滤光器500的作为液晶显示装置一例的无源阵列型液晶装置(液晶装置)的表示大体结构的主要部分剖面图。该液晶装置520上附加安装液晶驱动用IC、背照灯、支撑体等的附加零件的方法，可以获得最终产品的透射型液晶显示装置。另外，彩色滤光器500是如同图24A-24E所示的滤光器，因此，对应部位附以相同的符号，省略其说明。

该液晶装置520大体上由彩色滤光器500、玻璃基板等组成的对置基板521和夹持在其间的STN(超级双绞向列)液晶组合物而形成的液晶层522所组成，把彩色滤光器500配置在图中的上方(观测者一侧)。

另外，虽然图中未示，在对置基板521和彩色滤光器500的外面(相反于液晶层522的面)上分别设有偏光板，另外，位于对置基板521一侧的偏光板的外侧设有背照灯。

彩色滤光器500的保护膜509(液晶层一侧)上按规定间隔形成多个图25中左右方向的细长形状的第一电极523，覆盖该第一电极523的相反于彩色滤光器500的面而形成第一定向膜524。

另一方面，对置基板521中的面对彩色滤光器500的面上，在垂直于彩色滤光器500的第一电极523方向上按规定间隔形成多个细长形状的第二电极526，覆盖该第二电极526的液晶层522一侧的面而形成第二定向膜527。这些第一电极523和第二电极526是由ITO(铟锡氧化物)等的透明导电材料形成。

设在液晶层522内的垫片528是为了保持液晶层522一定厚度(单元间隔)的部件。另外，密封件529是为了防止液晶层522内的液晶组合物向外漏出的部件。另外，第一电极523的一端部是作为引出的配电线延伸到密封件529的外侧。

于是，第一电极523与第二电极526交叉的部分为像素，使其构成为使彩色滤光器500的着色层508R、508G、508B位于成为该像素部分。

通常的制造工艺中，在彩色滤光器500上进行第一电极523的图像和第一定向膜524的涂敷而制作彩色滤光器500一侧的部分，并且，在对置基板521上另外单独进行第二电极526的图像形成和第二定向膜527的涂敷而制作对置基板521一侧的部分。然后，在对置基板521一侧的部分里制作垫片528和密封件529，在这个状态，粘合彩色滤光器500一侧的部分。接着，从密封件529的注入口注入构成液晶层522的液晶之后，封闭注入口。再后，层叠两个偏光板和背照灯。

实施方式的绘图装置2，例如是涂敷上述的构成单元间隔的垫片材料(功能液)的同时，在对置基板521的部分粘合彩色滤光器500一侧的部分之前，由密封件529所包围的区域内，可以均匀地涂敷液晶(功能液)。另外，利用液滴喷头26也能够进行上述密封件529的印刷。还有，利用液滴喷头26也能够进行第一定向膜524和第二定向膜527的涂敷。

图26是采用本实施方式中制造的彩色滤光器500的液晶装置第二例大体结构的主要部分剖面图。

该液晶装置530大不相同于上述的液晶装置520的点是彩色滤光器500配置在图中的下面(相反于观察者一侧)。

该液晶装置530大体上在彩色滤光器500和玻璃基板等组成的对置基板531之间夹持由STN液晶组合物而成的液晶层532所构成。另外，虽然图中未示，在对置基板531和彩色滤光器500的外面，分别设有偏光板。

在彩色滤光器500的保护膜509上(液晶层532一侧)，按规定间隔形成多个图中往里方向的细长形状的第一电极533，以覆盖该第一电极533的液晶层532一侧面而形成第一定向膜534。

在对置基板531中的面对彩色滤光器500的面上，垂直于彩色滤光器500一侧的第一电极533方向延伸，按规定间隔形成多个细长形状的第二电极536，覆盖该第二电极536的液晶层532一侧的面而形成第二定向膜537。

在液晶层532上设有为了保持液晶层532为一定厚度的垫片538和为了防止液晶层532内部的液晶组合物向外漏出的密封件539。

于是，和上述的液晶装置520同样，第一电极533与第二电极536交叉的部分为像素，使彩色滤光器500的着色层508R、508G、508B位于成为该像素的位置。

图27是表示采用本发明彩色滤光器500的液晶装置来构成液晶装置的第三例中，透射型TFT(薄膜晶体管)型液晶装置大体结构的分解立体图。

该液晶装置550是把彩色滤光器500配置在图中上面(观测者一侧)的装置。

该液晶装置550是大体上由彩色滤光器500、以面向彩色滤光器500而配置的对置基板551、夹持在这些之间的图中未示的液晶层、配置在彩色滤光器500上面一侧的(观测者一侧)偏光板555、配置在对置基板551下表面的偏光板(图中未示)所构成。

彩色滤光器500的保护膜509的表面(对置基板551一侧的面)上形成有液晶驱动用电极556。该电极556是由ITO等的透明导电材料制作，覆盖后面要叙述的像素电极560所形成的区域全部的全面电极。另外，与覆盖该电极556的像素电极相反一侧面的状态，设有定向膜557。

面向对置基板551的彩色滤光器500的面上形成绝缘层558，在该绝缘层558上面，互相垂直状态，形成扫描线561和信号线562。于是，包围在这些扫描线561和信号线562区域内形成像素电极560。另外，实际的液晶装置中，在像素电极560上面设有定向膜，但省略了图示。

另外，像素电极560的缺口部、扫描线561和信号线562所包围的部分里装有：具备源电极、漏电极、半导体和栅电极的薄膜晶体管563。于是，对扫描线561和信号线562施加信号的方法，使薄膜晶体管接通·断开，从而可以进行像素电极560的通电控制。

另外，上述各实施方式的液晶装置520、530、550是透射型的结构，但是，设置反射层或半透射反射层，也可以作成反射型液晶装置或半透射反射型液晶装置。

下面，图28是有机EL装置的显示区域(以下简称显示装置600)主要部分的剖面图。

该显示装置600大体上是在基板(W)601上，层叠电路元件部602、发光元件部603和阴极604状态而构成的。

在该显示装置600中，从发光元件部603向基板601一侧发出的光，透射电路元件部602和基板601而向观测者一侧射出的同时，从发光元件部603向基板601的相反一侧发出的光，由阴极604反射之后，透射电路元件部602和基板601，向观测者一侧射出。

电路元件部602和基板601之间形成由硅氧化膜而成的基底保护膜606，该基底保护膜606上(发光元件部603一侧)形成多晶硅的晶核状半导体膜607。该半导体膜607的左右区域上，利用高浓度阳离子打入配合法分别形成源区域607a和漏区域607b。并且没有打入阳离子的中央部位成为槽区域607c。

另外，在电路元件部602上，形成覆盖基底保护膜606和半导体膜607的透明的栅绝缘膜608，在栅绝缘膜608上的对应于半导体膜607槽区域607c位置上形成如Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅电极609。该栅电极609和栅绝缘膜608上形成透明的第一层间绝缘膜611a、第二层间绝缘膜611b。另外，穿过第一层间绝缘膜611a和第二层间绝缘膜611b形成分别连通半导体膜607的源区域607a和漏区域607b的触点孔612a、612b。

于是，在第二层间绝缘膜611b上，由ITO等而成的透明的像素电极613按规定形状形成图案，这个像素电极613通过触点孔612a连接在源区域607a。

另外，在第一层间绝缘膜611a上，配置电源线614，这个电源线614通过触点孔612b连接在漏区域607b。

这样，在电路元件部602上，分别形成连接在各个像素电极613的驱动用薄膜晶体管615。

上述的发光元件部603大体上由多个像素电极613上的各自层叠的功能层617、各像素电极613和功能层617之间具备的划分功能层617的堤岸部618所构成。

这些像素电极613、功能层617和配置在功能层617上的阴极604来构成发光元件。另外，像素电极613在俯视图上以近似矩形形成图案，各像素电极613之间形成堤岸部618。

堤岸部618是由如SiO、SiO₂、TiO₂等无机材料形成的无机物堤岸部618a(第一堤岸层)和层叠在这个无机物堤岸部618a的由丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶剂性优越的抗蚀剂形成的断面台子形状的有机物堤岸部618b(第二堤岸层)所构成。该堤岸部618的一部分搭在像素电极613边缘部位的状态而形成。

于是，各堤岸部618之间形成面对像素电极613往上逐渐扩大的开口部619。

上述的功能层617是在开口部619内部，由像素电极613上层叠状态形成的空穴注入/输送层617a和这个空穴注入/输送层617a上形成的发光层617b所构成。另外，还可以形成邻接在这个发光层617b的具有另外作用的另一功能层。比如，形成电子输送层等也成为可能。

空穴注入/输送层617a具有从像素电极613一侧输送空穴之后，注入到发光层617b的功能。这个空穴注入/输送层617a是喷出空含有穴注入/输送层形成材料的第一组合物(功能液)来形成的。作为空穴注入/输送层形成材料可以利用例如，聚乙烯二羟基噻吩等的噻吩衍生物和聚苯乙烯磺酸等的混合物。

发光层617b是发红色(R)、绿色(G)或蓝色(B)的任意光的层，利用喷出含有发光层形成材料(发光材料)的第二组合物(功能液)的方法来形成。作为第二组合物的溶剂(非极性溶剂)最好是利用不溶于空穴注入/输送层617a的物质，比如可以利用环己基苯、二氢苯并呋喃、三甲苯、四甲基苯等。利用这样的非极性溶剂作为发光层617b的第二组合物，不会再溶解空穴注入/输送层617a而可以形成发光层617b。

于是，在发光层617b中，从空穴注入/输送层617a注入的空穴和从阴极604注入的电子在发光层中重新结合而发光。

阴极604是全面覆盖发光元件部603的状态来形成，和像素电极613成对，起使功能层617中通电流的作用。另外，在这个阴极604上面配置图中未示的封闭部件。

下面，结合图29～图37说明上述显示装置600的制造工艺。

如图29所示，这个显示装置600是经过堤岸部形成工艺(步骤S21)、表面处理工艺(步骤S22)、空穴注入/输送层形成工艺(步骤S23)、发光层形成工艺(步骤S24)和对置电极形成工艺(步骤S25)来制造的。另外，制造工艺不限于例示的工艺，可以根据需要增减一些工艺。

首先，如图30所示，在堤岸部形成工艺(步骤S21)中，在第二层间绝缘膜611b上，形成无机物堤岸部618a。该无机物堤岸部618a是在形成位置上形成无机物膜之后，把这个无机物膜用光刻技术来形成图案而形成。此时，使无机物堤岸部618a的一部分和像素电极613边缘部重叠地形成。

形成无机物堤岸部618a之后，如图31所示，在无机物堤岸部618a上形成有机物堤岸部618b。这个有机物堤岸部618b也和无机物堤岸部618a同样，利用光刻技术来形成图案的。

这样形成堤岸部618。另外，伴随这些，在各堤岸部618之间形成面对像素电极613上方开口的开口部619。这个开口部619就规定像素区域。

表面处理工艺(步骤S22)中，进行亲液化处理和疏液化处理。实施亲液化处理区域是无机物堤岸部618a的第一层叠部618aa和像素电极613的电极面613a，这些区域是利用氧为处理气体的等离子处理来进行亲液性表面处理。这个等离子处理兼有清洗作为像素电极613的ITO的作用。

另外，疏液化处理实施在有机物堤岸部618b的壁面618s和有机物堤岸部618b上面618t，比如，四氟化甲烷为处理气体的等离子处理来进行表面氟化处理(处理成疏液性)。

由于进行了这个表面处理，利用液滴喷头26形成功能层617时，把功能液滴更可靠地喷着到像素区域，另外，可以防止从开口部619溢出喷着到像素区域的功能液滴。

这样，经过以上的工艺获得显示装置主体600A。这个显示装置主体600A放置在图2所示的绘图装置2的X轴台子22上，进行如下的空穴注入/输送层形成工艺(步骤S23)和发光层形成工艺(步骤S24)。

如图32所示，在空穴注入/输送层形成工艺(步骤S23)中，液滴喷头26向作为像素区域的各开口部619内喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第一组合物。然后，如图33所示，进行干燥处理和热处理，蒸发包含在第一组合物中的极性溶剂，在像素电极(电极面613a)613上形成空穴注入/输送层617a。

下面，说明发光层形成工艺(步骤S24)。如上所述，这个发光层形成工艺中，为了防止空穴注入/输送层617a重新溶解，作为形成发光层时所使用的第二组合物，利用不溶空穴注入/输送层617a的非极性溶剂。

可是，另一方面，空穴注入/输送层617a对非极性溶剂的化合性低，因此，即使是包含非极性溶剂的第二组合物喷着在空穴注入/输送层617a上面，空穴注入/输送层617a和发光层617b也不能密接或着有可能不能均匀涂敷发光层617b。

因此，为了提高空穴注入/输送层617a表面的对非极性溶剂和发光层形成材料的化合力，形成发光层之前，最好是进行表面处理(表面改善质处理)。这个表面处理是在空穴注入/输送层617a上涂敷相同于形成发光层时所使用第二组合物的非极性溶剂或类似于这些溶剂的表面改质材料之后，干燥这些的方法来进行的。

实施这样的处理之后，空穴注入/输送层617a的表面容易溶合于非极性溶剂，在以后的工艺中，在空穴注入/输送层617a上可以均匀涂敷包含发光层形成材料的第二组合物。

然后，如图34所示，包含对应各颜色中的任何一种(图34中为蓝色(B))颜色发光层形成材料的第二组合物，作为功能液打入像素区域(开口部619)内部。打入到像素区域内的第二组合物在空穴注入/输送层617a上扩展，充满开口部619内。另外，即使是第二组合物偏离像素区域而落在堤岸部618的上面618t时，因为这个上面618t已经实施了上述的疏液处理，第二组合物容易滚进开口部619内部。

然后，进行干燥工艺的方法，干燥处理喷出后的第二组合物而蒸发包含在第二组合物中的非极性溶剂，如图35所示，在空穴注入/输送层617a上形成发光层617b。这个图的情况是形成对应于蓝色(B)的发光层617b。

同样，如图36所示，利用液滴喷头26按顺序进行如同上述对应于蓝色(B)的发光层617b的工艺，形成对应于其他颜色(红色(R)以及绿色(G))的发光层617b。另外，发光层617b的形成顺序不限于例示的顺序，任何顺序形成都可以。比如，对应于发光层形成材料决定形成顺序也是可能的。

如上所述，在像素电极613上形成功能层617即空穴注入/输送层617a和发光层617b。然后转移到对置电极形成工艺(步骤S25)。

如图37所示，在对置电极形成工艺(步骤S25)中，在发光层617b和有机物堤岸部618b的全表面上，利用真空镀敷法、溅射法、CVD法形成阴极604。这个阴极604在本实施方式中是钙层和铝层的层叠而构成的。

这个阴极604上面适当设置作为电极的Al膜、Ag膜或为防止其氧化的SiO₂、SiN等的保护层。

这样形成阴极604之后，实施利用封闭部件来封闭这个阴极604上面的封闭处理等的其他处理，获得显示装置600。

下面，图38是等离子型显示装置(PDP装置：以下称显示装置700)的主要部分的剖面图。该图是切去一部分状态表示显示装置700的。

这个显示装置700大体上包括：互相面对配置的第一基板701、第二基板702和其间形成的放电显示部703而构成。放电显示部703由多个放电室705所构成。这些放电室705中的红色放电室705R、绿色放电室705G、蓝色放电室705B配置成使三个放电室705组成一组来构成一个像素。

第一基板701的上面上按规定间隔形成格纹状地址电极706，覆盖这个地址电极706和第一基板701上面而形成电介体层707。电介体层707的上面，竖立设有位于各地址电极706之间位置且沿着各地址电极706的隔壁708。这个隔壁708包括如图所示的延伸到地址电极706宽度方向两侧的部分和图中未示的垂直于地址电极706方向延伸的部分。

于是，由这个隔壁708所划分的区域就成为放电室705。

在放电室705内部配置荧光体709。荧光体709是发红(R)、绿(G)、蓝(B)色中任一色的荧光，红色放电室705R的底部配置红色荧光体709R、绿色放电室705G的底部配置绿色荧光体709G、蓝色放电室705B的底部配置蓝色荧光体709B。

在第二基板702的图中下面的面，垂直于上述的地址电极706方向，隔规定间隔形成格纹状的多个显示电极711。然后，覆盖这些，形成由电介体层712和MgO等而成的保护膜713。

使地址电极706与显示电极711互相垂直的状态，面向粘合第一基板701和第二基板702。另外，上述地址电极706和显示电极711连接在图中未示的交流电源。

于是，使各个电极706、711通电的方法，可以使放电显示部703内的荧光体709激励发光，彩色显示成为可能。

在本实施方式中，上述的地址电极706、显示电极711和荧光体709可以利用图2所示的绘图装置2来形成。下面，第一基板701中的地址电极706形成工艺为例进行说明。

此时，把第一基板126装在绘图装置2的X轴台子22的状态，进行如下的工艺。

首先，含有导电膜电线形成用形成材料的液体材料作为功能液，通过液滴喷头26喷着在地址电极形成区域。这个液体材料是作为导电膜电线形成用形成材料把金属等的导电性微粒子分散在分散介质的液体材料。这个导电性微粒子可以利用含有金、银、铜、钯或镍的金属微粒子或导电性聚合物等。

如果完成作为补充对象的所有地址电极形成区域的液体材料的补充，则，干燥处理喷出后的液体材料，蒸发包含在液体材料中的分散介质而形成地址电极706。

上述中虽然是以形成地址电极706为例说明，但是，经过上述各个工艺也可以形成上述的显示电极711和荧光体709。

形成显示电极711时，和形成地址电极706同样，含有导电膜配线形成用形成材料的液体材料(功能液)作为功能液喷着在显示电极形成区域。

另外，形成荧光体709时，从液滴喷头26作为液滴喷着含有对应于各颜色(R、G、B)荧光材料的液体材料(功能液)，喷着在对应颜色的放电室705内。

下面，图39是电子放出装置(FED装置：以下称显示装置800)的主要部分的剖面图。另外，该图是表示显示装置800的局部剖面图。

这个显示装置800大体上包括互相面向配置的第一基板801、第二基板802和其间形成的电场放出显示部803。电场放出显示部803是由矩阵状配置的多个电子放出部805所构成。

第一基板801上面上互相垂直地形成有构成阴极806的第一元件电极806a和第二元件电极806b。另外，在由第一元件电极806a和第二元件电极806b所划分的部分里，有形成间隙808的导电性膜807。即，由第一元件电极806a、第二元件电极806b和导电性膜807构成多个电子放出部805。导电性膜807，例如由氧化钯(PdO)制作，间隙808是形成导电性膜807之后，以成形法等形成。

在第二基板802的下表面，形成有与阴极806对峙的阳极809。在阳极809下表面，形成格子状堤岸部811，这个堤岸部811所包围的向下开口的各个开口部812的对应于电子放出部805上配置荧光体813。荧光体813是发出红(R)、绿(G)、蓝(B)的任意色荧光的物质，在各个开口部812上按上述规定的模型配置红色荧光体813(R)、绿色荧光体813(G)以及蓝色荧光体813(B)。

于是，这样构成的第一基板801和第二基板802是保持微小间隙而粘合的。这个显示装置800中，通过导电性膜(间隙808)807，从作为阴极的第一元件电极806a或第二元件电极806b飞出的电子碰撞在作为阳极的阳极电极809上所形成的荧光体813，使其激励发光，彩色显示成为可能。

这时，也和其他的实施方式同样，可以利用绘图装置2来形成第一元件电极806a、第二元件电极806b、导电性膜807和阳极809的同时，利用绘图装置2来形成各颜色的荧光体813R、813G、813B。

第一元件电极806a、第二元件电极806b、导电性膜807具有图40A所示的平面形状，形成这些膜时，如图40B所示，预先留出第一元件电极806a、第二元件电极806b和导电性膜807的制作部分，形成堤岸部BB(光刻法)。接着，由堤岸部BB所构成的沟部分里形成第一元件电极806a、第二元件电极806b(绘图装置2的喷墨法)，干燥溶剂而形成膜之后，形成导电性膜807(绘图装置2的喷墨法)。然后，形成导电性膜807之后，去掉堤岸部BB(磨光剥离处理)，转移到上述的成形法。另外，和上述的有机EL装置的情形同样，最好是进行第一基板801、第二基板802的亲液化处理和对堤岸部811、BB的疏液化处理。

另外，作为其他的电光学装置，可以考虑金属配线的形成、透镜形成、保护膜形成和光扩散体形成等的装置。上述的发光功能层制造线1利用于各种电光学装置(设备)的制造上，可以有效制造各种电光学装置。

从以上说明可以清楚根据本发明，干燥炉内部的上下多层的热板之间流动换气流，从炉内很快排出干燥中蒸发的溶剂，以小型简单的结构来有效同时干燥多个工件。

Claims

1.一种干燥装置，具备上下多层容纳放置板状工件的热板所组成的于燥炉，其特征在于：在上述的干燥炉前面，开设靠近上述多层热板的常开放工件出入口，同时，在上述干燥炉后面设置外罩箱，在这个外罩箱内，利用靠近上述多层热板之间的各间隙上形成有多个通气孔的分流板，划分形成与上述干燥炉的炉内空间连通的并且由排气机构进行强制排气的排气室。

2.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于设置：在所述排气室上设置与上述排气机构连接的上下多个排气口。

3.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于：在上述干燥炉后面，开闭自在地安装上述外罩箱，通过打开上述外罩箱所开放的上述干燥炉后面的开口，可以自由交换上述各热板。

4.根据权利要求3所述的干燥装置，其特征在于：在上述干燥炉侧壁内部，上下多层固定上述各热板侧边缘部在前后方向滑动自由地配合的轨道部件。

5.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于还设置：从上述多层热板选择性地提升支撑工件可能的提升机构，而上述提升机构由配置在上述干燥炉侧壁外面的作升降运动的上下方向长的升降部件、在上述侧壁内侧上下多层配置的，与突出于上述各热板工件放置面的工件侧缘部下表面配合可能的配合部件、使这些配合部件联接在上述升降机构的进退机构所构成；该进退机构使这些配合部件个别地进入在工件的上述侧缘部上下方向投影面内的工作位置和退出在投影面外部的退出位置之间进和退。

6.一种工件处理装置，是把包括液滴喷头来向板状的工件涂敷液滴的绘图装置和干燥涂敷在工件的液滴的干燥装置的多台处理单元，其处理单元之间利用工件输送装置来连接，各个处理单元中被处理的工件通过各个工件输送装置依次输送到后部的处理单元的工件处理装置，其特征在于：作为上述干燥装置，利用根据权利要求1所述的干燥装置。

7.根据权利要求6所述的工件处理装置，其特征在于：上述工件是彩色滤光器的基板，上述绘图装置在上述液滴喷头内引入含有滤光材料的功能液之后，在上述基板上的多个像素区域内涂敷成为滤光元件的功能液。

8.根据权利要求6所述的工件处理装置，其特征在于：上述工件是有机EL装置基板，上述绘图装置在上述液滴喷头内引入含有发光功能材料的功能液之后，在上述基板上的多个像素区域内涂敷成为有机EL功能层的功能液。

9.根据权利要求6所述的工件处理装置，其特征在于：上述工件是等离子显示装置的基板，上述绘图装置在上述液滴喷头内引入含有金属配线材料的功能液之后，在上述基板上的多个像素区域内涂敷成为元件电极功能层的功能液。

10.根据权利要求6所述的工件处理装置，其特征在于：上述工件是等离子显示装置的基板，上述绘图装置在上述液滴喷头内引入含有荧光功能材料的功能液之后，在上述基板上的多个像素区域内涂敷成为荧光功能层的功能液。

11.根据权利要求6所述的工件处理装置，其特征在于：上述工件是电子放出装置的基板，上述绘图装置在上述液滴喷头内引入含有导电性功能材料的功能液之后，在上述基板上的多个像素区域内涂敷成为导电性功能层的功能液。

12.根据权利要求6所述的工件处理装置，其特征在于：在上述输送装置上配置暂时积存工件的积存机构，在上述干燥装置的干燥时间达到一定的时间时，从上述的干燥装置中排出工件。